JP3254607B2 - 信号伝送装置 - Google Patents
信号伝送装置Info
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- JP3254607B2 JP3254607B2 JP17303992A JP17303992A JP3254607B2 JP 3254607 B2 JP3254607 B2 JP 3254607B2 JP 17303992 A JP17303992 A JP 17303992A JP 17303992 A JP17303992 A JP 17303992A JP 3254607 B2 JP3254607 B2 JP 3254607B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- coaxial cable
- signal transmission
- flexible hose
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Installation Of Indoor Wiring (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超高真空中に配置された
装置に電気信号等の高周波信号を与えるための信号伝送
装置に関する。
装置に電気信号等の高周波信号を与えるための信号伝送
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、超高真空中（真空容器中）に配
置された機器（例えば、加速器のモニター）に高周波信
号等の電気信号を与える際には高真空用の同軸ケーブル
が用いられている。つまり、信号源と機器とを同軸ケー
ブルを用いて連結して機器に電気信号を与えている。従
って、同軸ケーブルは超高真空中を通過する部分が必要
になる。
置された機器（例えば、加速器のモニター）に高周波信
号等の電気信号を与える際には高真空用の同軸ケーブル
が用いられている。つまり、信号源と機器とを同軸ケー
ブルを用いて連結して機器に電気信号を与えている。従
って、同軸ケーブルは超高真空中を通過する部分が必要
になる。
【０００３】超高真空状態の汚染を防止する必要から、
つまり、真空中におけるガスの放出を防止する観点か
ら、この種の同軸ケーブルでは絶縁材として樹脂を用い
ることができず、通常絶縁材としてセラミック材を用い
ている。
つまり、真空中におけるガスの放出を防止する観点か
ら、この種の同軸ケーブルでは絶縁材として樹脂を用い
ることができず、通常絶縁材としてセラミック材を用い
ている。
【０００４】ここで、図２を参照して、超高真空中で用
いられる同軸ケーブルの構造の一例について概説する。
いられる同軸ケーブルの構造の一例について概説する。
【０００５】図示の同軸ケーブル１１の両端にはそれぞ
れコネクタ１２及び１３が取り付けられており、コネク
タ１２によって同軸ケーブル１１は対象機器（対象装
置）１４に連結されている。対象機器１４は真空容器
（図示せず）中に配置されており、真空容器内は超高真
空状態となっている。真空容器の壁面１５にはセラミッ
ク製の真空導入端子１６が取り付けられ、図示のように
コネクタ１３は真空導入端子１６に連結されている。
れコネクタ１２及び１３が取り付けられており、コネク
タ１２によって同軸ケーブル１１は対象機器（対象装
置）１４に連結されている。対象機器１４は真空容器
（図示せず）中に配置されており、真空容器内は超高真
空状態となっている。真空容器の壁面１５にはセラミッ
ク製の真空導入端子１６が取り付けられ、図示のように
コネクタ１３は真空導入端子１６に連結されている。
【０００６】同軸ケーブル１１は芯線（例えば、１ｍｍ
φの銅線）１１ａを備えており、この芯線１１ａは絶縁
材として用いられる複数のセラミックビーズ１１ｂに挿
通されている。つまり、芯線１１ａは複数のセラミック
ビーズ１１ｂによって覆われていることになる。そし
て、これらセラミックビーズ１１ｂは互いに密接配置さ
れている。セラミックビーズ１１ｂの外周面は網線１１
ｃによって覆われている。同軸ケーブル１１の芯線１１
ａはコネクタ１３を介して真空導入端子１６に導かれ、
真空容器外に導出され、信号源（図示せず）に接続され
る。なお、セラミックビーズを用いることによって同軸
ケーブルを必要に応じて適宜曲げることが可能となる。
φの銅線）１１ａを備えており、この芯線１１ａは絶縁
材として用いられる複数のセラミックビーズ１１ｂに挿
通されている。つまり、芯線１１ａは複数のセラミック
ビーズ１１ｂによって覆われていることになる。そし
て、これらセラミックビーズ１１ｂは互いに密接配置さ
れている。セラミックビーズ１１ｂの外周面は網線１１
ｃによって覆われている。同軸ケーブル１１の芯線１１
ａはコネクタ１３を介して真空導入端子１６に導かれ、
真空容器外に導出され、信号源（図示せず）に接続され
る。なお、セラミックビーズを用いることによって同軸
ケーブルを必要に応じて適宜曲げることが可能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の同
軸ケーブルにおいては電気信号を効率よくしかも安定し
て供給することが求められるが、このためにはインピー
ダンスの安定が重要な要素となる。ところが、上述の同
軸ケーブルではケーブルを必要に応じて曲げた際セラミ
ックビーズが移動することになるから、インピーダンス
が設定値からずれてしまい、インピーダンスが安定しな
いという問題点がある。さらに、セラミックビーズの動
きによって芯線が外部に晒されるから絶縁耐圧が低下し
てしまうという問題点がある。加えて、網線は超高真空
中において多量のガスを放出するという問題点もある。
軸ケーブルにおいては電気信号を効率よくしかも安定し
て供給することが求められるが、このためにはインピー
ダンスの安定が重要な要素となる。ところが、上述の同
軸ケーブルではケーブルを必要に応じて曲げた際セラミ
ックビーズが移動することになるから、インピーダンス
が設定値からずれてしまい、インピーダンスが安定しな
いという問題点がある。さらに、セラミックビーズの動
きによって芯線が外部に晒されるから絶縁耐圧が低下し
てしまうという問題点がある。加えて、網線は超高真空
中において多量のガスを放出するという問題点もある。
【０００８】いずれにしても上述の同軸ケーブルでは安
定してしかも効率よく電気信号を供給できないという問
題点がある。また、外部の信号線とインピーダンスを合
わせるのに多大の労力を要する。
定してしかも効率よく電気信号を供給できないという問
題点がある。また、外部の信号線とインピーダンスを合
わせるのに多大の労力を要する。
【０００９】本発明の目的は安定してしかも効率よく電
気信号を供給できる信号伝送装置を提供することにあ
る。
気信号を供給できる信号伝送装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空状
態に保たれた真空容器内に配置された機器に電気信号を
供給するために用いられる信号伝送装置であって、外部
に配置された信号源に接続された同軸ケーブルと、該同
軸ケーブルを前記真空容器内に導入するための真空フラ
ンジと、該真空フランジに連結され前記同軸ケーブルを
導入するフレキシブルホースと、該フレキシブルホース
を前記機器に連結する連結部と、前記同軸ケーブルに連
結され該同軸ケーブルを前記機器に導入するための導入
端子とを有し、該導入端子には前記外部側と前記真空側
とをシールするシール手段が備えられていることを特徴
とする信号伝送装置が得られる。
態に保たれた真空容器内に配置された機器に電気信号を
供給するために用いられる信号伝送装置であって、外部
に配置された信号源に接続された同軸ケーブルと、該同
軸ケーブルを前記真空容器内に導入するための真空フラ
ンジと、該真空フランジに連結され前記同軸ケーブルを
導入するフレキシブルホースと、該フレキシブルホース
を前記機器に連結する連結部と、前記同軸ケーブルに連
結され該同軸ケーブルを前記機器に導入するための導入
端子とを有し、該導入端子には前記外部側と前記真空側
とをシールするシール手段が備えられていることを特徴
とする信号伝送装置が得られる。
【００１１】
【作用】本発明では、真空フランジを用いて同軸ケーブ
ルを真空容器に導入するとともにフレキシブルホース内
に同軸ケーブルを挿通させて同軸ケーブルを案内して外
部側と真空側とをシールするシール手段を有する導入端
子を用いて同軸ケーブルを機器に導入するようにしてい
る。この結果、同軸ケーブルが真空状態に晒されること
がなく、同軸ケーブル自体を特殊なものとする必要がな
い。従って、性能が保証された通常の同軸ケーブルの使
用が可能となり、安定してしかも効率よく高周波信号等
の電気信号を供給できる。
ルを真空容器に導入するとともにフレキシブルホース内
に同軸ケーブルを挿通させて同軸ケーブルを案内して外
部側と真空側とをシールするシール手段を有する導入端
子を用いて同軸ケーブルを機器に導入するようにしてい
る。この結果、同軸ケーブルが真空状態に晒されること
がなく、同軸ケーブル自体を特殊なものとする必要がな
い。従って、性能が保証された通常の同軸ケーブルの使
用が可能となり、安定してしかも効率よく高周波信号等
の電気信号を供給できる。
【００１２】
【実施例】以下本発明について実施例によって説明す
る。
る。
【００１３】図１を参照して、真空容器２０内には高周
波信号を与えるべき対象装置２１が配置されている。こ
の対象装置２１には信号伝送装置３０によって例えば高
周波発生源（図示せず）が連結される。
波信号を与えるべき対象装置２１が配置されている。こ
の対象装置２１には信号伝送装置３０によって例えば高
周波発生源（図示せず）が連結される。
【００１４】信号伝送装置３０は同軸ケーブル３１を備
えており、この同軸ケーブル３１は芯線３１ａ及び網線
（図示せず）を備えており、これら芯線３１ａと網線と
の間には樹脂等の絶縁材が充填され、網線は樹脂等の被
覆材で被覆されている。つまり、本発明で用いられる同
軸ケーブルは通常の同軸ケーブルである。
えており、この同軸ケーブル３１は芯線３１ａ及び網線
（図示せず）を備えており、これら芯線３１ａと網線と
の間には樹脂等の絶縁材が充填され、網線は樹脂等の被
覆材で被覆されている。つまり、本発明で用いられる同
軸ケーブルは通常の同軸ケーブルである。
【００１５】信号伝送装置３０はさらにフレキシブルホ
ース３２，真空導入端子３３，及び真空フランジ３４を
備えている。フレキシブルホース３２は、例えば、ステ
ンレス鋼（ＳＵＳ）製であり、蛇腹状となっている。そ
して、フレキシブルホース３２の一端（図中左端）は真
空フランジ３４の内壁面（右端面）に溶接によって取り
付けられている。この結果、真空フランジ３４の孔部３
４ａはフレキシブルホース３２の一端でシールされるこ
とになる。一方、フレキシブルホース３２の他端には筒
状体３５がその一端を溶接によって取り付けられてお
り、筒状体３５の他端にはフランジ部３５ａが形成さ
れ、真空導入端子３３によりシールされている。
ース３２，真空導入端子３３，及び真空フランジ３４を
備えている。フレキシブルホース３２は、例えば、ステ
ンレス鋼（ＳＵＳ）製であり、蛇腹状となっている。そ
して、フレキシブルホース３２の一端（図中左端）は真
空フランジ３４の内壁面（右端面）に溶接によって取り
付けられている。この結果、真空フランジ３４の孔部３
４ａはフレキシブルホース３２の一端でシールされるこ
とになる。一方、フレキシブルホース３２の他端には筒
状体３５がその一端を溶接によって取り付けられてお
り、筒状体３５の他端にはフランジ部３５ａが形成さ
れ、真空導入端子３３によりシールされている。
【００１６】同軸ケーブル３１は孔部３４ａを介してフ
レキシブルホース３２内に挿入されている。同軸ケーブ
ル３１の一端（右端）がコネクタ３６に接続されてい
る。さらに、このコネクタ３６は筒状体３５内において
上述の真空導入端子３３に接続されている。
レキシブルホース３２内に挿入されている。同軸ケーブ
ル３１の一端（右端）がコネクタ３６に接続されてい
る。さらに、このコネクタ３６は筒状体３５内において
上述の真空導入端子３３に接続されている。
【００１７】この真空導入端子３３はコネクタ３６外筒
にカップリングされた筒状部３３ａとセラミック絶縁体
３３ｂと芯線３３ｃとを備えている。コネクタ３６から
導出された芯線３１ａは本体部３３ｃに圧入され、その
一端が真空中に突出している。芯線３３ｃの外筒面は絶
縁体３３ｂと、絶縁体３３ｂの外筒面は筒状部３３ａと
ろう付けされている。つまり、セラミック絶縁体３３ｂ
の内外筒面によって大気側と真空側とがシールされるこ
とになる。筒状部３３ａの一端（右端）はフランジ部３
５ａに形成された開口孔の周壁に溶接等によって固着さ
れており、セラミック絶縁体３３ｂの一端（右端）はフ
ランジ部３５ａまで達している。この結果、芯線３１ａ
はフランジ部３５ａから突出して延在することになる。
にカップリングされた筒状部３３ａとセラミック絶縁体
３３ｂと芯線３３ｃとを備えている。コネクタ３６から
導出された芯線３１ａは本体部３３ｃに圧入され、その
一端が真空中に突出している。芯線３３ｃの外筒面は絶
縁体３３ｂと、絶縁体３３ｂの外筒面は筒状部３３ａと
ろう付けされている。つまり、セラミック絶縁体３３ｂ
の内外筒面によって大気側と真空側とがシールされるこ
とになる。筒状部３３ａの一端（右端）はフランジ部３
５ａに形成された開口孔の周壁に溶接等によって固着さ
れており、セラミック絶縁体３３ｂの一端（右端）はフ
ランジ部３５ａまで達している。この結果、芯線３１ａ
はフランジ部３５ａから突出して延在することになる。
【００１８】真空容器２０の一壁面には真空フランジ４
０が形成されており、真空フランジ３４を真空フランジ
４０に取り付けることによって、フレキシブルホース３
２が真空容器２０内に導入される。そして、フランジ部
３５ａが対象装置２１に真空封止点（接続点）で接続さ
れる。この結果、芯線３１ａが対象装置２１内に導入さ
れることになる。
０が形成されており、真空フランジ３４を真空フランジ
４０に取り付けることによって、フレキシブルホース３
２が真空容器２０内に導入される。そして、フランジ部
３５ａが対象装置２１に真空封止点（接続点）で接続さ
れる。この結果、芯線３１ａが対象装置２１内に導入さ
れることになる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明では対象機器
近傍で真空シールが行われているから、同軸ケーブルを
通常の大気状態において使用することができる。つま
り、通常の同軸ケーブルを用いてしかも対象機器近傍に
おいて接続箇所が設けられるからインピーダンスマッチ
ングが容易である。その結果、インピーダンスが安定し
効率よく電気信号を供給できるという効果がある。
近傍で真空シールが行われているから、同軸ケーブルを
通常の大気状態において使用することができる。つま
り、通常の同軸ケーブルを用いてしかも対象機器近傍に
おいて接続箇所が設けられるからインピーダンスマッチ
ングが容易である。その結果、インピーダンスが安定し
効率よく電気信号を供給できるという効果がある。
【００２０】さらに、本発明では同軸ケーブルはフレキ
シブルホース内を挿通されているだけであるから、必要
に応じて適宜ルート及び長さを変更することができる。
また、特殊な同軸ケーブルを用いる必要がないからコス
ト安となる。
シブルホース内を挿通されているだけであるから、必要
に応じて適宜ルート及び長さを変更することができる。
また、特殊な同軸ケーブルを用いる必要がないからコス
ト安となる。
【図１】本発明による信号伝送装置の一実施例を真空容
器とともに示す図である。
器とともに示す図である。
【図２】従来の信号伝送装置を説明するための図であ
る。
る。
２０ 真空容器 ２１ 対象装置 ３０ 信号伝送装置 ３１ 同軸ケーブル ３２ フレキシブルホース ３３ 真空導入端子 ３４ 真空フランジ ３５ 筒状体 ３６ コネクタ ４０ 真空フランジ
Claims (1)
- 【請求項１】 真空状態に保たれた真空容器内に配置さ
れた機器に電気信号を供給するために用いられる信号伝
送装置であって、外部に配置された信号源に接続された
同軸ケーブルと、該同軸ケーブルを前記真空容器内に導
入するための真空フランジと、該真空フランジに連結さ
れ前記同軸ケーブルを案内するフレキシブルホースと、
該フレキシブルホースを前記機器に連結する連結部と、
前記同軸ケーブルに連結され該同軸ケーブルを前記機器
に導入するための導入端子とを有し、該導入端子には前
記外部側と前記真空側とをシールするシール手段が備え
られていることを特徴とする信号伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17303992A JP3254607B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 信号伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17303992A JP3254607B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 信号伝送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH067664A JPH067664A (ja) | 1994-01-18 |
| JP3254607B2 true JP3254607B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=15953076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17303992A Expired - Fee Related JP3254607B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 信号伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3254607B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106461448A (zh) * | 2014-03-28 | 2017-02-22 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于罐中的gwr测量的馈通器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1953877A1 (de) * | 2007-01-31 | 2008-08-06 | Applied Materials, Inc. | Spannungszuführung zu wenigstens einem elektrischen Verbraucher |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP17303992A patent/JP3254607B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106461448A (zh) * | 2014-03-28 | 2017-02-22 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于罐中的gwr测量的馈通器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH067664A (ja) | 1994-01-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011031 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071130 Year of fee payment: 6 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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