JP3253602B2 - 半導体部品取付装置及びコネクタ - Google Patents
半導体部品取付装置及びコネクタInfo
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Description
的特性を試験する為に前記半導体部品を取り付ける半導
体部品取付装置に関する。また本発明は、接続対象とな
る接続部品に対して電気的に接続されるコネクタに関す
る。
接続される接続部品とが電気的に確実に接触するために
は、コネクタに設けられたピンと、接続部品に設けられ
た電気的端子とが押圧される必要がある。この押圧する
力が強ければ電気的な接触性が高まるが、摩擦力も大き
くなるので、コネクタに接続部品を挿入し、または取り
外すことが困難になる。特に、コネクタに多数のピンが
設けられた場合や、多くのコネクタに対して接続部品を
同時に挿入しなくてはならない場合には、接続部品を挿
入するために大きな力を加えなくてはならない。
品を挿入する時には何ら力を必要とせず、接続部品を挿
入した後にピンを接続部品に押圧する、いわゆるゼロイ
ンサーションフォースコネクタ(ZIF)も提案されて
いる。しかしながら、ピンを接続部品に押圧すると、こ
の力によりコネクタと接続部品との相対的位置がわずか
にずれる場合がある。コネクタと接続部品との間に、高
い位置精度が必要とされる場合には、ピンを押圧する際
の接続部品のずれが問題となる。
いる半導体試験装置においては、電気的、及び位置的に
極めて高い信頼性が必要とされる。半導体を高速かつ確
実に試験するためには、試験装置に用いられるコネクタ
は接続部品に確実に接触されなければならない。さら
に、多様な半導体部品を試験するためには、半導体に接
触するコンタクタを含む多様な基板を用意しなくてはな
らない。従って、半導体試験装置に用いるコネクタは、
これらの多様な基板を容易に着脱することができること
が望ましい。
とのできる半導体部品取付装置及びコネクタを提供する
ことを目的とする。この目的は特許請求の範囲における
独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。ま
た従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
態における半導体部品取付装置は、半導体部品の電気的
特性を試験する為に半導体部品を取り付ける半導体部品
取付装置であって、半導体部品が接触するコンタクタ
と、コンタクタに対して電気信号を供給する基板と、基
板に電気信号を供給する電気的端子を有し、基板に固定
された複数の接続部品と、接続部品の電気的端子に接触
するコンタクト部を含むコンタクトピンと、コンタクト
ピンを保持するハウジングと、コンタクトピンを電気的
端子に押圧する左右対称に設けられた少なくとも2つの
押圧部とを有し、複数の接続部品のそれぞれに対して着
脱自在に接続される複数のコネクタと、複数のコネクタ
を保持するホルダと、基板をホルダに固定する固定部と
を備え、コンタクト部は、押圧部がコンタクトピンを押
下したときに電気的端子に接触しつつ電気的端子に沿っ
て滑動することを特徴とする。
る方向は、接続部品をコネクタから抜脱する抜脱方向で
あってもよい。コンタクト部が電気的端子に沿って滑動
する方向は、接続部品がコネクタに挿入される挿入方向
であってもよい。複数の接続部品は基板上に放射状に配
置されており、複数のコネクタはホルダ上に放射状に配
置されていてもよい。
し、回転カムを回転させるハンドルを回転カム毎に更に
備え、ハンドルが、放射状に配置された複数のコネクタ
の、外周側に設けられてもよい。
複数のハンドルを駆動させるハンドル駆動部を更に備え
てもよい。
接続対象となる接続部品に対して電気的に接続されるコ
ネクタであって、接続部品の電気的端子に接続されるコ
ンタクトピンと、コンタクトピンを保持するハウジング
と、コンタクトピンを電気的端子に押圧する、左右対称
に設けられた少なくとも2つの押圧部と、押圧部を回転
させるハンドルと、ハンドルの先端に接続された、外面
の少なくとも一部が球面であるハンドル作用部とを備え
たことを特徴とする。
し、ハンドルが回転カムを回転させれもよい。
の半径方向に延伸するてこ部と、てこ部の先端に取り付
けられ回転カムの軸方向に延伸する延長部とを有し、ハ
ンドル作用部は、延長部の先端に設けられていてもよ
い。ハンドルを、回転カム毎にそれぞれ備えてもよい。
接続対象となる接続部品に対して電気的に接続されるコ
ネクタであって、接続部品の電気的端子に接続されるコ
ンタクトピンと、コンタクトピンを保持するハウジング
と、コンタクトピンを電気的端子に押圧する、左右対称
に設けられた少なくとも2つの回転カムと、回転カム毎
にハウジングの外側に設けられ、回転カムを保持する回
転カム保持部と、回転カムの軸方向に沿って肉厚が薄く
なるテーパー部とを備えたことを特徴とする。
肉部の先端に、コネクタをコネクタ台に取り付ける取付
部を更に備えてもよい。2つのテーパー部の肉厚が最も
厚くなる厚肉部の先端に、コネクタをコネクタ台に取り
付ける取付部を更に備えてもよい。
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。
本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかか
る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明
されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に
必須であるとは限らない。
る為に半導体部品を取り付ける半導体部品取付装置の断
面図である。図1に示すように、本実施形態における半
導体部品取付装置は、半導体部品10が接触するコンタ
クタ20と、コンタクタ20に対して電気信号を供給す
る基板30と、基板30に固定された複数の接続部品4
0と、複数の接続部品40のそれぞれに対して着脱自在
に接続される複数のコネクタ50と、複数のコネクタ5
0が固定されたコネクタ台90と、複数のコネクタ50
及びコネクタ台90を保持するホルダ80と、カバー部
82とを備える。
り、その中心から放射状に、複数の接続部品40及びコ
ネクタ50が配置されている。図1には、一部の接続部
品40及びコネクタ50を図示し、波線部で示した位置
には図示せず、省略する。基板30がコンタクタ20に
対して電気信号を供給することにより、コンタクタ20
に接触する半導体部品10は、基板30及びコネクタ台
90に放射状に配置された、接続部品40及びコネクタ
50に電気的に接続される。
ホルダ80に固定するので、接続部品40とコネクタ5
0との間に垂直方向の力が加わった場合でも、接続部品
40とコネクタ50との相対的な位置関係を保持するこ
とができる。
00、即ちハッチングした部分の斜視図である。各コネ
クタ50の外側には、コネクタ中に設けられた回転カム
を回転させるための2つのハンドル52が取り付けられ
ている。またハンドル52の更に外周側には、ハンドル
52を駆動させるためのガイド102と、ガイド102
を回転させるハンドル駆動部104が更に備えられてい
る。接続部品40をコネクタ50に挿入した状態でハン
ドル駆動部104を駆動することにより、ガイド102
及び複数のハンドル52が同時に動き、コネクタ50が
接続部品40に接続される。このため、多数のコネクタ
50を、接続部品40に同時に、かつ容易に取り付ける
ことができる。
イド102の他の一例を示す拡大図である。図2では、
ガイド102をハンドル52の外周側に取り付けたが、
図3に示す様にガイド102をハンドル52の内周側に
取り付けてもよい。また、ガイド102をコネクタ50
に対してスムーズに回転させるためには、コネクタ台9
0とガイド102との間にプーリー106を設けること
が好ましい。
部品40が挿入される様子を示す断面図である。接続部
品40は、基板30に取り付けられる為のリベット42
と、リベット42が固定する部分を補強する補強板46
と、基板30に電気信号を供給する電気的端子48と、
電気的端子48を保持する電気的端子保持部44とを有
する。
的端子48に接触するコンタクトピン70と、コンタク
トピン70を保持するハウジング68と、コンタクトピ
ン70を電気的端子48に押圧する、左右対称に設けら
れた少なくとも2つの押圧部78を有する。2つの押圧
部78のそれぞれが、回転カム72と回転カム72を保
持する回転カム保持部76とを有する。回転カム72が
回転することにより回転カム72とコンタクトピン70
との接触部が、接続部品40の方向へほぼ等しい距離づ
つ移動し、コンタクトピン70が電気的端子48に押圧
される。回転カム保持部76は、回転カム72がコンタ
クトピン70を押圧したときの反力を受けるので、たわ
みを防ぐために剛性が十分に大きい必要がある。そこ
で、例えば回転カム保持部76の肉厚を厚くしハウジン
グ68の外側にまで、肉厚部を突出させておくことが好
ましい。
がほぼ等しい円周部75と中心からの距離が円周部まで
の距離より短い切欠部77とを含む。コンタクトピン7
0は接続部品40に対して左右対称に、2列に並んで配
列されている。2つの回転カム72が回転することによ
り、2つの押圧部78はそれぞれ、左側に配列された複
数のコンタクトピン70及び右側に配列された複数のコ
ンタクトピン70を押圧する。このときに各列のコンタ
クトピン70が相互にショートすることを防ぐために
は、回転カム72が絶縁性を有する必要がある。そこで
例えば、回転カム72の表面をテフロン加工しておくこ
とが好ましい。
と、一方の回転カム72の上側が一方のコンタクトピン
70を押圧し、他方の回転カム72の下側が他方のコン
タクトピン70を押圧する。このときに接続部品40が
コネクタ50に対して移動することを防ぐためには、左
右のコンタクトピン70が均等に押圧されることが好ま
しい。そこで、押圧部78がコンタクトピン70を押圧
する前の状態において回転カム72のそれぞれは、接続
部品40を挿入する方向に対称の形状を有することが好
ましい。更に、コンタクトピン70を押圧した状態にお
いて、2つの回転カム72がコンタクトピン70に接触
する位置は、接続部品40を中心として対称の位置であ
ることが好ましい。
気的端子48に接触するコンタクト部74を含む。この
コンタクト部74は、押圧部78がコンタクトピン70
を押下したときに電気的端子48に接触しつつ電気的端
子48に沿って滑動する。これにより、電気的端子48
の表面がスクラブされて酸化膜や汚れが取り除かれるの
で、コンタクトピン70を確実に電気的端子48に接触
させることができる。コンタクト部74が滑動する際に
接続部品40とコネクタ50とがコンタクトピン70の
配列方向にずれると、接触不良を生じるおそれがある。
これを防ぐためには、コンタクト部74が滑動する方向
は、コンタクトピン70の配列方向とは垂直な方向であ
ることが望ましい。そこで図4に示す例では、コンタク
ト部74は接続部品40をコネクタ50から抜脱する抜
脱方向に滑動する。但し他の例としては、接続部品40
がコネクタ50に挿入される挿入方向にコンタクト部7
4が滑動してもよい。
ネクタ台90の上に放射状に配置された複数のコネクタ
50の更に外周側には、回転カム72を回転させるハン
ドル52が回転カム72毎に設けられている。ハンドル
52は、回転カム72に接続され回転カム72の半径方
向に延伸するてこ部56と、てこ部56の先端に取り付
けられ回転カム72の軸方向に延伸する延長部58とを
有し、延長部58の先端には、外面の少なくとも一部が
球面であるハンドル作用部60が更に備けられている。
これにより、ガイド102(図2)がハンドル52を必
ずしも真横から押さない場合であっても、スムーズにハ
ンドル52を回すことができる。
沿って肉厚が薄くなるテーパー部66を有する。これに
より、コネクタ50を放射状に並べたときに隣接するコ
ネクタ50との隙間が小さくなり、コネクタ50間にゴ
ミが入り込むことを防ぐことができる。また2つのテー
パー部66の、肉厚が最も薄くなる薄肉部及び肉厚が最
も厚くなる厚肉部の近傍であって、コネクタ50の長手
方向の両端には、コネクタ50をコネクタ台90に取り
付ける為の取付部62、64が設けられている。取付部
62、64をコネクタ50の両端のみに配置したので、
隣接するコネクタ50との間隔を狭くすることができ、
ひいては多数のコネクタ50をコネクタ台90に配置す
ることができる。
図である。接続部品40は、コネクタ50から受け取っ
た信号を基板30に伝達する多数の電気的端子48と、
電気的端子48を保持する電気的端子保持部44と、接
続部品を基板30に固定するリベット42と、リベット
42と接続部品40との接触部を補強する補強板46と
を有する。リベット42を接続部品40全体に貫通さ
せ、更に基板30と補強板46にリベット42を貫通さ
せた上で、リベット42の先端をかしめて接続部品40
を基板30に固定する。これにより、接続部品40を基
板30に半田付けする場合と比較して、接続部品を基板
にしっかりと固定することができ、接続部品が離脱する
ことを防ぐことができる。
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができることが当業者に明らかであ
る。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術
的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から
明らかである。
れば、接続部品に対して容易、正確、かつ確実に接続す
ることのできるコネクタを提供することができる。
ある。
図である。
の他の一例を示す拡大図である。
挿入される様子を示す断面図である。
Claims (26)
- 【請求項1】 半導体部品の電気的特性を試験する為に
前記半導体部品を取り付ける半導体部品取付装置であっ
て、 前記半導体部品が接触するコンタクタと、 前記コンタクタに対して電気信号を供給する基板と、 前記基板に前記電気信号を供給する電気的端子を有し、
前記基板に固定された複数の接続部品と、 前記接続部品の前記電気的端子に接触するコンタクト部
を含むコンタクトピンと、前記コンタクトピンを保持す
るハウジングと、前記コンタクトピンを前記電気的端子
に押圧する押圧部とを有し、複数の前記接続部品のそれ
ぞれに対して着脱自在に接続される複数のコネクタと、 前記複数のコネクタを保持するホルダと、 前記基板を前記ホルダに固定する固定部とを備え、 前記コンタクトピンが前記押圧部により押圧されない場
合において、コンタクトピン中央部と前記電気的端子と
の間隔は、前記コンタクト部と前記電気的端子との間隔
及びコンタクトピン下部と前記電気的端子との間隔より
広く、 前記コンタクト部は、前記押圧部が前記コンタクトピン
を押下したときに前記電気的端子に接触しつつ前記電気
的端子に沿って滑動することを特徴とする半導体部品取
付装置。 - 【請求項2】 前記コネクタは、前記コンタクトピンに
対して左右対称に設けられた少なくとも2つの前記押圧
部を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体部
品取付装置。 - 【請求項3】 前記コンタクト部が前記電気的端子に沿
って滑動する方向は、前記接続部品を前記コネクタから
抜脱する抜脱方向であることを特徴とする請求項1に記
載の半導体部品取付装置。 - 【請求項4】 前記コンタクト部が前記電気的端子に沿
って滑動する方向は、前記接続部品が前記コネクタに挿
入される挿入方向であることを特徴とする請求項1に記
載の半導体部品取付装置。 - 【請求項5】 前記複数の接続部品は前記基板上に放射
状に配置されており、 前記複数のコネクタは前記ホルダ上に放射状に配置され
ていることを特徴とする請求項1に記載の半導体部品取
付装置。 - 【請求項6】 前記押圧部のそれぞれが回転カムを有
し、 前記回転カムを回転させるハンドルを前記回転カム毎に
更に備え、 前記ハンドルが、放射状に配置された複数の前記コネク
タの、外周側に設けられたことを特徴とする請求項5に
記載の半導体部品取付装置。 - 【請求項7】 複数の前記ハンドルの更に外周側に設け
られ、前記複数のハンドルを駆動させるハンドル駆動部
を更に備えたことを特徴とする請求項6に記載の半導体
部品取付装置。 - 【請求項8】 前記押圧部を回転させるハンドルと、 前記ハンドルの先端に接続された、外面の少なくとも一
部が球面であるハンドル作用部とを備えたことを特徴と
する請求項1記載の半導体部品取付装置。 - 【請求項9】 前記2つの押圧部のそれぞれが回転カム
を有し、 前記ハンドルが前記回転カムを回転させることを特徴と
する請求項8に記載の半導体部品取付装置。 - 【請求項10】 前記ハンドルは、前記回転カムに接続
され前記回転カムの半径方向に延伸するてこ部と、前記
てこ部の先端に取り付けられ前記回転カムの軸方向に延
伸する延長部とを有し、 前記ハンドル作用部は、前記延長部の先端に設けられて
いることを特徴とする請求項8に記載の半導体部品取付
装置。 - 【請求項11】 前記ハンドルを、前記回転カム毎にそ
れぞれ備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体
部品取付装置。 - 【請求項12】 前記押圧部のそれぞれが回転カムを有
し、 前記回転カム毎に前記ハウジングの外側に設けられ、前
記回転カムを保持する回転カム保持部と、 前記回転カムの軸方向に沿って肉厚が薄くなるテーパー
部とを更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の半
導体部品取付装置。 - 【請求項13】 前記2つのテーパー部の肉厚が最も薄
くなる薄肉部の先端に、前記コネクタをコネクタ台に取
り付ける取付部を更に備えたことを特徴とする請求項1
2に記載の半導体部品取付装置。 - 【請求項14】 前記2つのテーパー部の肉厚が最も厚
くなる厚肉部の先端に、前記コネクタをコネクタ台に取
り付ける取付部を更に備えたことを特徴とする請求項1
2に記載の半導体部品取付装置。 - 【請求項15】 溝部を有するコネクタガイドにより駆
動されることにより、接続対象となる接続部品に対して
電気的に接続されるコネクタであって、 前記接続部品の電気的端子に接続されるコンタクトピン
と、 前記コンタクトピンを保持するハウジングと、 前記コンタクトピンを前記電気的端子に押圧する押圧部
と、 前記押圧部を回転させるハンドルと、 前記ハンドルの先端に接続され、前記溝部に系合する、
外面の少なくとも一部が球面であるハンドル作用部とを
備えたことを特徴とするコネクタ。 - 【請求項16】 前記コネクタは、前記コンタクトピン
に対して左右対称に設けられた少なくとも2つの前記押
圧部を有することを特徴とする請求項15に記載のコネ
クタ。 - 【請求項17】 前記押圧部のそれぞれが回転カムを有
し、 前記ハンドルが前記回転カムを回転させることを特徴と
する請求項15に記載のコネクタ。 - 【請求項18】 前記ハンドルは、前記回転カムに接続
され前記回転カムの半径方向に延伸するてこ部と、前記
てこ部の先端に取り付けられ前記回転カムの軸方向に延
伸する延長部とを有し、 前記ハンドル作用部は、前記延長部の先端に設けられて
いることを特徴とする請求項15に記載のコネクタ。 - 【請求項19】 前記ハンドルを、前記回転カム毎にそ
れぞれ備えたことを特徴とする請求項15に記載のコネ
クタ。 - 【請求項20】 前記コンタクトピンが前記押圧部によ
り押圧されない場合において、コンタクトピン中央部と
前記電気的端子との間隔は、前記コンタクト部と前記電
気的端子との間隔及びコンタクトピン下部と前記電気的
端子との間隔より広いことを特徴とする請求項15に記
載のコネクタ。 - 【請求項21】 接続対象となる接続部品に対して電気
的に接続されるコネクタであって、 前記接続部品の電気的端子に接続されるコンタクトピン
と、 前記コンタクトピンを保持するハウジングと、 前記コンタクトピンを前記電気的端子に押圧する回転カ
ムと、 前記回転カム毎に前記ハウジングの外側に設けられ、前
記回転カムを保持する回転カム保持部と、 前記回転カムを回転させるハンドルと、 前記回転カムの軸方向に沿って、当該回転カムにおいて
前記ハンドルが接続された一端から他端に向かって、肉
厚が薄くなるテーパー部とを更に備えたことを特徴とす
るコネクタ。 - 【請求項22】 前記コンタクトピンに対して左右対称
に設けられた少なくとも2つの前記回転カムを備えたこ
とを特徴とする請求項21に記載のコネクタ。 - 【請求項23】 前記テーパー部の肉厚が最も薄くなる
薄肉部の先端に、前記コネクタをコネクタ台に取り付け
る取付部を更に備えたことを特徴とする請求項21に記
載のコネクタ。 - 【請求項24】 前記テーパー部の肉厚が最も厚くなる
厚肉部の先端に、前記コネクタをコネクタ台に取り付け
る取付部を更に備えたことを特徴とする請求項21に記
載のコネクタ。 - 【請求項25】 前記コンタクトピンが前記回転カムに
より押圧されない場合において、コンタクトピン中央部
と前記電気的端子との間隔は、前記コンタクト部と前記
電気的端子との間隔及びコンタクトピン下部と前記電気
的端子との間隔より広いことを特徴とする請求項21に
記載のコネクタ。 - 【請求項26】 半導体部品の電気的特性を試験する為
に前記半導体部品を取り付ける半導体部品取付装置であ
って、 前記半導体部品が接触するコンタクタと、 前記コンタクタに対して電気信号を供給する基板と、 前記基板に前記電気信号を供給する電気的端子を有し、
前記基板に固定された複数の接続部品と、 前記接続部品の前記電気的端子に接触するコンタクト部
を含むコンタクトピンと、前記コンタクトピンを保持す
るハウジングと、前記コンタクトピンを前記電気的端子
に押圧する押圧部とを有し、複数の前記接続部品のそれ
ぞれに対して着脱自在に接続される複数のコネクタと、 前記複数のコネクタを保持するホルダと、 前記基板を前記ホルダに固定する固定部とを備え、 前記コンタクトピンにおいて前記押圧部により押圧され
る被押圧部と前記電気的端子との間隔は、前記コンタク
ト部と前記電気的端子との間隔及びコンタクトピン下部
と前記電気的端子との間隔より広く、 前記コンタクト部は、前記押圧部が前記コンタクトピン
を押下したときに前記電気的端子に接触しつつ前記電気
的端子に沿って滑動することを特徴とする半導体部品取
付装置。
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