JP3248840B2 - カルマン渦流量計 - Google Patents

カルマン渦流量計

Info

Publication number
JP3248840B2
JP3248840B2 JP02464296A JP2464296A JP3248840B2 JP 3248840 B2 JP3248840 B2 JP 3248840B2 JP 02464296 A JP02464296 A JP 02464296A JP 2464296 A JP2464296 A JP 2464296A JP 3248840 B2 JP3248840 B2 JP 3248840B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
karman vortex
pressure receiving
main body
detector
vortex
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP02464296A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09196722A (ja
Inventor
信行 鎌田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Surpass Industry Co Ltd
Original Assignee
Surpass Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Surpass Industry Co Ltd filed Critical Surpass Industry Co Ltd
Priority to JP02464296A priority Critical patent/JP3248840B2/ja
Publication of JPH09196722A publication Critical patent/JPH09196722A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3248840B2 publication Critical patent/JP3248840B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流れに対応
するカルマン渦を発生させてこれを検出して電気信号に
変換することにより液体流量を計測するカルマン渦流量
計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のカルマン渦流量計としては、実開
平２−４８８１８号公報記載のものが一般的である。そ
れは、流路１内に渦発生体２を設けると共に、渦発生体
２の下流側に、圧電素子で構成される渦検出器３を内蔵
していて上流側及び下流側に張出した受圧翼片４を突設
して成る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流量計にお
いては、受圧翼片４に内蔵される渦検出器３が受圧翼片
４の下部にまで縦に伸びているので、受圧翼片４は渦検
出器３の径以上の厚さとせざるを得ない。そのため、カ
ルマン渦によって惹起される受圧翼片４の振動はそれ程
微細なものではなく、高精度の振動検出は望めない。換
言すれば、高精度の流量測定はできない。
【０００４】また、流体（主に薬品）の種類によっては
受圧翼片４を侵蝕し（ガス透過）、渦検出器３を腐食さ
せてその機能を阻害することがあり、耐久性の点で問題
となる。そこで本発明は、簡易な構成にして高精度で信
頼性と耐久性のあるカルマン渦流量計を提供することを
課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、管状流路内に
設けられる渦発生体とその下流側に配置されるカルマン
渦検出器とを備えていて、前記カルマン渦検出器が振動
検出部とこれを支持する検出器本体とから成り、前記検
出器本体の中空部内に収まる振動検出部上部に振動ピッ
クアップ機構を内蔵し、前記検出器本体の中空部外に露
出して前記流路内に臨む振動検出部下部は薄板状の受圧
板となし、前記受圧板に周囲に延出するダイヤフラムを
形成し、前記ダイヤフラムの周縁を前記流路を構成する
管に固定して成るカルマン渦流量計、を以て上記課題を
解決した。前記中空部内に液漏れセンサ−を設置するこ
ととしてもよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
１を参照しつつ説明する。図中１１は流体パイプ１０の
流路で、薬品等の流体は矢印方向に流れる。流路１１内
には渦発生体１２が形成される。渦発生体１２は従来の
ものと同様に、流路１１の中央部に設置される柱状体
で、流体が渦発生体１２に当たることにより渦発生体１
２の下流側にカルマン渦が生ずる。
【０００７】１３は渦発生体１２の下流側に設置される
カルマン渦検出器で、流体パイプ１０に螺着等によって
固定される本体１４と、上半部が本体１４の中空部１４
ａ内に臨む振動検出部とから成る。振動検出部の上半部
は、振動ピックアップ素子（圧電素子）１５を内蔵する
円柱状の素子保持部１６である。振動検出部の下半部
は、流路１１内に臨む薄板状の受圧板１７となってい
る。振動ピックアップ素子１５は受圧板１７内にまでは
伸びていないので、受圧板１７は十分に薄くすることが
できる。受圧板１７は、流体の流れ方向に平行に向けら
れる。
【０００８】受圧板１７の上部には、ダイヤフラム１８
が一体成形により形成される。ダイヤフラム１８の外周
は厚肉化され、その厚肉部１９が流体パイプ１０の段部
と本体１４の底面との間に挾圧されることにより、振動
検出部が支持される。２０は厚肉部１９の外側に配置さ
れるＯリングである。
【０００９】本発明に係る流量計は上記の如きに構成さ
れており、流体に接する受圧板１７は薄手であって、し
かもダイヤフラム１８に支持されているために、流量に
対応して発生するカルマン渦に敏感に反応して振動す
る。その振動は振動ピックアップ素子１５によって検出
され、従来の場合と同様に電気信号に変換される。
【００１０】なお、上記構成に対し、本体１４の中空部
１４ａ内への液漏れ対策として液漏れセンサ−２１を付
加することも考えられる。即ち、本体１４にその中空部
１４ａ内に臨ませて液漏れセンサ−（液面レベル計）２
１を設置することもある。その場合、何らかの理由によ
って中空部１４内に液体が浸入すると、液漏れセンサ−
２１がこれを検出し、アラ−ム信号を発したり、液体の
供給を停止させたりする。
【００１１】
【発明の効果】本発明は上述した通りであり、受圧板が
薄手であってダイヤフラムによって支持されているため
にカルマン渦に忠実に且つ敏感に反応して振動するため
に、高精度で信頼性のある流量測定が可能となる。ま
た、振動ピックアップ素子は流体に接しない振動検出部
の上部に配置されていて流体の影響を受けないため、十
分な耐久性を備える。更に、液漏れセンサ−を設けるこ
とにより、流量計本体内への液漏れ発生を遅滞なく報知
させることができ、液漏れに迅速に対処することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例の縦断面図である。
【図２】 従来の同種流量計の縦断面図である。
【符号の説明】
１０ 流体パイプ １１ 流路 １２ 渦発生体 １３ カルマン渦検出器 １４ 本体 １４ａ 中空部 １５ 振動ピックアップ素子 １６ 素子保持部 １７ 受圧板 １８ ダイヤフラム １９ 厚肉部 ２０ Ｏリング ２１ 液漏れセンサ−

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 管状流路内に設けられる渦発生体とその
    下流側に配置されるカルマン渦検出器とを備えていて、
    前記カルマン渦検出器が振動検出部とこれを支持する検
    出器本体とから成り、前記検出器本体の中空部内に収ま
    る振動検出部上部に振動ピックアップ機構を内蔵し、前
    記検出器本体の中空部外に露出して前記流路内に臨む振
    動検出部下部は薄板状の受圧板となし、前記受圧板に周
    囲に延出するダイヤフラムを形成し、前記ダイヤフラム
    の周縁を前記流路を構成する管に固定して成るカルマン
    渦流量計。
  2. 【請求項２】 前記検出器本体の中空部内に液漏れセン
    サ−を設置した請求項１記載のカルマン渦流量計。
JP02464296A 1996-01-18 1996-01-18 カルマン渦流量計 Expired - Lifetime JP3248840B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02464296A JP3248840B2 (ja) 1996-01-18 1996-01-18 カルマン渦流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02464296A JP3248840B2 (ja) 1996-01-18 1996-01-18 カルマン渦流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09196722A JPH09196722A (ja) 1997-07-31
JP3248840B2 true JP3248840B2 (ja) 2002-01-21

Family

ID=12143800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02464296A Expired - Lifetime JP3248840B2 (ja) 1996-01-18 1996-01-18 カルマン渦流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3248840B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10948322B2 (en) 2016-03-10 2021-03-16 Endress + Hauser Flowtec Ag Sensor assembly for a sensor, sensor, and measurement system formed therewith

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE478326T1 (de) * 2006-09-15 2010-09-15 Rosemount Inc Lecküberprüfungsvorrichtung für wirbelsensorersatz
JP2017067726A (ja) 2015-10-02 2017-04-06 サーパス工業株式会社 カルマン渦流量計

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10948322B2 (en) 2016-03-10 2021-03-16 Endress + Hauser Flowtec Ag Sensor assembly for a sensor, sensor, and measurement system formed therewith

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09196722A (ja) 1997-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5394506B2 (ja) 渦振動センサプレートを持つ渦流量計
KR890004418B1 (ko) 와류량계
JP3248840B2 (ja) カルマン渦流量計
WO2007122978A1 (ja) 防爆高温対応形マルチ渦流量計
JPS6029696Y2 (ja) 流速流量検出装置
JP3123307B2 (ja) カルマン渦流量計
JP4984348B2 (ja) 流量計測装置
JP3184126B2 (ja) 流量センサー
JPH0989701A (ja) 圧力校正装置
JP2929731B2 (ja) カルマン渦流量計及びその製造方法
JPS6029695Y2 (ja) 流速・流量検出装置
JP3753243B2 (ja) 渦流量計
JPH01210698A (ja) スチームトラップの作動判定補助器
JPS5928342Y2 (ja) 力検出器
JPS6215811B2 (ja)
JPH1123340A (ja) コリオリ質量流量計
JPH10115538A (ja) 円筒状のせき止め部材を備えたうず流センサ
JPH01207634A (ja) 差圧形流量計
JPH0862004A (ja) 流量計
JPH11281421A (ja) リング渦流量計
JP2001336961A (ja) 渦流量計
JP4993352B2 (ja) 流量計
JP2000193503A (ja) 流量計
JPS5953489B2 (ja) 流速流量測定装置
JPH06129885A (ja) 渦流量計

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081109

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081109

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091109

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091109

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101109

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101109

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111109

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111109

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121109

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131109

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term