JP3244949U - ウェハカセット保存装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハカセットのドアカバーを選択的に開けることができ、ウェハカセットの種類に対応した積載台に保存でき、多様性と多機能を備えるウェハカセット保存装置を提供する。【解決手段】ウェハカセット保存装置は、ウェハカセット載置台１と、保存装置２と、ドアオープン装置と、積載台と、昇降装置と、制御基板２７とからなり、ウェハカセット載置台は、横方向に移動し且つウェハカセットを置くためのプラットフォーム装置を備え、プラットフォーム装置には少なくとも１つの識別部品が設けられる。ウェハカセット載置台の一側には保存装置が設けられ、保存装置の一側面は第１送入口を備え、保存装置の他側面には第２送入口が設けられる。保存装置には、独立して作動し且つウェハカセットのドアを開ける複数のドアオープン装置が設けられる。保存装置内には、異なる種類のウェハカセットを保存できる複数の積載台が設けられ、積載台には昇降装置が連結される。【選択図】図１

Description

本考案は、ウェハカセット保存装置に関し、特に、１つのウェハカセットのドアカバーを単独で開けることができ且つ複数の異なる種類のウェハカセットを保存することができるとともに、保存装置内に外部のダストが侵入するのを効果的に防ぐことのできるウェハカセット保存装置に関する。

従来の電子製品が勢いよく発展するにつれて、電子部品のニーズもますます高まっている。そのため、半導体工場が拡張され生産効率が向上している。そのうち、ウェハの保存は特に重要であり、ウェハが適切に保存されることで、その後に続く生産作業もスムーズに行われるとともに収率が向上する。しかしながら、これまでウェハの保存はほとんどシステム化されておらず、設計が複雑であるとともに支出コストも高い。

このため、複数のウェハカセットを保存することのできる保存装置を開発したメーカーもある。主に、複数の同タイプのウェハカセットが保存装置内に保存され、ウェハカセット内のウェハ片を取り出してその他の設備でその他のプロセスを実行するまたはウェハ片を出し入れする必要がある場合には、ドアオープン装置によって全てのウェハカセットのドアカバーが開けられることで、ロボットアームによってウェハカセット内からウェハ片が取り出される。

しかしながら、上述の保存装置を使用する際に，以下に挙げる問題点及び欠点が存在し、改善が期待されている。

複数のウェハカセットを保存することができるが、同タイプのウェハカセットしか保存することができない。仮に異なるタイプのウェハカセットを保存装置内に入れると、ドアオープン装置によってウェハカセットのドアカバーを開けることができなくなる、または、ドアオープンの誤動作が生じてしまう。さらに、ウェハカセットのうち１つのみを出し入れしたい場合、その他の出し入れする必要のないウェハカセットのドアカバーも同時に開けられるため、露出が生じるとともに、送入口にもドア体が設計されていないため、保存装置内にダストが侵入し汚染されてしまう。

従って、本考案の申請者は、上述の欠点に鑑み、関連データを収集するとともに、多方面の検討と考慮を行い、且つ本業界で蓄積された長年の経験に基づいて、弛まぬ試作と修正を経た末に、１つのウェハカセットのドアカバーを単独で開けることができ且つ複数の異なる種類のウェハカセットを保存することができるとともに、保存装置内に外部のダストが侵入するのを効果的に防ぐことのできるウェハカセット保存装置を考案した。

本考案は、複数のドアオープン装置を備えるとともに、各ドアオープン装置を単独で起動させることができることで、単一のウェハカセットのドアカバーを開けることができ、一つづつ独立して開けられるように設計されることで、その他のウェハカセットが空気中にさらされることがないとともに、複数の異なる種類のウェハカセットを保存することができることで、より多様性を備え、保存装置にはさらに多くの種類のウェハカセットを置くことができるという利点を備え、さらに、第１送入口にドア体を備えることで、保存装置内にダストが侵入しにくいウェハカセット保存装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するため、本考案の主な構造は、ウェハカセット載置台からなる。前記ウェハカセット載置台内は、横方向に移動でき且つウェハカセットを置くことのできるプラットフォーム装置を備えるとともに、プラットフォーム装置には、ウェハカセットのタイプを識別するための少なくとも１つの識別部品が設けられる。また、ウェハカセット載置台の一側には、保存装置が設けられ、前記保存装置における一側面は、プラットフォーム装置を入れることのできる第１送入口を備え、前記保存装置の他側面は、第２送入口を備えるとともに、第１送入口には、ドア体が設けられる。さらに、保存装置における第２伝送と同じ側面には、複数のドアオープン装置が備えられ、前記ドアオープン装置はいずれも独立して作動する。さらに、保存装置内には、複数の積載台が設けられ、各積載台にはそれぞれウェハカセットが置かれるとともに、各ウェハカセットは種類が異なる。また、積載台の一側には、昇降装置が設けられ、前記昇降装置は、各前記積載台を垂直に移動させることができる。最後に、保存装置には、制御基板が設けられ、前記制御基板は、保存モジュールを備える。

ウェハカセットがプラットフォーム装置上に置かれると、プラットフォーム装置上の識別部品によってウェハカセットの種類が識別されるとともに、識別部品によって識別されたウェハカセットの種類の情報が保存モジュールに送信されて保存される。それにより、ウェハカセットが積載台に移動された際に、保存モジュールによって保存されたウェハカセットの積載台の位置情報が記録されることで、昇降装置によって後に続いて行われる移載の動作がよりスムーズに行われる。言い換えると、ウェハカセットを保存装置内に保存したい場合、プラットフォーム装置が保存装置の積載台の上方まで横方向に移動し、正確な位置まで確実に到達した後、昇降装置は再び上昇してウェハカセットを上向きに支えることで、ウェハカセットがプラットフォーム装置から外される。この際、プラットフォーム装置は元の位置に戻されると同時にドア体が閉められることで、保存の動作が完了する。保存されたウェハカセットのうちの１つのウェハカセットを取り出したりその他の後に続くプロセスの動作を実行したりしたい場合、前記ウェハカセットのドアオープン装置に対応してそのウェハカセットのドアカバーを開け、ドアカバーが開けられた後、昇降装置によってそのウェハカセットは第２送入口まで移動されることで、前記ウェハカセットを容易に開けて取り出すことができる。取り上げる価値がある点として、識別部品は各ウェハカセットの種類に基づいて昇降装置及びドアオープン装置を制御することができるため、保存装置内に異なるタイプのウェハカセットが保存される場合も、相互に対応してドアオープンの動作または出し入れの動作が行われることで、一つのタイプのウェハカセットしか保存できないという制限がなくなる。

本考案における好ましい実施例の斜視図である。 本考案の好ましい実施例におけるウェハカセット載置台の斜視透視図である。 本考案の好ましい実施例における保存装置の斜視透視図である。 本考案の好ましい実施例におけるドアオープン装置の斜視図である。 本考案の好ましい実施例におけるドアオープン装置を別の角度から見た斜視図である。 本考案の好ましい実施例における位置決めの識別を示した図である。 本考案の好ましい実施例における横方向の移動を示した図である。 本考案の好ましい実施例における横方向に移動し位置決めされた状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例における積載台が連結される前の状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例における積載台が連結された後の状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例におけるドア体を閉めた状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例における自動でカバーが開く状態を示した第１図である。 本考案の好ましい実施例における自動でカバーが開く状態を示した第２図である。 本考案の好ましい実施例における自動でカバーが開く状態を示した第３図である。 本考案の好ましい実施例における出し入れの動作を示した第１図である。 本考案の好ましい実施例における出し入れの動作を示した第２図である。 本考案の好ましい実施例における異なるサイズのウェハカセットのカバーを開いた状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例における手動でウェハカセットのカバーを開いた状態を示した図である。 本考案の好ましい実施例における手動でウェハカセットを移動させた状態を示した図である。 本考案の別の好ましい実施例における昇降装置を示した図である。 本考案のさらに別の好ましい実施例におけるプラットフォーム装置を示した図である。

図１から図５を参照する。図１から図５は、本考案の好ましい実施例における斜視図からドアオープン装置を別の角度から見た斜視図である。図を見て分かる通り、本考案は、ウェハカセット載置台１と、保存装置２と、ドアオープン装置２４と、積載台２５と、昇降装置２６と、制御基板２７とからなる。

ウェハカセット載置台１内は、横方向に移動するとともにウェハカセットを置くことのできるプラットフォーム装置１１を備え、さらに、ウェハカセット載置台１内には前記ウェハカセットの種類を識別するための少なくとも１つの識別部品１２が設けられる。

保存装置２は、前記ウェハカセット載置台１の一側に設けられるとともに、保存装置２の一側面は、前記プラットフォーム装置１１を入れるための第１送入口２１を備え、保存装置２の他側面は、第２送入口２２を備えるとともに、前記第１送入口２１にはドア体２３が設けられる。

複数のドアオープン装置２４は、前記保存装置２上に設けられ且つ前記第２送入口２２と同側面に位置するとともに、各前記ドアオープン装置２４はいずれも独立して作動することができることで、前記ウェハカセットのドアカバーを開けることができる。

複数の積載台２５は、前記保存装置２内に設けられ、各前記積載台２５には、前記ウェハカセットがそれぞれ置かれるとともに、各前記ウェハカセットは、異なる種類のウェハカセットである。

昇降装置２６は、各前記積載台２５に連結され、それにより、各前記積載台２５は垂直に移動する。

制御基板２７は、前記保存装置２に設けられるとともに、保存モジュール２７１を備える。これにより、識別された前記ウェハカセットの種類の情報が各前記識別部品１２によって前記保存モジュール２７１に送信されて保存されることで、前記ウェハカセットが前記積載台２５に移動されると、前記保存モジュール２７１によって前記ウェハカセットを保存した積載台２５の位置情報が記録されるため、前記昇降装置２６によって後に続く移載の動作がスムーズに行われる。

そのうち、本実施例における前記ウェハカセットの種類は、手動のドアカバーウェハカセット、自動のドアカバーウェハカセット、または、サイズの異なるウェハカセットのうちのいずれかであることができる。

そのうち、本実施例における前記プラットフォーム装置１１には、複数のプラットフォーム位置決め部品１１１が設けられ、プラットフォーム位置決め部品１１１は、凸部を例とする。

そのうち、本実施例における前記積載台２５には、複数の積載台位置決め部品２５１が設けられ、積載台位置決め部品２５１は、棒体を例とする。

そのうち、本実施例における前記プラットフォーム装置１１は、レールユニット１１２と、前記レールユニット１１２の一側に設けられるプラットフォーム駆動装置１１３と、前記レールユニット１１２に可動に設けられるとともに、前記プラットフォーム駆動装置１１３によって動かされ前記レールユニット１１２上を水平に往復して移動するプラットフォーム１１４を備え、前記プラットフォーム１１４には、前記識別部品１２と、前記プラットフォーム位置決め部品１１１が設けられる。

そのうち、本実施例における前記レールユニット１１２は、リニアスライドレールであり、プラットフォーム駆動装置１１３は、プラットフォームモーター１１３１と、前記プラットフォームモーター１１３１に連結されるプラットフォームベルト１１３２と、前記プラットフォームベルト１１３２に連結されるとともに前記プラットフォーム１１４と連動するプラットフォーム駆動部品１１３３を備え、前記プラットフォーム駆動部品１１３３は、ガイドボルトであることができる。

そのうち、本実施例における前記昇降装置２６は、各前記積載台２５と相互に接合される駆動部品２６１と、前記駆動部品２６１に連結されることで前記駆動部品２６１を作動させることのできる第１起動部品２６２を備えるとともに、駆動部品２６１は、ガイドボルトであり、第１起動部品２６２は、モーターであり、さらに、第１起動部品２６２と保存モジュール２７１の情報は連携される。

そのうち、本実施例における前記ドアオープン装置２４は、前記ドアカバーに突き合わせて固定されるドアオープン突き合わせ部品２４１と、前記ドアオープン突き合わせ部品２４１と連結されることで前記ドアオープン突き合わせ部品２４１を駆動させドアオープンの動作を実行させる第２起動部品２４２と、前記第２起動部品２４２と電気的に接続されることで前記ドアカバーを検出する検出部品２４３と、前記ドアオープン突き合わせ部品２４１、前記第２起動部品２４２、及び、前記検出部品２４３を積載するドアオープン台２４４と、前記ドアオープン台２４４の下方に設けられるスライド台２４５を備える。前記スライド台２４５は、前記ドアオープン台２４４をスライドさせることができる。

そのうち、本実施例における前記ドアオープン突き合わせ部品２４１は、前記ドアカバーに突き合わせて螺合される接合部品２４１１と、前記ドアカバーに突き合わせて吸着される吸盤部品２４１２を備え、前記吸盤部品２４１２は、ポンプに連結される。

そのうち、本実施例における前記第２起動部品２４２は、前記接合部品２４１１に連結される連接棒２４２１と、前記連接棒２４２１を作動させるプッシュロッド装置２４２２を備え、前記プッシュロッド装置２４２２は、電気制御式、油圧式、または、気圧式であることができる。

そのうち、本実施例における前記スライド台２４５は、第１スライド台ユニット２４５１と、前記第１スライド台ユニット２４５１の下方に設けられることで前記第１スライド台ユニット２４５１をスライドさせることのできる第２スライド台ユニット２４５２を備えることで、二階段のスライドを備えるスライド台２４５が形成される。

そのうち、本実施例における前記第１スライド台ユニット２４５１は、第１スライド台プッシュロッド２４５１１と、前記第１スライド台プッシュロッド２４５１１に連結されるとともに前記ドアオープン台２４４に固設される第１スライドブロック２４５１２と、前記第１スライドブロック２４５１２を可動に設置できるようにする第１スライドレール２４５１３を備える。

そのうち、本実施例における前記第２スライド台ユニット２４５２は、前記第１スライドレール２４５１３に連結されるとともに前記第１スライドレール２４５１３をスライドさせることのできる第２スライドブロック２４５２１と、前記第２スライドブロック２４５２１を可動に設置できる第２スライドレール２４５２２と、前記第２スライドブロック２４５２２に固接されるとともに前記第２スライドブロック２４５２２を駆動させてスライドさせることのできる第２スライド台プッシュロッド２４５２３を備える。

そのうち、本実施例における前記ドア体２３は、モーターによって開閉することができる。

そのうち、本実施例における前記識別部品１２は、検出装置を例とする。

図１から図１９を併せて参照する。図１から図１９は、本考案の好ましい実施例における斜視図から手動式ウェハカセットの移動を示した図である。図を見て分かる通り、ウェハカセット３を保存装置２内に保存したい場合、以下のプロセスで行うことができる。

（Ａ）、まず、ウェハカセット３をウェハカセット載置台１内からプラットフォーム装置１１上に移動させ上から下に置く。この際、プラットフォーム位置決め部品１１１は、ウェハカセット３に插入且つ連結されるとともに、ウェハカセット３によって確実にプラットフォーム装置１１上に置かれたと判断される。この際、第１送入口２１のドア体２３は、開いた状態であり、識別部品１２も同時にウェハカセット３の種類またはタイプを判断するとともに、その情報が制御基板２７の保存モジュール２７１に送信され保存位置が記録される。このプロセスについては、図１及び図６を参照することができる。

（Ｂ）、ドア体２３が空いた状態の時に、プラットフォーム装置１１が作動し始める。この際、プラットフォームモーター１１３１も作動し始めることで、プラットフォームベルト１１３２が回転する。プラットフォームベルト１１３２は、プラットフォーム駆動部品１１３３を動かして同時に回転させる。さらに、プラットフォーム駆動部品１１３３はガイドボルトであるため、プラットフォーム駆動部品１１３３は、プラットフォーム１１４を動かしてレールユニット１１２から第１送入口２１の方向に移動させ保存装置２内に入れるとともに、第１送入口２１から保存装置２の内部における積載台２５の上方にまで移動させる。その後、昇降装置２６の第１起動部品２６２によって駆動部品２６１が回転させられ、それにより、駆動部品２６１は、積載台２５を動かして上方向に移動させて上昇させるとともに、積載台位置決め部品２５１をウェハカセット３に突き合わせて插入させる。さらに、積載台２５が引き続き上昇することで、ウェハカセット３は、プラットフォーム位置決め部品１１１から外れる、つまり、ウェハカセット３は、プラットフォーム１１４から離れる。その後、プラットフォーム１１４は、さらに第１送入口２１から退出するとともにドア体２３が閉められることで、第１送入口２１が閉鎖される。このプロセスについては、図７及び図１１を参照することができる。

（Ｃ）、ウェハカセット３から取り出すまたは後に続くプロセスを実行する場合、ドアオープン装置２４の第２スライド台プッシュロッド２４５２３がまず外側に押されることで、第２スライドブロック２４５２１が駆動されて第２スライドレール２４５２２上をスライドすると同時に、第１スライドレール２４５１３が動かされることで、第１スライドレール２４５１３、第１スライドブロック２４５１２、及び、第１スライド台プッシュロッド２４５１１が一斉にウェハカセット３の方向に移動する。この際、第２階段の移動が形成される、つまり、第１スライド台プッシュロッド２４５１１が作動するとともに第１スライドブロック２４５１２がウェハカセット３の方向にさらに押され、それにより、ドアオープン台２４４も共に押されるとともに、押される過程において、検出部品２４３によってドアオープン台２４４がドアカバー３１に接近していることが判断され、さらに、接合部品２４１１によってドアカバー３１が閉鎖される。この際、ポンプは吸盤部品２４１２から空気を取り込み始め、それにより、吸盤部品２４１２とドアカバー３１の間には、真空状態が形成されることで、ドアカバー３１とドアオープン台２４４は、しっかりと密着固定される。最後に、プッシュロッド装置２４２２が作動し押されるとともに連接棒２４２１を動かして接合部品２４１１を連動させることで、接合部品２４１１が作動し始める。簡単に言うと、ドアオープン台２４４は、第１スライド台ユニット２４５１と第２スライド台ユニット２４５２によってスライド台２４５上をスライド移動した後、ドアオープン突き合わせ部品２４１は、ドアカバー３１と相互に向かい合う。さらに、第２起動部品２４２によってドアオープン突き合わせ部品２４１が駆動されることで、ドアカバー３１が開けられる。このプロセスについては、図４、図５、図１２から図１４を参照することができる。

（Ｄ）、ドアカバーが完全に開けられると、第１起動部品２６２が駆動部品２６１を作動させることで、積載台２５が下降し始め、ウェハカセット３の開口部３２が第２送入口２２に対応する位置まで来ると停止する。このプロセスについては、図１５を参照することができる。

（Ｅ）、この時、外部システム４は、第２送入口２２からウェハカセット３内部のウェハ片をすぐに取り出すことができるまたは後に続く動作を実行することができる。このプロセスについては、図１６を参照することができる。

取り上げる価値がある点として、ドアオープン装置２４が異なる種類のウェハカセット３を開けることができる主な要因は以下の通りである。ウェハカセット３はタイプまたは種類が異なり、サイズが異なる場合もあるため、タイプまたは種類の違うウェハカセット３のドアカバー３１を開けようとする際、前記制御基板２７によって、前記保存モジュール２７１内から積載する前記ウェハカセット３の種類の情報が読み取られ、積載台２５に積載されるウェハカセット３がどのタイプまたはどの種類であるかが確認されるとともに、前記種類の情報に基づいて前記昇降装置２６の作動が制御される。それにより、前記積載台２５は、前記積載台２５の位置情報に基づいて、指定の位置まで移動するとともにドアカバー３１の位置が前記ドアオープン装置２４に完全に対応することで、前記ドアオープン装置２４が駆動されて前記ドアカバー３１が開けられる。言い換えると、サイズが異なることで、ウェハカセット３とドアオープン突き合わせ部品２４１の高さ及び位置も異なる。保存モジュール２７１は、前記ウェハカセット３の種類の情報を記録し、カバーを開けたいウェハカセット３のサイズが比較的小さい場合、制御基板２７が昇降装置２６を制御し、積載台２５の移動幅を高くしたり下げたりする。サイズが比較的大きいウェハカセット３の場合には、積載台２５は高さをさらに高くしたり低くしたりすることで（本実施例では、高くすることを例とする）、ドアオープン突き合わせ部品２４１がドアカバー３１と向き合い、それにより、本考案における異なる種類またはタイプのウェハカセット３を開けることができるという長所が達成されるとともに、一つづつドアを開ける技術的特徴が達成される。このプロセスについては、図１、図４、及び、図１７を参照する。同時に二つのウェハカセット３のドアカバー３１を開ける場合のドアオープンの動作は同上であり、開けるドアの数の違いのみであるため、贅言しない。

さらに、ウェハカセット３が手動ドアカバーのウェハカセット３である場合、使用者は、ウェハカセット３とプラットフォーム位置決め部品１１１が向き合う前に、手動でドアカバー３１を開けることができるとともに、識別部品１２によって、前記ウェハカセット３が手動式で開けられることが識別される。この識別情報は、保存モジュール２７１に送信されて記録された後に、プラットフォーム装置１１によってウェハカセット３が保存装置２内に移動される。その日のうちに前記ウェハカセット３を取り出したい場合、保存モジュール２７１はすでに事前に前記積載台２５上のウェハカセット３が手動式であることを記録しているため、積載台２５を第２送入口２２の方向に直接移動させるとともに、ドアオープン装置２４再び起動してドアを開けることはしない。このプロセスについては、図１、図３、図１８、及び、図１９を参照する。その他の動作は同上であるため、贅言しない。

図２０を参照する。図２０は、本考案の別の好ましい実施例における昇降装置を示した図である。図を見て分かる通り、本実施例の昇降装置２６が上述の実施例と異なる点として、本実施例の昇降装置２６では、もともとガイドボルトの形態をした駆動部品２６１をチェーン状のものに変更しているとともに、ギア２６３によって積載台２５を移動させている。詳しく述べると、駆動部品２６１の一端は、積載台２５と当設して固定されるとともに、駆動部品２６１は、複数のギア２６３と互いに噛み合い、各ギア２６３は、モーターである第１起動部品２６２によって駆動される。これにより、第１起動部品２６２が回転すると、ギア２６３も駆動されて回転し、それにより、駆動部品２６１も同時に作動する。さらに、積載台２５が駆動部品２６１に伴って上昇または下降する。従って、本考案の昇降装置２６は、全体構造に制限を設けず、チェーン式、ガイドボルト式、または、その他のタイプのいずれも本考案の保護範囲内に属することが分かる。

図２１を参照する。図２１は、本考案のさらに別の好ましい実施例におけるプラットフォーム装置を示した図である。図を見て分かる通り、本実施例のプラットフォーム駆動装置１１３が上述の実施例と異なる点として、もともとプラットフォーム駆動部品１１３３はガイドボルトの形態であるのに対し、本実施例のプラットフォーム駆動装置１１３では、プラットフォームラックに変更され、プラットフォームベルトは、プラットフォームギア１１３４に変更される。プラットフォームギア１１３４とプラットフォーム駆動部品１１３３は、相互に噛み合い、プラットフォームギア１１３４もプラットフォームモーター１１３１に接続される。これにより、プラットフォームモーター１１３１が作動してプラットフォームギア１１３４を駆動させると、プラットフォームギア１１３４は、プラットフォーム駆動部品上を噛合且つ移動し、それにより、プラットフォーム１１４は、レールユニット１１２の設置方向に沿って移動することで、プラットフォーム装置１１を横方向に移する目的が達成される。従って、本考案のプラットフォーム装置１１は、全体構造に制限を設けておらず、ガイドボルト式、ギアラック、または、その他のタイプのいずれも本考案の保護範囲内に属することが分かる。

従って、参照する全ての図に示す通り、本考案を使用した場合、従来技術と比べて、以下に挙げる長所が存在する。

第一、本考案の各ドアオープン装置２４は、いずれも単独で起動させることがで
き、単一のウェハカセット３のドアカバー３１が開けられることで、一つづつ独立して開けられるように設計され、その他のウェハカセット３が空気中にさらされるることがない。

第二、本考案は、複数の異なる種類または異なるタイプのウェハカセット３を保存することができる。そのうち、手動ドアのカバーウェハカセット３、自動ドアのカバーウェハカセット３、または、サイズの異なるウェハカセット３のいずれも保存することができる。これにより、本考案は、より多様性を備え、保存装置２には、さらに多くの種類のウェハカセット３を置くことができるという長所を備える。

第三、本考案は、手動ドアカバーのウェハカセット３を保存することができ、自動ドアカバーのウェハカセット３も保存することができる。識別部品１２は、制御基板２７及び保存モジュール２７１と疎通していることで、保存装置２は、ウェハカセット３のタイプまたは種類に基づいて、自動でドアカバー３１を開ける必要があるかどうかを自ら決定することができる。これにより、誤動作が生じない。

第四、ドア体２３の設計により、保存装置２内にダストが入りにくくすることができる。

第五、レールユニット１１２、プラットフォーム駆動装置１１３、及び、プラットフォーム１１４の設計により、本考案のプラットフォーム装置１１は、横方向に移動することができ、それにより、ウェハカセット３は、全自動化方式で保存動作を実行することができることで、全体的に動作が迅速であるとともに、正確且つ便利であるという長所を備えることができる。

第六、駆動部品２６１と第１起動部品２６２の設計により、昇降装置２６は全自動化式に設計され、それにより、ウェハカセット３は、保存装置２内に保存されるとともに、制御基板２７と保存モジュール２７１が組み合わされることでスマートコントロールの長所が達成される。

第七、ドアオープン突き合わせ部品２４１と第２起動部品２４２の設計により、また、制御基板２７と保存モジュール２７１が組み合わされることでスマートコントロールの長所が達成される。

第八、プラットフォーム位置決め部品１１１と積載台位置決め部品２５１の設計により、ウェハカセット３をプラットフォーム１１４または積載台２５に正確に設置することができるため、適当でない移動によりエラーが生じることがない。

１ ウェハカセット載置台
１１ プラットフォーム装置
１１１ プラットフォーム位置決め部品
１１２ レールユニット
１１３ プラットフォーム駆動装置
１１３１ プラットフォームモーター
１１３２ プラットフォームベルト
１１３３ プラットフォーム駆動部品
１１３４ プラットフォームギア
１１４ プラットフォーム
１２ 識別部品
２ 保存装置
２１ 第１送入口
２２ 第２送入口
２３ ドア体
２４ ドアオープン装置
２４１ ドアオープン突き合わせ部品
２４１１ 接合部品
２４１２ 吸盤部品
２４２ 第２起動部品
２４２１ 連接棒
２４２２ プッシュロッド装置
２４３ 検出部品
２４４ ドアオープン台
２４５ スライド台
２４５１ 第１スライド台ユニット
２４５１１ 第１スライド台プッシュロッド
２４５１２ 第１スライドブロック
２４５１３ 第１スライドレール
２４５２ 第２スライド台ユニット
２４５２１ 第２スライドブロック
２４５２２ 第２スライドレール
２４５２３ 第２スライド台プッシュロッド
２５ 積載台
２５１ 積載台位置決め部品
２６ 昇降装置
２６１ 駆動部品
２６２ 第１起動部品
２６３ ギア
２７ 制御基板
２７１ 保存モジュール
３ ウェハカセット
３１ ドアカバー
３２ 開口部
４ 外部システム

Claims (8)

1. ウェハカセット載置台と、保存装置と、複数のドアオープン装置と、複数の積載台と、昇降装置と、制御基板とからなるウェハカセット保存装置であって、
   前記ウェハカセット載置台内は、横方向に移動し且つウェハカセットを置くためのプラットフォーム装置を備えるとともに、前記ウェハカセットの種類を識別するための少なくとも１つの識別部品が設けられ、
   前記保存装置は、前記ウェハカセット載置台の一側に設けられ、前記保存装置の一側面は、前記プラットフォーム装置を入れるための第１送入口を備え、前記保存装置の他側面は第２送入口を備えるとともに、前記第１送入口にはドア体が設けられ、
   前記複数のドアオープン装置は、前記保存装置上に設けられるとともに、前記第２送入口と同一側面に位置し、さらに、各前記ドアオープン装置は、いずれも独立して作動することで、前記ウェハカセットのドアカバーを開け、
   複数の積載台は、前記保存装置内に設けられ、各前記積載台には、前記ウェハカセットがそれぞれ置かれるとともに、各前記ウェハカセットは、異なる種類のウェハカセットであり、
   前記昇降装置は、各前記積載台と連結されることで、各前記積載台を垂直に移動させ、
   前記制御基板は、前記保存装置上に設けられるとともに、保存モジュールを備え、それにより、各前記識別部品は、識別された前記ウェハカセットの種類の情報を前記保存モジュールに送信して保存し、前記ウェハカセットが前記積載台に移動されると、前記保存モジュールによって前記ウェハカセットが保存された積載台の位置情報が記録されることで、前記昇降装置が後に続く動作を実行することを特徴とする、ウェハカセット保存装置。
2. 前記ウェハカセットの種類は、手動ドアカバーのウェハカセット、自動ドアカバーのウェハカセット、または、サイズの異なるウェハカセットのうちのいずれかであることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。
3. 前記ウェハカセットの種類は、サイズの異なるウェハカセットであるとともに、前記ウェハカセットに設けられるドアカバーを開ける必要がある場合、前記保存モジュール内の前記ウェハカセットの種類の情報が前記制御基板によって読み取られるとともに、前記種類の情報に基づいて、前記昇降装置の動作が制御され、それにより、前記積載台は、前記積載台の位置情報に基づいて、指定された位置まで移動するとともに、ドアカバーの位置が前記ドアオープン装置に完全に対応することで、前記ドアオープン装置が駆動されて前記ドアカバーが開けられることを特徴とする、請求項２に記載のウェハカセット保存装置。
4. 前記プラットフォーム装置は、レールユニットと、前記レールユニットの一側に設けられるプラットフォーム駆動装置と、前記レールユニットに可動に設けられるとともに、前記プラットフォーム駆動装置によって動かされ前記レールユニット上を水平に往復移動するプラットフォームを備え、前記プラットフォームには、前記識別部品が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。
5. 前記昇降装置は、各前記積載台と相互に接合する駆動部品と、前記駆動部品と連結されることで前記駆動部品を作動させる第１起動部品を備えることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。
6. 前記ドアオープン装置は、前記ドアカバーと向かい合って固定されたドアオープン突き合わせ部品と、前記ドアオープン突き合わせ部品に連結されることで前記ドアオープン突き合わせ部品を駆動させてドアを開ける第２起動部品を備えることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。
7. 前記プラットフォーム装置には、複数のプラットフォーム位置決め部品が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。
8. 前記積載台には、複数の積載台位置決め部品が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェハカセット保存装置。

Images