JP3243738B2 - 電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤 - Google Patents
電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は特に、電子顕微鏡薄片試
料作製用接着剤に関する。詳細には、本発明の接着剤
は、低粘度液状ベースレジンなどからなる主剤と液状硬
化剤を所定量混合する２液混合タイプの低粘度の接着剤
であり、かくはん混合し易く、その硬化物は各種の被着
材料との密着性が良好で、かつ、１０００Å以下の極め
て薄く固い接着層を実現できるので、機械的研磨がやり
易く、耐イオンミリング性、耐熱性に優れた液状の電子
顕微鏡薄片試料作製用接着剤に関する。
料作製用接着剤に関する。詳細には、本発明の接着剤
は、低粘度液状ベースレジンなどからなる主剤と液状硬
化剤を所定量混合する２液混合タイプの低粘度の接着剤
であり、かくはん混合し易く、その硬化物は各種の被着
材料との密着性が良好で、かつ、１０００Å以下の極め
て薄く固い接着層を実現できるので、機械的研磨がやり
易く、耐イオンミリング性、耐熱性に優れた液状の電子
顕微鏡薄片試料作製用接着剤に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤
は、一部の電子顕微鏡観察試験材料（被着材料）、例え
ば金属（コバルト、クロム、ステンレスなど）、セラミ
ックなどとの密着性が悪く、機械的研磨時やイオンミリ
ング時に接着剤層のはく離が生じ、観察試料ができにく
かった。また、もろくて固い顕微鏡観察試験材料、例え
ば、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＺｎＳｅ等の半導体材料、Ｌｉ
ＮｂＯ3 などの光材料、超伝導材料などの顕微鏡試料作
製において、従来の顕微鏡薄片作製用接着剤を用いる
と、１０００Å以下の薄くて固い接着層を実現するに
は、極めて高度な技術を要するという欠点があった。接
着層が１０００Åを超えると、イオンミリング時に接着
剤層のはく離が生じ易い。なお、接着層を１０００Å以
下にすべく、高圧をかけて強引に積層・加圧すると、試
料破壊が起こる。また、耐熱性に劣る接着剤は、イオン
ミリング時に顕微鏡観察試験材料よりも接着剤層が余分
に削れてしまい、接着剤層のはく離が生じるという欠点
を有していた。また、接着剤の硬化温度が顕微鏡観察試
料の変質温度（例えば再結晶温度やドーピング材料等の
拡散温度）を越えることは問題であり、硬化温度は１５
０℃以下が望ましいが、低温硬化の接着剤は一般に耐熱
性が劣り、イオンミリング時に接着剤層が余分に削れて
しまい、接着剤層のはく離が生じるという欠点がある。
また、固体の樹脂や硬化剤は、その混合に時間がかかり
取扱い難いという欠点があった。このため、１５０℃以
下の比較的低温で硬化でき、各種の顕微鏡観察試験材料
との密着性が良好で、その硬化物は機械的研磨ができる
程度に固く、耐イオンミリング性、耐熱性に優れた液状
の２液混合型接着剤組成物及びその接着剤を用いた顕微
鏡薄片作製方法の実現が期待されている。
は、一部の電子顕微鏡観察試験材料（被着材料）、例え
ば金属（コバルト、クロム、ステンレスなど）、セラミ
ックなどとの密着性が悪く、機械的研磨時やイオンミリ
ング時に接着剤層のはく離が生じ、観察試料ができにく
かった。また、もろくて固い顕微鏡観察試験材料、例え
ば、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＺｎＳｅ等の半導体材料、Ｌｉ
ＮｂＯ3 などの光材料、超伝導材料などの顕微鏡試料作
製において、従来の顕微鏡薄片作製用接着剤を用いる
と、１０００Å以下の薄くて固い接着層を実現するに
は、極めて高度な技術を要するという欠点があった。接
着層が１０００Åを超えると、イオンミリング時に接着
剤層のはく離が生じ易い。なお、接着層を１０００Å以
下にすべく、高圧をかけて強引に積層・加圧すると、試
料破壊が起こる。また、耐熱性に劣る接着剤は、イオン
ミリング時に顕微鏡観察試験材料よりも接着剤層が余分
に削れてしまい、接着剤層のはく離が生じるという欠点
を有していた。また、接着剤の硬化温度が顕微鏡観察試
料の変質温度（例えば再結晶温度やドーピング材料等の
拡散温度）を越えることは問題であり、硬化温度は１５
０℃以下が望ましいが、低温硬化の接着剤は一般に耐熱
性が劣り、イオンミリング時に接着剤層が余分に削れて
しまい、接着剤層のはく離が生じるという欠点がある。
また、固体の樹脂や硬化剤は、その混合に時間がかかり
取扱い難いという欠点があった。このため、１５０℃以
下の比較的低温で硬化でき、各種の顕微鏡観察試験材料
との密着性が良好で、その硬化物は機械的研磨ができる
程度に固く、耐イオンミリング性、耐熱性に優れた液状
の２液混合型接着剤組成物及びその接着剤を用いた顕微
鏡薄片作製方法の実現が期待されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
現状にかんがみてなされたものであり、その目的は１５
０℃以下の比較的低温で硬化でき、各種の被着材料との
密着性が良好で、かつ、１０００Å以下の極めて薄く固
い接着層を実現でき、機械的研磨がやり易く、耐イオン
ミリング性、耐熱性が良好で、優れた顕微鏡薄片試料を
実現できる液状の２液混合型接着剤を提供することにあ
る。
現状にかんがみてなされたものであり、その目的は１５
０℃以下の比較的低温で硬化でき、各種の被着材料との
密着性が良好で、かつ、１０００Å以下の極めて薄く固
い接着層を実現でき、機械的研磨がやり易く、耐イオン
ミリング性、耐熱性が良好で、優れた顕微鏡薄片試料を
実現できる液状の２液混合型接着剤を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明を概説すれば、本
発明は電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤に関する発明で
あって、脂環脂肪族系エポキシ、ナフタレン型ジグリシ
ジルエーテル系エポキシの少なくとも１種からなるＡ液
と、液体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液からなる、
Ａ液Ｂ液の２液混合型の接着剤組成物において、前記液
体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液が、液体状酸無
水物、液体状イミダゾール類、マレイミド類を含有
してなる液体状酸無水物、あるいは炭酸プロピレン、
液体状酸無水物及びシランカップリング剤よりなる群か
ら選択した少なくとも１種の液体中に、ルイス酸−アミ
ン錯体及び／又は固体状イミダゾール類を溶解含有して
なる液体状物質、なる〜の中から選ばれた物質であ
ることを特徴とする。
発明は電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤に関する発明で
あって、脂環脂肪族系エポキシ、ナフタレン型ジグリシ
ジルエーテル系エポキシの少なくとも１種からなるＡ液
と、液体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液からなる、
Ａ液Ｂ液の２液混合型の接着剤組成物において、前記液
体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液が、液体状酸無
水物、液体状イミダゾール類、マレイミド類を含有
してなる液体状酸無水物、あるいは炭酸プロピレン、
液体状酸無水物及びシランカップリング剤よりなる群か
ら選択した少なくとも１種の液体中に、ルイス酸−アミ
ン錯体及び／又は固体状イミダゾール類を溶解含有して
なる液体状物質、なる〜の中から選ばれた物質であ
ることを特徴とする。
【０００５】前記接着剤を用いて、１５０℃以下の温度
で、顕微鏡観察用試料を積層、加圧接着した後、積層試
料を積層面に直角に切断し、その面を砥粒研磨後、ディ
ンプリング、イオンエッチングして観察試料面の接着剤
厚さを１０００Å以下にすることができる。ここで、混
合粘度が１０００cps を越える接着剤を用いると、試料
を積層、加圧接着する際に液状接着剤が流れ難く、接着
剤厚さが１０００Åを越えてしまうため、良好な顕微鏡
観察用試料ができないことがあり、好ましくない。
で、顕微鏡観察用試料を積層、加圧接着した後、積層試
料を積層面に直角に切断し、その面を砥粒研磨後、ディ
ンプリング、イオンエッチングして観察試料面の接着剤
厚さを１０００Å以下にすることができる。ここで、混
合粘度が１０００cps を越える接着剤を用いると、試料
を積層、加圧接着する際に液状接着剤が流れ難く、接着
剤厚さが１０００Åを越えてしまうため、良好な顕微鏡
観察用試料ができないことがあり、好ましくない。
【０００６】本発明の脂環脂肪族系エポキシとしては、
シクロヘキセンオキシド基やトリシクロデセンオキシド
基やシクロペンテンオキシド基を有する各種の脂環脂肪
族系エポキシを使用することができる。
シクロヘキセンオキシド基やトリシクロデセンオキシド
基やシクロペンテンオキシド基を有する各種の脂環脂肪
族系エポキシを使用することができる。
【０００７】本発明の液体状酸無水物系硬化剤として
は、例えばメチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエ
ンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸（例えば、無水
メチルハイミック酸、無水メチルナジック酸）、メチル
ブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒド
ロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸等の酸無水物
系硬化剤を使用することができる。
は、例えばメチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエ
ンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸（例えば、無水
メチルハイミック酸、無水メチルナジック酸）、メチル
ブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒド
ロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸等の酸無水物
系硬化剤を使用することができる。
【０００８】また、本発明のイミダゾール類としては、
２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミ
ダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデ
シルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、１−ベ
ンジル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−
２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチ
ル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−
ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウン
デシルイミダゾリウムトリメリテート、１−シアノエチ
ル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、２−
メチルイミダゾリウムイソシアヌレート、２−フェニル
イミダゾリウムイソシアヌレート、２，４−ジアミノ−
６−〔２−メチルイミダゾリル−（１）〕−エチル−ｓ
−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２−エチル−
４−メチルイミダゾリル−（１）〕−エチル−ｓ−トリ
アジン等のイミダゾール類を使用することができる。
２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミ
ダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデ
シルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、１−ベ
ンジル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−
２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチ
ル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−
ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウン
デシルイミダゾリウムトリメリテート、１−シアノエチ
ル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、２−
メチルイミダゾリウムイソシアヌレート、２−フェニル
イミダゾリウムイソシアヌレート、２，４−ジアミノ−
６−〔２−メチルイミダゾリル−（１）〕−エチル−ｓ
−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２−エチル−
４−メチルイミダゾリル−（１）〕−エチル−ｓ−トリ
アジン等のイミダゾール類を使用することができる。
【０００９】また、本発明のルイス酸−アミン錯体とし
ては、ＢＦ3 −ｎ−ヘキシルアミン、ＢＦ3 −モノエチ
ルアミン、ＢＦ3 −ベンジルアミン、ＢＦ3 −ジエチル
アミン、ＢＦ3 −ピペリジン、ＢＦ3 −トリエチルアミ
ン、ＢＦ3 −アニリン、ＢＦ4 −ｎ−ヘキシルアミン、
ＢＦ4 −モノエチルアミン、ＢＦ4 −ベンジルアミン、
ＢＦ4 −ジエチルアミン、ＢＦ4 −ピペリジン、ＢＦ4
−トリエチルアミン、ＢＦ4 −アニリン、ＰＦ5 −エチ
ルアミン、ＰＦ5 −イソプロピルアミン、ＰＦ5 −ブチ
ルアミン、ＰＦ5 −ラウリルアミン、ＰＦ5 −ベンジル
アミン、Ａ3 Ｆ5 −ラウリルアミン等を使用することが
できる。
ては、ＢＦ3 −ｎ−ヘキシルアミン、ＢＦ3 −モノエチ
ルアミン、ＢＦ3 −ベンジルアミン、ＢＦ3 −ジエチル
アミン、ＢＦ3 −ピペリジン、ＢＦ3 −トリエチルアミ
ン、ＢＦ3 −アニリン、ＢＦ4 −ｎ−ヘキシルアミン、
ＢＦ4 −モノエチルアミン、ＢＦ4 −ベンジルアミン、
ＢＦ4 −ジエチルアミン、ＢＦ4 −ピペリジン、ＢＦ4
−トリエチルアミン、ＢＦ4 −アニリン、ＰＦ5 −エチ
ルアミン、ＰＦ5 −イソプロピルアミン、ＰＦ5 −ブチ
ルアミン、ＰＦ5 −ラウリルアミン、ＰＦ5 −ベンジル
アミン、Ａ3 Ｆ5 −ラウリルアミン等を使用することが
できる。
【００１０】なお、これらの硬化剤は単独で用いてもよ
いし、これらの混合物として用いてもよい。そして、硬
化促進剤として第３級アミン、ホウ酸エステル、ルイス
酸、有機金属化合物、有機酸金属塩、イミダゾール等を
用いてもよい。
いし、これらの混合物として用いてもよい。そして、硬
化促進剤として第３級アミン、ホウ酸エステル、ルイス
酸、有機金属化合物、有機酸金属塩、イミダゾール等を
用いてもよい。
【００１１】更に、機械研磨時の耐水性を確保するため
に、本発明のエポキシＡ液にシランカップリング剤を添
加できる。そのシランカップリング剤あるいはエポキシ
樹脂硬化剤Ｂ液で使用するシランカップリング剤として
は、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−
（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−β−
（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（Ｎ−
ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルト
リメトキシシラン塩酸塩、メチルトリメトキシシラン、
メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメ
チルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリメトキシシラン、オクタデシルジメチ
ル〔３−（トリメトキシシリル）プロピル〕アンモニウ
ムクロリド、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、
メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、ト
リメチルクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ベ
ンジルトリメチルシラン、ビニルトリス（２−メトキシ
エトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリス
（２−メトキシエトキシ）シラン、β−（３，４−エポ
キシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−
ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアヌ
ルプロピルトリエトキシシラン、ｎ−オクチルトリエト
キシシランなどを使用することができる。
に、本発明のエポキシＡ液にシランカップリング剤を添
加できる。そのシランカップリング剤あるいはエポキシ
樹脂硬化剤Ｂ液で使用するシランカップリング剤として
は、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−
（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−β−
（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（Ｎ−
ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルト
リメトキシシラン塩酸塩、メチルトリメトキシシラン、
メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメ
チルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリメトキシシラン、オクタデシルジメチ
ル〔３−（トリメトキシシリル）プロピル〕アンモニウ
ムクロリド、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、
メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、ト
リメチルクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ベ
ンジルトリメチルシラン、ビニルトリス（２−メトキシ
エトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリス
（２−メトキシエトキシ）シラン、β−（３，４−エポ
キシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−
ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアヌ
ルプロピルトリエトキシシラン、ｎ−オクチルトリエト
キシシランなどを使用することができる。
【００１２】本発明のベースレジンとして、低粘度のエ
ポキシ、例えばグリシジルエーテル系反応性希釈剤、ビ
ニルシクロヘキセン系エポキシド等も使用することがで
きる。
ポキシ、例えばグリシジルエーテル系反応性希釈剤、ビ
ニルシクロヘキセン系エポキシド等も使用することがで
きる。
【００１３】本発明のマレイミド類としては、例えば三
菱油化（株）製のＭＰ２０００やＭＢ−７０００（商品
名）などを使用することができる。
菱油化（株）製のＭＰ２０００やＭＢ−７０００（商品
名）などを使用することができる。
【００１４】
【実施例】本発明を実施例によって具体的に説明する
が、本発明はこれらの実施例によって限定されるもので
はない。
が、本発明はこれらの実施例によって限定されるもので
はない。
【００１５】実施例１ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部、γ−メタクリロキシプロピ
ルトリメトキシシラン １重量部、及び無水メチルナジ
ック酸硬化剤 １００重量部、１−ベンジル−２−メチ
ルイミダゾール１重量部からなる接着剤を用いて、顕微
鏡試料の作製を行った。その作製方法は下記の通り。 液体接着剤を顕微鏡試料（ＧａＡｓ）の面に薄くぬ
る。Ｓｉダミーウェハーを重ね合せて、１０7 dyne／
cm2 程度の荷重をかけ圧着しながら、加熱硬化させる。
加熱硬化条件は、１２０℃で１時間（流動させ、接着剤
層を更に薄くするため）後、１５０℃、２時間加熱する
（図１の工程１参照）、徐冷後、積層試料を切り出す
（図１の工程２参照）。砥粒研磨（図１の工程３参
照）、円形切断（図２の工程４参照）、ディンプリン
グ（図２の工程５参照）後、イオンエッチング（イオン
ミリング）（図２の工程６参照）して、顕微鏡薄片試料
を作製する。接着剤層の厚さ５００Å程度の良好な顕微
鏡薄片試料を作製できた。
ＵＣＣ社製）１００重量部、γ−メタクリロキシプロピ
ルトリメトキシシラン １重量部、及び無水メチルナジ
ック酸硬化剤 １００重量部、１−ベンジル−２−メチ
ルイミダゾール１重量部からなる接着剤を用いて、顕微
鏡試料の作製を行った。その作製方法は下記の通り。 液体接着剤を顕微鏡試料（ＧａＡｓ）の面に薄くぬ
る。Ｓｉダミーウェハーを重ね合せて、１０7 dyne／
cm2 程度の荷重をかけ圧着しながら、加熱硬化させる。
加熱硬化条件は、１２０℃で１時間（流動させ、接着剤
層を更に薄くするため）後、１５０℃、２時間加熱する
（図１の工程１参照）、徐冷後、積層試料を切り出す
（図１の工程２参照）。砥粒研磨（図１の工程３参
照）、円形切断（図２の工程４参照）、ディンプリン
グ（図２の工程５参照）後、イオンエッチング（イオン
ミリング）（図２の工程６参照）して、顕微鏡薄片試料
を作製する。接着剤層の厚さ５００Å程度の良好な顕微
鏡薄片試料を作製できた。
【００１６】実施例２ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２３４、
ＵＣＣ社製）１００重量部、脂環エポキシ（商品名、Ｅ
ＲＬ４２０６、ＵＣＣ社製） １０重量部、γ−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン １重量部、及び
無水メチルナジック酸硬化剤 １００重量部、ベンジル
ジメチルアミン １重量部からなる接着剤を用いて、実
施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料（ＬｉＮｂＯ3 ）
の作製を行った。接着剤層の厚さ５００Å程度の良好な
顕微鏡薄片試料を作製できた。
ＵＣＣ社製）１００重量部、脂環エポキシ（商品名、Ｅ
ＲＬ４２０６、ＵＣＣ社製） １０重量部、γ−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン １重量部、及び
無水メチルナジック酸硬化剤 １００重量部、ベンジル
ジメチルアミン １重量部からなる接着剤を用いて、実
施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料（ＬｉＮｂＯ3 ）
の作製を行った。接着剤層の厚さ５００Å程度の良好な
顕微鏡薄片試料を作製できた。
【００１７】実施例３ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部、及び固形のＢＦ3 −モノエ
チルアミン ３重量部をγ−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン ３重量部に溶かした液状硬化剤から
なる接着剤を用いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡試
料の作製を行った。接着剤層の厚さ７００Å程度の良好
な顕微鏡薄片試料が作製できた。
ＵＣＣ社製）１００重量部、及び固形のＢＦ3 −モノエ
チルアミン ３重量部をγ−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン ３重量部に溶かした液状硬化剤から
なる接着剤を用いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡試
料の作製を行った。接着剤層の厚さ７００Å程度の良好
な顕微鏡薄片試料が作製できた。
【００１８】実施例４ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部及び固形のＢＦ3 −モノエチ
ルアミン ３重量部を炭酸プロピレン １．５重量部に
溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用いて、実施例１
と同様な方法で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層の
厚さ５００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
ＵＣＣ社製）１００重量部及び固形のＢＦ3 −モノエチ
ルアミン ３重量部を炭酸プロピレン １．５重量部に
溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用いて、実施例１
と同様な方法で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層の
厚さ５００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
【００１９】実施例５ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部、及び固形のＢＦ3 −モノエ
チルアミン ３重量部を無水メチルナジック酸３重量部
に溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用いて、実施例
１と同様な方法で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層
の厚さ５００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
ＵＣＣ社製）１００重量部、及び固形のＢＦ3 −モノエ
チルアミン ３重量部を無水メチルナジック酸３重量部
に溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用いて、実施例
１と同様な方法で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層
の厚さ５００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
【００２０】実施例６ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部、γ−メタクリロキシプロピ
ルトリメトキシシラン １重量部及びマレイミド ３０
重量部〔三菱油化（株）のＭＰ２０００／ＭＢ７０００
＝３／７、重量比〕、及び無水メチルナジック酸硬化剤
１００重量部、１−ベンジル−２−メチルイミダゾー
ル １重量部からなる接着剤を用いて実施例１と同様な
方法で、顕微鏡薄片試料の作製を行った。接着剤層の厚
さ１０００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
ＵＣＣ社製）１００重量部、γ−メタクリロキシプロピ
ルトリメトキシシラン １重量部及びマレイミド ３０
重量部〔三菱油化（株）のＭＰ２０００／ＭＢ７０００
＝３／７、重量比〕、及び無水メチルナジック酸硬化剤
１００重量部、１−ベンジル−２−メチルイミダゾー
ル １重量部からなる接着剤を用いて実施例１と同様な
方法で、顕微鏡薄片試料の作製を行った。接着剤層の厚
さ１０００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製でき
た。
【００２１】実施例７ 液状の４官能性エポキシ樹脂〔商品名、テトラッド−
Ｘ、三菱瓦斯化学（株）製〕ベースレジン １００重量
部、脂環エポキシ（商品名、ＥＲＬ４２０６、ＵＣＣ社
製）１００重量部、と無水メチルナジック酸硬化剤 １
５０重量部、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール
１重量部からなる接着剤を用いて、実施例１と同様な方
法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。接着剤層の厚さ７
００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製できた。
Ｘ、三菱瓦斯化学（株）製〕ベースレジン １００重量
部、脂環エポキシ（商品名、ＥＲＬ４２０６、ＵＣＣ社
製）１００重量部、と無水メチルナジック酸硬化剤 １
５０重量部、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール
１重量部からなる接着剤を用いて、実施例１と同様な方
法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。接着剤層の厚さ７
００Å程度の良好な顕微鏡薄片試料が作製できた。
【００２２】実施例８ １，６−ジヒドロキシナフタレンのジグリシジエーテル
〔商品名、ＥＰＩＣＬＯＮ ＨＰ−４０３２Ｄ、大日本
インキ工業（株）製〕１００重量部、脂環エポキシ（商
品名、ＥＲＬ４２０６、ＵＣＣ社製） ３０重量部、Ｂ
Ｆ3 −モノエチルアミン ３重量部を炭酸プロピレン
１．５重量部に溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用
いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を
行った。接着剤層の厚さ１０００Å程度の良好な顕微鏡
薄片試料が作製できた。
〔商品名、ＥＰＩＣＬＯＮ ＨＰ−４０３２Ｄ、大日本
インキ工業（株）製〕１００重量部、脂環エポキシ（商
品名、ＥＲＬ４２０６、ＵＣＣ社製） ３０重量部、Ｂ
Ｆ3 −モノエチルアミン ３重量部を炭酸プロピレン
１．５重量部に溶かした液状硬化剤からなる接着剤を用
いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を
行った。接着剤層の厚さ１０００Å程度の良好な顕微鏡
薄片試料が作製できた。
【００２３】比較例１ ビスフェノールＡ系エポキシ〔商品名、エピコート８２
８、油化シェル化学（株）製〕１００重量部、及びヘキ
サヒドロ無水フタル酸硬化剤 １００重量部、１−ベン
ジル−２−メチルイミダゾール １重量部からなる接着
剤を用いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の
作製を行った。イオンミリング時に接着剤層が大きく削
られ、接着剤がはく離した。
８、油化シェル化学（株）製〕１００重量部、及びヘキ
サヒドロ無水フタル酸硬化剤 １００重量部、１−ベン
ジル−２−メチルイミダゾール １重量部からなる接着
剤を用いて、実施例１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の
作製を行った。イオンミリング時に接着剤層が大きく削
られ、接着剤がはく離した。
【００２４】比較例２ ビスフェノールＡ系エポキシ〔商品名、エピコート８２
８、油化シェル化学（株）製〕１００重量部、及び無水
メチルナジック酸硬化剤 １００重量部、ベンジルジメ
チルアミン １重量部からなる接着剤を用いて実施例１
と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。イオン
ミリング時に接着剤層が大きく削られ、接着剤がはく離
した。
８、油化シェル化学（株）製〕１００重量部、及び無水
メチルナジック酸硬化剤 １００重量部、ベンジルジメ
チルアミン １重量部からなる接着剤を用いて実施例１
と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。イオン
ミリング時に接着剤層が大きく削られ、接着剤がはく離
した。
【００２５】比較例３ 脂環エポキシベースレジン（商品名、ＥＲＬ４２２１、
ＵＣＣ社製）１００重量部、及びトリエチレンテトラミ
ン硬化剤 １２重量部からなる接着剤を用いて、実施例
１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。機械
的研磨時に接着剤がはく離した。
ＵＣＣ社製）１００重量部、及びトリエチレンテトラミ
ン硬化剤 １２重量部からなる接着剤を用いて、実施例
１と同様な方法で顕微鏡薄片試料の作製を行った。機械
的研磨時に接着剤がはく離した。
【００２６】比較例４ 市販の研磨薄片作製用接着剤（エポキシ樹脂マウント
剤、商品名、ペトロポキシ１５４、米国パルース・ペト
ロ・プロダクツ社製）を用いて、実施例１と同様な方法
で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層の厚さ１０００
Åを越えることが多く、良好な顕微鏡薄片試料の作製が
困難であった。極めて歩留りが悪い。
剤、商品名、ペトロポキシ１５４、米国パルース・ペト
ロ・プロダクツ社製）を用いて、実施例１と同様な方法
で顕微鏡試料の作製を行った。接着剤層の厚さ１０００
Åを越えることが多く、良好な顕微鏡薄片試料の作製が
困難であった。極めて歩留りが悪い。
【００２７】実施例１〜８及び比較例１〜４で作製した
薄片試料を顕微鏡観察した結果、実施例の薄片試料は、
接着剤層厚みが小さく１０００Å以下の良好な薄片試料
ができることを確認した。比較例では、密着強度が小さ
い、接着剤層厚みが大きい、接着剤層の耐イオンミリン
グ性や耐熱性が劣るなどの理由により、機械加工研磨時
やイオンミリング時に、接着界面がはく離してしまっ
た。
薄片試料を顕微鏡観察した結果、実施例の薄片試料は、
接着剤層厚みが小さく１０００Å以下の良好な薄片試料
ができることを確認した。比較例では、密着強度が小さ
い、接着剤層厚みが大きい、接着剤層の耐イオンミリン
グ性や耐熱性が劣るなどの理由により、機械加工研磨時
やイオンミリング時に、接着界面がはく離してしまっ
た。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
２液型の接着剤は、低粘度でかくはん混合し易く、その
硬化物は各種の被着材料との密着性が良好で、かつ、１
０００Å以下の極めて薄く固い接着層を実現できるの
で、機械的研磨がやり易く、耐イオンミリング性、耐熱
性に優れるという特徴を有しており、また、その接着剤
を用いた本発明の薄片試料作製方法は、顕微鏡薄片を容
易に、歩留り良く作製できるという利点がある。
２液型の接着剤は、低粘度でかくはん混合し易く、その
硬化物は各種の被着材料との密着性が良好で、かつ、１
０００Å以下の極めて薄く固い接着層を実現できるの
で、機械的研磨がやり易く、耐イオンミリング性、耐熱
性に優れるという特徴を有しており、また、その接着剤
を用いた本発明の薄片試料作製方法は、顕微鏡薄片を容
易に、歩留り良く作製できるという利点がある。
【図１】本発明の接着剤を用いて電子顕微鏡薄片試料を
作製する方法の１例における工程の前半部分を示す工程
図である。
作製する方法の１例における工程の前半部分を示す工程
図である。
【図２】図１における工程の後半部分を示す工程図であ
る。
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−145675（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−88684（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−185381（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−145674（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−189806（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−47877（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−339883（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−68899（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−231024（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−124784（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−117571（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C09J 163/00 - 163/10 H01J 37/20 G01N 1/28
Claims (1)
- 【請求項１】 脂環脂肪族系エポキシ、ナフタレン型ジ
グリシジルエーテル系エポキシの少なくとも１種からな
るＡ液と、液体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液から
なる、Ａ液Ｂ液の２液混合型の接着剤組成物において、
前記液体状のエポキシ樹脂硬化剤であるＢ液が、液体
状酸無水物、液体状イミダゾール類、マレイミド類
を含有してなる液体状酸無水物、あるいは炭酸プロピ
レン、液体状酸無水物及びシランカップリング剤よりな
る群から選択した少なくとも１種の液体中に、ルイス酸
−アミン錯体及び／又は固体状イミダゾール類を溶解含
有してなる液体状物質、なる〜の中から選ばれた物
質であることを特徴とする電子顕微鏡薄片試料作製用接
着剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25632193A JP3243738B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25632193A JP3243738B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0790240A JPH0790240A (ja) | 1995-04-04 |
| JP3243738B2 true JP3243738B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=17291051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25632193A Expired - Fee Related JP3243738B2 (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 電子顕微鏡薄片試料作製用接着剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243738B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10227761A1 (de) * | 2002-06-21 | 2004-01-15 | Rjl Micro & Analytic Gmbh | Verfahren und Mittel zur Fixierung von Partikeln an einem Filtermedium |
| US6882058B2 (en) * | 2002-11-05 | 2005-04-19 | Henkel Corporation | Organic acid containing compositions and methods for use thereof |
| CN100355851C (zh) * | 2004-05-27 | 2007-12-19 | 哈尔滨工程大学 | 环氧树脂灌封胶 |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP25632193A patent/JP3243738B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0790240A (ja) | 1995-04-04 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |