JP3238970B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents

半導体レーザ装置

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JP3238970B2
JP3238970B2 JP2127793A JP2127793A JP3238970B2 JP 3238970 B2 JP3238970 B2 JP 3238970B2 JP 2127793 A JP2127793 A JP 2127793A JP 2127793 A JP2127793 A JP 2127793A JP 3238970 B2 JP3238970 B2 JP 3238970B2
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  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は取扱い易い半導体レーザ
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年半導体レーザ装置の改良が数多くな
されているが、その中で例えば本出願人が特願平4−1
32513号にて出願した半導体レーザ装置を図10に
示す。この図に於て、リード41上に受光素子42が載
置され、その前方のリード41上に半導体レーザ素子4
3が載置されている。絶縁枠44がリード41の周辺に
形成されている。そして受光素子42と他のリード45
との間に、及び半導体レーザ素子43と他のリード46
との間に金属細線が配線されている。そしてこの装置で
は通常、出射光との関係位置の精度を必要とする回折格
子やハーフミラーや対物レンズ等の光学部品47が半導
体レーザ素子43の出射方向に接続されている。そのた
めに光学部品47が回路基板48上に固定され、半導体
レーザ装置のリード41と他のリード45、46が回路
基板48上に半田付けされている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかして、上述の半導
体レーザ装置に於ては、リード41、他のリード45、
46が光学部品47に近接しているので、これらのリー
ド41、45、46と回路基板48との半田付けが困難
である。さらに半田付けする時に半導体レーザ装置が位
置ずれし易いので、出射光と光学部品の関係位置が正確
に保持されない。故に本発明は上述の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、リードと回路基板との電気的接続がし
易くかつ位置ずれしにくい半導体レーザ装置を提供する
ものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体レーザ装
置は、請求項1に記載のように、リードと、そのリード
上に載置された受光素子と、その受光素子上に又はその
受光素子の前方の前記リード上に載置されかつ前方に出
射面を有する半導体レーザ素子と、その半導体レーザ素
子の出射面を露出する様に前記リードの周辺に形成され
た絶縁枠とを具備し、前記リードが前記半導体レーザ素
子の出射方向と逆に延びる端子部を有するとともに、前
記絶縁枠の側方に前記リードの側部が位置する半導体レ
ーザ装置であって、前記リードの側部は前記絶縁枠の前
部から後部に至る長さを有している事を特徴とする。
【0005】本発明の半導体レーザ装置は、請求項2に
記載のように、主リードと、その主リード上に載置され
た受光素子と、その受光素子上に又はその受光素子の前
方の前記主リード上に載置されかつ前方に出射面を有す
る半導体レーザ素子と、その半導体レーザ素子の出射面
を露出する様に前記リードの周辺に形成された絶縁枠と
を具備し、前記主リードが前記半導体レーザ素子の出射
方向と逆に延びる端子部を有するとともに、前記絶縁枠
の側方に前記主リードの側部が位置する半導体レーザ装
置であって、前記主リードの端子部近傍に別の副リード
を配置し、前記主リードの側部の後縁は前記副リードの
前縁よりも後方に位置している事を特徴とする。
【0006】本発明の半導体レーザ装置は、請求項3に
記載のように、半導体レーザ素子と、矩形部と切欠部と
端子部を有して前記矩形部に前記半導体レーザ素子を配
置した主リードと、前記切欠部にその一部が配置された
副リードと、前記主リードと前記副リードの表裏を挟む
ように形成した絶縁枠とを備え、前記矩形部の両側は前
記絶縁枠の左右に突出しているとともに、この左右に突
出した矩形部の前縁は、前記副リードの前縁よりも前方
に位置し、突出した矩形部の後縁は、前記副リードの前
縁よりも後方に位置している事を特徴とする。
【0007】
【作用】本発明は上述の様に、半導体レーザ素子の出射
方向と逆に延びる端子部をリード内に形成するので、光
学部品と離れた端子部に於て、端子部と回路基板を容易
に電気的接続できる。更に絶縁枠の側方に位置するリー
ドの側部は絶縁枠の前部から後部に至る長さを有してい
るので、この側部を利用した取付けの際の取付け代を長
く確保して半導体レーザ装置の位置ずれを防止する事が
できる。また、主リードの端子部近傍に別の副リードを
配置し、絶縁枠の側方に位置する主リードの側部後縁は
前記副リードの前縁よりも後方に位置させているので、
主リードの側部の長さをより長く確保することができ
る。そのため、主リードの側部を半導体レーザ装置の位
置ずれ防止に有効に利用する事ができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の第1実施例を図1、図2、図
3に従い説明する。図1は本実施例に係る半導体レーザ
装置の断面図であり、図2は図1のAA断面図である。
図3は図1のBB断面図である。これらの図に於て、リ
ード(以下主リードという)1は厚みが0.2乃至1.
0mmの銅等の金属材料からなり、切欠部2と矩形部3
と端子部4からできている。主リード1として鉄又はア
ルミニウム等の材料を用いても良い。主リード1は望ま
しくは端面5にV字状溝からなる凹部6を形成されてい
る。その他に凹部6はU字状でも、断面略コ字状に形成
しても良い。又は、端面5はV字状、U字状、断面略コ
字状の凸部を形成しても良い。そして他のリード(以下
副リードという)7、8も銅等の金属材料からなり、共
に主リード1と離れて対向する位置にある。
【0009】受光素子9は例えばP−I−N構造を成し
たシリコン系結晶に表面電極10、11と裏面電極12
を設けたものである。表面電極11はP型拡散領域13
とオーミック接触して形成される。受光素子9は銀ペー
スト等の導電性接着剤を介して主リード1上に固着され
ている。
【0010】半導体レーザ素子14は例えば、直線状の
活性層とその活性層を挟むクラッド層からなるGaAl
Asの発光層からできている。半導体レーザ素子14の
両端はへき開されその上に反射膜が形成されている。半
導体レーザ素子14の出射面15が主リード1の端面5
の近傍に位置する様に、受光素子9の表面電極10上に
銀ペースト又は半田を介して固着されている。上述の様
に、主リード1の端子部4は半導体レーザ素子14の出
射方向と逆方向に延びている。
【0011】金属細線16、17、18はそれぞれ表面
電極10と主リード1との間、半導体レーザ素子14の
表面と副リード7との間、及び表面電極11と副リード
8との間を結ぶ様に配線されている。透光性樹脂19は
例えばエポキシ樹脂からなり、半導体レーザ素子14の
後面近傍から受光素子9のP型拡散領域13を一体に覆
う様に形成されている。この様に透光性樹脂19で覆う
ことにより、半導体レーザ素子14の後面からの出射光
が透光性樹脂19と大気との界面で反射されP型拡散領
域13に確実に入射する。故に受光量が増えるので、受
光素子9の感度が向上する。
【0012】絶縁枠20は例えばポリカーボネート樹脂
又はエポキシ樹脂等からなり、半導体レーザ素子14の
出射面5を露出する様に平面略コ字状に、かつ主リード
1、副リード7、8の各表面と裏面を挟む様にトランス
ファーモールドによって形成されている。また絶縁枠2
0はアルミナセラミック又は絶縁処理した金属材料で構
成しても良い。上述の部品により半導体レーザ装置21
は構成されている。
【0013】更に支持具22に形成された凸部又は凹部
と主リード1の端面5に形成された凹部又は凸部をはめ
合う様に、半導体レーザ装置21は支持具22に固定さ
れている。回折格子やハーフミラーや対物レンズ等の光
学部品23は半導体レーザ素子14の出射方向に設けら
れている。そして必要に応じて、主リード1の端子部4
と副リード7、8の端子部は回路基板24に半田付け等
によって電気的接続されている。
【0014】次にこの半導体レーザ装置21の検査方法
を図4に従い説明する。図4は本実施例に係る半導体レ
ーザ装置の検査の状態を示す図面である。この図に於
て、複数の半導体レーザ装置21は端子部4と副リード
7、8の端子部により、リードフレーム25に接続され
ている。そして自動機等のプレス切断により、副リード
7と8の端子部とリードフレーム25が切り離される。
検査機26のプローブがそれぞれ主リード1の端子部
4、副リード7の端子部、副リード8の端子部に接続さ
れる。そして検査機26によって半導体レーザ装置21
の特性検査、例えば電流対光出力、電流対受光素子のモ
ニター電流、発振スペクトル分布等の検査が行われる。
その後、主リード1の端子部4の先端を切り離して最終
製品が完成する。上述の様に半導体レーザ装置21で
は、半導体レーザ素子14の出射方向とリードの端子部
を逆方向に設けているので、端子部のプレス切断がし易
くかつ検査もし易い。
【0015】次にこの半導体レーザ装置21と支持具2
2の取付けを説明するために、図5の斜視図に従い説明
する。支持具22に形成された凸部27と主リード1の
端面5に形成された凹部6をはめ合う様に、半導体レー
ザ装置21が支持具22に固定されている。支持具22
は例えばアルミニウム合金等からできている。また回折
格子28は支持具22の底面に設けても良い。上述の様
に、凸部27と凹部6をはめ合わすことにより、かつ支
持具22の中空部29と半導体レーザ装置21の絶縁枠
20をはめ合わすことにより、半導体レーザ装置21は
位置ずれを生じない。従って、出射ビームと光学部品の
関係位置は正確に保持される。そして半導体レーザ素子
14により発生した熱は、主リード1を通って伝熱面積
の広い支持具22から放熱される。
【0016】更に上述の第1実施例より簡単な第2実施
例を図6に従い説明する。図6は本実施例に係る半導体
レーザ装置の断面図である。この図6に於て、受光素子
30は例えばP−I−N構造をなしたシリコン系結晶の
表面と裏面に電極を設けたものであり、主リード1上に
載置されている。半導体レーザ素子14は受光素子30
の前方の主リード1上に載置されている。望ましくは、
エポキシ樹脂又はシリコン樹脂からなる透光性樹脂31
が半導体レーザ素子14の後面(出射面15の反対側の
端面)近傍から受光素子30を一体に覆う様に形成され
ている。尚、図6で示した番号と図1乃至図3で示した
番号と同じものは同じ部品である事を示す。
【0017】次に上述の第1及び第2実施例より半導体
レーザ装置がさらに位置ずれしにくい第3実施例を図7
と図8に従い説明する。図7は本実施例に係る半導体レ
ーザ装置の断面図であり、図8は図7のCC断面図であ
る。これらの図で示した番号と図1乃至図3で示した番
号と同じものは同じ部品である事を示す。主リード1に
凸部6aが側面5aに略平行に形成されている。また図
8に於て、上方へ向かって突起部が形成される様に凸部
6aが設けられているが、下方へ向かって突起部が形成
される様に凹部が設けられても良い。また図7に於て凸
部6aは主リード1の縦全体に形成されているが、主リ
ード1の縦方向に部分的に形成されても良い。またこれ
らの図に於て、半導体レーザ素子14は受光素子9の上
に載置されているが、半導体レーザ素子14は受光素子
9の前方に一する主リード1上に載置されても良い。
【0018】次にこの半導体レーザ装置21と支持具2
2aの取付けを説明するために、図9の斜視図に従い説
明する。支持具22aは例えばアルミニウム合金等から
できており、半導体レーザ装置21に形成された凸部6
aがはまり合う様に溝部32が形成されている。そして
半導体レーザ装置21に形成された絶縁枠20がはまり
合う様に、支持具22aに略直方体状に中空部33が形
成されている。回折格子やハーフミラーや対物レンズ等
の光学部品23aが支持具22aの底面に固定され、半
導体レーザ素子14の出射方向に配置されている。半導
体レーザ装置21の凸部6aを支持具22aの溝部32
に圧入することにより、半導体レーザ装置21は支持具
22aに確実に固定できる。上述の様に、支持具22a
と嵌合させるために設けられた凸部6aは主リード1の
側面近傍に形成されるので、端面5に形成する第1及び
第2実施例に比べて、長手長さを大きくできる。従って
支持具22aとの嵌合代が長くなり、半導体レーザ装置
21が一層位置ずれにくくなる。
【0019】図1乃至図8から明らかなように、上記各
実施例において、主リード1を構成する矩形部3の両側
が絶縁枠20の左右に突出しているので、主リード1の
側部は、絶縁枠20の側方に位置している。また、図
1、図6、図7等から明らかなように、絶縁枠20の側方
に位置する主リード1の側部は、その前縁が絶縁枠20
の前縁近傍に位置し、その後縁が絶縁枠20の後縁近傍
に位置しているので、絶縁枠20の前部から後部に至る
長さ、すなわち絶縁枠20と同等の長さを有している。
また、図1、図6、図7等から明らかなように、副リード
7,8の一部(前端部)は主リード1の切欠部2に配置
され、絶縁枠20から左右に突出した主リード1の矩形
部3の前縁は、前記副リード7,8の前縁よりも前方に
位置し、後縁は、前記副リード7,8の前縁よりも後方
に位置している。
【0020】上記実施例によれば、半導体レーザ素子1
4の出射方向と逆に延びる端子部4を主リード1内に形
成するので、光学部品と離れかつ部品が密集していない
端子部4に於て、端子部と回路基板を容易に電気的接続
できる。そして半導体レーザ素子14の出射方向とリー
ドの端子部4を逆方向に設けているので、端子部4のプ
レス切断がし易くかつ検査もし易い。
【0021】更に、半導体レーザ装置14の主リード1
の凹部6aと支持具22の凸部をはめ合わす事により、
かつ半導体レーザ装置の絶縁枠20を支持具の中空部に
嵌合させる事により半導体レーザ装置が位置ずれしな
い。故に出射ビームと光学部品の関係位置は正確に保持
される。
【0022】また、半導体レーザ装置の主リード1の側
面近傍に形成された凸部又は凹部と支持具の溝部を嵌合
させる事により、嵌合代が長くなり半導体レーザ装置が
一層位置ずれしにくくなる。
【0023】そして、半導体レーザ素子14のへき開面
から直接出射させるので、平坦なへき開面から出た光は
散乱することがないから出射ビームが絞り易い。また受
光素子を透光性樹脂で覆うことにより、半導体レーザ素
子の後面からの出射光が透光性樹脂と大気との界面で反
射されP型拡散領域に入射する。従って受光量が増える
ので、受光素子の感度が向上する。
【0024】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、半導体レ
ーザ素子の出射方向と逆に延びる端子部をリード内に形
成するので、光学部品と離れた端子部に於て、端子部と
回路基板を容易に電気的接続できる。更に絶縁枠の側方
に位置するリードの側部は絶縁枠の前部から後部に至る
長さを有しているので、この側部を利用した取付けの際
の取付け代を長く確保して半導体レーザ装置の位置ずれ
を防止する事ができる。また、主リードの端子部近傍に
別の副リードを配置し、絶縁枠の側方に位置する主リー
ドの側部後縁は前記副リードの前縁よりも後方に位置さ
せているので、主リードの側部の長さをより長く確保す
ることができる。そのため、主リードの側部を半導体レ
ーザ装置の位置ずれ防止に有効に利用する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る半導体レーザ装置の
断面図である。
【図2】図1のAA断面図である。
【図3】図1のBB断面図である。
【図4】本発明の第1実施例に係る半導体レーザ装置の
検査方法を示す図面である。
【図5】本発明の第1実施例に係る半導体レーザ装置と
その支持具の斜視図である。
【図6】本発明の第2実施例に係る半導体レーザ装置の
断面図である。
【図7】本発明の第3実施例に係る半導体レーザ装置の
断面図である。
【図8】図7のCC断面図である。
【図9】本発明の第3実施例に係る半導体レーザ装置と
その支持具の斜視図である。
【図10】従来の半導体レーザ装置の断面図である。
【符号の説明】
1 リード 4 端子部 5 端面 5a 側面 6、6a 凹部 9、30 受光素子 14 半導体レーザ素子 15 出射面 20 絶縁枠
フロントページの続き (56)参考文献 実開 平5−23563(JP,U) 実開 平1−67769(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/022 H01L 23/48 H01L 31/12

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードと、そのリード上に載置された受
    光素子と、その受光素子上に又はその受光素子の前方の
    前記リード上に載置されかつ前方に出射面を有する半導
    体レーザ素子と、その半導体レーザ素子の出射面を露出
    する様に前記リードの周辺に形成された絶縁枠とを具備
    し、前記リードが前記半導体レーザ素子の出射方向と逆
    に延びる端子部を有するとともに、前記絶縁枠の側方に
    前記リードの側部が位置する半導体レーザ装置であっ
    て、前記リードの側部は前記絶縁枠の前部から後部に至
    る長さを有している事を特徴とする半導体レーザ装置。
  2. 【請求項2】 主リードと、その主リード上に載置され
    た受光素子と、その受光素子上に又はその受光素子の前
    方の前記主リード上に載置されかつ前方に出射面を有す
    る半導体レーザ素子と、その半導体レーザ素子の出射面
    を露出する様に前記リードの周辺に形成された絶縁枠と
    を具備し、前記主リードが前記半導体レーザ素子の出射
    方向と逆に延びる端子部を有するとともに、前記絶縁枠
    の側方に前記主リードの側部が位置する半導体レーザ装
    置であって、前記主リードの端子部近傍に別の副リード
    を配置し、前記主リードの側部の後縁は前記副リードの
    前縁よりも後方に位置している事を特徴とする半導体レ
    ーザ装置。
  3. 【請求項3】 半導体レーザ素子と、矩形部と切欠部と
    端子部を有して前記矩形部に前記半導体レーザ素子を配
    置した主リードと、前記切欠部にその一部が配置された
    副リードと、前記主リードと前記副リードの表裏を挟む
    ように形成した絶縁枠とを備え、前記矩形部の両側は前
    記絶縁枠の左右に突出しているとともに、この左右に突
    出した矩形部の前縁は、前記副リードの前縁よりも前方
    に位置し、突出した矩形部の後縁は、前記副リードの前
    縁よりも後方に位置している事を特徴とする半導体レー
    ザ装置。
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