JP3237710B2 - ガラス粉末成形体の焼成方法 - Google Patents

ガラス粉末成形体の焼成方法

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/06Other methods of shaping glass by sintering, e.g. by cold isostatic pressing of powders and subsequent sintering, by hot pressing of powders, by sintering slurries or dispersions not undergoing a liquid phase reaction

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主にガラスとガラス、
ガラスとセラミック、ガラスと金属等を接着するために
用いられるガラス焼結体を作製する工程において行われ
るガラス粉末成形体の焼成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりガラスとガラス、ガラスとセラ
ミック、ガラスと金属等を接着するのにガラス粉末が使
用されている。
【0003】一般にガラス粉末を用いて上記材料を接着
するには、接着作業現場においてガラス粉末をバインダ
ーと混合してスラリー化し、一方の被接着材料の接着す
る面に塗布、乾燥させた後、その面に他方の被接着材料
の接着する面を合わせてから加熱する方法が採られてい
る。しかしながらこの方法によると、接着作業が繁雑で
あり、且つ、正確な塗布面が得られ難く、さらにガラス
粉末が作業中に飛散して環境が非常に悪くなるという問
題がある。
【0004】このような事情から近年、ガラス粉末をバ
インダーと混合してスラリー化した後、ドクターブレー
ド法等によってシート成形してから所定の形状に打ち抜
いたり、あるいはガラス粉末をバインダーと混合してス
ラリー化した後、噴霧乾燥機を用いて顆粒化してから金
型を用いて所定の形状にプレス成形することによってガ
ラス粉末成形体を作製し、これをセラミックや金属から
なる耐熱板上に載置してから350〜850℃の温度で
焼成し、バインダーのほとんどを蒸発あるいは燃焼させ
て、泡の非常に少ないガラス焼結体を予め作製する方法
が採られている。このガラス焼結体を用いて2つの材料
を接着する場合、まずこの焼結体を一方の被接着材料の
接着する面に配置して、その面に他方の被接着材料の接
着する面を合わせてから400〜1100℃の温度で加
熱することによって接着する。この方法によると、接着
作業が容易で、且つ、正確に行うことが可能であり、接
着作業現場においてガラス粉末が作業中に飛散する恐れ
も皆無である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記したガラ
ス粉末成形体は、通常5〜20%の収縮率を有してお
り、焼成する際、焼結による収縮が生じるため、予め収
縮率を見込んで被接着材料の接着する面に適合するよう
な大きめの形状が設定される。しかしながらガラス粉末
成形体の形状によっては、不均一な収縮が起こり易く、
例えばフレーム形状や楕円リング形状のガラス成形体の
場合、特にその傾向が顕著であり、被接着材料の接着す
る面に正確に適合するような寸法形状のガラス焼結体が
得られ難いという問題がある。
【0006】本発明は、空孔部を有するガラス粉末成形
体を焼成する際に、不均一な収縮を起こり難くする方法
を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス粉末成形
体の焼成方法は、ガラス粉末をバインダーと混合した
後、成形することによって空孔部を有するガラス粉末成
形体を作製し、次いで該空孔部内に、その内周形状と相
似形状を有し、且つ、該ガラス粉末成形体のそれよりも
大きい熱膨張係数を有する耐熱性の治具を配置させた状
態で焼成することを特徴とする。
【0008】また本発明においては、ガラス粉末成形体
を、その収縮率の5%以内の収縮率を有する板状物の上
に載置することが好ましく、さらにガラス粉末成形体と
耐熱性の板とを同一材料にすることが一層好ましい。
【0009】本発明において使用する耐熱性の治具の外
周形状は、焼成時に膨張した際にガラス粉末成形体の空
孔部の内面形状に合致するように設計される。またその
材料としては、アルミナ、フォルステライト等のセラミ
ックやステンレス、アルミニウム、銅等の金属が好適で
ある。
【0010】
【作用】本発明においては、焼成時にまず耐熱性の治具
が膨張し、その外周形状がガラス粉末成形体の空孔部の
内周形状に近似するようになる。一方、ガラス粉末成形
体には、収縮作用が生じるが、その空孔部に耐熱性の治
具が位置しているため、成形体の外縁が内方向に収縮す
ると共に全体が上下方向に収縮することになる。ガラス
粉末成形体の焼結後、降温すると耐熱性の治具は、収縮
して常温時に元の寸法に戻り、一方ガラス焼結体は、そ
の形状を維持するため治具をガラス焼結体から取り外す
ことは、簡単である。
【0011】またガラス粉末成形体を、その収縮率の5
%以内の収縮率を有する板状物の上に載置することによ
って、ガラス粉末成形体の収縮が均一に行われ、一層ガ
ラス粉末成形体の変形が抑えられる。
【0012】このような特性を有する板状物としては、
ガラス粉末をバインダーと混合した後、シート成形ある
いはプレス成形することによって作製した0.01〜3
mmの厚みを有する薄膜状あるいは板状の成形体が適し
ており、当然ながらガラス粉末成形体と同一材料のもの
を使用した場合、収縮率が同一になるのでより好まし
い。
【0013】尚、本発明における収縮率は、各材料の焼
成前の寸法から焼成後の寸法を差した値を焼成前の寸法
で除した値のことであり、ガラス粉末成形体及び板状物
の収縮率は、主にガラス粉末の熱膨張係数、粒度、バイ
ンダーの混合量及び成形条件によって決定される。
【0014】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
【0015】(実施例1)まず重量百分率で、PbO
65%、B23 20%、SiO2 10%、ZnO
5%の組成を有し、熱膨張係数が90×10-7/℃
(30〜300℃)、平均粒径が20μmのガラス粉末
500gをブチルメタアクリルレート90gとトルエン
180gに混練してスラリー化した後、ドクターブレー
ド法で薄膜状にシート成形することによって厚み0.4
mm、収縮率8%のグリーンシートを得た。次いでこの
グリーンシートを打ち抜き金型によって縦40.0m
m、横50.0mm、線巾2.0mmの寸法を有するフ
レーム状に打ち抜くことによって図1に示すような空孔
部を有するガラス粉末成形体10を作製した。その後、
このガラス粉末成形体10を打ち抜きをしていない上記
グリーンシートの板状物11上に載置し、さらにガラス
粉末成形体10の空孔部内に、縦35.64mm、横4
5.54mm、厚み0.4mmの外寸を有するアルミニ
ウム金属製の治具12を配置した。次いでこれらをアル
ミナ基板(図示せず)上に載置してベルト炉内に入れ、
5℃/分の速さで650℃まで昇温し、10分間保持し
た後、5℃/分の速さで室温まで降温した後、アルミニ
ウム金属製の治具12を取り除いた。
【0016】こうして作製されたガラス焼結体は、縦3
9.95mm、横49.95mmの外寸と、縦36.0
mm、横46.0mmの内寸を有していた。
【0017】図2は、このガラス焼結体13の平面図で
ある。図2から明らかなように、ガラス焼結体13は、
全体が均一に収縮しており、焼成前のガラス粉末成形体
10の形状と相似形状を保っていた。
【0018】(実施例2)実施例1と同じガラス粉末1
00gをポリエチレングリコール25gと純水500g
に混練してスラリー化した後、噴霧乾燥機を用いて平均
粒径130μmの球状の顆粒に造粒した。次いでこの顆
粒を金型を用いてプレス成形することによって厚さ3m
m、収縮率12%の板状のプレス成形体を得、一方同じ
顆粒をプレス成形することによって、縦40.0mm、
横50.0mm、線巾2.0mmの空孔部を有するガラ
ス粉末成形体を作製した。その後、このガラス粉末成形
体を上記したプレス成形体の板状物上に載置し、その空
孔部内に実施例1と同じアルミニウム金属製の治具を配
置した。次いでこれらをアルミナ基板上に載置し、実施
例1と同様の条件で加熱、冷却した後、アルミニウム金
属製の治具を取り除いたところ、実施例1のガラス焼結
体13とほぼ同じ外寸と内寸のガラス焼結体が得られ
た。
【0019】(比較例)実施例1と同様に作製したガラ
ス粉末成形体を直接アルミナ基板(収縮率0%)上に載
置しただけの状態で、実施例1と同様の条件で加熱、冷
却したところ、図3に示すようにコーナー部は、通常の
収縮を示したが、各辺の中央部はほとんど収縮していな
い変則的な形状のガラス焼結体14が得られた。
【0020】
【発明の効果】以上のように本発明の方法によると、フ
レーム形状や楕円リング形状といった空孔部を有するガ
ラス粉末成形体を焼成する場合でも、不均一な収縮が起
こり難く、被接着材料の接着する面に適合した形状を有
するガラス焼結体を得ることが可能であり、例えばトラ
ンジスタのコバール封着、固体撮像素子(CCD)の窓
板ガラスの封着等に使用されるガラス焼結体を製造する
のに適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例のガラス粉末成形体を板状物上に載置し
た状態を示す斜視図である。
【図2】実施例のガラス焼結体を示す平面図である。
【図3】比較例のガラス焼結体を示す平面図である。
【符号の説明】
10 ガラス粉末成形体 11 板状物 12 アルミニウム金属製の治具 13 ガラス焼結体 14 ガラス焼結体

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス粉末をバインダーと混合した後、
    成形することによって空孔部を有するガラス粉末成形体
    を作製し、次いで該空孔部内に、その内周形状と相似形
    状を有し、且つ、該ガラス粉末成形体のそれよりも大き
    い熱膨張係数を有する耐熱性の治具を配置させた状態で
    焼成することを特徴とするガラス粉末成形体の焼成方
    法。
  2. 【請求項2】 ガラス粉末成形体を、その収縮率の5%
    以内の収縮率を有する板状物の上に載置することを特徴
    とする請求項1のガラス粉末成形体の焼成方法。
  3. 【請求項3】 ガラス粉末成形体と板状物とを同一材料
    にすることを特徴とする請求項2のガラス粉末成形体の
    焼成方法。
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