JP3235006B2 - 発振用集積回路 - Google Patents
発振用集積回路Info
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Description
て用いられる発振用集積回路に関するものである。
用いられる発振回路は、図5に示すように、CMOSイ
ンバータ51と、このCMOSインバータ51に並列に
接続された帰還抵抗52および圧電振動子、例えば、水
晶振動子53と、CMOSインバータ51の入力端子i
nと出力端子outのそれぞれに接続された負荷容量5
4とからなる。このような発振回路は一般に、CMOS
インバータ51と出力バッファを集積化した発振用集積
回路に負荷容量を外付けし、さらに水晶振動子等の圧電
振動子と帰還抵抗をCMOSインバータ51に外付けし
ている。
に、負荷容量をも1チップに集積化した発振用集積回路
もある。例えば、特開平5−191145号公報には、
図6に示すように、シリコン基板61上にフィールド絶
縁層62を形成し、この上に負荷容量の下面電極となる
金属層63を形成し、この上に誘電体層64を形成し、
この上に負荷容量の上面電極となる第2の金属層65を
形成して負荷容量を設けたものが開示されている。な
お、図6において、66は層間絶縁層であり、67は下
面電極の引き出し電極である。
た負荷容量は、製造工程上、誘電体層64の正確な層厚
制御が難しく、層厚精度のばらつきが生じるため、容量
値がばらついてしまう。一定の発振周波数を得るために
は、容量の測定は不可欠であるが、CMOSインバータ
の入力端子と出力端子に圧電振動子を付けて実際に発振
させて動作テストを行なっていた。これでは、実際に圧
電振動子を外付けして製品化されるまで集積回路のチェ
ックが行なえず、生産効率を低下させる一因となってい
た。
に圧電振動子を外付けする以前に、簡単に負荷容量の測
定を可能とすることにある。
このCMOSインバータに並列に接続された帰還抵抗
と、上記CMOSインバータの入力端子と出力端子のそ
れぞれに接続された負荷容量とからなる発振部を具備
し、この発振部に圧電振動子を外付けして用いられる発
振用集積回路において、上記負荷容量と同一構成の容量
素子と、この容量素子を構成要素とするCR発振回路を
内蔵し、かつ、上記発振部からの出力と上記CR発振回
路からの出力を受けこれらの出力を選択的に出力させる
選択部を設けることにより上記目的を達成する。
らなることが好ましい。
1は本例の構成を示す電気回路図であり、同図において
1はCMOSインバータである。2はCMOSインバー
タ1に並列に接続された帰還抵抗である。この帰還抵抗
2としては精度の面で薄膜抵抗を用いることが好ましい
が、拡散抵抗などでもよい。3は、CMOSインバータ
1の入力端子INと出力端子OUTのそれぞれに接続さ
れた負荷容量である。この負荷容量3は図6に示したも
のを用いる他、MOSトランジスタのゲート容量を用い
てもよい。これらCMOSインバータ1、帰還抵抗2お
よび負荷容量3により発振部4は構成されている。5は
圧電振動子として用いられる水晶振動子であり、CMO
Sインバータ1の入力端子INと出力端子OUTとの間
に両端を接続するように外付けされる。6、7はクロッ
クドインバータであり、8、9、10はインバータであ
る。11はNANDゲートであり、Tはテスト端子であ
り、Qは発振出力端子である。また、Cは負荷容量3と
同一構成、すなわち同一製造工程にて同一サイズ、同一
形状に形成された容量素子である。Rは抵抗であり、こ
こでは薄膜抵抗を用いる。これら容量素子Cおよび抵抗
Rは後述するように、クロックドインバータ6、インバ
ータ8、NANDゲート11とともにCR発振回路12
を構成する。テスト端子Tと、クロックドインバータ
6、7と、インバータ9、10とより選択部を構成す
る。
チップに集積化されている。
す図2の波形図を参照しながら、本例の動作について説
明する。本例は、負荷容量3と容量素子Cとが同一容量
値を有していると見なせることから、容量素子Cを用い
てCR発振させ、その発振周波数から負荷容量値の測定
をおこなうものであり、まず、その負荷容量を測定する
テスト時の動作について説明する。
ロックドインバータ7がオフとなり、発振部4からの出
力を遮断する。また、同時にクロックドインバータ6が
オンとなり、NANDゲート11はインバータとして動
作する。これにより、容量素子Cと、抵抗Rと、クロッ
クドインバータ6と、インバータ8と、NANDゲート
11とからなるCR発振回路12が形成され、CR発振
を開始する。このとき、各端子VA、VB、VCには、
それぞれ、図2のVA、VB、VCに示すような波形が
現れる。端子VCのパルスはインバータ10を介してレ
ベル反転されて発振出力端子Qから出力され、この発振
出力端子Qに現れる波形の周期からCR時定数を測定す
る。
各インバータの反転電位Vthをふまえて特定するが、こ
の反転電位VthはインバータのPチャネル型トランジス
タ、Nチャネル型トランジスタのそれぞれのしきい値電
圧VPth 、VNth より推定する。これらしきい値電圧V
Pth 、VNth は、各インバータをCMOSインバータ1
と同一の構成(同一の製造工程の為、同じ特性を示
す。)にて形成しておき、図3a、bに示すように、C
MOSインバータ1の入出力端子を短絡し、Nチャネル
型トランジスタ、Pチャネル型トランジスタのそれぞれ
のドレインソース電圧および電流を測定することにより
得る。
基板上に設けられる抵抗が容量素子に比べて高い精度で
所望の値に形成できるため、抵抗Rを所定の値に設定し
ておくことにより特定できる。または、抵抗Rを発振部
4の帰還抵抗と2同一構成とすれば、図3cに示すよう
に、発振部4の帰還抵抗を測定することにより、抵抗R
の抵抗値がわかる。また、ここで、抵抗Rは各インバー
タのオン抵抗に比べ大きく設定してあり、各インバータ
のオン抵抗がCR発振の時定数に与える影響は無視でき
る。なお、帰還抵抗2の値を小さくしてオバートーン発
振を行なわせる水晶発振用集積回路において、この帰還
抵抗と同一構成の抵抗Rを用いてCR発振回路を構成す
ると各インバータの抵抗値が無視できなくなるが、この
場合、発振部4のCMOSインバータのオン抵抗を測定
することで各インバータの抵抗値を得ることができる。
抗から容量素子Cの容量値を特定し、これを負荷容量3
の測定値とする。
る。発振部4に水晶振動子5を外付けする。テスト端子
の状態を“L”にすると、クロックドインバータ6がオ
フとなり、NANDゲート11は出力側を“H”に固定
されるため、CR発振回路12によるCR発振は行なわ
れない。クロックドインバータ6がオフとなると同時に
クロックドインバータ7がオンとなり、CMOSインバ
ータ1の出力端子OUTからのパルスは、クロックドイ
ンバータ7、インバータ10を介して発振出力端子OU
Tから出力される。
均一性を生かし、同一基板上に負荷容量3と同一構成の
容量素子CからなるCR発振回路12を形成し、これを
選択的にCR発振させて発振出力端子OUTから出力さ
せ、その発振周波数より負荷容量3の容量を測定するた
め、発振用集積回路に水晶振動子を外付けする以前に、
基板上の負荷容量の測定が可能となる。このため、基板
単体で品質保証ができ、基板のまま出荷できることとな
るなど、コストを低減できる。
発振出力と、発振部4からの発振出力とを選択的に発振
出力端子OUTから出力させるため、容量測定用のCR
発振回路12を設けたことによる出力端子の増加も抑え
ることができる。
のものに限られるものではなく様々に変更可能である。
例えば、図4に示すように構成してもよい。図4におい
て、13はインバータであり、14はNANDゲートで
あり、15はCR発振回路であり、その他の構成要素は
上記一実施例と同一のものである。ここで、テスト端子
Tの状態を“H”とすると、クロックドインバータ6は
オンとなる。これと同時に、NANDゲート14は、そ
の入力端子の一方をテスト端子Tに接続してあるので、
インバータとして動作し、CR発振回路15はCR発振
を開始する。この発振出力はインバータ10を介して発
振出力端子Qより出力される。このように上記一実施例
と同様の作用効果が得られる。
て、水晶振動子を用いることとしたがこれに限れるもの
ではなく、例えば、PZT系、PbTiO3系等のセラ
ミック振動子を用いてもよい。
振動子を外付けする前に、この集積回路内の負荷容量を
簡単に測定することが可能となる。
を測定する方法を示す説明図。
Claims (2)
- 【請求項1】 CMOSインバータと、このCMOSイ
ンバータに並列に接続された帰還抵抗と、上記CMOS
インバータの入力端子と出力端子のそれぞれに接続され
た負荷容量とからなる発振部を具備し、この発振部に圧
電振動子を外付けして用いられる発振用集積回路におい
て、 上記負荷容量と同一構成の容量素子と、この容量素子を
構成要素とするCR発振回路を内蔵し、かつ、上記発振
部からの出力と上記CR発振回路からの出力を受けこれ
らの出力を選択的に出力させる選択部を設けたことを特
徴とする発振用集積回路。 - 【請求項2】 上記選択部はクロックドインバータから
なることを特徴とする請求項1記載の発振用集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27045393A JP3235006B2 (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 発振用集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27045393A JP3235006B2 (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 発振用集積回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07131248A JPH07131248A (ja) | 1995-05-19 |
JP3235006B2 true JP3235006B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=17486505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27045393A Expired - Lifetime JP3235006B2 (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 発振用集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3235006B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100496853B1 (ko) * | 1998-03-13 | 2005-09-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치의다기능발진기 |
JP4336946B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 回転角速度の測定方法および装置 |
-
1993
- 1993-10-28 JP JP27045393A patent/JP3235006B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07131248A (ja) | 1995-05-19 |
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