JP3231862B2 - レーザシステムの故障診断装置 - Google Patents
レーザシステムの故障診断装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数系統を有し、各系
統が複数台のレーザで構成されるレーザシステムの故障
診断装置に係り、特に各系統のレーザ出力をモニタし、
異常のある系統のどのレーザが故障しているのかを自動
的に特定できるようにしたレーザシステムの故障診断装
置に関するものである。
統が複数台のレーザで構成されるレーザシステムの故障
診断装置に係り、特に各系統のレーザ出力をモニタし、
異常のある系統のどのレーザが故障しているのかを自動
的に特定できるようにしたレーザシステムの故障診断装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、複数系統を有し、各系統が複
数台のレーザで構成されるレーザシステムにおいては、
レーザシステムの故障診断を行なう故障診断装置が用い
られている。
数台のレーザで構成されるレーザシステムにおいては、
レーザシステムの故障診断を行なう故障診断装置が用い
られている。
【０００３】図５は、この種の従来のレーザシステムの
故障診断装置の全体構成例を示すブロック図である。
故障診断装置の全体構成例を示すブロック図である。
【０００４】図５において、レーザシステムは、１系統
がｎ台（ｎは２以上の整数）のレーザ（１台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ）１１，１２，…，
１ｎで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）か
ら構成されている。
がｎ台（ｎは２以上の整数）のレーザ（１台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ）１１，１２，…，
１ｎで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）か
ら構成されている。
【０００５】一方、タイミング調整装置は、タイミング
調整器２と、光合成器３と、光検出器４と、部分反射ミ
ラー５と、レーザ出力モニタ装置６とから構成されてい
る。
調整器２と、光合成器３と、光検出器４と、部分反射ミ
ラー５と、レーザ出力モニタ装置６とから構成されてい
る。
【０００６】すなわち、タイミング調整器２では、各レ
ーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタ
し、あらかじめ決められた放電タイミングとなるように
放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１
２，…，１ｎのタイミングを計算機により制御してい
る。
ーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタ
し、あらかじめ決められた放電タイミングとなるように
放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１
２，…，１ｎのタイミングを計算機により制御してい
る。
【０００７】また、光合成器３では、各系統のレーザ１
１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
【０００８】さらに、レーザ出力モニタ装置６では、ｍ
系統のレーザ出力を部分反射ミラー５および光検出器４
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
系統のレーザ出力を部分反射ミラー５および光検出器４
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
レーザシステムの故障診断装置においては、レーザに故
障が発生した場合、各系統毎に設置されている光検出器
４によって異常のある系統が確認されるが、その系統の
どのレーザが故障しているかについては、人間がその都
度目視等により確認している。このため、次のような問
題がある。
レーザシステムの故障診断装置においては、レーザに故
障が発生した場合、各系統毎に設置されている光検出器
４によって異常のある系統が確認されるが、その系統の
どのレーザが故障しているかについては、人間がその都
度目視等により確認している。このため、次のような問
題がある。
【００１０】（ａ）レーザの系統数が多くなると、各系
統毎にモニタ用の光検出器４が必要であるので、光検出
器４の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
統毎にモニタ用の光検出器４が必要であるので、光検出
器４の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
【００１１】（ｂ）各系統のどのレーザが故障している
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
【００１２】（ｃ）レーザに故障が発生した場合に、レ
ーザの放電を停止すると、再立ち上げに時間を要するば
かりでなく、レーザ管の温度管理や調整等の手間も必要
となり、多大な労力を有することになる。
ーザの放電を停止すると、再立ち上げに時間を要するば
かりでなく、レーザ管の温度管理や調整等の手間も必要
となり、多大な労力を有することになる。
【００１３】本発明の目的は、故障したレーザの特定を
自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障
を診断することができ、しかも装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信頼
性の高いレーザシステムの故障診断装置を提供すること
にある。
自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障
を診断することができ、しかも装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信頼
性の高いレーザシステムの故障診断装置を提供すること
にある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、複数系統を有し、各系統が複数台のレ
ーザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を入力
して、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ各系
統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特
定する第１の診断機能、およびこの第１の診断機能によ
り異常と特定された系統の各レーザの放電タイミングを
１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判
別して異常のあるレーザを特定する第２の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
めに本発明では、複数系統を有し、各系統が複数台のレ
ーザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を入力
して、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ各系
統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特
定する第１の診断機能、およびこの第１の診断機能によ
り異常と特定された系統の各レーザの放電タイミングを
１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判
別して異常のあるレーザを特定する第２の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
【００１５】
【作用】従って、本発明のレーザシステムの故障診断装
置においては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出
力を光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が
変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、レ
ーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイ
ミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列
で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常と
特定した系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順
次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常
のあるレーザを特定することにより、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定すること
ができる。
置においては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出
力を光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が
変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、レ
ーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイ
ミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列
で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常と
特定した系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順
次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常
のあるレーザを特定することにより、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定すること
ができる。
【００１６】これにより、故障したレーザの特定を自動
的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障を診
断することができ、しかも装置の簡単化、コストの低廉
化、ならびに省力化を図ることが可能となる。
的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障を診
断することができ、しかも装置の簡単化、コストの低廉
化、ならびに省力化を図ることが可能となる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１８】図１は、本発明によるレーザシステムの故
障診断装置の全体構成例を示すブロック図であり、図５
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、こ
こでは異なる部分についてのみ述べる。
障診断装置の全体構成例を示すブロック図であり、図５
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、こ
こでは異なる部分についてのみ述べる。
【００１９】すなわち、本実施例のレーザシステムの故
障診断装置は、図１に示すように、光合成器２１と、１
台の部分反射ミラー２２と、１台の光検出器２３と、レ
ーザ出力モニタ装置２４と、タイミング調整器２５とか
ら構成している。
障診断装置は、図１に示すように、光合成器２１と、１
台の部分反射ミラー２２と、１台の光検出器２３と、レ
ーザ出力モニタ装置２４と、タイミング調整器２５とか
ら構成している。
【００２０】ここで、光合成器２１は、各系統のレーザ
１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
【００２１】また、部分反射ミラー２２は、光合成器２
１で合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを透過
するものである。
１で合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを透過
するものである。
【００２２】さらに、光検出器２３は、部分反射ミラー
２２で反射されたレーザ出力を検出するものである。
２２で反射されたレーザ出力を検出するものである。
【００２３】一方、レーザ出力モニタ装置２４は、光検
出器２３で検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するものである。
出器２３で検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するものである。
【００２４】また、タイミング調整器２５は、例えば計
算機からなり、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台の
レーザ１１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からの
レーザ出力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ１
１，１２，…，１ｎの放電タイミングをずらせ各系統の
レーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特定す
る第１の診断機能と、この第１の診断機能により異常と
特定された系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電
タイミングを１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力
を時系列で判別して異常のあるレーザを特定する第２の
診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出
力表示機能とを有するものである。
算機からなり、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台の
レーザ１１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からの
レーザ出力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ１
１，１２，…，１ｎの放電タイミングをずらせ各系統の
レーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特定す
る第１の診断機能と、この第１の診断機能により異常と
特定された系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電
タイミングを１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力
を時系列で判別して異常のあるレーザを特定する第２の
診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出
力表示機能とを有するものである。
【００２５】次に、以上のように構成した本実施例のレ
ーザシステムの故障診断装置の作用について、図２に示
すフロー図を用いて説明する。
ーザシステムの故障診断装置の作用について、図２に示
すフロー図を用いて説明する。
【００２６】図１において、各系統のレーザ１１，１
２，…，１ｎの出力は、光合成器２１で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー２
２で反射されて、光検出器２３によりレーザ出力が検出
される。
２，…，１ｎの出力は、光合成器２１で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー２
２で反射されて、光検出器２３によりレーザ出力が検出
される。
【００２７】そして、この光検出器２３で検出されたレ
ーザ出力はレーザ出力モニタ装置２４によりモニタさ
れ、そのレーザ出力が上昇または下降した場合に、図２
に示すフロー図に従って、タイミング調整器２５で故障
レーザが特定される。
ーザ出力はレーザ出力モニタ装置２４によりモニタさ
れ、そのレーザ出力が上昇または下降した場合に、図２
に示すフロー図に従って、タイミング調整器２５で故障
レーザが特定される。
【００２８】すなわち、光検出器２３の出力は、各レー
ザ１１，１２，…，１ｎが正常な場合、図３の（ａ）に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力ＰはＰ＝Ｐ0 である。
ザ１１，１２，…，１ｎが正常な場合、図３の（ａ）に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力ＰはＰ＝Ｐ0 である。
【００２９】一方、あるレーザに故障が発生して、上記
出力ＰがＰ0 から許容値ΔＰ0 を越えて変化した場合
（｜Ｐ−Ｐ0 ｜＞ΔＰ0 ）には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
出力ＰがＰ0 から許容値ΔＰ0 を越えて変化した場合
（｜Ｐ−Ｐ0 ｜＞ΔＰ0 ）には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
【００３０】次に、図３の（ｂ）に示すように、各系統
毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。
毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。
【００３１】そして、順次、出力Ｐi が測定されて、各
系統毎にあらかじめ決められた基準値Ｐioと比較され、
あらかじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔＰioを
越えた（｜Ｐi −Ｐio｜＞ΔＰio）系統が特定され、異
常系統表示（ｉ＝ｉ′）が行なわれる。
系統毎にあらかじめ決められた基準値Ｐioと比較され、
あらかじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔＰioを
越えた（｜Ｐi −Ｐio｜＞ΔＰio）系統が特定され、異
常系統表示（ｉ＝ｉ′）が行なわれる。
【００３２】次に、異常と判断された系統のみについ
て、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
ずらせる（図３の（ｃ））ことにより、各レーザ１１，
１２，…，１ｎの出力Ｐi ′が測定される。
て、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
ずらせる（図３の（ｃ））ことにより、各レーザ１１，
１２，…，１ｎの出力Ｐi ′が測定される。
【００３３】そして、順次、出力Ｐi ′が測定されて、
Ｐi ′がゼロならば、マスターレーザ（ｊ＝１）が発振
を停止しているので、異常状態レーザ表示（状態＝停
止、ｉ＝ｉ′、Ｊ＝１）が行なわれる。
Ｐi ′がゼロならば、マスターレーザ（ｊ＝１）が発振
を停止しているので、異常状態レーザ表示（状態＝停
止、ｉ＝ｉ′、Ｊ＝１）が行なわれる。
【００３４】また、これ以外の時には、ｉ′系統のｎ台
のレーザ１１，１２，…，１ｎの２台目以降のレーザへ
のタイミング信号が１台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Ｐi ′j と、ｎ台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Ｐi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＜ΔＰi ′）はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
のレーザ１１，１２，…，１ｎの２台目以降のレーザへ
のタイミング信号が１台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Ｐi ′j と、ｎ台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Ｐi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＜ΔＰi ′）はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
【００３５】さらに、｜Ｐi ′j −Ｐi ′｜が、あらか
じめ決められた値ΔＰi ′j よりも大きい場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＞ΔＰi ′j ）には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示（状態＝出力異常、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
じめ決められた値ΔＰi ′j よりも大きい場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＞ΔＰi ′j ）には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示（状態＝出力異常、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
【００３６】以上のようにして、タイミング調整器２５
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
【００３７】上述したように、本実施例では、１系統が
ｎ台のレーザ１１，１２，…，１ｎで構成され、全体で
ｍ系統から構成されるレーザシステムの故障診断装置に
おいて、各系統のレーザ１１，１２，…，１ｎの出力
を、光学的に合成して一つのビームにする光合成器２１
と、光合成器２１で合成されたレーザ出力の一部を反射
し、それを検出する部分反射ミラー２２および光検出器
２３と、光検出器２３で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ装置２４
と、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
モニタし、あらかじめ決められた放電タイミングとなる
ように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１
１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタイミング
制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からのレーザ出
力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ１１，１２，
…，１ｎの放電タイミングをずらせ各系統のレーザ出力
を時系列で判別し、異常のある系統を特定する第１の診
断機能と、この第１の診断機能により異常と特定された
系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミング
を１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で
判別して異常のあるレーザを特定する第２の診断機能
と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出力表示機
能とを有するタイミング調整器２５とから構成したもの
である。
ｎ台のレーザ１１，１２，…，１ｎで構成され、全体で
ｍ系統から構成されるレーザシステムの故障診断装置に
おいて、各系統のレーザ１１，１２，…，１ｎの出力
を、光学的に合成して一つのビームにする光合成器２１
と、光合成器２１で合成されたレーザ出力の一部を反射
し、それを検出する部分反射ミラー２２および光検出器
２３と、光検出器２３で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ装置２４
と、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
モニタし、あらかじめ決められた放電タイミングとなる
ように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１
１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタイミング
制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からのレーザ出
力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ１１，１２，
…，１ｎの放電タイミングをずらせ各系統のレーザ出力
を時系列で判別し、異常のある系統を特定する第１の診
断機能と、この第１の診断機能により異常と特定された
系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミング
を１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で
判別して異常のあるレーザを特定する第２の診断機能
と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出力表示機
能とを有するタイミング調整器２５とから構成したもの
である。
【００３８】従って、次のような効果が得られるもので
ある。
ある。
【００３９】（ａ）各レーザ１１，１２，…，１ｎの放
電タイミングをずらせ、出力をモニタするようにしてい
るので、故障したレーザの特定を自動的に行ない、レー
ザの放電を停止することなく故障を診断することが可能
となる。
電タイミングをずらせ、出力をモニタするようにしてい
るので、故障したレーザの特定を自動的に行ない、レー
ザの放電を停止することなく故障を診断することが可能
となる。
【００４０】（ｂ）ｍ系統のレーザ出力を、１台の光検
出器２３で測定できるので、レーザの系統数ｍが多くな
っても、光検出器２３の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
出器２３で測定できるので、レーザの系統数ｍが多くな
っても、光検出器２３の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
【００４１】（ｃ）各系統のどのレーザが故障している
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
【００４２】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
【００４３】（ａ）上記実施例では、１台のタイミング
調整器（計算機）でｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図４に示すように、
１系統のタイミングを各系統毎に設けた１台のタイミン
グ調整器（計算機）３１，３２，３３，…，３ｍでそれ
ぞれ制御し、中央の１台のタイミング調整器（計算機）
４１で各系統のタイミング調整器３１，３２，３３，
…，３ｍを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
調整器（計算機）でｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図４に示すように、
１系統のタイミングを各系統毎に設けた１台のタイミン
グ調整器（計算機）３１，３２，３３，…，３ｍでそれ
ぞれ制御し、中央の１台のタイミング調整器（計算機）
４１で各系統のタイミング調整器３１，３２，３３，
…，３ｍを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
【００４４】この場合には、タイミング調整器４１に前
記第１の診断機能を持たせ、各タイミング調整器３１，
３２，３３，…，３ｍに前記第２の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
記第１の診断機能を持たせ、各タイミング調整器３１，
３２，３３，…，３ｍに前記第２の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
【００４５】（ｂ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
【００４６】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００４７】（ｃ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器２１で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器２１で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
【００４８】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００４９】（ｄ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記（ｃ）および（ｄ）の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記（ｃ）および（ｄ）の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
【００５０】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して光検出手段で
検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したことをレ
ーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタイミン
グ調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミングをずら
せ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別して異
常のある系統を特定し、さらにその異常と特定した系統
の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順次ずらせ、そ
の時のレーザ出力を時系列で判別して異常のあるレーザ
を特定するようにしているので、故障したレーザの特定
を自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故
障を診断することができ、しかも装置の簡単化、コスト
の低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信
頼性の高いレーザシステムの故障診断装置が提供でき
る。
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して光検出手段で
検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したことをレ
ーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタイミン
グ調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミングをずら
せ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別して異
常のある系統を特定し、さらにその異常と特定した系統
の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順次ずらせ、そ
の時のレーザ出力を時系列で判別して異常のあるレーザ
を特定するようにしているので、故障したレーザの特定
を自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故
障を診断することができ、しかも装置の簡単化、コスト
の低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信
頼性の高いレーザシステムの故障診断装置が提供でき
る。
【図１】本発明によるレーザシステムの故障診断装置の
一実施例を示すブロック図。
一実施例を示すブロック図。
【図２】同実施例における異常レーザの特定方法を説明
するためのフロー図。
するためのフロー図。
【図３】同実施例におけるレーザ出力モニタ信号を説明
するための図。
するための図。
【図４】本発明によるレーザシステムの故障診断装置の
他の実施例を示すブロック図。
他の実施例を示すブロック図。
【図５】従来のレーザシステムの故障診断装置の構成例
を示すブロック図。
を示すブロック図。
１１，１２，…，１ｎ…レーザ、 ２１…光合成器、 ２２…部分反射ミラー、 ２３…光検出器、 ２４…レーザ出力モニタ装置、 ２５…タイミング調整器、 ３１，３２，３３，…，３ｍ…タイミング調整器、 ４１…タイミング調整器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/02 実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ) 特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 複数系統を有し、各系統が複数台のレー
ザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、 前記各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、 前記光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、 前記光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタし、こ
のレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出
力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、 前記レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を
入力して、前記各系統毎にレーザの放電タイミングをず
らせ各系統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある
系統を特定する第１の診断機能、およびこの第１の診断
機能により異常と特定された系統の各レーザの放電タイ
ミングを１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時
系列で判別して異常のあるレーザを特定する第２の診断
機能を有するレーザタイミング調整手段と、 を備えて成ることを特徴とするレーザシステムの故障診
断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160237A JPH06160237A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3231862B2 true JP3231862B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=18007147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31059592A Expired - Fee Related JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3231862B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6325506B2 (ja) | 2015-11-09 | 2018-05-16 | ファナック株式会社 | 故障診断機能を有するレーザ装置 |
| KR20210053402A (ko) | 2019-11-01 | 2021-05-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 표시 장치 제조 방법 |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP31059592A patent/JP3231862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06160237A (ja) | 1994-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |