JP3231862B2 - レーザシステムの故障診断装置 - Google Patents
レーザシステムの故障診断装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数系統を有し、各系
統が複数台のレーザで構成されるレーザシステムの故障
診断装置に係り、特に各系統のレーザ出力をモニタし、
異常のある系統のどのレーザが故障しているのかを自動
的に特定できるようにしたレーザシステムの故障診断装
置に関するものである。
統が複数台のレーザで構成されるレーザシステムの故障
診断装置に係り、特に各系統のレーザ出力をモニタし、
異常のある系統のどのレーザが故障しているのかを自動
的に特定できるようにしたレーザシステムの故障診断装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、複数系統を有し、各系統が複
数台のレーザで構成されるレーザシステムにおいては、
レーザシステムの故障診断を行なう故障診断装置が用い
られている。
数台のレーザで構成されるレーザシステムにおいては、
レーザシステムの故障診断を行なう故障診断装置が用い
られている。
【0003】図5は、この種の従来のレーザシステムの
故障診断装置の全体構成例を示すブロック図である。
故障診断装置の全体構成例を示すブロック図である。
【0004】図5において、レーザシステムは、1系統
がn台(nは2以上の整数)のレーザ(1台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ)11,12,…,
1nで構成され、全体でm系統(mは2以上の整数)か
ら構成されている。
がn台(nは2以上の整数)のレーザ(1台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ)11,12,…,
1nで構成され、全体でm系統(mは2以上の整数)か
ら構成されている。
【0005】一方、タイミング調整装置は、タイミング
調整器2と、光合成器3と、光検出器4と、部分反射ミ
ラー5と、レーザ出力モニタ装置6とから構成されてい
る。
調整器2と、光合成器3と、光検出器4と、部分反射ミ
ラー5と、レーザ出力モニタ装置6とから構成されてい
る。
【0006】すなわち、タイミング調整器2では、各レ
ーザ11,12,…,1nの放電タイミングをモニタ
し、あらかじめ決められた放電タイミングとなるように
放電タイミングを計算し、n×m台のレーザ11,1
2,…,1nのタイミングを計算機により制御してい
る。
ーザ11,12,…,1nの放電タイミングをモニタ
し、あらかじめ決められた放電タイミングとなるように
放電タイミングを計算し、n×m台のレーザ11,1
2,…,1nのタイミングを計算機により制御してい
る。
【0007】また、光合成器3では、各系統のレーザ1
1,12,…,1nの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
1,12,…,1nの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
【0008】さらに、レーザ出力モニタ装置6では、m
系統のレーザ出力を部分反射ミラー5および光検出器4
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
系統のレーザ出力を部分反射ミラー5および光検出器4
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
レーザシステムの故障診断装置においては、レーザに故
障が発生した場合、各系統毎に設置されている光検出器
4によって異常のある系統が確認されるが、その系統の
どのレーザが故障しているかについては、人間がその都
度目視等により確認している。このため、次のような問
題がある。
レーザシステムの故障診断装置においては、レーザに故
障が発生した場合、各系統毎に設置されている光検出器
4によって異常のある系統が確認されるが、その系統の
どのレーザが故障しているかについては、人間がその都
度目視等により確認している。このため、次のような問
題がある。
【0010】(a)レーザの系統数が多くなると、各系
統毎にモニタ用の光検出器4が必要であるので、光検出
器4の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
統毎にモニタ用の光検出器4が必要であるので、光検出
器4の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
【0011】(b)各系統のどのレーザが故障している
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
【0012】(c)レーザに故障が発生した場合に、レ
ーザの放電を停止すると、再立ち上げに時間を要するば
かりでなく、レーザ管の温度管理や調整等の手間も必要
となり、多大な労力を有することになる。
ーザの放電を停止すると、再立ち上げに時間を要するば
かりでなく、レーザ管の温度管理や調整等の手間も必要
となり、多大な労力を有することになる。
【0013】本発明の目的は、故障したレーザの特定を
自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障
を診断することができ、しかも装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信頼
性の高いレーザシステムの故障診断装置を提供すること
にある。
自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障
を診断することができ、しかも装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信頼
性の高いレーザシステムの故障診断装置を提供すること
にある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、複数系統を有し、各系統が複数台のレ
ーザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を入力
して、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ各系
統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特
定する第1の診断機能、およびこの第1の診断機能によ
り異常と特定された系統の各レーザの放電タイミングを
1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判
別して異常のあるレーザを特定する第2の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
めに本発明では、複数系統を有し、各系統が複数台のレ
ーザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を入力
して、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ各系
統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特
定する第1の診断機能、およびこの第1の診断機能によ
り異常と特定された系統の各レーザの放電タイミングを
1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判
別して異常のあるレーザを特定する第2の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
【0015】
【作用】従って、本発明のレーザシステムの故障診断装
置においては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出
力を光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が
変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、レ
ーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイ
ミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列
で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常と
特定した系統の各レーザの放電タイミングを1台ずつ順
次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常
のあるレーザを特定することにより、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定すること
ができる。
置においては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出
力を光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が
変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、レ
ーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイ
ミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列
で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常と
特定した系統の各レーザの放電タイミングを1台ずつ順
次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常
のあるレーザを特定することにより、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定すること
ができる。
【0016】これにより、故障したレーザの特定を自動
的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障を診
断することができ、しかも装置の簡単化、コストの低廉
化、ならびに省力化を図ることが可能となる。
的に行ない、レーザの放電を停止することなく故障を診
断することができ、しかも装置の簡単化、コストの低廉
化、ならびに省力化を図ることが可能となる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【0018】図1は、本発明によるレーザシステムの故
障診断装置の全体構成例を示すブロック図であり、図5
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、こ
こでは異なる部分についてのみ述べる。
障診断装置の全体構成例を示すブロック図であり、図5
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、こ
こでは異なる部分についてのみ述べる。
【0019】すなわち、本実施例のレーザシステムの故
障診断装置は、図1に示すように、光合成器21と、1
台の部分反射ミラー22と、1台の光検出器23と、レ
ーザ出力モニタ装置24と、タイミング調整器25とか
ら構成している。
障診断装置は、図1に示すように、光合成器21と、1
台の部分反射ミラー22と、1台の光検出器23と、レ
ーザ出力モニタ装置24と、タイミング調整器25とか
ら構成している。
【0020】ここで、光合成器21は、各系統のレーザ
11,12,…,1nの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
11,12,…,1nの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
【0021】また、部分反射ミラー22は、光合成器2
1で合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを透過
するものである。
1で合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを透過
するものである。
【0022】さらに、光検出器23は、部分反射ミラー
22で反射されたレーザ出力を検出するものである。
22で反射されたレーザ出力を検出するものである。
【0023】一方、レーザ出力モニタ装置24は、光検
出器23で検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するものである。
出器23で検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するものである。
【0024】また、タイミング調整器25は、例えば計
算機からなり、各レーザ11,12,…,1nの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、n×m台の
レーザ11,12,…,1nのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置24からの
レーザ出力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ1
1,12,…,1nの放電タイミングをずらせ各系統の
レーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特定す
る第1の診断機能と、この第1の診断機能により異常と
特定された系統の各レーザ11,12,…,1nの放電
タイミングを1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力
を時系列で判別して異常のあるレーザを特定する第2の
診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出
力表示機能とを有するものである。
算機からなり、各レーザ11,12,…,1nの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、n×m台の
レーザ11,12,…,1nのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置24からの
レーザ出力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ1
1,12,…,1nの放電タイミングをずらせ各系統の
レーザ出力を時系列で判別し、異常のある系統を特定す
る第1の診断機能と、この第1の診断機能により異常と
特定された系統の各レーザ11,12,…,1nの放電
タイミングを1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力
を時系列で判別して異常のあるレーザを特定する第2の
診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出
力表示機能とを有するものである。
【0025】次に、以上のように構成した本実施例のレ
ーザシステムの故障診断装置の作用について、図2に示
すフロー図を用いて説明する。
ーザシステムの故障診断装置の作用について、図2に示
すフロー図を用いて説明する。
【0026】図1において、各系統のレーザ11,1
2,…,1nの出力は、光合成器21で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー2
2で反射されて、光検出器23によりレーザ出力が検出
される。
2,…,1nの出力は、光合成器21で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー2
2で反射されて、光検出器23によりレーザ出力が検出
される。
【0027】そして、この光検出器23で検出されたレ
ーザ出力はレーザ出力モニタ装置24によりモニタさ
れ、そのレーザ出力が上昇または下降した場合に、図2
に示すフロー図に従って、タイミング調整器25で故障
レーザが特定される。
ーザ出力はレーザ出力モニタ装置24によりモニタさ
れ、そのレーザ出力が上昇または下降した場合に、図2
に示すフロー図に従って、タイミング調整器25で故障
レーザが特定される。
【0028】すなわち、光検出器23の出力は、各レー
ザ11,12,…,1nが正常な場合、図3の(a)に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力PはP=P0 である。
ザ11,12,…,1nが正常な場合、図3の(a)に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力PはP=P0 である。
【0029】一方、あるレーザに故障が発生して、上記
出力PがP0 から許容値ΔP0 を越えて変化した場合
(|P−P0 |>ΔP0 )には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
出力PがP0 から許容値ΔP0 を越えて変化した場合
(|P−P0 |>ΔP0 )には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
【0030】次に、図3の(b)に示すように、各系統
毎にレーザ11,12,…,1nの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。
毎にレーザ11,12,…,1nの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。
【0031】そして、順次、出力Pi が測定されて、各
系統毎にあらかじめ決められた基準値Pioと比較され、
あらかじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔPioを
越えた(|Pi −Pio|>ΔPio)系統が特定され、異
常系統表示(i=i′)が行なわれる。
系統毎にあらかじめ決められた基準値Pioと比較され、
あらかじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔPioを
越えた(|Pi −Pio|>ΔPio)系統が特定され、異
常系統表示(i=i′)が行なわれる。
【0032】次に、異常と判断された系統のみについ
て、各レーザ11,12,…,1nの放電タイミングを
ずらせる(図3の(c))ことにより、各レーザ11,
12,…,1nの出力Pi ′が測定される。
て、各レーザ11,12,…,1nの放電タイミングを
ずらせる(図3の(c))ことにより、各レーザ11,
12,…,1nの出力Pi ′が測定される。
【0033】そして、順次、出力Pi ′が測定されて、
Pi ′がゼロならば、マスターレーザ(j=1)が発振
を停止しているので、異常状態レーザ表示(状態=停
止、i=i′、J=1)が行なわれる。
Pi ′がゼロならば、マスターレーザ(j=1)が発振
を停止しているので、異常状態レーザ表示(状態=停
止、i=i′、J=1)が行なわれる。
【0034】また、これ以外の時には、i′系統のn台
のレーザ11,12,…,1nの2台目以降のレーザへ
のタイミング信号が1台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Pi ′j と、n台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Pi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合(|
Pi ′j −Pi ′|<ΔPi ′)はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示(状態=停止、i=
i′、j=j′)が行なわれる。
のレーザ11,12,…,1nの2台目以降のレーザへ
のタイミング信号が1台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Pi ′j と、n台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Pi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合(|
Pi ′j −Pi ′|<ΔPi ′)はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示(状態=停止、i=
i′、j=j′)が行なわれる。
【0035】さらに、|Pi ′j −Pi ′|が、あらか
じめ決められた値ΔPi ′j よりも大きい場合(|
Pi ′j −Pi ′|>ΔPi ′j )には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示(状態=出力異常、i=
i′、j=j′)が行なわれる。
じめ決められた値ΔPi ′j よりも大きい場合(|
Pi ′j −Pi ′|>ΔPi ′j )には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示(状態=出力異常、i=
i′、j=j′)が行なわれる。
【0036】以上のようにして、タイミング調整器25
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
【0037】上述したように、本実施例では、1系統が
n台のレーザ11,12,…,1nで構成され、全体で
m系統から構成されるレーザシステムの故障診断装置に
おいて、各系統のレーザ11,12,…,1nの出力
を、光学的に合成して一つのビームにする光合成器21
と、光合成器21で合成されたレーザ出力の一部を反射
し、それを検出する部分反射ミラー22および光検出器
23と、光検出器23で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ装置24
と、各レーザ11,12,…,1nの放電タイミングを
モニタし、あらかじめ決められた放電タイミングとなる
ように放電タイミングを計算し、n×m台のレーザ1
1,12,…,1nのタイミングを制御するタイミング
制御機能と、レーザ出力モニタ装置24からのレーザ出
力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ11,12,
…,1nの放電タイミングをずらせ各系統のレーザ出力
を時系列で判別し、異常のある系統を特定する第1の診
断機能と、この第1の診断機能により異常と特定された
系統の各レーザ11,12,…,1nの放電タイミング
を1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で
判別して異常のあるレーザを特定する第2の診断機能
と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出力表示機
能とを有するタイミング調整器25とから構成したもの
である。
n台のレーザ11,12,…,1nで構成され、全体で
m系統から構成されるレーザシステムの故障診断装置に
おいて、各系統のレーザ11,12,…,1nの出力
を、光学的に合成して一つのビームにする光合成器21
と、光合成器21で合成されたレーザ出力の一部を反射
し、それを検出する部分反射ミラー22および光検出器
23と、光検出器23で検出されたレーザ出力をモニタ
し、このレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ装置24
と、各レーザ11,12,…,1nの放電タイミングを
モニタし、あらかじめ決められた放電タイミングとなる
ように放電タイミングを計算し、n×m台のレーザ1
1,12,…,1nのタイミングを制御するタイミング
制御機能と、レーザ出力モニタ装置24からのレーザ出
力異常信号を入力して、各系統毎にレーザ11,12,
…,1nの放電タイミングをずらせ各系統のレーザ出力
を時系列で判別し、異常のある系統を特定する第1の診
断機能と、この第1の診断機能により異常と特定された
系統の各レーザ11,12,…,1nの放電タイミング
を1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で
判別して異常のあるレーザを特定する第2の診断機能
と、上記各診断結果を出力表示する診断結果出力表示機
能とを有するタイミング調整器25とから構成したもの
である。
【0038】従って、次のような効果が得られるもので
ある。
ある。
【0039】(a)各レーザ11,12,…,1nの放
電タイミングをずらせ、出力をモニタするようにしてい
るので、故障したレーザの特定を自動的に行ない、レー
ザの放電を停止することなく故障を診断することが可能
となる。
電タイミングをずらせ、出力をモニタするようにしてい
るので、故障したレーザの特定を自動的に行ない、レー
ザの放電を停止することなく故障を診断することが可能
となる。
【0040】(b)m系統のレーザ出力を、1台の光検
出器23で測定できるので、レーザの系統数mが多くな
っても、光検出器23の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
出器23で測定できるので、レーザの系統数mが多くな
っても、光検出器23の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
【0041】(c)各系統のどのレーザが故障している
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
【0042】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
【0043】(a)上記実施例では、1台のタイミング
調整器(計算機)でn×m台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図4に示すように、
1系統のタイミングを各系統毎に設けた1台のタイミン
グ調整器(計算機)31,32,33,…,3mでそれ
ぞれ制御し、中央の1台のタイミング調整器(計算機)
41で各系統のタイミング調整器31,32,33,
…,3mを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
調整器(計算機)でn×m台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図4に示すように、
1系統のタイミングを各系統毎に設けた1台のタイミン
グ調整器(計算機)31,32,33,…,3mでそれ
ぞれ制御し、中央の1台のタイミング調整器(計算機)
41で各系統のタイミング調整器31,32,33,
…,3mを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
【0044】この場合には、タイミング調整器41に前
記第1の診断機能を持たせ、各タイミング調整器31,
32,33,…,3mに前記第2の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
記第1の診断機能を持たせ、各タイミング調整器31,
32,33,…,3mに前記第2の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
【0045】(b)上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
【0046】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【0047】(c)上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器21で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器21で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
【0048】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【0049】(d)上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記(c)および(d)の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
間的、時間的に1点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記(c)および(d)の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
【0050】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して光検出手段で
検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したことをレ
ーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタイミン
グ調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミングをずら
せ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別して異
常のある系統を特定し、さらにその異常と特定した系統
の各レーザの放電タイミングを1台ずつ順次ずらせ、そ
の時のレーザ出力を時系列で判別して異常のあるレーザ
を特定するようにしているので、故障したレーザの特定
を自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故
障を診断することができ、しかも装置の簡単化、コスト
の低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信
頼性の高いレーザシステムの故障診断装置が提供でき
る。
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して光検出手段で
検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したことをレ
ーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタイミン
グ調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミングをずら
せ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別して異
常のある系統を特定し、さらにその異常と特定した系統
の各レーザの放電タイミングを1台ずつ順次ずらせ、そ
の時のレーザ出力を時系列で判別して異常のあるレーザ
を特定するようにしているので、故障したレーザの特定
を自動的に行ない、レーザの放電を停止することなく故
障を診断することができ、しかも装置の簡単化、コスト
の低廉化、ならびに省力化を図ることが可能な極めて信
頼性の高いレーザシステムの故障診断装置が提供でき
る。
【図1】本発明によるレーザシステムの故障診断装置の
一実施例を示すブロック図。
一実施例を示すブロック図。
【図2】同実施例における異常レーザの特定方法を説明
するためのフロー図。
するためのフロー図。
【図3】同実施例におけるレーザ出力モニタ信号を説明
するための図。
するための図。
【図4】本発明によるレーザシステムの故障診断装置の
他の実施例を示すブロック図。
他の実施例を示すブロック図。
【図5】従来のレーザシステムの故障診断装置の構成例
を示すブロック図。
を示すブロック図。
11,12,…,1n…レーザ、 21…光合成器、 22…部分反射ミラー、 23…光検出器、 24…レーザ出力モニタ装置、 25…タイミング調整器、 31,32,33,…,3m…タイミング調整器、 41…タイミング調整器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 11/00 - 11/02 実用ファイル(PATOLIS) 特許ファイル(PATOLIS)
Claims (1)
- 【請求項1】 複数系統を有し、各系統が複数台のレー
ザで構成されるレーザシステムの故障診断装置におい
て、 前記各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、 前記光合成手段で合成されたレーザ出力を検出する光検
出手段と、 前記光検出手段で検出されたレーザ出力をモニタし、こ
のレーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出
力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、 前記レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号を
入力して、前記各系統毎にレーザの放電タイミングをず
らせ各系統のレーザ出力を時系列で判別し、異常のある
系統を特定する第1の診断機能、およびこの第1の診断
機能により異常と特定された系統の各レーザの放電タイ
ミングを1台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時
系列で判別して異常のあるレーザを特定する第2の診断
機能を有するレーザタイミング調整手段と、 を備えて成ることを特徴とするレーザシステムの故障診
断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06160237A JPH06160237A (ja) | 1994-06-07 |
JP3231862B2 true JP3231862B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=18007147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31059592A Expired - Fee Related JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3231862B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6325506B2 (ja) | 2015-11-09 | 2018-05-16 | ファナック株式会社 | 故障診断機能を有するレーザ装置 |
US11226445B2 (en) | 2019-11-01 | 2022-01-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device viewable with polarizing sunglasses and method for manufacturing the same |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP31059592A patent/JP3231862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06160237A (ja) | 1994-06-07 |
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---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |