JPH06160237A - レーザタイミング調整装置 - Google Patents
レーザタイミング調整装置Info
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- JPH06160237A JPH06160237A JP4310595A JP31059592A JPH06160237A JP H06160237 A JPH06160237 A JP H06160237A JP 4310595 A JP4310595 A JP 4310595A JP 31059592 A JP31059592 A JP 31059592A JP H06160237 A JPH06160237 A JP H06160237A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、故障したレーザの特定を１台の光検
出手段により自動的に行ない、装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図れることを最も主要な目的
としている。 【構成】本発明は、各系統のレーザ出力を光合成手段で
合成して１台の光検出手段で検出してモニタし、そのレ
ーザ出力が変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出
した場合に、レーザタイミング調整手段で各系統毎にレ
ーザの放電タイミングをずらせ、その時の各系統のレー
ザ出力を時系列で判別して異常のある系統を特定し、さ
らにその異常と特定した系統の各レーザの放電タイミン
グを１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列
で判別して異常のあるレーザを特定することを特徴とし
ている。
出手段により自動的に行ない、装置の簡単化、コストの
低廉化、ならびに省力化を図れることを最も主要な目的
としている。 【構成】本発明は、各系統のレーザ出力を光合成手段で
合成して１台の光検出手段で検出してモニタし、そのレ
ーザ出力が変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出
した場合に、レーザタイミング調整手段で各系統毎にレ
ーザの放電タイミングをずらせ、その時の各系統のレー
ザ出力を時系列で判別して異常のある系統を特定し、さ
らにその異常と特定した系統の各レーザの放電タイミン
グを１台ずつ順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列
で判別して異常のあるレーザを特定することを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ｎ×ｍ台のレーザから
構成されるレーザシステムのタイミングを制御するレー
ザタイミング調整装置に係り、特に１台の光検出手段に
よりｍ系統のレーザ出力をモニタし、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定できるよ
うにしたレーザタイミング調整装置に関するものであ
る。
構成されるレーザシステムのタイミングを制御するレー
ザタイミング調整装置に係り、特に１台の光検出手段に
よりｍ系統のレーザ出力をモニタし、異常のある系統の
どのレーザが故障しているのかを自動的に特定できるよ
うにしたレーザタイミング調整装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ｎ×ｍ台のレーザから構成さ
れるレーザシステムにおいては、レーザのタイミングを
制御するレーザタイミング調整装置が用いられている。
れるレーザシステムにおいては、レーザのタイミングを
制御するレーザタイミング調整装置が用いられている。
【０００３】図５は、この種の従来のレーザタイミング
調整装置の全体構成例を示すブロック図である。
調整装置の全体構成例を示すブロック図である。
【０００４】図５において、レーザシステムは、１系統
がｎ台（ｎは２以上の整数）のレーザ（１台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ）１１，１２，…，
１ｎで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）か
ら構成されている。
がｎ台（ｎは２以上の整数）のレーザ（１台目のレーザ
がオシレータで、次段以降がアンプ）１１，１２，…，
１ｎで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）か
ら構成されている。
【０００５】一方、タイミング調整装置は、タイミング
調整器２と、光合成器３と、光検出器４と、部分反射ミ
ラー５と、レーザ出力モニタ装置６とから構成されてい
る。すなわち、タイミング調整器２では、各レーザ１
１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタし、あら
かじめ決められた放電タイミングとなるように放電タイ
ミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１２，…，１
ｎのタイミングを計算機により制御している。
調整器２と、光合成器３と、光検出器４と、部分反射ミ
ラー５と、レーザ出力モニタ装置６とから構成されてい
る。すなわち、タイミング調整器２では、各レーザ１
１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタし、あら
かじめ決められた放電タイミングとなるように放電タイ
ミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１２，…，１
ｎのタイミングを計算機により制御している。
【０００６】また、光合成器３では、各系統のレーザ１
１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つの
ビームにする。
【０００７】さらに、レーザ出力モニタ装置６では、ｍ
系統のレーザ出力を部分反射ミラー５および光検出器４
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
系統のレーザ出力を部分反射ミラー５および光検出器４
で検出し、レーザ出力の異常をモニタしている。
【０００８】ところで、このようなレーザタイミング調
整装置においては、レーザに故障が発生した場合、各系
統毎に設置されている光検出器４によって異常のある系
統が確認されるが、その系統のどのレーザが故障してい
るかについては、人間がその都度目視等により確認して
いる。このため、次のような問題がある。
整装置においては、レーザに故障が発生した場合、各系
統毎に設置されている光検出器４によって異常のある系
統が確認されるが、その系統のどのレーザが故障してい
るかについては、人間がその都度目視等により確認して
いる。このため、次のような問題がある。
【０００９】（ａ）レーザの系統数が多くなると、各系
統毎にモニタ用の光検出器４が必要であるので、光検出
器４の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
統毎にモニタ用の光検出器４が必要であるので、光検出
器４の数が多くなり、装置が複雑になるばかりでなくコ
スト的にも高くなる。
【００１０】（ｂ）各系統のどのレーザが故障している
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
かの確認を、人間が目視等により行なうため、マンパワ
ーが必要であり、省力化の点で問題がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
レーザタイミング調整装置においては、装置が複雑にな
りコスト的にも高くなるばかりでなく、省力化の点でも
問題があった。
レーザタイミング調整装置においては、装置が複雑にな
りコスト的にも高くなるばかりでなく、省力化の点でも
問題があった。
【００１２】本発明の目的は、故障したレーザの特定を
１台の光検出手段により自動的に行ない、装置の簡単
化、コストの低廉化、ならびに省力化を図ることが可能
な極めて信頼性の高いレーザタイミング調整装置を提供
することにある。
１台の光検出手段により自動的に行ない、装置の簡単
化、コストの低廉化、ならびに省力化を図ることが可能
な極めて信頼性の高いレーザタイミング調整装置を提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、１系統がｎ台（ｎは２以上の整数）の
レーザで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）
から構成されるレーザシステムのタイミングを制御する
レーザタイミング調整装置において、各系統のレーザ出
力を光学的に合成する光合成手段と、光合成手段により
合成されたレーザ出力を検出する１台の光検出手段と、
光検出手段により検出されたレーザ出力をモニタし、当
該レーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出
力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、各レー
ザの放電タイミングをモニタし、あらかじめ決められた
放電タイミングとなるように放電タイミングを計算し、
各レーザのタイミングを制御するタイミング制御機能、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号が入力
されると、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ
てその時の各系統のレーザ出力を時系列で判別し異常の
ある系統を特定する第１の診断機能、第１の診断機能に
より異常と特定された系統の各レーザの放電タイミング
を１台ずつ順次ずらせてその時のレーザ出力を時系列で
判別し異常のあるレーザを特定する第２の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
めに本発明では、１系統がｎ台（ｎは２以上の整数）の
レーザで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）
から構成されるレーザシステムのタイミングを制御する
レーザタイミング調整装置において、各系統のレーザ出
力を光学的に合成する光合成手段と、光合成手段により
合成されたレーザ出力を検出する１台の光検出手段と、
光検出手段により検出されたレーザ出力をモニタし、当
該レーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出
力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、各レー
ザの放電タイミングをモニタし、あらかじめ決められた
放電タイミングとなるように放電タイミングを計算し、
各レーザのタイミングを制御するタイミング制御機能、
レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力異常信号が入力
されると、各系統毎にレーザの放電タイミングをずらせ
てその時の各系統のレーザ出力を時系列で判別し異常の
ある系統を特定する第１の診断機能、第１の診断機能に
より異常と特定された系統の各レーザの放電タイミング
を１台ずつ順次ずらせてその時のレーザ出力を時系列で
判別し異常のあるレーザを特定する第２の診断機能を有
するレーザタイミング調整手段とを備えて構成してい
る。
【００１４】ここで、特に上記レーザタイミング調整手
段としては、ｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制御する
１台の計算機からなる集中制御型のものである。
段としては、ｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制御する
１台の計算機からなる集中制御型のものである。
【００１５】また、上記レーザタイミング調整手段とし
ては、各系統のレーザのタイミングを制御する各系統の
ｍ台の第１の計算機と、各第１の計算機を制御する中央
の１台の第２の計算機とからなる分散制御型のものであ
る。
ては、各系統のレーザのタイミングを制御する各系統の
ｍ台の第１の計算機と、各第１の計算機を制御する中央
の１台の第２の計算機とからなる分散制御型のものであ
る。
【００１６】さらに、上記レーザタイミング調整手段と
しては、各系統の発振周波数をωとし、各系統を整数の
グループに分け、タイミングを各々ずらしてωの整数倍
の周波数でレーザ出力を取り出すようにしている。
しては、各系統の発振周波数をωとし、各系統を整数の
グループに分け、タイミングを各々ずらしてωの整数倍
の周波数でレーザ出力を取り出すようにしている。
【００１７】また、上記光合成手段としては、各系統の
レーザ出力を分割し、整数本に分割するようにしてい
る。
レーザ出力を分割し、整数本に分割するようにしてい
る。
【００１８】
【作用】従って、本発明のレーザタイミング調整装置に
おいては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出力を
１台の光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力
が変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、
レーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タ
イミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系
列で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常
と特定した系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ
順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異
常のあるレーザを特定することにより、異常のある系統
のどのレーザが故障しているのかを自動的に特定するこ
とができる。
おいては、光合成手段で合成した各系統のレーザ出力を
１台の光検出手段で検出してモニタし、そのレーザ出力
が変化したことをレーザ出力モニタ手段で検出すると、
レーザタイミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タ
イミングをずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系
列で判別して異常のある系統を特定し、さらにその異常
と特定した系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ
順次ずらせ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異
常のあるレーザを特定することにより、異常のある系統
のどのレーザが故障しているのかを自動的に特定するこ
とができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００２０】図１は、本発明によるレーザタイミング調
整装置の全体構成例を示すブロック図であり、図５と同
一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここで
は異なる部分についてのみ述べる。
整装置の全体構成例を示すブロック図であり、図５と同
一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここで
は異なる部分についてのみ述べる。
【００２１】すなわち、本実施例のレーザタイミング調
整装置は、図１に示すように、光合成器２１と、１台の
部分反射ミラー２２と、１台の光検出器２３と、レーザ
出力モニタ装置２４と、タイミング調整器２５とから構
成している。
整装置は、図１に示すように、光合成器２１と、１台の
部分反射ミラー２２と、１台の光検出器２３と、レーザ
出力モニタ装置２４と、タイミング調整器２５とから構
成している。
【００２２】ここで、光合成器２１は、各系統のレーザ
１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して一つ
のビームにするものである。
【００２３】また、部分反射ミラー２２は、光合成器２
１により合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを
透過するものである。
１により合成されたレーザ出力の一部を反射し、残りを
透過するものである。
【００２４】さらに、光検出器２３は、部分反射ミラー
２２により反射されたレーザ出力を検出するものであ
る。
２２により反射されたレーザ出力を検出するものであ
る。
【００２５】一方、レーザ出力モニタ装置２４は、光検
出器２３により検出されたレーザ出力をモニタし、この
レーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力
異常信号を出力するものである。
出器２３により検出されたレーザ出力をモニタし、この
レーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力
異常信号を出力するものである。
【００２６】また、タイミング調整器２５は、例えば計
算機からなり、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台の
レーザ１１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からの
レーザ出力異常信号が入力されると、各系統毎にレーザ
１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをずらせてその
時の各系統のレーザ出力を時系列で判別し異常のある系
統を特定する第１の診断機能と、第１の診断機能により
異常と特定された系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎ
の放電タイミングを１台ずつ順次ずらせてその時のレー
ザ出力を時系列で判別し異常のあるレーザを特定する第
２の診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結
果出力表示機能とを有するものである。
算機からなり、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タ
イミングをモニタし、あらかじめ決められた放電タイミ
ングとなるように放電タイミングを計算し、ｎ×ｍ台の
レーザ１１，１２，…，１ｎのタイミングを制御するタ
イミング制御機能と、レーザ出力モニタ装置２４からの
レーザ出力異常信号が入力されると、各系統毎にレーザ
１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをずらせてその
時の各系統のレーザ出力を時系列で判別し異常のある系
統を特定する第１の診断機能と、第１の診断機能により
異常と特定された系統の各レーザ１１，１２，…，１ｎ
の放電タイミングを１台ずつ順次ずらせてその時のレー
ザ出力を時系列で判別し異常のあるレーザを特定する第
２の診断機能と、上記各診断結果を出力表示する診断結
果出力表示機能とを有するものである。
【００２７】次に、以上のように構成した本実施例のレ
ーザタイミング調整装置の作用について、図２に示すフ
ロー図を用いて説明する。
ーザタイミング調整装置の作用について、図２に示すフ
ロー図を用いて説明する。
【００２８】図１において、各系統のレーザ１１，１
２，…，１ｎの出力は、光合成器２１で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー２
２で反射されて、光検出器２３によりレーザ出力が検出
される。そして、この光検出器２３で検出されたレーザ
出力はレーザ出力モニタ装置２４によりモニタされ、そ
のレーザ出力が上昇または下降した場合に、図２に示す
フロー図に従って、タイミング調整器２５で故障レーザ
が特定される。
２，…，１ｎの出力は、光合成器２１で光学的に合成さ
れて一つのビームとなり、その一部が部分反射ミラー２
２で反射されて、光検出器２３によりレーザ出力が検出
される。そして、この光検出器２３で検出されたレーザ
出力はレーザ出力モニタ装置２４によりモニタされ、そ
のレーザ出力が上昇または下降した場合に、図２に示す
フロー図に従って、タイミング調整器２５で故障レーザ
が特定される。
【００２９】すなわち、光検出器２３の出力は、各レー
ザ１１，１２，…，１ｎが正常な場合、図３の（ａ）に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力ＰはＰ＝Ｐ0 である。
ザ１１，１２，…，１ｎが正常な場合、図３の（ａ）に
示すように、ある一定の周期で規則正しく出ており、こ
の出力ＰはＰ＝Ｐ0 である。
【００３０】一方、あるレーザに故障が発生して、上記
出力ＰがＰ0 から許容値ΔＰ0 を越えて変化した場合
（｜Ｐ−Ｐ0 ｜＞ΔＰ0 ）には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
出力ＰがＰ0 から許容値ΔＰ0 を越えて変化した場合
（｜Ｐ−Ｐ0 ｜＞ΔＰ0 ）には、レーザ出力異常信号を
送出してアラーム表示が行なわれる。
【００３１】次に、図３の（ｂ）に示すように、各系統
毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。そして、順次、出力Ｐi が測定されて、各系統
毎にあらかじめ決められた基準値Ｐioと比較され、あら
かじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔＰioを越え
た（｜Ｐi −Ｐio｜＞ΔＰio）系統が特定され、異常系
統表示（ｉ＝ｉ′）が行なわれる。
毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをず
らせることにより、各系統のレーザ出力が時系列で測定
される。そして、順次、出力Ｐi が測定されて、各系統
毎にあらかじめ決められた基準値Ｐioと比較され、あら
かじめ各系統毎に決められたずれの許容値ΔＰioを越え
た（｜Ｐi −Ｐio｜＞ΔＰio）系統が特定され、異常系
統表示（ｉ＝ｉ′）が行なわれる。
【００３２】次に、異常と判断された系統のみについ
て、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
ずらせる（図３の（ｃ））ことにより、各レーザ１１，
１２，…，１ｎの出力Ｐi ′が測定される。そして、順
次、出力Ｐi ′が測定されて、Ｐi ′がゼロならば、マ
スターレーザ（ｊ＝１）が発振を停止しているので、異
常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝ｉ′、Ｊ＝１）が
行なわれる。
て、各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを
ずらせる（図３の（ｃ））ことにより、各レーザ１１，
１２，…，１ｎの出力Ｐi ′が測定される。そして、順
次、出力Ｐi ′が測定されて、Ｐi ′がゼロならば、マ
スターレーザ（ｊ＝１）が発振を停止しているので、異
常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝ｉ′、Ｊ＝１）が
行なわれる。
【００３３】また、これ以外の時には、ｉ′系統のｎ台
のレーザ１１，１２，…，１ｎの２台目以降のレーザへ
のタイミング信号が１台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Ｐi ′j と、ｎ台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Ｐi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＜ΔＰi ′）はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
のレーザ１１，１２，…，１ｎの２台目以降のレーザへ
のタイミング信号が１台ずつ順次停止され、その時のレ
ーザ出力Ｐi ′j と、ｎ台目レーザの全てにタイミング
信号を出している時のレーザ出力Ｐi ′とが比較され、
タイミング信号を停止しても出力に変化の無い場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＜ΔＰi ′）はレーザが発振停止し
ているので、異常状態レーザ表示（状態＝停止、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
【００３４】さらに、｜Ｐi ′j −Ｐi ′｜が、あらか
じめ決められた値ΔＰi ′j よりも大きい場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＞ΔＰi ′j ）には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示（状態＝出力異常、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
じめ決められた値ΔＰi ′j よりも大きい場合（｜
Ｐi ′j −Ｐi ′｜＞ΔＰi ′j ）には異常出力と判断
され、異常状態レーザ表示（状態＝出力異常、ｉ＝
ｉ′、ｊ＝ｊ′）が行なわれる。
【００３５】以上のようにして、タイミング調整器２５
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
により、自動的に問題のレーザの特定と状態の推定が行
なわれることになる。
【００３６】上述したように、本実施例では、１系統が
ｎ台のレーザ１１，１２，…，１ｎで構成され、全体で
ｍ系統から構成されるレーザシステムのタイミングを制
御するレーザタイミング調整装置において、各系統のレ
ーザ１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して
一つのビームにする光合成器２１と、光合成器２１によ
り合成されたレーザ出力の一部を反射し、それを検出す
る部分反射ミラー２２および光検出器２３と、光検出器
２３により検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するレーザ出力モニタ装置２４と、各レーザ
１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタし、あ
らかじめ決められた放電タイミングとなるように放電タ
イミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１２，…，
１ｎのタイミングを制御するタイミング制御機能と、レ
ーザ出力モニタ装置２４からのレーザ出力異常信号が入
力されると、各系統毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの
放電タイミングをずらせてその時の各系統のレーザ出力
を時系列で判別し異常のある系統を特定する第１の診断
機能と、第１の診断機能により異常と特定された系統の
各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを１台
ずつ順次ずらせてその時のレーザ出力を時系列で判別し
異常のあるレーザを特定する第２の診断機能と、上記各
診断結果を出力表示する診断結果出力表示機能とを有す
るタイミング調整器２５とから構成したものである。
ｎ台のレーザ１１，１２，…，１ｎで構成され、全体で
ｍ系統から構成されるレーザシステムのタイミングを制
御するレーザタイミング調整装置において、各系統のレ
ーザ１１，１２，…，１ｎの出力を、光学的に合成して
一つのビームにする光合成器２１と、光合成器２１によ
り合成されたレーザ出力の一部を反射し、それを検出す
る部分反射ミラー２２および光検出器２３と、光検出器
２３により検出されたレーザ出力をモニタし、このレー
ザ出力が許容値を越えて変化した場合にレーザ出力異常
信号を出力するレーザ出力モニタ装置２４と、各レーザ
１１，１２，…，１ｎの放電タイミングをモニタし、あ
らかじめ決められた放電タイミングとなるように放電タ
イミングを計算し、ｎ×ｍ台のレーザ１１，１２，…，
１ｎのタイミングを制御するタイミング制御機能と、レ
ーザ出力モニタ装置２４からのレーザ出力異常信号が入
力されると、各系統毎にレーザ１１，１２，…，１ｎの
放電タイミングをずらせてその時の各系統のレーザ出力
を時系列で判別し異常のある系統を特定する第１の診断
機能と、第１の診断機能により異常と特定された系統の
各レーザ１１，１２，…，１ｎの放電タイミングを１台
ずつ順次ずらせてその時のレーザ出力を時系列で判別し
異常のあるレーザを特定する第２の診断機能と、上記各
診断結果を出力表示する診断結果出力表示機能とを有す
るタイミング調整器２５とから構成したものである。
【００３７】従って、次のような効果が得られるもので
ある。
ある。
【００３８】（ａ）ｍ系統のレーザ出力を、１台の光検
出器２３で測定できるので、レーザの系統数ｍが多くな
っても、光検出器２３の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
出器２３で測定できるので、レーザの系統数ｍが多くな
っても、光検出器２３の数には影響せず、装置が複雑に
なることがなく、コスト的にも極めて安価である。
【００３９】（ｂ）各系統のどのレーザが故障している
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
かを自動的に特定できるので、従来のように人間が目視
等により行なうことによるマンパワーが不要となり、省
力化を図ることが可能となる。
【００４０】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
ではなく、次のようにしても同様に実施できるものであ
る。
【００４１】（ａ）上記実施例では、１台のタイミング
調整器（計算機）でｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図４に示すように、
１系統のタイミングを各系統毎に設けた１台のタイミン
グ調整器（計算機）３１，３２，３３，…，３ｍでそれ
ぞれ制御し、中央の１台のタイミング調整器（計算機）
４１で各系統のタイミング調整器３１，３２，３３，
…，３ｍを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
調整器（計算機）でｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制
御する集中制御型のタイミング調整装置の場合について
説明したが、これに限らず、例えば図４に示すように、
１系統のタイミングを各系統毎に設けた１台のタイミン
グ調整器（計算機）３１，３２，３３，…，３ｍでそれ
ぞれ制御し、中央の１台のタイミング調整器（計算機）
４１で各系統のタイミング調整器３１，３２，３３，
…，３ｍを制御する分散制御型のタイミング調整装置の
場合についても、本発明を同様に適用することが可能で
ある。
【００４２】この場合には、タイミング調整器４１に前
記第１の診断機能を持たせ、各タイミング調整器３１，
３２，３３，…，３ｍに前記第２の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
記第１の診断機能を持たせ、各タイミング調整器３１，
３２，３３，…，３ｍに前記第２の診断機能を持たせる
ようにすればよい。
【００４３】（ｂ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば各系統の発振周波数をωと
し、各系統を整数のグループに分け、タイミングを各々
ずらしてωの整数倍の周波数でレーザ光を取り出すよう
にしてもよい。
【００４４】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００４５】（ｃ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器２１で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば光合成器２１で各系統のレー
ザ出力を等分割し、整数本に分割するようにしてもよ
い。
【００４６】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００４７】（ｄ）上記各実施例では、レーザ出力を空
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記（ｃ）および（ｄ）の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
間的、時間的に１点の調整をする場合について説明した
が、これに限らず、例えば上記（ｃ）および（ｄ）の両
方を同時に実施、すなわち周波数をωの整数倍とし、ビ
ームの本数を数本とするようにしてもよい。
【００４８】この場合にも、レーザのタイミングをずら
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
せることにより、故障のレーザを自動的に特定すること
が可能である。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して１台の光検出
手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したこ
とをレーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタ
イミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミング
をずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別
して異常のある系統を特定し、さらにその異常と特定し
た系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順次ずら
せ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常のある
レーザを特定するようにしたので、故障したレーザの特
定を１台の光検出手段により自動的に行ない、装置の簡
単化、コストの低廉化、ならびに省力化を図ることが可
能な極めて信頼性の高いレーザタイミング調整装置が提
供できる。
系統のレーザ出力を光合成手段で合成して１台の光検出
手段で検出してモニタし、そのレーザ出力が変化したこ
とをレーザ出力モニタ手段で検出した場合に、レーザタ
イミング調整手段で各系統毎にレーザの放電タイミング
をずらせ、その時の各系統のレーザ出力を時系列で判別
して異常のある系統を特定し、さらにその異常と特定し
た系統の各レーザの放電タイミングを１台ずつ順次ずら
せ、その時のレーザ出力を時系列で判別して異常のある
レーザを特定するようにしたので、故障したレーザの特
定を１台の光検出手段により自動的に行ない、装置の簡
単化、コストの低廉化、ならびに省力化を図ることが可
能な極めて信頼性の高いレーザタイミング調整装置が提
供できる。
【図１】本発明によるレーザタイミング調整装置の一実
施例を示すブロック図。
施例を示すブロック図。
【図２】同実施例における異常レーザの特定方法を説明
するためのフロー図。
するためのフロー図。
【図３】同実施例におけるレーザ出力モニタ信号を説明
するための図。
するための図。
【図４】本発明によるレーザタイミング調整装置の他の
実施例を示すブロック図。
実施例を示すブロック図。
【図５】従来のレーザタイミング調整装置の構成例を示
すブロック図。
すブロック図。
１１，１２，…，１ｎ…レーザ、２１…光合成器、２２
…部分反射ミラー、２３…光検出器、２４…レーザ出力
モニタ装置、２５…タイミング調整器、３１，３２，３
３，…，３ｍ…タイミング調整器、４１…タイミング調
整器。
…部分反射ミラー、２３…光検出器、２４…レーザ出力
モニタ装置、２５…タイミング調整器、３１，３２，３
３，…，３ｍ…タイミング調整器、４１…タイミング調
整器。
Claims (5)
- 【請求項１】 １系統がｎ台（ｎは２以上の整数）のレ
ーザで構成され、全体でｍ系統（ｍは２以上の整数）か
ら構成されるレーザシステムのタイミングを制御するレ
ーザタイミング調整装置において、 前記各系統のレーザ出力を光学的に合成する光合成手段
と、 前記光合成手段により合成されたレーザ出力を検出する
１台の光検出手段と、 前記光検出手段により検出されたレーザ出力をモニタ
し、当該レーザ出力が許容値を越えて変化した場合にレ
ーザ出力異常信号を出力するレーザ出力モニタ手段と、 前記各レーザの放電タイミングをモニタし、あらかじめ
決められた放電タイミングとなるように放電タイミング
を計算し、各レーザのタイミングを制御するタイミング
制御機能、前記レーザ出力モニタ手段からのレーザ出力
異常信号が入力されると、前記各系統毎にレーザの放電
タイミングをずらせてその時の各系統のレーザ出力を時
系列で判別し異常のある系統を特定する第１の診断機
能、前記第１の診断機能により異常と特定された系統の
各レーザの放電タイミングを１台ずつ順次ずらせてその
時のレーザ出力を時系列で判別し異常のあるレーザを特
定する第２の診断機能を有するレーザタイミング調整手
段と、 を備えて成ることを特徴とするレーザタイミング調整装
置。 - 【請求項２】 前記レーザタイミング調整手段として
は、ｎ×ｍ台のレーザのタイミングを制御する１台の計
算機からなる集中制御型のものであることを特徴とする
請求項１に記載のレーザタイミング調整装置。 - 【請求項３】 前記レーザタイミング調整手段として
は、各系統のレーザのタイミングを制御する各系統のｍ
台の第１の計算機と、前記各第１の計算機を制御する中
央の１台の第２の計算機とからなる分散制御型のもので
あることを特徴とする請求項１に記載のレーザタイミン
グ調整装置。 - 【請求項４】 前記レーザタイミング調整手段として
は、各系統の発振周波数をωとし、各系統を整数のグル
ープに分け、タイミングを各々ずらしてωの整数倍の周
波数でレーザ出力を取り出すようにしたことを特徴とす
る請求項１に記載のレーザタイミング調整装置。 - 【請求項５】 前記光合成手段としては、各系統のレー
ザ出力を分割し、整数本に分割するようにしたことを特
徴とする請求項１に記載のレーザタイミング調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31059592A JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160237A true JPH06160237A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3231862B2 JP3231862B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=18007147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31059592A Expired - Fee Related JP3231862B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | レーザシステムの故障診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3231862B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102016121211A1 (de) | 2015-11-09 | 2017-05-11 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit fehlerdiagnosefunktion |
| US11226445B2 (en) | 2019-11-01 | 2022-01-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device viewable with polarizing sunglasses and method for manufacturing the same |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP31059592A patent/JP3231862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102016121211A1 (de) | 2015-11-09 | 2017-05-11 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit fehlerdiagnosefunktion |
| JP2017092206A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | ファナック株式会社 | 故障診断機能を有するレーザ装置 |
| US9685758B2 (en) | 2015-11-09 | 2017-06-20 | Fanuc Corporation | Laser system having fault diagnosis function |
| DE102016121211B4 (de) | 2015-11-09 | 2021-09-30 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit fehlerdiagnosefunktion |
| US11226445B2 (en) | 2019-11-01 | 2022-01-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device viewable with polarizing sunglasses and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3231862B2 (ja) | 2001-11-26 |
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|---|---|---|---|
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