JP3226612B2 - プローブヘッド - Google Patents

プローブヘッド

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JP3226612B2
JP3226612B2 JP18543592A JP18543592A JP3226612B2 JP 3226612 B2 JP3226612 B2 JP 3226612B2 JP 18543592 A JP18543592 A JP 18543592A JP 18543592 A JP18543592 A JP 18543592A JP 3226612 B2 JP3226612 B2 JP 3226612B2
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、座標位置決め機械に用
いられ、機械の可動腕（またはクイル）に相対的に、例
えば接触トリガープローブを向けるようにしたプローブ
ヘッドに関する。座標位置決め機械は、例えば座標測定
機または工作機械であってもよい。
【０００２】
【従来の技術】機械のクイルに、相対的に２つの回転自
由度をもたせてプローブを向けるために、２軸の動力プ
ローブヘッドを設けることが知られている（「Ｐｒｏｂ
ｉｎｇｆｏｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｉｖｉｔｙ ｏｎ Ｃｏ
ｏｒｄｉｎａｔｅ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｍａｃｈｉｎ
ｅｓ」 レニショウ社による）。
【０００３】かかるプローブヘッドは、機械のクイルに
連結可能な支持部材と直列にマウントされた一対のロー
タを有し、各ローラは係合可能で複数の割出し位置間を
回転し得る。プローブは「自由」ロータに結合されてお
り、１つまたは両ロータをそれぞれの軸線回りに回動す
ることにより、クイルに相対的に向けられる。２つの相
対回転部分間の位置の割出しは、一つの部分上のボール
の環と他の部分上の３つの着座部材とにより、各ボール
が隣接するボール対により形成された収束表面に着座す
ることによってもたらされる。かくて、各割出し位置に
おいて各ロータは運動学的（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌ
ｙ）に支持され、これが各割出し位置においてプローブ
の最大の位置反復性をもたらしている。
【０００４】異なるタイプの計測作業を遂行するために
は、プローブヘッドに担持されているプローブを他のも
のと交換することが望ましいことが多々ある。欧州特許
ＥＰ０１４２３７３号は、プローブ交換を促進するため
にプローブの取外し自在な運動学的係合を行っているシ
ステムを開示している。これは機械上で所定のプローブ
が取除かれ置換えられる度毎に、クイルに対するプロー
ブの位置を決定するために機械を較正する必要性を無く
している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プロー
ブを支持する目的のために、プローブとクイルとの間に
形成された個々の運動学的配置（すなわち、プローブヘ
ッドにおけるプローブの運動学的配置、およびプローブ
ヘッド内の各ロータの運動学的配置）のそれぞれの高い
位置反復性にもかかわらず、プローブヘッドの所定の方
向においてクイルに対するプローブ位置の反復性は、プ
ローブ交換および／またはプローブヘッドの向き決めサ
イクルが多数に亘ると、プローブとクイルとの間に形成
され通常の作動において結合および離合される運動学的
配置の数に応じて減少する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の形態によ
れば、上述のタイプの割出しプローブヘッド上の多数の
プローブを交換するためのシステムがもたらされる。プ
ローブヘッド上に支持されるべきプローブの各々は、使
用に際しプローブヘッドのロータを形成する担持部材に
マウントされている。
【０００７】従って、本発明は、機械の腕部にプローブ
ヘッドを結合可能とするための支持部材と、プローブを
担持するロータと、該ロータを前記支持部材に、他のロ
ータとの交換を可能とすべく取外し自在に保持する保持
手段と、前記支持部材に相対的に前記ロータの複数の割
出し角度位置をもたらす割出し手段であって、前記ロー
タおよび支持部材のうちの一方に設けられた第１の係合
要素の組と、前記ロータおよび支持部材のうちの他方に
設けられた第２の係合要素の複数の組とを備え、前記第
１の係合要素の組は、各割出し位置において前記支持部
材上で前記ロータの安定的で反復的な休止位置をもたら
すべく、前記第２の係合要素の複数の組のうちの各組と
係合可能な割出し手段と、前記第１の係合要素の組と前
記第２の係合要素の組との係合および離脱を行う結合お
よび離合手段と、前記第１および第２の係合要素が離脱
されたとき前記ロータを前記支持部材に相対的にほぼ軸
線のまわりに回転させ、これにより前記ロータを１つの
割出し位置から他の位置に回転させる駆動手段とを備え
座標位置決め機械の可動腕に相対的にプローブを指向さ
せるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、通常の作動中に結合および離
合される部品の数が、割出しおよびプローブ交換機能の
ための第１および第２の係合要素を利用することにより
減少される。
【０００９】使用に際しては、機械に要求される各プロ
ーブは全て機械に保持されている別のロータに結合され
ている。特別な検査サイクルがプローブの交換を要求す
るときは、これはロータの交換により達成される。
【００１０】好ましくは、ロータは支持部材上に磁気的
に保持される。好ましくは、軸方向に動き得る駆動まわ
し金軸が第１および第２の係合要素を離合するためにロ
ータと係合可能であり、かくて割出し位置間においてロ
ータの回転を可能とする。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
【００１２】図１を参照するに、プローブヘッド１０は
支持部材１２を備えており、これによりプローブヘッド
１０は座標位置決め機械（座標測定機や工作機械など）
のクイルの可動腕に担持され得る。プローブ１６を担持
する目的のためのロータ１４が支持部材１２に取外し自
在に保持手段でもって保持されている。該保持手段は駆
動まわし金軸２０に設けられた永久磁石１８の形態であ
り、ロータ１４に設けられた磁石２２の形態の強磁性体
要素と協働する。
【００１３】隣接して位置され、等間隔の３つのローラ
対２４の形態をとる第１の係合要素組が支持部材１２に
設けられている。ボール２６の環の形態をとる第２の係
合要素組が複数個、ロータ１４に設けられている。磁石
１８，２２の作用によりロータ１４が支持部材１２に保
持されているとき、ボール２６のうちの３個が、隣接し
て位置されているローラ対２４によって形成されている
収束表面に着座している。ローラ対２４は、隣接して位
置されたローラ対の収束表面に、３つのボール２６の組
の各々が着座したときに導通される電気回路（不図示）
に直列に含まれており、かくてロータ１４が支持部材１
２に正しく保持されていることが示される。
【００１４】ロータ１４は、３つのボール２６の組の各
々をローラ２４から取外し、支持部材１２に対し相対的
にロータ１４を回転し、かつ３つのボール２６の組をロ
ーラ２４に係合することにより、支持部材１２に相対的
に複数の割出し角度位置の任意の１つに向けることがで
きる。３つのボール２６の組の数は、このようにロータ
１４が支持部材１２に対し相対的に適合し得る割出し角
度位置の数を決定するものであることに注意すべきであ
る。
【００１５】ボール２６およびローラ２４の取外しは、
駆動まわし金（ｄｏｇ）軸２０の軸方向移動によって達
成される。このとき、磁石１８に設けられた３つのＶ溝
状回転止め要素２８が、ロータ１４に設けられた３つの
ボール３０に係合し、隣接して位置されたローラ対２４
の収束表面からボール２６がきれいに離されるまで、引
き続きロータ１４を軸方向に変位する。磁石１８および
２２間の磁気吸引力は、この作動中におけるロータ１４
の脱落を確実に防止する。
【００１６】駆動まわし金軸２０の軸方向移動は、この
駆動まわし金軸２０を回転するモータ３２によって行わ
れ、かくてロータ１４を異なる割出し角度位置に向け
る。一旦向けられた後は、駆動まわし金軸２０を引戻す
ようにモータ３２が制御され、３つのボール２６の他の
組がローラ２４に係合される。モータ３２は磁石１８お
よび２２が互いに接触が解除されるまで引戻しを継続す
る。しかしながら、磁石１８および２２間の磁気力は、
ロータ１４が新しい割出し位置で支持部材１２に強固に
保持されるのを確実とするに足りるものである。
【００１７】かくて、プローブ１６は複数角度の割出し
配置で位置決めされ、各位置においてロータ１４は支持
部材１２に運動学的（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌｙ）に
支持される。ロータ１４はこのように上述した各角度位
置において、支持部材１２に対し相対的に安定的および
反復的な位置をとる。
【００１８】各割出し角度位置において、ロータ１４の
中心点０は駆動まわし金軸２０の軸線Ａに対しわずかに
異なる位置に在る。これはボール２６の環およびローラ
２４の位置決めに伴う誤差の結果である。ロータ１４は
支持部材１２に対しふらつき軸線（ｗａｎｄｅｒｉｎｇ
ａｘｉｓ）を有するものとして記述されていてもよ
い。それでもなお、ロータ１４は実用上の目的のために
は、軸線Ａのまわりに回動可能である。プローブ１６を
異なるタイプのプローブに交換したいときには、ロータ
１４の全体が支持部材１２から取外され、新しいロータ
がそれにマウントされる。ボール２６およびローラ２４
の割出し要素および保持要素としての２つの機能が、プ
ローブヘッドおよびプローブ間に存在する取外し自在な
結合を省くことに寄与している。
【００１９】本発明の変形例においては、磁石１８は駆
動まわし金軸２０のまわりの複数位置で支持部材１２の
固定部分上に配置するようにしてもよく、このようにす
ると、駆動まわし金軸２０の端部に磁石１８を設ける必
要性がなくなる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、割出しおよびプローブ
交換機能のために第１および第２の係合要素を利用する
ようにしたので、通常の作動中に結合および離合される
部品の数を減少することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプローブヘッドの断面図であり、
ロータの係合時を示す。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う側面図である。
【図３】本発明によるプローブヘッドの断面図であり、
ロータの離合時を示す。
【符号の説明】
１０ プローブヘッド １２ 支持部材 １４ ロータ １６ プローブ １８ 磁石 ２０ 駆動まわし金軸 ２２ 磁石 ２４ ローラ対 ２６ ボール ２８ Ｖ溝状回転止め要素 ３０ ボール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−124469（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−157447（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−77476（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−293602（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−43129（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−44505（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−369401（ＪＰ，Ａ) 特表 昭61−501379（ＪＰ，Ａ) 特表 平２−502578（ＪＰ，Ａ) 特表 平４−506706（ＪＰ，Ａ) 米国特許4938083（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 5/00 G01B 7/00 G01B 21/00 B23Q 3/00 - 3/18 B23Q 5/00 - 5/58 B23Q 17/00 - 17/24

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 機械の腕部にプローブヘッドを結合可能
    とするための支持部材（１２）と、 プローブ（１６）を担持するとともに、軸（Ａ）回りに
    前記支持部材（１２）に相対的に回転可能なロータ（１
    ４）と、 前記支持部材（１２）に相対的に前記ロータの複数の割
    出し角度休止位置をもたらす割出し手段であって、前記
    ロータおよび支持部材（１４；１２）に夫々設けられた
    互いに係合可能な第１および第２の割出要素の組（２
    ６，２４）を備え、前記第１および第２の割出要素の組
    （２６，２４）は、前記軸回りの複数の角度位置におい
    て前記支持部材（１２）上で前記ロータ（１４）の安定
    的で反復的な割出角度休止位置をもたらすべく前記各角
    度位置で互いに係合可能である割出し手段と、 前記第１および第２の割出要素の組（２６，２４）の係
    合および離脱を行う係合および離合手段（２０）と、 前記第１および第２の割出要素の組（２６，２４）が離
    脱されたとき前記ロータ（１４）を前記支持部材（１
    ２）に相対的に回転させ、これにより前記ロータ（１
    ４）を１つの割出し位置から他の位置に回転させる駆動
    手段（２０、２８，３０）と、 を備え、座標位置決め機械の可動腕に相対的にプローブ
    を指向させるようにしたプローブヘッドにおいて、 前記ロータ（１４）を、他のロータ（１４）との交換を
    可能とするべく、前記支持部材（１２）に取外し自在に
    保持する保持手段（１８，２２）を具えるようにしたこ
    とを特徴とするプローブヘッド。
  2. 【請求項２】 前記保持手段（１８，２２）は、前記第
    １および第２の割出要素の組（２６，２４）が係合すべ
    く軸方向に付勢するために、前記ロータおよび前記支持
    部材（１４，１２）のうちの一方に設けられた磁石（１
    ８）と、前記ロータおよび前記支持部材（１４，１２）
    のうちの他方に設けられた強磁性体要素とを備えている
    ことを特徴とする請求項１に記載のプローブヘッド。
  3. 【請求項３】 前記係合および離合手段（１８，２２，
    ２０，３２）は、前記磁石および強磁性体要素（１８，
    ２２）を具えることを特徴とする請求項２に記載のプロ
    ーブヘッド。
  4. 【請求項４】 前記係合および離合手段（１８，２２，
    ２０，３２）は、前記支持部材（１２）に設けられ、軸
    方向に移動可能な駆動まわし金軸（２０）をさらに具え
    ることを特徴とする請求項３に記載のプローブヘッド。
  5. 【請求項５】 前記駆動手段（２８，３０，３２）は、
    前記支持部材（１２）に設けられ軸方向に移動可能な駆
    動まわし金軸（２０）と、前記駆動まわし金軸（２０）
    およびロータ（１４）に設けられた互いに係合可能な駆
    動要素の組（２８，３０）とを具えることを特徴とする
    請求項１または請求項２に記載のプローブヘッド。
  6. 【請求項６】 前記駆動要素の組（２８，３０）は、前
    記第１および第２の割出要素の組（２６，２４）が係合
    している期間に離合可能であることを特徴とする請求項
    ５に記載のプローブヘッド。
  7. 【請求項７】 前記磁石（１８）および強磁性体要素
    （２２）は、各々前記駆動まわし金軸（２０）およびロ
    ータ（１４）の一つに設けられていることを特徴とする
    請求項２〜請求項６の何れかに記載のプローブヘッド。
  8. 【請求項８】 機械の腕部にプローブヘッドを結合可能
    とするための支持部材（１２）と、 プローブ（１６）を担持するとともに、軸（Ａ）回りに
    前記支持部材（１２）に相対的に回転可能なロータ（１
    ４）と、 前記支持部材（１２）に相対的に前記ロータの複数の割
    出し角度休止位置をもたらす割出し手段であって、前記
    ロータ（１４）および支持部材（１２）に夫々設けられ
    た互いに係合可能な第１および第２の割出要素の組（２
    ６，２４）を備え、前記割出要素（２４，２６）は前記
    軸回りの複数の角度位置で互いに係合可能であり、かつ
    各割出し位置において前記支持部材（１２）上で前記ロ
    ータ（１４）の安定的で反復的な休止位置をもたらす割
    出し手段（２４，２６）と、 前記第１および第２の割出要素の組（２４，２６）の係
    合および離脱を行う係合および離合手段（１８、２０，
    ２２，３２）と、 前記第１および第２の割出要素の組（２４，２６）が離
    脱されたとき前記ロータ（１４）を前記支持部材（１
    ２）に相対的に回転させ、これにより前記ロータ（１
    ４）を１つの割出し位置から他の位置に回転させる駆動
    手段（２０、２８，３０，３２）と、 を備え、座標位置決め機械の可動腕に相対的にプローブ
    を指向させるようにしたプローブヘッドにおいて、 前記駆動手段（２０，２８，３０）は、前記ロータ（１
    ４）および支持部材（１２）に設けられた第１および第
    ２の互いに係合可能な駆動要素（２８，３０）の組を具
    え、前記駆動要素（２８，３０）は、前記第１および第
    ２の割出要素の組が係合している期間に離合可能である
    ことを特徴とするプローブヘッド。
  9. 【請求項９】 前記係合手段は、一つはロータ（１４）
    に設けられ一つは支持部材（１２）に設けられる一対の
    強磁性体要素（１８、２２）と、前記強磁性体要素間の
    距離を増減するモータ（３２）とを具えることを特徴と
    する請求項８に記載のプローブヘッド。
  10. 【請求項１０】 前記ロータを係合するべく、前記支持
    部材（１２）に設けられた軸方向に移動可能な駆動まわ
    し金軸（２０）を具えることを特徴とする請求項９に記
    載のプローブヘッド。
  11. 【請求項１１】 前記駆動要素（２８，３０）は、前記
    駆動まわし金軸（２０）およびロータ（１４）に設けら
    れることを特徴とする請求項１０に記載のプローブヘッ
    ド。
  12. 【請求項１２】 前記強磁性体要素（１８，２２）は、
    前記駆動まわし金軸（２０）およびロータ（１４）に設
    けられ、これにより前記係合手段を提供することを特徴
    とする請求項１０または１１に記載のプローブヘッド。
JP18543592A 1991-07-11 1992-07-13 プローブヘッド Expired - Fee Related JP3226612B2 (ja)

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Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4308823C2 (de) * 1993-03-19 2002-11-07 Zeiss Carl Messender Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19617023C1 (de) * 1996-04-27 1997-10-16 Mahr Gmbh Oberflächenmeßgerät
US6032381A (en) * 1996-12-02 2000-03-07 Miller; Walter R Dovetail accessory for a dial test indicator
GB9701571D0 (en) * 1997-01-25 1997-03-12 Renishaw Plc The changing of task modules on a coordinate positioning machine
GB9805372D0 (en) 1998-03-14 1998-05-06 Renishaw Plc Indexing mechanism
US6430828B1 (en) * 1998-04-17 2002-08-13 Electronic Measuring Devices, Inc. Coordinate positioning apparatus with indexable stylus, components thereof, and method of using it
DE20006504U1 (de) * 2000-04-08 2000-08-17 Brown & Sharpe GmbH, 35578 Wetzlar Tastkopf mit auswechselbarem Taststift
DE10161100A1 (de) * 2001-12-12 2003-06-26 Komeg Ind Mestechnik Gmbh Halter für Messtaster
EP1443302B2 (fr) * 2003-01-29 2015-09-16 Tesa Sa Palpeur orientable
GB0322115D0 (en) 2003-09-22 2003-10-22 Renishaw Plc Method of error compensation
DE102004002853A1 (de) * 2004-01-19 2005-08-11 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Montageeinrichtung für Koordinatenmessgerät
ATE378571T1 (de) 2004-04-23 2007-11-15 Klingelnberg Gmbh Vorrichtung mit abnehmbarem messtaster und messgerät mit einer solchen vorrichtung
SE527421C2 (sv) * 2004-04-27 2006-02-28 Hexagon Metrology Ab Koordinatmätmaskin som är sammansatt av var för sig kalibrerade enheter
US7114406B2 (en) * 2004-09-16 2006-10-03 The Boeing Company End effector inspection apparatus and method
DE102004059468B3 (de) * 2004-12-10 2006-06-14 Hexagon Metrology Gmbh Verfahren zum Trennen der mechanischen Verbindung zwischen einer Taststiftaufnahme und einem Tastkopf sowie Vorrichtung zum Trennen der mechanischen Verbindung zwischen einer Taststiftaufnahme und einem Tastkopf
DE102005063242B4 (de) * 2005-12-20 2011-01-13 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Magnetkupplung, insbesondere zum Arretieren eines Drehgelenks bei einem Koordinatenmessgerät
JP4939110B2 (ja) * 2006-05-16 2012-05-23 株式会社ミツトヨ プローブ、および、表面性状測定装置
DE102007022326B4 (de) * 2007-05-08 2022-07-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät
GB0804114D0 (en) 2008-03-05 2008-04-09 Renishaw Plc Surface sensing device
DE102008038599B4 (de) * 2008-08-21 2010-12-02 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Sensorgelenk und Verfahren zum Betreiben eines Sensors
DE102009008722A1 (de) 2009-02-06 2010-08-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie ein Tastkopfsystem für ein solches Koordinatenmessgerät
DE102009048581B3 (de) 2009-10-07 2011-06-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Magnetisch betätigtes Drehgelenk und Verfahren zum Betreiben des Gelenks
DE102010006505B4 (de) * 2010-01-28 2013-09-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit passivem Dreh-Schwenk-Mechanismus
DE102010018493B4 (de) 2010-04-21 2012-12-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Tastkopf für ein solches Koordinatenmessgerät
DE102010020654A1 (de) 2010-05-07 2011-11-10 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt
WO2012057008A1 (en) 2010-10-27 2012-05-03 Nikon Corporation Profile measuring apparatus, method for manufacturing structure, and structure manufacturing system
DE102012103934B3 (de) * 2012-05-04 2013-08-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Optischer Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
EP2884225B1 (en) 2013-06-28 2020-11-18 Unimetrik, S.A. Laser sensor with a built-in rotary mechanism
CN103557818B (zh) * 2013-11-11 2016-01-27 厦门大学 一种用于三坐标测量机的测头转换装置
WO2016053858A1 (en) * 2014-09-30 2016-04-07 Aktiebolaget Skf Ultrasonic thickness gauge with interface to hand-held instrument
DE102015208803B3 (de) * 2015-05-12 2016-09-15 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Dreheinheit für ein Koordinatenmessgerät
US9816797B1 (en) * 2015-07-23 2017-11-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Modular angular alignment clocking mechanism
DE102016201466B3 (de) * 2016-02-01 2017-04-27 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Dreheinheit für ein Koordinatenmessgerät
US10254105B2 (en) 2016-12-05 2019-04-09 Quality Vision International, Inc. Exchangeable lens module system for probes of optical measuring machines
DE102017113709B4 (de) * 2017-06-21 2019-01-24 Carl Mahr Holding Gmbh Messarmaufnahmeeinrichtung eines Messsystems
DE102017114551B4 (de) * 2017-06-29 2021-12-23 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein Koordinatenmessgerät
CN110076710B (zh) * 2019-05-21 2021-02-26 中国航发成都发动机有限公司 一种大型运输飞机发动机转子定位测量装置
GB202102199D0 (en) 2021-02-17 2021-03-31 Renishaw Plc Articulated joint
JP2024507198A (ja) 2021-02-17 2024-02-16 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 多関節ヘッド
GB202102200D0 (en) 2021-02-17 2021-03-31 Renishaw Plc Articulated member
GB202102201D0 (en) 2021-02-17 2021-03-31 Renishaw Plc Metrology apparatus
EP4321834A1 (en) 2022-08-10 2024-02-14 Renishaw PLC Indexed articulated joint comprising a sensor for establishing a state of engagement and associated metrology apparatus
DE102022124770B3 (de) * 2022-09-27 2024-02-15 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessgerät

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3091133A (en) * 1960-09-08 1963-05-28 Thompson Designs Inc Indexing mechanism
GB1044355A (en) * 1964-05-27 1966-09-28 Nat Res Dev Improved indexing devices
GB1597842A (en) * 1977-02-07 1981-09-09 Rolls Royce Indexing mechanism
DE3011002A1 (de) * 1979-03-30 1980-10-16 Renishaw Electrical Ltd Werkzeugverbindungsmechanismus fuer werkzeugmaschinen
GB2047133B (en) * 1979-03-30 1982-12-15 Renishaw Electrical Ltd Tool connecting mechanism for machine tools
US4349906A (en) * 1979-09-18 1982-09-14 Xerox Corporation Optically controlled integrated current diode lasers
GB8330412D0 (en) * 1983-11-15 1983-12-21 Renishaw Plc Tool change apparatus
JPS60221247A (ja) * 1984-04-16 1985-11-05 Yamazaki:Kk 割出し位置決め装置
DE3740070A1 (de) * 1987-11-26 1989-06-08 Zeiss Carl Fa Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten
EP0343237B1 (en) * 1987-12-05 1992-06-17 Renishaw plc Apparatus for changing a sensing device
DE3811851A1 (de) * 1988-04-08 1989-10-19 Wegu Messtechnik Auswechselbare befestigung eines taststiftes am tastkopf einer koordinatenmesseinrichtung
EP0392660B1 (en) * 1989-04-14 1993-09-08 Renishaw plc Probe head
DE3922297A1 (de) * 1989-07-07 1991-01-17 Zeiss Carl Fa Elektromagnetische haltevorrichtung
DE3922296A1 (de) * 1989-07-07 1991-01-17 Zeiss Carl Fa Magazin fuer koordinatenmessgeraete
DE4025829A1 (de) * 1990-08-16 1992-02-20 Hoefler Messgeraetebau Gmbh Dr Halterung fuer den taster von koordinatenmessmaschinen

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JPH05248808A (ja) 1993-09-28
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USRE35510E (en) 1997-05-20

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