JP2978741B2 - 切削装置 - Google Patents
切削装置Info
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- JP2978741B2 JP2978741B2 JP21547495A JP21547495A JP2978741B2 JP 2978741 B2 JP2978741 B2 JP 2978741B2 JP 21547495 A JP21547495 A JP 21547495A JP 21547495 A JP21547495 A JP 21547495A JP 2978741 B2 JP2978741 B2 JP 2978741B2
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- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- spindle
- cutting means
- blades
- blade
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フェライト、半導
体ウェーハ等の被加工物を複数のブレードにより同時に
切削するための切削装置に関するものである。
体ウェーハ等の被加工物を複数のブレードにより同時に
切削するための切削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】複数のブレードを用いて被加工物を切削
する装置としては、従来例えば実公昭６１−１６１０２
号公報に開示された構成のものが知られている。この従
来例においては、１本のスピンドルに複数の同一種類の
ブレードが所定の間隔で取り付けられており、これら複
数のブレードを同時に被加工物に作用させて切削を行う
ようにしてある。
する装置としては、従来例えば実公昭６１−１６１０２
号公報に開示された構成のものが知られている。この従
来例においては、１本のスピンドルに複数の同一種類の
ブレードが所定の間隔で取り付けられており、これら複
数のブレードを同時に被加工物に作用させて切削を行う
ようにしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例において
は、複数のブレードを１本のスピンドルに取り付ける関
係上、スピンドルにブレードの重さも加わって片持ちの
スピンドルにたわみ現象が生じて精密切削が出来ないと
いう問題を有している。本発明は、このような従来の問
題を解決するためになされ、片持ちによるたわみの不都
合を解消した切削装置を提供することを課題とする。
は、複数のブレードを１本のスピンドルに取り付ける関
係上、スピンドルにブレードの重さも加わって片持ちの
スピンドルにたわみ現象が生じて精密切削が出来ないと
いう問題を有している。本発明は、このような従来の問
題を解決するためになされ、片持ちによるたわみの不都
合を解消した切削装置を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ブレードにより切削
される被加工物を載置するためのテーブルと、前記ブレ
ードを駆動するスピンドルとを具備した切削装置であ
り、複数のブレードを並設して構成された切削手段と、
この切削手段をスピンドルとで挟持する挟持手段と、こ
の挟持手段を進退させる主軸と、挟持手段が主軸を中心
に回動し作用位置に位置付けられ切削手段をスピンドル
とで挟持する際、正確精密に位置するように前記挟持手
段と主軸との間に精密位置合わせ機構を設けた切削装置
を要旨とする。
するための手段として、本発明は、ブレードにより切削
される被加工物を載置するためのテーブルと、前記ブレ
ードを駆動するスピンドルとを具備した切削装置であ
り、複数のブレードを並設して構成された切削手段と、
この切削手段をスピンドルとで挟持する挟持手段と、こ
の挟持手段を進退させる主軸と、挟持手段が主軸を中心
に回動し作用位置に位置付けられ切削手段をスピンドル
とで挟持する際、正確精密に位置するように前記挟持手
段と主軸との間に精密位置合わせ機構を設けた切削装置
を要旨とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を添付
図面により詳しく説明すると、図１及び図２において１
は切削装置全体を示すものであり、この切削装置は被加
工物２を載置し保持するチャックテーブル３を有すると
共に、このチャックテーブル３と対峙してその上部に位
置するように複数のブレード４が、コラム２０の上下動
により全体的に上下動可能に配設されている。前記チャ
ックテーブル３は、割り出し方向及び図１に仮想線で示
したように切削方向に一定の範囲において往復移動及び
回転可能なものである。
図面により詳しく説明すると、図１及び図２において１
は切削装置全体を示すものであり、この切削装置は被加
工物２を載置し保持するチャックテーブル３を有すると
共に、このチャックテーブル３と対峙してその上部に位
置するように複数のブレード４が、コラム２０の上下動
により全体的に上下動可能に配設されている。前記チャ
ックテーブル３は、割り出し方向及び図１に仮想線で示
したように切削方向に一定の範囲において往復移動及び
回転可能なものである。
【０００６】この場合のブレード４は、単数又は複数が
ボビン状のブレード保持部材５に取り付けられて切削手
段７〜１０が形成される。切削手段７〜１０は例えば一
つのブレード保持部材５に対して１枚以上多数枚のブレ
ード４が所定間隔をもって取り付けられ、これらブレー
ド４は被加工物２に対応させて同種又は異種のものが選
択的に取り付けられる。この同種又は異種とはブレード
自体の厚み、ブレードを構成する砥粒の大きさ、又は異
形状ブレード若しくはバインダーが樹脂か金属か等によ
り区別される。
ボビン状のブレード保持部材５に取り付けられて切削手
段７〜１０が形成される。切削手段７〜１０は例えば一
つのブレード保持部材５に対して１枚以上多数枚のブレ
ード４が所定間隔をもって取り付けられ、これらブレー
ド４は被加工物２に対応させて同種又は異種のものが選
択的に取り付けられる。この同種又は異種とはブレード
自体の厚み、ブレードを構成する砥粒の大きさ、又は異
形状ブレード若しくはバインダーが樹脂か金属か等によ
り区別される。
【０００７】前記切削手段７〜１０は、複数の取付部を
有する挟持手段６に着脱自在で且つ回転自在に取り付け
られる。図１の実施例の場合は、挟持手段６を正面から
見て略十字状に形成し、第１の切削手段７から第４の切
削手段１０までの４個の同種又は異種の切削手段が略平
行で且つ挟持手段６の取付部に対して植設状態に取り付
けられる。この場合の同種又は異種とは、前記ブレード
の同種又は異種に加えて取り付けられているブレードの
数も含まれる。
有する挟持手段６に着脱自在で且つ回転自在に取り付け
られる。図１の実施例の場合は、挟持手段６を正面から
見て略十字状に形成し、第１の切削手段７から第４の切
削手段１０までの４個の同種又は異種の切削手段が略平
行で且つ挟持手段６の取付部に対して植設状態に取り付
けられる。この場合の同種又は異種とは、前記ブレード
の同種又は異種に加えて取り付けられているブレードの
数も含まれる。
【０００８】前記挟持手段６はその中心部が主軸１１に
取り付けられ、この主軸１１は切削装置１に装備したケ
ーシング１２によりガイドされて、駆動部１３により軸
方向に摺動（前後方向に進退）及び回転出来るように構
成されている。
取り付けられ、この主軸１１は切削装置１に装備したケ
ーシング１２によりガイドされて、駆動部１３により軸
方向に摺動（前後方向に進退）及び回転出来るように構
成されている。
【０００９】前記主軸１１の回転によって前記各切削手
段７〜１０が作用位置、つまり前記チャックテーブル３
と対峙した位置に対して、各切削手段に対して回転駆動
を付与する駆動手段、即ちスピンドル１４と駆動部１５
とが配設されている。
段７〜１０が作用位置、つまり前記チャックテーブル３
と対峙した位置に対して、各切削手段に対して回転駆動
を付与する駆動手段、即ちスピンドル１４と駆動部１５
とが配設されている。
【００１０】スピンドル１４は、その先端部１４ａが所
定長さ突出すると共に、例えばコーン型に形成され、前
記切削手段７〜１０のブレード保持部材５の端部に嵌着
係合するように構成され、スピンドル１４の端部とブレ
ード保持部材５とが同一軸線上において、一種のクラッ
チ結合するように構成されている。この結合としては、
例えばカップリング結合、テーパ結合、又はスプライン
結合等が考えられる。要するに、離脱係合が可能で且つ
回転駆動がスピンドルから切削手段に確実に伝達される
ものであれば足りる。このようにして、ブレード保持部
材５にスピンドル１４を嵌着係合することにより、切削
手段７〜１０は挟持手段６とスピンドル１４とにより両
持ちされ、極めて安定した状態が得られる。
定長さ突出すると共に、例えばコーン型に形成され、前
記切削手段７〜１０のブレード保持部材５の端部に嵌着
係合するように構成され、スピンドル１４の端部とブレ
ード保持部材５とが同一軸線上において、一種のクラッ
チ結合するように構成されている。この結合としては、
例えばカップリング結合、テーパ結合、又はスプライン
結合等が考えられる。要するに、離脱係合が可能で且つ
回転駆動がスピンドルから切削手段に確実に伝達される
ものであれば足りる。このようにして、ブレード保持部
材５にスピンドル１４を嵌着係合することにより、切削
手段７〜１０は挟持手段６とスピンドル１４とにより両
持ちされ、極めて安定した状態が得られる。
【００１１】前記切削手段７〜１０の選択について、図
３〜５を参照しながら説明すると、先ず図３において
は、例えば５枚のブレードを有する第１の切削手段７が
作用位置にあって、この切削手段７に対して駆動手段の
スピンドル１４が係合し、被加工物２を切削出来るよう
になっている。この位置において、切削手段７を駆動
し、チャックテーブル３を上昇させると共に切削方向に
移動させることでブレードによる切削を遂行する。前記
のように切削手段７は挟持手段６とスピンドル１４とに
より両持ちされているため、切削時にたわみ現象を生じ
ることはなく被加工物２を精密に切削することが出来
る。
３〜５を参照しながら説明すると、先ず図３において
は、例えば５枚のブレードを有する第１の切削手段７が
作用位置にあって、この切削手段７に対して駆動手段の
スピンドル１４が係合し、被加工物２を切削出来るよう
になっている。この位置において、切削手段７を駆動
し、チャックテーブル３を上昇させると共に切削方向に
移動させることでブレードによる切削を遂行する。前記
のように切削手段７は挟持手段６とスピンドル１４とに
より両持ちされているため、切削時にたわみ現象を生じ
ることはなく被加工物２を精密に切削することが出来
る。
【００１２】被加工物２の種類が変わったり、第２工程
加工が必要な場合において、例えば３枚のブレードを有
する第３の切削手段９を使用したい場合に、駆動部１３
を駆動して先ず主軸１１を所定のストローク前進させ
る。この主軸１１の前進に伴って全体的に挟持手段６も
前進することになり、図４に示したように第１の切削手
段７とスピンドル１４の先端１４ａとの係合状態が完全
に離脱した状態になる。
加工が必要な場合において、例えば３枚のブレードを有
する第３の切削手段９を使用したい場合に、駆動部１３
を駆動して先ず主軸１１を所定のストローク前進させ
る。この主軸１１の前進に伴って全体的に挟持手段６も
前進することになり、図４に示したように第１の切削手
段７とスピンドル１４の先端１４ａとの係合状態が完全
に離脱した状態になる。
【００１３】この状態になった時に、駆動部１３を駆動
して今度は主軸１１に回転運動を付与し、例えば主軸を
１８０°回転させると、それに伴い挟持手段６が回転し
て、第３の切削手段９が作用位置に位置する。一方、主
軸１１を前記とは反対に所定ストローク後退させると、
図５に示したように第３の切削手段９に対してスピンド
ル１４の先端１４ａが係合し、駆動部１５の駆動によっ
て切削を遂行することが出来る。
して今度は主軸１１に回転運動を付与し、例えば主軸を
１８０°回転させると、それに伴い挟持手段６が回転し
て、第３の切削手段９が作用位置に位置する。一方、主
軸１１を前記とは反対に所定ストローク後退させると、
図５に示したように第３の切削手段９に対してスピンド
ル１４の先端１４ａが係合し、駆動部１５の駆動によっ
て切削を遂行することが出来る。
【００１４】尚、主軸１１の回転は、選択される切削手
段によって決定されるのであり、例えば９０°回転させ
ればその回転方向によって第２の切削手段８又は第４の
切削手段１０が作用位置に来る。従って、この主軸１１
の回転駆動は９０°又は１８０°の間欠回転とすること
が出来る。
段によって決定されるのであり、例えば９０°回転させ
ればその回転方向によって第２の切削手段８又は第４の
切削手段１０が作用位置に来る。従って、この主軸１１
の回転駆動は９０°又は１８０°の間欠回転とすること
が出来る。
【００１５】作用位置に来た各切削手段７〜１０とスピ
ンドル１４との軸線における位置合わせは両者が一致す
るように精密位置合わせ機構１６を設ける必要がある。
ンドル１４との軸線における位置合わせは両者が一致す
るように精密位置合わせ機構１６を設ける必要がある。
【００１６】この精密位置合わせ機構１６としては、例
えばカービック（商標名）カップリングが使用される。
このカービックカップリングは一対のカービック歯１６
ａ、１６ｂから構成され、一方のカービック歯１６ａを
挟持手段６の軸受け部に取り付け、他方のカービック歯
１６ｂをケース１２の端部に取り付ける。そして、主軸
１１が前進後退時に係合及び離脱するように構成され
る。
えばカービック（商標名）カップリングが使用される。
このカービックカップリングは一対のカービック歯１６
ａ、１６ｂから構成され、一方のカービック歯１６ａを
挟持手段６の軸受け部に取り付け、他方のカービック歯
１６ｂをケース１２の端部に取り付ける。そして、主軸
１１が前進後退時に係合及び離脱するように構成され
る。
【００１７】何れにしても、主軸１１の設定された回転
例えば９０°又は１８０°の回転によって任意の切削手
段が選択され、その選択された切削手段が切削作動位置
に来るが、更にスピンドル１４との係合において正確精
密に位置するように、主軸１１が後退した時に両カービ
ック歯１６ａ、１６ｂが噛合して僅かなずれも生じない
ようにする。
例えば９０°又は１８０°の回転によって任意の切削手
段が選択され、その選択された切削手段が切削作動位置
に来るが、更にスピンドル１４との係合において正確精
密に位置するように、主軸１１が後退した時に両カービ
ック歯１６ａ、１６ｂが噛合して僅かなずれも生じない
ようにする。
【００１８】図示の形態では挟持手段６に４個の切削手
段７〜１０を装備させたものであるが、これを１個又は
それ以上装備させることが出来ると共に、同種のブレー
ドを同数具備する切削手段を装備した場合には、ブレー
ドの摩滅度が基準値を越えた時に、次の摩滅していない
切削手段を作用位置に位置させるだけで切削装置を停止
させることなく、同一の被加工物を順次長時間に亙って
切削することが可能となる。
段７〜１０を装備させたものであるが、これを１個又は
それ以上装備させることが出来ると共に、同種のブレー
ドを同数具備する切削手段を装備した場合には、ブレー
ドの摩滅度が基準値を越えた時に、次の摩滅していない
切削手段を作用位置に位置させるだけで切削装置を停止
させることなく、同一の被加工物を順次長時間に亙って
切削することが可能となる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置は、複数のブレードを備えた切削手段を挟持手段と
スピンドルとにより両持ち構成にしたので、従来例の片
持ちと違ってたわみ現象が全く生じなくなり、複数のブ
レードを装備して長寸となっても精密切削が可能になる
効果を奏する。
装置は、複数のブレードを備えた切削手段を挟持手段と
スピンドルとにより両持ち構成にしたので、従来例の片
持ちと違ってたわみ現象が全く生じなくなり、複数のブ
レードを装備して長寸となっても精密切削が可能になる
効果を奏する。
【図１】 本発明に係る切削装置の略示的正面図であ
る。
る。
【図２】 同切削装置の略示的側面図である。
【図３】 同切削装置の要部のみを略示的に示した側面
図である。
図である。
【図４】 同切削装置の切削手段における選択切り替え
状況の要部のみを略示的に示した側面図である。
状況の要部のみを略示的に示した側面図である。
【図５】 同切削装置の切削手段における選択切り替え
後の要部のみを略示的に示した側面図である。
後の要部のみを略示的に示した側面図である。
１…切削装置 ２…被加工物 ３…チャックテーブ
ル ４…ブレード５…ブレード保持部材 ６…挟持
手段 ７…第１の切削手段 ８…第２の切削手段
９…第３の切削手段 １０…第４の切削手段 １
１…主軸１２…ケース １３、１５…駆動部 １４
…スピンドル １４ａ…先端１６…精密位置合わせ機
構 １６ａ、１６ｂ…カービック歯 ２０…コラム
ル ４…ブレード５…ブレード保持部材 ６…挟持
手段 ７…第１の切削手段 ８…第２の切削手段
９…第３の切削手段 １０…第４の切削手段 １
１…主軸１２…ケース １３、１５…駆動部 １４
…スピンドル １４ａ…先端１６…精密位置合わせ機
構 １６ａ、１６ｂ…カービック歯 ２０…コラム
Claims (1)
- 【請求項１】ブレードにより切削される被加工物を載置
するためのテーブルと、前記ブレードを駆動するスピン
ドルとを具備した切削装置であり、複数のブレードを並
設して構成された切削手段と、この切削手段をスピンド
ルとで挟持する挟持手段と、この挟持手段を進退させる
主軸と、挟持手段が主軸を中心に回動し作用位置に位置
付けられ切削手段をスピンドルとで挟持する際、正確精
密に位置するように前記挟持手段と主軸との間に精密位
置合わせ機構を設けた切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21547495A JP2978741B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21547495A JP2978741B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 切削装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10856891A Division JPH04315567A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 切削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839541A JPH0839541A (ja) | 1996-02-13 |
| JP2978741B2 true JP2978741B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=16672979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21547495A Expired - Lifetime JP2978741B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2978741B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105196428B (zh) * | 2014-05-30 | 2017-04-19 | 北新集团建材股份有限公司 | 一种制备岩棉切条板的切割设备和系统 |
-
1995
- 1995-08-02 JP JP21547495A patent/JP2978741B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0839541A (ja) | 1996-02-13 |
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Legal Events
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