JPH04315567A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フェライト、半導体ウ
エーハなどの被加工物を複数のブレードにより同時に切
削するための切削装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術】複数のブレードを用いて被加工物を切削す
る装置としては例えば実開昭６１−１６１０２号公報に
開示された構成のものが従来例として周知である。この
種と切削装置においては、一般的に作業変更する場合、
つまり被加工物によってブレードの種類又は取付間隔を
変更しなければならない。

【０００３】この従来例においては、１本のスピンドル
に複数のブレードが取り付けられており、これら複数の
ブレードは、同一種類のものが所定間隔で取り付けられ
ている。そして、スピンドルを駆動することにより、複
数のブレードを同時に被加工物に作用させて切削を行う
ものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記従来例においては
、回転駆動するスピンドルに直接ブレードが取り付けら
れているため、作業変更、即ちブレードの種類又は間隔
を変更する場合に、その都度それに対応したブレードの
取り替え又はスペーサの取り替え作業を必要とし、各取
り付けられたブレードの微妙な間隔調整も必要であるた
め、装置の駆動を停止し長時間に亘ってそれらの作業を
行うので、作業変更の際の作業性が悪いばかりでなく、
複数のブレードを１本のスピンドルに取り付ける関係上
、スピンドルを長く形成しなければならず、ブレードの
重さも加わって片持ちのスピンドルに「たわみ」現象が
生じて精密切削が出来ないと言う問題点を有している。 又、フランジに複数のブレードが装着され一体となって
いる所謂ギャングフランジの取り替えにおいても同様の
問題点を有している。

【０００５】又、ブレード取り替えの作業性の悪さを解
消させるために、複数本のスピンドルを具備させ、夫々
に異なった種類又は間隔の複数のブレードを取り付け、
各スピンドルの作用位置をその都度変更して使用するこ
とも考えられるが、スピンドル自体が高価であり、各ス
ピンドルに駆動源を作用させるような構成にすること自
体も複雑な構成となるばかりでなく、依然として片持ち
による「たわみ」の不都合が解消されないことになる。

【０００６】従って、複数のブレードで被加工物を切削
する従来例の切削装置においては、作業変更の際のブレ
ード又はギャングフランジの取り替え作業、並びに片持
ちに起因する「たわみ」現象による精密切削に解決しな
ければならない課題を有している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
する具体的手段として本発明は、ブレードにより切削さ
れる被加工物を載置するためのテーブルと、前記ブレー
ドを駆動するスピンドルとを具備した切削装置であり、
単数又は複数のブレードを並設して構成された２以上の
切削手段と、該切削手段が装備された選択手段と、該選
択手段を回転させて任意の切削手段を選択する主軸と、
選択された切削手段に係合して回転を付与する１本のス
ピンドルとから構成したことを特徴とする切削装置を提
供するものである。そして、２以上の切削手段に装備さ
れたブレードが、異種又は同種のものであリ、切削手段
は選択手段に対して着脱自在に装備され、切削手段は選
択手段とスピンドルとにより両持ちとした構成、更に選
択された切削手段の作用位置において、正確精密に位置
するように前記選択手段と主軸との間に精密位置合わせ
機構を設けた構成としたものである。

【０００８】

【作用】単数又は複数のブレードを有する２以上の切削
手段を選択手段に着脱自在に装備させ、該選択手段を主
軸により回転させて任意の切削手段を選択して作用位置
に位置させることが出来るようにしたことで、被加工物
の種類が変更されても直ちにそれに対応して切削を遂行
することができ、切削の作業性が著しく向上すると共に
、切削手段が選択手段とスピンドルとの両側で支持され
るので、所謂「たわみ」現象がなく、精密切削できるの
である。

【０００９】

【実施例】次に本発明を図示の実施例により更に詳しく
説明すると、１は切削装置全体を示すものであり、該切
削装置は被加工物２を載置し保持するチャックテーブル
３を有すると共に、該チャックテーブル３と対峙してそ
の上部に位置するように複数のブレード４が、コラム２
０の上下動により全体的に上下動可能に配設されている
。そして、前記チャックテーブル３は割り出し方向及び
、仮想線で示したように切削方向に一定の範囲において
、往復移動及び回転可能なものである。

【００１０】この場合のブレード４は、単数又は複数が
ボビン状のブレード保持部材５に取り付けられて切削手
段が形成されるものであり、この切削手段は、例えば一
つのブレード保持部材５に対して１枚以上多数枚のブレ
ード４が所定間隔をもって取り付けられ、これらブレー
ド４は被加工物２に適応させて同種又は異種のものが選
択的に取り付けられる。この同種又は異種とは、ブレー
ド自体の厚み、ブレードを構成する砥粒の大きさ、又は
異形状ブレード、若しくはバインダーが樹脂か金属か等
である。

【００１１】そして、ブレードが取り付けられたブレー
ド保持部材５からなる切削手段は、その異なるブレード
を備えた複数個が選択手段６に着脱自在で且つ回転自在
に取り付けられる。図示の実施例の場合は、選択手段６
を正面から見て略十字状に形成し、第１の切削手段７か
ら第４の切削手段１０までの４個の同種又は異種の切削
手段が略平行で且つ選択手段６に対して植設状態に取り
付けられるものである。この場合の同種又は異種とは、
前記ブレードの同種又は異種に加えて、取り付けられて
いるブレードの数も含まれるものである。

【００１２】前記選択手段６はその中心部が主軸１１に
取り付けられ、該主軸は切削装置１に装備したケーシン
グ１２によりガイドされて、駆動部１３により軸方向に
摺動（前後方向に進退）及び回転できるように構成され
ている。

【００１３】前記主軸１１の回転によって前記各切削手
段７〜１０が作用位置に来たとき、つまり前記チャック
テーブル３と対峙した位置に来たとき、各切削手段に対
して回転駆動を付与する駆動手段、即ちスピンドル１４
と駆動部１５とが配設されている。

【００１５】このスピンドル１４は、その先端部１４ａ
が所定長さ突出すると共に、例えばコーン型に形成され
、前記切削手段即ちブレード保持部材５の端部に嵌着係
合するように構成され、換言すればスピンドルの端部と
ブレード保持部材とが同一軸線上において、一種のクラ
ッチ結合するように構成されている。この結合としては
、例えばカップリング結合、テーパー結合、又はスプラ
イン結合等が考えられる。要するに離脱係合が可能で、
且つ回転駆動がスピンドルから切削手段に確実に伝達さ
れるものであれば足りるのである。

【００１６】前記切削手段７〜１０の選択について、図
３〜５を参照しながら説明すると、先ず図３においては
、例えば５枚のブレードを有する第１の切削手段７が作
用位置にあって、該切削手段７に対して駆動手段のスピ
ンドル１４が係合しており、被加工物２を切削できるよ
うになっている。この位置において、切削手段７を駆動
し、チャックテーブル３を上昇させると共に、切削方向
に移動させることでブレードによる切削が遂行できる。

【００１７】被加工物２の種類が変わったり、第２工程
加工が必要な場合において、例えば三枚のブレードを有
する第３の切削手段９を使用したい場合に、駆動部１３
を駆動して先ず主軸１１を所定のストローク前進させる
。この主軸１１の前進に伴って、全体的に選択手段６も
前進することになり、図４に示したように、第１の切削
手段７とスピンドル１４の先端１４ａとの係合状態が完
全に離脱した状態になる。

【００１８】この状態になった時に、駆動部１３を駆動
して今度は主軸１１に回転運動を付与し、例えば主軸を
１８０°回転させると、それに伴い切削手段６が回転し
て、第３の切削手段９が作用位置に位置するようになる
。そして、主軸１１を前記とは反対に所定ストローク後
退させると、図５に示したように、第３の切削手段９に
対してスピンドル１４の先端１４ａが係合し、駆動部１
５の駆動によって切削遂行ができるようになる。

【００１９】尚、主軸１１の回転は、選択される切削手
段によって決定されるのであり、例えば９０°回転させ
れば、その回転方向によって第２の切削手段８又は第４
の切削手段１０が作用位置に来ることになる。従って、
この主軸１１の回転駆動は、９０°又は１８０°の間欠
回転とすることが出来る。

【００２０】作用位置に来た各切削手段７〜１０とスピ
ンドル１４との軸線における位置合わせは、両者の係合
作用によって略一致するようになるが、精密切削を必要
とするこの種の切削装置においては、精密位置合わせ機
構１６を設けた方が良い。

【００２１】この精密位置合わせ機構１６としては、例
えばカービック（商標名）カップリングが使用される。 このカービックカップリングは一対のカービック歯１６
ａ，１６ｂから構成され、一方のカービック歯１６ａを
選択手段６の軸受け部に取り付けられ、他方のカービッ
ク歯１６ｂはケース１２の端部に取り付けられる。そし
て、主軸１１が前進後退時に係合及び離脱するようにな
っている。

【００２２】いずれにしても、主軸１１の設定された回
転、例えば９０°又は１８０°の回転によって任意の切
削手段が選択され、その選択された切削手段が切削作動
位置に一応来るようになるが、更にスピンドル１４との
係合において、正確精密に位置するように、主軸１１が
後退した時に両カービック歯１６ａ，１６ｂが歯合して
、僅かなずれも生じないようにするのである。

【００２３】又、図示の実施例における切削手段７〜１
０は、４個を装備させたものであるが、これを５個又は
それ以上装備させることができると共に、同種のブレー
ドを同数具備する切削手段を装備した場合には、ブレー
ドの摩滅度が基準値を越えたときに、次の摩滅していな
い切削手段を作用位置に位置させるだけで、切削装置を
停止させることなく同一の被加工物を順次長時間に亘っ
て切削できる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置は、ブレードにより切削される被加工物を載置する
ためのテーブルと、前記ブレードを駆動するスピンドル
とを具備した切削装置であり、単数又は複数のブレード
を並設して構成された２以上の切削手段と、該切削手段
が装備された選択手段と、該選択手段を回転させて任意
の切削手段を選択する主軸と、選択された切削手段に係
合して回転を付与する１本のスピンドルとから構成した
ことにより、前記切削手段を予め被加工物の種類に対応
させて複数種類装備しておけば、被加工物の種類が変更
される毎に切削装置を停止してブレードを取り替えるこ
となく、それに対応した切削手段を選択するだけであり
、切削作業が著しく向上すると共に機械台数を省略する
ことが出来ると言う優れた効果を奏する。

【００２５】又、２以上の切削手段に装備されたブレー
ドが、異種又は同種のものであリ、切削手段は選択手段
に対して着脱自在に装備された構成とすることにより、
従来例のようにスピンドルにブレードを取り付けたもの
と違って、係外において切削手段のブレードを被加工物
に合わせて適正な状態に装備させることができ、その装
備されたものを選択手段に取り付けるだけであるため、
被加工物に対応させた切削手段の取り替え作業も著しく
容易になると言う優れた効果を奏する。

【００２６】更に、切削手段は選択手段とスピンドルと
により両持ちとした構成とすることにより、従来例の片
持ちと違って、「たわみ」現象が全く生じなくなり、複
数のブレードを装備しても精密切削が可能になると言う
優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る切削装置の略示的正面図である。

【図２】同切削装置の略示的側面図である。

【図３】同切削装置の要部のみを略示的に示した側面図
である。

【図４】同切削装置の切削手段における選択切換状況の
要部のみを略示的に示した側面図である。

【図５】同切削装置の切削手段における選択切換後の要
部のみを略示的に示した側面図である。

【符号の説明】

１　　切削装置 ２　　被加工物 ３　　チャックテーブル ４　　ブレード ５　　ブレード保持部材 ６　　選択手段 ７　　第１の切削手段 ８　　第２の切削手段 ９　　第３の切削手段 １０　　第４の切削手段 １１　　主軸 １２　　ケース １３，１５　　駆動部 １４　　スピンドル １４ａ　　先端 １６　　精密位置合わせ機構 １６ａ，１６ｂ　　カービック歯 ２０　　コラム

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ブレードにより切削される被加工物を
   載置するためのテーブルと、前記ブレードを駆動するス
   ピンドルとを具備した切削装置であり、単数又は複数の
   ブレードを並設して構成された２以上の切削手段と、該
   切削手段が装備された選択手段と、該選択手段を回転さ
   せて任意の切削手段を選択する主軸と、選択された切削
   手段に係合して回転を付与する１本のスピンドルとから
   構成したことを特徴とする切削装置。
2. 【請求項２】　　２以上の切削手段に装備されたブレー
   ドが、異種又は同種のものである請求項１に記載の切削
   装置。
3. 【請求項３】　　切削手段は選択手段に対して着脱自在
   に装備されている請求項１又は２に記載の切削装置。
4. 【請求項４】　　切削手段は選択手段とスピンドルとに
   より両持ちとした請求項１、２又は３に記載の切削装置
   。
5. 【請求項５】　　選択された切削手段の作用位置におい
   て、正確精密に位置するように前記選択手段と主軸との
   間に精密位置合わせ機構を設けた請求項１に記載の切削
   装置。