JP3211794B2 - 半田ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールをピッ
クアップヘッドにより真空吸着してワークに搭載する半
田ボールの搭載装置および搭載方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】チップや基板などのワークの表面に半田
ボールを搭載し、次いで半田ボールを加熱して溶融させ
た後、冷却して固化させてバンプ（突出電極）を形成す
ることが知られている。一般に、ワークには多数個のバ
ンプが形成されるものであり、したがって半田ボールは
ワークに多数個搭載される。以下、半田ボールをワーク
に一括して多数個搭載するための従来の半田ボールの搭
載装置について説明する。

【０００３】図１８は従来の半田ボールの搭載装置の側
面図である。バンプの素材である半田ボール１が容器２
に貯溜されている。３はピックアップヘッドであって、
上下動手段（図示せず）に駆動されて上下動作を行うこ
とにより、その下面に開孔された吸着孔に半田ボール１
を真空吸着し、往復移動手段（図示せず）に駆動されて
水平移動することにより、クランパ６でクランプして位
置決めされた基板５などのワークの上方へ移動し、そこ
で再度上下動作を行うことにより、半田ボール１を基板
の所定位置に搭載するようになっている。

【０００４】ピックアップヘッド３の下面には吸着孔が
多数開孔されており、すべての吸着孔に半田ボール１を
真空吸着し、基板５に搭載しなければならない。そこで
従来は、ピックアップヘッド３の移動路の下方にカメラ
４を設置し、カメラ４によりピックアップヘッド３の下
面を観察して、すべての吸着孔に半田ボール１が真空吸
着されているかどうかを画像処理により判定し、ＯＫで
あればそのままピックアップヘッド３は基板５の上方へ
移動して半田ボール１を基板５に搭載していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
手段では、カメラ４の画像のちらつきやノイズなどのた
めに小さな半田ボールの有無の判定が困難であり、誤判
定しやすいという問題点があった。また半田ボール１は
きわめて多数個（一般に数１０個以上）真空吸着される
場合が多く、このためすべての吸着孔について半田ボー
ル１が真空吸着されているかどうかを検査するためにか
なりの時間を要し、作業能率があがらないという問題点
があった。

【０００６】そこで本発明は上記従来の問題点を解消
し、運転の信頼性の高い半田ボールの搭載装置および搭
載方法を提供することを目的とする。詳しくは、ピック
アップヘッドが半田ボールのピックアップミスをしたか
どうかを的確に判定できる手段を備えた半田ボールの搭
載装置および搭載方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の半田ボールの搭
載装置は、半田ボールの供給部と、暗箱の下面に複数の
吸着孔が形成され前記半田ボールの供給部に備えられた
半田ボールを前記複数の吸着孔に真空吸着してピックア
ップしてワークに搭載するピックアップヘッドと、前記
暗箱の内部を真空吸引する吸引装置と、前記複数の吸着
孔が形成された前記暗箱の下面全面に光を照射する発光
器と、前記複数の吸着孔の中のいずれかの吸着孔から前
記暗箱内に漏光した前記発光器の光を検出する光検出手
段と、この光検出手段に接続された漏光検出部とを備
え、前記光検出手段が前記吸着孔からの漏光を検出して
前記漏光検出部に出力信号を入力してピックアップミス
を検出するようにした。

【０００８】本発明の半田ボールの搭載方法は、半田ボ
ールの供給部に備えられた半田ボールを吸引装置に接続
された暗箱から成るピックアップヘッドの下面に複数個
形成された吸着孔に真空吸着してピックアップする第１
工程と、発光器からの光を前記暗箱の下面全面に照射
し、前記複数の吸着孔の中のいずれかの吸着孔から前記
暗箱内に漏光した前記発光器の光を光検出手段で検出し
て出力信号を漏光検出部に入力してピックアップミスの
有無を判定する第２工程と、ピックアップした半田ボー
ルをワークに搭載する第３工程と、を含む。

【０００９】上記構成によれば、吸着孔からの漏光の有
無を光検出手段と漏光検出部で検出することにより、ピ
ックアップミスの有無を簡単に判定できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は本発明の
実施の形態１の半田ボールの搭載装置の側面図、図２は
同ピックアップヘッドの断面図、図３は同ピックアップ
ヘッドの平断面図、図４は同ピックアップヘッドと発光
器の斜視図、図５は同発光器の正面図である。

【００１１】図１において、１１はピックアップヘッド
である。このピックアップヘッド１１はブロック１２に
保持されている。ブロック１２はブラケット１３の前面
に設けられたガイドレール１４に上下動自在に装着され
ている。ブロック１２にはナット１５が一体的に設けら
れており、ナット１５には垂直な送りねじ１６が螺合し
ている。したがってモータ１７が正逆駆動して送りねじ
１５が正逆回転すると、ピックアップヘッド１１はガイ
ドレール１４に案内されて上下動する。

【００１２】ブラケット１３の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ１８に螺合している。
１９は送りねじ１８の保持テーブルである。したがって
モータ２０が正逆駆動すると、送りねじ１８は正逆回転
し、ブラケット１３に保持されたピックアップヘッド１
１はＸ方向に水平移動する。

【００１３】ピックアップヘッド１１の移動路の下方に
は、半田ボール１の供給部２１が設けられている。この
供給部２１は容器から成り、ボックス２２に支持されて
いる。供給部２１の底部には孔部２３が形成されてい
る。ボックス２２は基台２４に載置されており、基台２
４の内部には気体吹出機２５が設置されている。気体吹
出機２５から吹出されたエアなどの気体は、孔部２３か
ら供給部２１へ供給され（破線矢印参照）、その気体圧
により半田ボール１を流動化させ、その状態でピックア
ップヘッド１１が上下動作を行うことにより、ピックア
ップヘッド１１はその下面に半田ボール１を真空吸着し
てピックアップする。なおピックアップヘッド１１が半
田ボール１を真空吸着しやすいように半田ボール１を流
動化させる手段としては、供給部２１に気体を送り込む
上記手段の他、供給部２１を振動器で振動させる手段も
用いられる。

【００１４】供給部２１の側方には、基板５の位置決め
部２６が設けられている。この位置決め部２６は、Ｘテ
ーブル部２７上にＹテーブル部２８を段積みし、さらに
その上部に基板５をクランプするクランパ２９を設置し
て構成されている。Ｘテーブル部２７のモータＭｘが駆
動すると、基板５はＸ方向へ移動し、Ｙテーブル部２８
のモータＭｙが駆動すると、基板５はＹ方向へ移動す
る。このように基板５を水平移動させることにより、そ
の位置を調整する。

【００１５】次に、図２および図３を参照してピックア
ップヘッド１１の構造を説明する。ピックアップヘッド
１１は、上ケース３０と下ケース３１を主体としてい
る。下ケース３１の下面には、半田ボール１を真空吸着
する吸着孔３２がマトリクス状に多数個形成されてい
る。上ケース３０と下ケース３１の境界は、透光性のプ
レート３３で仕切られており、下ケース３１の内部は気
密室となっている。下ケース３１はチューブ８を介して
吸引装置９に接続されており（図１）、この吸引装置９
が下ケース３１の内部を真空吸引することにより、吸着
孔３２に半田ボール１が真空吸着される。上ケース３０
と下ケース３１は、吸着孔３２以外からは外部の光が入
射しない暗箱になっている。

【００１６】図２に示すように、プレート３３の上方に
は、緩やかな曲面を有する第１の反射フィルム３４が配
設されている。また第１の反射フィルム３４の側方に
は、同様に緩やかな曲面を有する第２の反射フィルム３
５が設けられている。また吸着孔３２の上方の上ケース
３０の側壁には光センサ３６が設けられている。図３に
おいて、この光センサ３６は、漏光検出部３７および制
御部３８に接続されている。したがって図２において矢
印で示すように吸着孔３２から入光した光は、第１の反
射フィルム３４によって第２の反射フィルム３５へ集光
・反射され、さらに図３に示すように第２の反射フィル
ム３５によって光センサ３６に集光・反射される。

【００１７】なお第１の反射フィルム３４と第２の反射
フィルム３５は、後述する実施の形態２の反射フィルム
５７と同じ光学特性を有しており、その詳細な説明は実
施の形態２中で述べる。

【００１８】図１において、供給部２１と基板５の位置
決め部２６の間には、発光器４０が設けられている。図
４において、この発光器４０は、長箱形の基体４１上に
ライン光源４２を備えている。また基体４１の両側部に
は立壁４３，４４が立設されており、立壁４３，４４の
上部にはそれぞれ発光素子４５と受光素子４６が設けら
れている。この発光素子４５と受光素子４６は、コード
４７を介して半田ボール検出部４８および制御部４９に
接続されている。

【００１９】図４において、ライン光源４２は、ピック
アップヘッド１１の移動方向（Ｘ方向）に直交するＹ方
向を長手方向にしており、したがってピックアップヘッ
ド１１がＸ方向に移動することにより、その下面全面に
光を照射する。また発光素子４５と受光素子４６は、ピ
ックアップヘッド１１の移動路をはさむように配置され
ており、図５に示すようにピックアップヘッド１１の下
面に沿うように側方から光を水平に照射する。ここで、
図５に示すように、ピックアップヘッド１１に半田ボー
ル１が１個でも付着していると、光路は遮られ、受光素
子４６に光は入射しない。

【００２０】この半田ボールの搭載装置は上記のように
構成されており、次に動作を説明する。図１において、
ピックアップヘッド１１が供給部２１の上方に位置する
状態で、モータ１７が正逆駆動することにより、ピック
アップヘッド１１は下降・上昇動作を行い、その下面の
吸着孔３２に供給部２１に備えられた半田ボール１を真
空吸着してピックアップする。このとき、ピックアップ
ヘッド１１がすべての吸着孔３２に半田ボール１を真空
吸着しやすいように、気体吹出機２５から気体が吹出さ
れて、供給部２１内の半田ボール１を流動させている。

【００２１】次にピックアップヘッド１１は基板５へ向
って移動するが、その途中において、図４に示すように
発光器４０の上方を通過する。このとき、ライン光源４
２からピックアップヘッド１１へ向って光が照射され
る。ここで、図２において、半田ボール１を真空吸着し
ていない吸着孔３２があると、その吸着孔３２から下ケ
ース３１内に漏光し、その光は第１の反射フィルム３４
および第２の反射フィルム３５で反射されて光センサ３
６に入光する（矢印参照）。光センサ３６の出力信号は
漏光検出部３７に入力され、半田ボール１を真空吸着し
ていない吸着孔３２が存在すること、すなわちいずれか
の吸着孔に半田ボール１のピックアップミスがあったこ
とが判明する。

【００２２】この場合には、ピックアップヘッド１１は
供給部２１の上方へ引き返し、そこで再度下降・上昇動
作を行ってピックアップをやり直す。そしてピックアッ
プヘッド１１は再度ライン光源４２の上方へ移動し、再
度漏光の有無を判定する。そして漏光が検出されなかっ
たならば、すべての吸着孔３２に半田ボール１が正しく
真空吸着されているもの（すなわち、ピックアップミス
無し）と判定され、そのまま基板５の上方へ移動する。
そこでピックアップヘッド１は再度下降・上昇動作を行
い、かつ真空吸引状態を解除することにより、半田ボー
ル１を基板５に搭載する。なお基板５には、予めフラッ
クスが塗布されている。

【００２３】以上のようにして基板５に半田ボール１を
搭載したピックアップヘッド１１は、供給部２１へ向っ
て復帰する。その途中において、ピックアップヘッド１
１は発光器４０の上方を通過するが、このとき図５に示
すように発光素子４５から照射された光が受光素子４６
に入射しないときは、少なくとも１個の半田ボール１が
吸着孔３２に残存付着しているものと判定される。この
半田ボール１は、基板５への搭載に失敗したものであ
り、したがって搭載ミス有りと判定され、またこの基板
５は不良品としてラインから除去される。なお良品の基
板５はリフロー装置へ送られ、そこで半田ボール１を加
熱することによりバンプが生成される。

【００２４】なお実施の形態１では、光センサ３６が光
検出手段に対応し、第１の反射フィルム３４及び第２の
反射フィルム３５が集光手段に対応している。

【００２５】（実施の形態２）図６は本発明の実施の形
態２の半田ボールの搭載装置の側面図、図７は同半田ボ
ールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図、図８は
同平断面図、図９および図１０は同透過フィルムの説明
図、図１１および図１２は同反射フィルムの説明図であ
る。

【００２６】図６において、ピックアップヘッド５１以
外の構成は図１に示す実施の形態１と同じであり、同一
部品には同一符号を付すことにより説明は省略する。次
に、ピックアップヘッド５１について説明する。図７お
よび図８において、ピックアップヘッド５１は上ケース
５２と下ケース５３を主体として暗箱構造となってい
る。下ケース５３の下面には吸着孔５４がマトリクス状
に多数個形成されている。上ケース５２と下ケース５３
の境界は透光性のプレート５５で仕切られて、下ケース
５３の内部は気密室になっており、チューブ８を介して
吸引装置９（図１）に接続されている。

【００２７】図７において、透光性のプレート５５の直
上には透過フィルム５６が配設されている。また上ケー
ス５２の右側には反射板５７がやや傾斜して配設されて
おり、また左側には反射フィルム５８がやや傾斜して配
設されている。また図８に示すように、反射フィルム５
８の側部には光検出センサ５９が配設されている。

【００２８】図９および図１０は透過フィルム５６の光
学特性を示すものであって、図９は透過フィルム５６の
断面図、図１０は同拡大断面図である。図１０に示すよ
うに、透過フィルム５６の上面はプリズム面となってお
り、下方から入射した光は、プリズム面により屈折され
て両側方へ出光する。したがって図９に示すように下方
から入射した光は、全体として鋭角度ａ１で両側方へ出
光する。ａ１は２°〜２０°程度である。

【００２９】図１１および図１２は反射フィルム５８の
光学特性を示すものであって、図１１は反射フィルム５
８の断面図、図１２は同拡大断面図である。図１２に示
すように、反射フィルム５８はプレート５８１上に粘着
剤層５８２をはさんでアルミ蒸着層５８３を形成し、さ
らにその上面にプリズム層５８４を積層して形成されて
いる。したがって上方から入射した光は、プリズム層５
８４に屈折して入射し、アルミ蒸着層５８３で反射され
た後、プリズム層５８４から屈折されて出光する。した
がって図１１に示すように、上方から入射した光は、全
体として鋭角度ａ２で側方へ反射する。ａ２は２°〜１
５°である。

【００３０】透過フィルム５６は上記のような光学特性
を有するので、図７において吸着孔５４から入射した光
は、透過フィルム５６で鋭角度ａ１で両側方へ出光す
る。そして右方へ出光した光は、反射板５７で左方の反
射フィルム５８へ向かって反射される。また左方へ出光
した光は反射フィルム５８に直接入射する。このように
透過フィルム５６は入射した光を鋭角度ａ１で出光させ
る特性を有するので、図７において上ケース５２の高さ
Ｈを小さくして、上ケース５２をコンパクト化できる。

【００３１】また図８において、透過フィルム５６や反
射板５７から反射フィルム５８に入射した光は、鋭角度
ａ２で側方へ反射され、光検出センサ５９に入射する。
このように反射フィルム５８は入射した光を鋭角度ａ２
で反射するので、反射フィルム５８を鋭角度ａ３で配設
し、その配設長Ｄを小さくして、上ケース５２をコンパ
クト化できる。すなわち、透過フィルム５６や反射フィ
ルム５８は、ピックアップヘッド５１を小型コンパクト
化するために、光を鋭角方向へ屈折・反射させるための
指向性光学素子である。

【００３２】以上のように、下ケース５３の吸着孔５４
から入射した光を光検出センサ５９に入光させるための
光学素子として、上述した透過フィルム５６や反射フィ
ルム５８を用いることにより、上ケース５２をコンパク
ト化でき、ひいてはピックアップヘッド５１をコンパク
ト化できる。

【００３３】この実施の形態２の半田ボールの搭載装置
の動作は、上述した実施の形態１と同様であって、図４
に示す実施の形態１の場合と同様にピックアップヘッド
５１が発光器４０の上方を通過する際に、吸着孔５４か
らの漏光の有無を光検出センサ５９で検出することによ
りピックアップミスの有無を検出する。また図５に示す
ようにピックアップヘッド５１が供給部２１へ向かって
復帰する途中において、発光素子４５から照射された光
が受光素子４６に入射するか否かにより、搭載ミスの有
無を検出する。

【００３４】なお実施の形態２では、光検出センサ５９
が光検出手段に対応し反射板５７、反射フィルム５８、
透過フィルム５６が集光手段に対応する。

【００３５】（実施の形態３）図１３は本発明の実施の
形態３の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの
断面図、図１４は同平断面図、図１５は同半田ボールの
搭載装置のピックアップヘッドと発光器と受光器の斜視
図である。なおピックアップヘッドと発光器・受光器以
外の他の全体構成は図１に示す実施の形態１と同じであ
る。

【００３６】図１３および図１４において、ピックアッ
プヘッド６１は上ケース６２と下ケース６３で暗箱構造
に構成されており、上ケース６２と下ケース６３の間に
は透光性プレート５５と透過フィルム５６が配設されて
いる。また上ケース６２の内部の両側部には第１の反射
フィルム５８ａと第２の反射フィルム５８ｂが設けられ
ている。この透過フィルム５６、第１の反射フィルム５
８ａ、第２の反射フィルム５８ｂは、実施の形態２の透
過フィルム５６や反射フィルム５８と同じものである。

【００３７】図１４において、上ケース６２の側面には
第１の反射フィルム５８ａへ向かって出光するノズル６
５が装着されている。このノズル６５は光源部６７に接
続された光ファイバ６６の端面を、暗箱内へ向けて保持
している。７７は光源部６７を制御する制御部である。

【００３８】図１５において、７０は発光器であって、
基体７１の上面にライン光源７２を備えている。７３は
受光器であって、基体７４の上面にラインセンサ７５を
備えている。この発光器７０と受光器７３は、図１に示
す実施の形態１の発光器４０に代えてピックアップヘッ
ド６１の移動路の下方に設置されている。７６は受光器
７３に接続された認識部、７７は発光器７０、受光器７
３、認識部７６を制御する制御部である。

【００３９】ピックアップミスや搭載ミスの有無を判定
する動作以外の全体の動作は実施の形態１と同じであ
り、以下、ピックアップミスと搭載ミスの判定動作につ
いて簡単に説明する。まずピックアップミスの判定動作
について説明する。供給部２１の半田ボール１をピック
アップしたピックアップヘッド６１は、図１５に示すよ
うに発光器７０の上方を移動する。このとき、ライン光
源７２からピックアップヘッド６１の下面へ向かって光
が照射される。図１３および図１４において、何れかの
吸着孔６４に半田ボール１が真空吸着されていないとき
は、図中、実線矢印で示すようにその吸着孔６４から漏
光した光は透過フィルム５６から第２の反射フィルム５
８ｂへ向かって鋭角度ａ１で出光し、さらに第２の反射
フィルム５８ｂで鋭角度ａ２で側方へ反射され、光検出
センサ５９に入射する。この場合も、透過フィルム５６
や反射フィルム５８ａ，５８ｂを用いることにより、上
ケース６２の高さＨや横幅Ｄを小さくしてコンパクト化
できる。

【００４０】またピックアップヘッド６１が基板５に半
田ボール１を搭載した後、供給部２１上へ復帰する途中
で、受光器７３の上方を通過する。このとき、ノズル６
５から第１の反射フィルム５８ａへ光を照射する。図１
３および図１４で破線矢印は、この光を示すものであ
る。光は光拡散板６９で均一に散乱されて第１の反射フ
ィルム５８ａに鋭角度ａ２で入射し、図１３に示すよう
に第１の反射フィルム５８ａで反射されて鋭角度ａ１で
透過フィルム５６に入射し、下ケース６３側へ入り、吸
着孔６４から下方へ出光する。

【００４１】図１５において、受光器７３のラインセン
サ７５は、吸着孔６４から出光した光を受光し、その出
力信号は認識部７６に入力される。制御部７７は、認識
部７６に入光した光を解析することにより、搭載ミスの
有無を判定する。すなわち、すべての吸着孔６４から光
が出光していれば、搭載ミスは無しと判定される。また
何れかの吸着孔６４からの出光が無ければ、その吸着孔
６４には半田ボール１が付着しており、搭載ミス有りと
判定される。なお吸着孔６４にゴミが詰まって出光しな
い場合も、認識部７６や制御部７７により検出される。
そこで、例えば同じ吸着孔６４から連続して複数回出光
しない場合は、その吸着孔６４がゴミで詰まっている可
能性があるので、この場合には、ブザーなどの報知素子
によりオペレータにその旨報知するようにしてもよい。

【００４２】なお実施の形態３では、光検出センサ５９
が光検出手段に、透過フィルム５６及び反射フィルム５
８ｂが集光手段に、ノズル６５に保持された光ファイバ
６６の端面が発光部に、それぞれ対応する。

【００４３】（実施の形態４）図１６は本発明の実施の
形態４の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの
断面図、図１７は同平断面図である。ピックアップヘッ
ド８１は、上ケース８２と下ケース８３で暗箱構造に構
成されており、上ケース８２と下ケース８３の間には透
光性プレート５５と透過フィルム５６が配設されてい
る。

【００４４】上ケース８２の一側部には棒状の光源８５
が配設されており、また他端部には断面カマボコ型の集
光レンズ８６とリニヤイメージセンサ８７が設けられて
いる。この光源８５やリニヤイメージセンサ８７は、図
３と同様の漏光検出部３７や制御部３８に接続されてい
る。ピックアップヘッド８１以外の他の構成は、上述し
た実施の形態と同じである。

【００４５】次に動作を説明する。ピックアップヘッド
８１が供給部２１の半田ボール１をピックアップした
後、発光器４０の上方を通過する際に、下方から光を照
射する。吸着孔８４から漏光した光は、透過フィルム５
６から鋭角度ａ１で集光レンズ８６側へ出光し、リニヤ
イメージセンサ８７に入射することで、ピックアップミ
スが検出される。またピックアップヘッド８１が半田ボ
ール１を基板５に搭載した後、供給部２１へ向かって復
帰する途中で、光源を点灯する。破線矢印で示すよう
に、その光は鋭角度ａ１で透過フィルム５６に入射し、
下ケース８３の吸着孔８４から漏光する。そこで実施の
形態３の場合と同様に、受光器７３によりその光を受光
し、吸着孔８４に半田ボール１が付着していないか否
か、すなわち搭載ミスの有無を判定する。

【００４６】なお実施の形態４では、リニヤイメージセ
ンサ８７が光検出手段に、透過フィルム５６及び集光レ
ンズ８６が集光手段に、光源８５が発光部に、それぞれ
対応する。

【００４７】本発明は上記実施の形態に限定されないの
であって、例えば実施の形態１において、ライン光源４
２にかえて面状の光源を用いてもよい。また上記実施の
形態１ではライン光源４２と発光素子４５および受光素
子４６を一体的に構成しているが、これらは別体に設け
てもよい。また図１５に示すラインセンサ７５を備えた
受光器７３に代えて、ＣＣＤカメラを用い、ＣＣＤカメ
ラで入手した画像データに基づいて、吸着孔６４，８４
が塞がっていないか否か、すなわち搭載ミスの有無やゴ
ミの詰まりを検出してもよい。またピックアップヘッド
の移動路にフラックスの貯溜槽を設け、この貯溜槽上で
ピックアップヘッドに上下動作を行わせることにより、
その下面に真空吸着された半田ボールをフラックスにわ
ずかに浸漬してフラックスを塗布した後、半田ボールを
基板に搭載してもよい。この場合、供給部２１から半田
ボール１５をピックアップした後とフラックスを塗布し
た後にピックアップミスの有無を上述した方法で２回行
なう。またワークとしては、基板以外にも、フリップチ
ップとなるチップや電子部品でもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ピ
ックアップヘッドで供給部の半田ボールをピックアップ
した後、ワークに搭載するのに先立って、ピックアップ
ミスの有無を簡単、確実に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置
の側面図

【図２】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置
のピックアップヘッドの断面図

【図３】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置
のピックアップヘッドの平断面図

【図４】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置
のピックアップヘッドと発光器の斜視図

【図５】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置
の発光器の正面図

【図６】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置
の側面図

【図７】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置
のピックアップヘッドの断面図

【図８】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置
のピックアップヘッドの平断面図

【図９】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置
の透過フィルムの説明図

【図１０】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装
置の透過フィルムの説明図

【図１１】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装
置の反射フィルムの説明図

【図１２】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装
置の反射フィルムの説明図

【図１３】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装
置のピックアップヘッドの断面図

【図１４】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装
置のピックアップヘッドの平断面図

【図１５】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装
置のピックアップヘッドと発光器と受光器の斜視図

【図１６】本発明の実施の形態４の半田ボールの搭載装
置のピックアップヘッドの断面図

【図１７】本発明の実施の形態４の半田ボールの搭載装
置のピックアップヘッドの平断面図

【図１８】従来の半田ボールの搭載装置の側面図

【符号の説明】 １ 半田ボール ５ 基板（ワーク） ９ 吸引装置 １１，５１，６１，８１ ピックアップヘッド ２１ 半田ボールの供給部 ２５ 気体吹出機 ３２，５４，６４，８４ 吸着孔 ３４ 第１の反射フィルム（集光素子） ３５ 第２の反射フィルム（集光素子） ３６ 光センサ ３７ 漏光検出部 ４０，７０ 発光器 ４２，７２ ライン光源 ４５ 発光素子 ４６ 受光素子 ５６ 透過フィルム ５８，５８ａ，５８ｂ 反射フィルム ７３ 受光器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/60 H01L 21/66

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半田ボールの供給部と、暗箱の下面に複数
   の吸着孔が形成され前記半田ボールの供給部に備えられ
   た半田ボールを前記複数の吸着孔に真空吸着してピック
   アップしてワークに搭載するピックアップヘッドと、前
   記暗箱の内部を真空吸引する吸引装置と、前記複数の吸
   着孔が形成された前記暗箱の下面全面に光を照射する発
   光器と、前記複数の吸着孔の中のいずれかの吸着孔から
   前記暗箱内に漏光した前記発光器の光を検出する光検出
   手段と、この光検出手段に接続された漏光検出部とを備
   え、前記光検出手段が前記吸着孔からの漏光を検出して
   前記漏光検出部に出力信号を入力してピックアップミス
   を検出することを特徴とする半田ボールの搭載装置。
2. 【請求項２】前記光検出手段が前記暗箱内に設けられた
   光センサであり、前記吸着孔から前記暗箱内に漏光した
   前記発光器の光をこの光センサに集光させる集光手段を
   設けたことを特徴とする請求項１記載の半田ボールの搭
   載装置。
3. 【請求項３】前記半田ボールの供給部に半田ボールを流
   動化させる気体吹出機を設けたことを特徴とする請求項
   １または２記載の半田ボールの搭載装置。
4. 【請求項４】前記ピックアップヘッドが、モータ、ナッ
   ト、このナットに螺合する垂直な送りねじにより上下動
   して前記半田ボールの供給部に備えられた半田ボールを
   ピックアップするようにしたことを特徴とする請求項１
   乃至３の何れかに記載の半田ボールの搭載装置。
5. 【請求項５】前記発光器はライン光源を備え、前記ピッ
   クアップヘッドが前記ライン光源の上方を前記長手方向
   に直交する方向へ移動することにより、このピックアッ
   プヘッドの下面全面に光を照射することを特徴とする請
   求項１記載の半田ボールの搭載装置。
6. 【請求項６】半田ボールの供給部に備えられた半田ボー
   ルを吸引装置に接続された暗箱から成るピックアップヘ
   ッドの下面に複数個形成された吸着孔に真空吸着してピ
   ックアップする第１工程と、発光器からの光を前記暗箱
   の下面全面に照射し、前記複数の吸着孔の中のいずれか
   の吸着孔から前記暗箱内に漏光した前記発光器の光を光
   検出手段で検出して出力信号を漏光検出部に入力してピ
   ックアップミスの有無を判定する第２工程と、ピックア
   ップした半田ボールをワークに搭載する第３工程と、を
   含むことを特徴とする半田ボールの搭載方法。
7. 【請求項７】前記第２工程においてピックアップミス有
   りと判明した場合は、前記ピックアップヘッドにより前
   記半田ボールの供給部に備えられた半田ボールを再度ピ
   ックアップをやり直すようにしたことを特徴とする請求
   項５記載の半田ボールの搭載方法。
8. 【請求項８】前記半田ボールの供給部に備えられた半田
   ボールを気体吹出機から吹出された気体により流動化さ
   せながら、前記ピックアップヘッドにより半田ボールの
   ピックアップを行うようにしたことを特徴とする請求項
   ５または６記載の半田ボールの搭載方法。
9. 【請求項９】前記ワークは基板であり、この基板には予
   めフラックスが塗布さていることを特徴とする請求項５
   乃至７の何れかに記載の半田ボールの搭載方法。
10. 【請求項１０】前記発光器はライン光源を備え、前記ピ
    ックアップヘッドが前記ライン光源の上方を前記長手方
    向に直交する方向へ移動することにより、このピックア
    ップヘッドの下面全面に光を照射することを特徴とする
    請求項６記載の半田ボールの搭載方法。