JP3252719B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置Info
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- flux
- conductive
- suction
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多数個の導電性ボ
ールをワークに一括して搭載する導電性ボールの搭載装
置に関するものである。
ールをワークに一括して搭載する導電性ボールの搭載装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付きワーク
を製造する方法として、導電性ボールを用いる方法が知
られている。この方法は、半田ボールなどの導電性ボー
ルをワークのパッド上に搭載した後、加熱処理してバン
プを形成するものである。
を製造する方法として、導電性ボールを用いる方法が知
られている。この方法は、半田ボールなどの導電性ボー
ルをワークのパッド上に搭載した後、加熱処理してバン
プを形成するものである。
【０００３】また導電性ボールをワークに搭載する方法
として、吸着ヘッドを用いる方法が知られている。この
方法は、容器などに貯溜された導電性ボールを吸着ヘッ
ドの下面の吸着孔に真空吸着してピックアップし、導電
性ボールにフラックスを塗布した後、導電性ボールをワ
ークに搭載する方法である。この方法によれば、多数個
の導電性ボールを一括してワークに搭載できるので、作
業性にすぐれているという利点がある。
として、吸着ヘッドを用いる方法が知られている。この
方法は、容器などに貯溜された導電性ボールを吸着ヘッ
ドの下面の吸着孔に真空吸着してピックアップし、導電
性ボールにフラックスを塗布した後、導電性ボールをワ
ークに搭載する方法である。この方法によれば、多数個
の導電性ボールを一括してワークに搭載できるので、作
業性にすぐれているという利点がある。
【０００４】吸着ヘッドは、その下面の吸着孔に多数個
の導電性ボールを真空吸着してワークに搭載するが、こ
の場合、導電性ボールの吸着ミスを生じやすい。この吸
着ミスとしては、吸着孔に導電性ボールを真空吸着して
ピックアップできないピックアップミス、余分な導電性
ボールをピックアップするピックアップミス、一旦真空
吸着した導電性ボールを途中で取り落とす落下ミス、導
電性ボールのワークへの搭載に失敗して吸着ヘッドの下
面に導電性ボールが残存する搭載ミスなどがある。
の導電性ボールを真空吸着してワークに搭載するが、こ
の場合、導電性ボールの吸着ミスを生じやすい。この吸
着ミスとしては、吸着孔に導電性ボールを真空吸着して
ピックアップできないピックアップミス、余分な導電性
ボールをピックアップするピックアップミス、一旦真空
吸着した導電性ボールを途中で取り落とす落下ミス、導
電性ボールのワークへの搭載に失敗して吸着ヘッドの下
面に導電性ボールが残存する搭載ミスなどがある。
【０００５】そこで従来、この種導電性ボールの搭載装
置には吸着ミス検出部が備えられており、吸着ミスの有
無を検査して、吸着ミスが検出された場合には、吸着ヘ
ッドを廃棄部の上方へ移動させ、そこで真空吸着状態を
解除することにより、吸着ヘッドの下面に真空吸着され
た導電性ボールを廃棄部に自然落下させて廃棄し、次い
で吸着ヘッドを再度容器の上方へ移動させて、導電性ボ
ールのピックアップをやり直すようになっていた。
置には吸着ミス検出部が備えられており、吸着ミスの有
無を検査して、吸着ミスが検出された場合には、吸着ヘ
ッドを廃棄部の上方へ移動させ、そこで真空吸着状態を
解除することにより、吸着ヘッドの下面に真空吸着され
た導電性ボールを廃棄部に自然落下させて廃棄し、次い
で吸着ヘッドを再度容器の上方へ移動させて、導電性ボ
ールのピックアップをやり直すようになっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、廃棄部はワーク
の搬送路の側部などに露呈させて設置されており、この
ため廃棄部を設置するための設置スペースを必要とし、
装置全体が大型化するという問題点があった。しかも吸
着ミスの発生頻度は低く、吸着ヘッドは時たま廃棄部の
上方へ移動して導電性ボールを落下させるものであり、
このように使用頻度の低い廃棄部のために格別の設置ス
ペースを確保することは装置のレイアウト上きわめて不
利であった。
の搬送路の側部などに露呈させて設置されており、この
ため廃棄部を設置するための設置スペースを必要とし、
装置全体が大型化するという問題点があった。しかも吸
着ミスの発生頻度は低く、吸着ヘッドは時たま廃棄部の
上方へ移動して導電性ボールを落下させるものであり、
このように使用頻度の低い廃棄部のために格別の設置ス
ペースを確保することは装置のレイアウト上きわめて不
利であった。
【０００７】したがって本発明は、上記従来の問題点を
解消し、装置全体の小形コンパクト化を図れる導電性ボ
ールの搭載装置を提供することを目的とする。
解消し、装置全体の小形コンパクト化を図れる導電性ボ
ールの搭載装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、フラックスの
塗布部の下方に導電性ボールの廃棄部を設け、かつフラ
ックスの塗布部を廃棄部の上方から側方へ退去させて廃
棄部を露呈させるためのフラックスの塗布部の移動手段
を設けた。
塗布部の下方に導電性ボールの廃棄部を設け、かつフラ
ックスの塗布部を廃棄部の上方から側方へ退去させて廃
棄部を露呈させるためのフラックスの塗布部の移動手段
を設けた。
【０００９】
【発明の実施の形態】上記構成によれば、廃棄部は常時
はフラックスの塗布部の下方に設置するので、その設置
スペースを縮小でき、また必要時には廃棄部を露呈させ
て自由に用いることができる。
はフラックスの塗布部の下方に設置するので、その設置
スペースを縮小でき、また必要時には廃棄部を露呈させ
て自由に用いることができる。
【００１０】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の平面図、図２は同側面図、図３は同部
分拡大側面図である。
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の平面図、図２は同側面図、図３は同部
分拡大側面図である。
【００１１】図１および図２において、１はワークであ
り、搬送路２に沿って搬送される。搬送路２の側方には
容器３が設置されている。容器３には導電性ボール４が
貯溜されており、容器３は導電性ボールの供給部となっ
ている。搬送路２と容器３の間には、レーザ発光器５ａ
とレーザ受光器５ｂが設けられている。レーザ発光器５
ａとレーザ受光器５ｂは、吸着ヘッド（後述）の移動路
をはさむように設置されている。また搬送路２と容器３
の間には、ファイバライン光源６とブラシ７が設けられ
ている。
り、搬送路２に沿って搬送される。搬送路２の側方には
容器３が設置されている。容器３には導電性ボール４が
貯溜されており、容器３は導電性ボールの供給部となっ
ている。搬送路２と容器３の間には、レーザ発光器５ａ
とレーザ受光器５ｂが設けられている。レーザ発光器５
ａとレーザ受光器５ｂは、吸着ヘッド（後述）の移動路
をはさむように設置されている。また搬送路２と容器３
の間には、ファイバライン光源６とブラシ７が設けられ
ている。
【００１２】搬送路２の他方の側部には、フラックスの
塗布部１０が設けられている。フラックスの塗布部１０
は、フラックス１１が貯溜された底の浅い容器１２と、
スキージ１３とを備えている。以下、図２を参照してフ
ラックスの塗布部１０の構造を説明する。
塗布部１０が設けられている。フラックスの塗布部１０
は、フラックス１１が貯溜された底の浅い容器１２と、
スキージ１３とを備えている。以下、図２を参照してフ
ラックスの塗布部１０の構造を説明する。
【００１３】１４は台板であり、容器１２は台板１４上
に立設された台座１５上に設置されている。台板１４の
下面にはスライダ１６が装着されており、スライダ１６
は水平なガイドレール１７に嵌合している。台板１４の
端部にはシリンダ１８のロッド１９が結合されている。
したがってシリンダ１８のロッド１９が突没すると、台
板１４はガイドレール１７に沿って横方向（搬送路２に
よるワーク１の搬送方向と直交する方向）Ａに水平移動
する。
に立設された台座１５上に設置されている。台板１４の
下面にはスライダ１６が装着されており、スライダ１６
は水平なガイドレール１７に嵌合している。台板１４の
端部にはシリンダ１８のロッド１９が結合されている。
したがってシリンダ１８のロッド１９が突没すると、台
板１４はガイドレール１７に沿って横方向（搬送路２に
よるワーク１の搬送方向と直交する方向）Ａに水平移動
する。
【００１４】スキージ１３の端部にはスライダ２１が装
着されている。スライダ２１は垂直なガイドレール２２
に嵌合している。ガイドレール２２はＬ字形のブラケッ
ト２３に装着されている。ブラケット２３の底部にはシ
リンダ２４が設置されており、そのロッド２５はスキー
ジ１３に結合されている。したがってロッド２５が突没
すると、スキージ１３は上下動する（矢印Ｂ）。
着されている。スライダ２１は垂直なガイドレール２２
に嵌合している。ガイドレール２２はＬ字形のブラケッ
ト２３に装着されている。ブラケット２３の底部にはシ
リンダ２４が設置されており、そのロッド２５はスキー
ジ１３に結合されている。したがってロッド２５が突没
すると、スキージ１３は上下動する（矢印Ｂ）。
【００１５】ブラケット２３の下面にはスライダ２６が
装着されている。スライダ２６は台板１４上のガイドレ
ール２７に嵌合している。またブラケット２３の下面に
はナット２８が装着されており、ナット２８には送りね
じ２９が螺入されている。モータ３０が駆動して送りね
じ２９が回転すると、ブラケット２３は水平移動する
（図１の矢印Ｃ）。したがってシリンダ２４を作動させ
てスキージ１３の下面を容器１２内のフラックス１１の
液面に着水させ、モータ３０を駆動すると、スキージ１
３は容器１１の長手方向（矢印Ｃ方向）へ水平移動し、
フラックス１１の液面を平滑する。
装着されている。スライダ２６は台板１４上のガイドレ
ール２７に嵌合している。またブラケット２３の下面に
はナット２８が装着されており、ナット２８には送りね
じ２９が螺入されている。モータ３０が駆動して送りね
じ２９が回転すると、ブラケット２３は水平移動する
（図１の矢印Ｃ）。したがってシリンダ２４を作動させ
てスキージ１３の下面を容器１２内のフラックス１１の
液面に着水させ、モータ３０を駆動すると、スキージ１
３は容器１１の長手方向（矢印Ｃ方向）へ水平移動し、
フラックス１１の液面を平滑する。
【００１６】搬送路２と容器１２の間にはファイバライ
ン光源３１が設けられている。ファイバライン光源３１
は台板１４に立設された支柱３２上に設置されている。
３３は導電性ボール４の廃棄部であって、箱体から成っ
ている。図２に示すように、廃棄部３３は容器１２の下
方に設置されている。シリンダ１８のロッド１９が突出
すると、台板１４上のフラックスの塗布部１０やファイ
バライン光源３１は側方（図２において左方）へ退去
し、廃棄部３３を完全に露呈させる（図３を参照）。す
なわち、台板１４やシリンダ１８はフラックスの塗布部
１０の移動手段となっている。
ン光源３１が設けられている。ファイバライン光源３１
は台板１４に立設された支柱３２上に設置されている。
３３は導電性ボール４の廃棄部であって、箱体から成っ
ている。図２に示すように、廃棄部３３は容器１２の下
方に設置されている。シリンダ１８のロッド１９が突出
すると、台板１４上のフラックスの塗布部１０やファイ
バライン光源３１は側方（図２において左方）へ退去
し、廃棄部３３を完全に露呈させる（図３を参照）。す
なわち、台板１４やシリンダ１８はフラックスの塗布部
１０の移動手段となっている。
【００１７】図２において、３５は吸着ヘッドであり、
ボックス３６に垂設されたロッド３７の下端部に結合さ
れている。吸着ヘッド３５の下面には、導電性ボール４
を真空吸着する吸着孔（図示せず）が多数形成されてい
る。吸着ヘッド３５は真空吸引系（図示せず）に接続さ
れており、真空吸引系が駆動することにより吸着孔に導
電性ボール４を真空吸着する。またボックス３６の内部
に設けられた上下動機構が駆動することにより、吸着ヘ
ッド３５は上下動作を行う。図３において、吸着ヘッド
３５の内部には光センサ３９が設けられている。この光
センサ３９は、吸着孔からの漏光Ｌを検出する。
ボックス３６に垂設されたロッド３７の下端部に結合さ
れている。吸着ヘッド３５の下面には、導電性ボール４
を真空吸着する吸着孔（図示せず）が多数形成されてい
る。吸着ヘッド３５は真空吸引系（図示せず）に接続さ
れており、真空吸引系が駆動することにより吸着孔に導
電性ボール４を真空吸着する。またボックス３６の内部
に設けられた上下動機構が駆動することにより、吸着ヘ
ッド３５は上下動作を行う。図３において、吸着ヘッド
３５の内部には光センサ３９が設けられている。この光
センサ３９は、吸着孔からの漏光Ｌを検出する。
【００１８】図２において、ボックス３６は移動テーブ
ル３８に保持されている。移動テーブル３８は、搬送路
２をまたいで搬送路２と直交する方向に設けられてお
り、移動テーブル３８が駆動することにより、移動テー
ブル３８に沿って容器３と容器１２の間を水平移動す
る。
ル３８に保持されている。移動テーブル３８は、搬送路
２をまたいで搬送路２と直交する方向に設けられてお
り、移動テーブル３８が駆動することにより、移動テー
ブル３８に沿って容器３と容器１２の間を水平移動す
る。
【００１９】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。図２において、
吸着ヘッド３５は容器３の上方へ移動し、そこで上下動
作を行うことによりその下面の吸着孔に導電性ボール４
を真空吸着してピックアップする。
な構成より成り、次に動作を説明する。図２において、
吸着ヘッド３５は容器３の上方へ移動し、そこで上下動
作を行うことによりその下面の吸着孔に導電性ボール４
を真空吸着してピックアップする。
【００２０】次いで吸着ヘッド３５はフラックスの塗布
部１０へ向って移動するが、その途中においてブラシ７
が吸着ヘッド３５の下面に摺接することにより、この下
面に余分に付着した導電性ボール４をこすり落とす。次
いで吸着ヘッド３５はファイバライン光源６の上方を移
動し、すべての吸着孔に導電性ボール４が真空吸着され
ているかどうかを検出する。
部１０へ向って移動するが、その途中においてブラシ７
が吸着ヘッド３５の下面に摺接することにより、この下
面に余分に付着した導電性ボール４をこすり落とす。次
いで吸着ヘッド３５はファイバライン光源６の上方を移
動し、すべての吸着孔に導電性ボール４が真空吸着され
ているかどうかを検出する。
【００２１】検査結果がＯＫならば、吸着ヘッド３５は
そのまま容器１２の上方へ移動し、そこで上下動作を行
うことにより導電性ボール４の下面にフラックス１１を
付着させる。次に吸着ヘッド３５はワーク１へ向って移
動するが、その途中にファイバライン光源３１の上方を
移動し、すべての吸着孔に導電性ボール４が真空吸着さ
れているかどうか（すなわち落下ミスがないかどうか）
を検査する。この落下ミスは、図３に示すように吸着孔
からの漏光Ｌを光センサ３９で検出することにより行
う。すなわち、ファイバライン光源３１と光センサ３９
は、落下ミスの検出手段となっている。
そのまま容器１２の上方へ移動し、そこで上下動作を行
うことにより導電性ボール４の下面にフラックス１１を
付着させる。次に吸着ヘッド３５はワーク１へ向って移
動するが、その途中にファイバライン光源３１の上方を
移動し、すべての吸着孔に導電性ボール４が真空吸着さ
れているかどうか（すなわち落下ミスがないかどうか）
を検査する。この落下ミスは、図３に示すように吸着孔
からの漏光Ｌを光センサ３９で検出することにより行
う。すなわち、ファイバライン光源３１と光センサ３９
は、落下ミスの検出手段となっている。
【００２２】なお吸着ヘッド３５の下面に真空吸着され
た導電性ボール４に容器１２内のフラックス１１を付着
させる場合、フラックス１１は粘性が大きいので導電性
ボール４が落下しやすい。そこでファイバライン光源３
１と光センサ３９によりすべての吸着孔に導電性ボール
４が真空吸着されているかどうかを再度検査するもので
ある。
た導電性ボール４に容器１２内のフラックス１１を付着
させる場合、フラックス１１は粘性が大きいので導電性
ボール４が落下しやすい。そこでファイバライン光源３
１と光センサ３９によりすべての吸着孔に導電性ボール
４が真空吸着されているかどうかを再度検査するもので
ある。
【００２３】さて検査結果がＯＫならば、吸着ヘッド３
５はワーク１の上方へ移動し、そこで上下動作を行って
導電性ボール４をワーク１のパッド上に搭載する。次い
で容器３の上方へ移動するが、その途中、レーザ発光器
５ａのレーザ光を吸着ヘッド３５の下面すれすれに発光
し、レーザ受光器５ｂで受光して、吸着ヘッド３５の下
面に導電性ボール４が残存付着していないかどうか（す
なわち吸着ヘッド３５の下面に真空吸着されていたすべ
ての導電性ボール４が搭載ミスなくワーク１に搭載され
たかどうか）を検査する。なお吸着ヘッド３５の下面に
導電性ボールが残存付着していれば、その下面すれすれ
に照射されたレーザ光はこの導電性ボールで遮光される
ので、導電性ボールが残存付着していることが判明す
る。そしてＯＫならば、吸着ヘッド３５は容器３の上方
に戻り、上述した動作を繰り返す。図２において矢印
は、上記した吸着ヘッド３５の移動軌跡を示している。
５はワーク１の上方へ移動し、そこで上下動作を行って
導電性ボール４をワーク１のパッド上に搭載する。次い
で容器３の上方へ移動するが、その途中、レーザ発光器
５ａのレーザ光を吸着ヘッド３５の下面すれすれに発光
し、レーザ受光器５ｂで受光して、吸着ヘッド３５の下
面に導電性ボール４が残存付着していないかどうか（す
なわち吸着ヘッド３５の下面に真空吸着されていたすべ
ての導電性ボール４が搭載ミスなくワーク１に搭載され
たかどうか）を検査する。なお吸着ヘッド３５の下面に
導電性ボールが残存付着していれば、その下面すれすれ
に照射されたレーザ光はこの導電性ボールで遮光される
ので、導電性ボールが残存付着していることが判明す
る。そしてＯＫならば、吸着ヘッド３５は容器３の上方
に戻り、上述した動作を繰り返す。図２において矢印
は、上記した吸着ヘッド３５の移動軌跡を示している。
【００２４】さて、吸着ヘッド３５がファイバライン光
源３１の上方を通過し、落下ミスが検出された場合は、
シリンダ１８を駆動して台板１４上のフラックスの塗布
部１０やファイバライン光源３１を廃棄部３３の側方へ
退去させる。図３はこのときの状態を示しており、そこ
で導電性ボール４の真空吸着状態を解除し、導電性ボー
ル４を廃棄部３３に落下させて廃棄する。この場合、望
ましくは、吸着ヘッド３５の内部に正圧を付与し、真空
状態を積極的に破壊して導電性ボール４を強制的に落下
させる。このようにして導電性ボール４を廃棄部３３に
落下させた吸着ヘッド３５は、容器３の上方へ移動し、
上記動作をやり直す。
源３１の上方を通過し、落下ミスが検出された場合は、
シリンダ１８を駆動して台板１４上のフラックスの塗布
部１０やファイバライン光源３１を廃棄部３３の側方へ
退去させる。図３はこのときの状態を示しており、そこ
で導電性ボール４の真空吸着状態を解除し、導電性ボー
ル４を廃棄部３３に落下させて廃棄する。この場合、望
ましくは、吸着ヘッド３５の内部に正圧を付与し、真空
状態を積極的に破壊して導電性ボール４を強制的に落下
させる。このようにして導電性ボール４を廃棄部３３に
落下させた吸着ヘッド３５は、容器３の上方へ移動し、
上記動作をやり直す。
【００２５】なお吸着ヘッド３５がファイバライン光源
６の上方を通過してピックアップミスが検出された場合
や、レーザ発光器５ａとレーザ受光器５ｂで搭載ミスが
検出された場合も、容器１２やファイバライン光源３１
を廃棄部３３の側方へ退去させ、吸着ヘッド３５を廃棄
部３３の上方へ移動させて、導電性ボール４を廃棄した
後、吸着ヘッド３５を容器３の上方に復帰させる。また
ピックアップミスが検出された場合は、導電性ボール４
を廃棄部３３に廃棄せずに、再度ピックアップ動作を行
ってもよいものであり、その運転態様は自由に設定でき
る。
６の上方を通過してピックアップミスが検出された場合
や、レーザ発光器５ａとレーザ受光器５ｂで搭載ミスが
検出された場合も、容器１２やファイバライン光源３１
を廃棄部３３の側方へ退去させ、吸着ヘッド３５を廃棄
部３３の上方へ移動させて、導電性ボール４を廃棄した
後、吸着ヘッド３５を容器３の上方に復帰させる。また
ピックアップミスが検出された場合は、導電性ボール４
を廃棄部３３に廃棄せずに、再度ピックアップ動作を行
ってもよいものであり、その運転態様は自由に設定でき
る。
【００２６】本発明は上記実施の形態に限定されないの
であって、例えば吸着ミス検出部としては、ファイバラ
イン光源６，３１やレーザ発光器５ａおよびレーザ受光
器５ｂ以外にも、例えばカメラなどでも使用できる。
であって、例えば吸着ミス検出部としては、ファイバラ
イン光源６，３１やレーザ発光器５ａおよびレーザ受光
器５ｂ以外にも、例えばカメラなどでも使用できる。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、フラックスの塗布部の下方に
導電性ボールの廃棄部を設け、かつフラックスの塗布部
を廃棄部の上方から側方へ退去させて廃棄部を露呈させ
るためのフラックスの塗布部の移動手段を設けているの
で、使用頻度の少ない回収部の設置スペースを縮小し、
装置全体を小型コンパクトに構成できる。
導電性ボールの廃棄部を設け、かつフラックスの塗布部
を廃棄部の上方から側方へ退去させて廃棄部を露呈させ
るためのフラックスの塗布部の移動手段を設けているの
で、使用頻度の少ない回収部の設置スペースを縮小し、
装置全体を小型コンパクトに構成できる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の平面図
置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の側面図
置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の部分拡大側面図
置の部分拡大側面図
１ ワーク ２ 搬送路 ３ 容器 ４ 導電性ボール ６，３１ ファイバライン光源 １０ フラックスの塗布部 １１ フラックス １４ 台板 １８ シリンダ ３３ 廃棄部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60
Claims (1)
- 【請求項１】ワークの搬送路と、導電性ボールの供給部
と、フラックスの塗布部と、吸着ヘッドと、吸着ヘッド
の移動テーブルと、導電性ボールの落下ミス検出部とを
備え、移動テーブルを駆動して吸着ヘッドを導電性ボー
ルの供給部へ移動させて吸着ヘッドの下面に導電性ボー
ルを真空吸着してピックアップした後、吸着ヘッドをフ
ラックスの塗布部へ移動させて導電性ボールにフラック
スを塗布し、次いで落下ミスの有無を検査した後、吸着
ヘッドをワークの上方へ移動させて導電性ボールをワー
クに搭載するようにした導電性ボールの搭載装置であっ
て、前記フラックスの塗布部の下方に導電性ボールの廃
棄部を設け、かつフラックスの塗布部を廃棄部の上方か
ら側方へ退去させて廃棄部を露呈させるためのフラック
スの塗布部の移動手段を設けたことを特徴とする導電性
ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23880296A JP3252719B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 導電性ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23880296A JP3252719B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 導電性ボールの搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092866A JPH1092866A (ja) | 1998-04-10 |
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