JPH10242209A - 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置および搭載方法Info
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- JPH10242209A JPH10242209A JP4751797A JP4751797A JPH10242209A JP H10242209 A JPH10242209 A JP H10242209A JP 4751797 A JP4751797 A JP 4751797A JP 4751797 A JP4751797 A JP 4751797A JP H10242209 A JPH10242209 A JP H10242209A
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸着ヘッドの吸着孔に真空吸着された導電性
ボールをワークに搭載した後、搭載ミスによって吸着ヘ
ッドの下面に付着したままの微小な導電性ボールを簡単
確実に検出できる導電性ボールの搭載装置および搭載方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 吸着ヘッド１２の移動路の側方の光照射
器２１から吸着ヘッド１２の下面に沿うビーム光Ｌを照
射する。導電性ボール１は光沢のある球状の鏡面である
ので、照射されたビーム光Ｌは導電性ボール１により下
方へ反射される。この反射された光ｄを光ファイバ２９
に入射させ、さらにミラー２５で反射させて受光部２６
に入射させる。したがって吸着ヘッド１２の下面に搭載
ミスにより付着したままの導電性ボール１の有無を正確
に検出できる。
ボールをワークに搭載した後、搭載ミスによって吸着ヘ
ッドの下面に付着したままの微小な導電性ボールを簡単
確実に検出できる導電性ボールの搭載装置および搭載方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 吸着ヘッド１２の移動路の側方の光照射
器２１から吸着ヘッド１２の下面に沿うビーム光Ｌを照
射する。導電性ボール１は光沢のある球状の鏡面である
ので、照射されたビーム光Ｌは導電性ボール１により下
方へ反射される。この反射された光ｄを光ファイバ２９
に入射させ、さらにミラー２５で反射させて受光部２６
に入射させる。したがって吸着ヘッド１２の下面に搭載
ミスにより付着したままの導電性ボール１の有無を正確
に検出できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法
に関するものである。
ークに搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付き電子部品を製造
する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用い
る方法が知られている。また導電性ボールをチップや基
板などのワークに搭載する方法として、吸着ヘッドを用
いる方法が知られている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付き電子部品を製造
する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用い
る方法が知られている。また導電性ボールをチップや基
板などのワークに搭載する方法として、吸着ヘッドを用
いる方法が知られている。
【０００３】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方へ移動させて、これらの導電性ボールをワークのパッ
ド上に搭載するものであり、多数個の導電性ボールを一
括してワークに搭載できるので作業性がよいという利点
がある。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方へ移動させて、これらの導電性ボールをワークのパッ
ド上に搭載するものであり、多数個の導電性ボールを一
括してワークに搭載できるので作業性がよいという利点
がある。
【０００４】ところが吸着ヘッドを用いて導電性ボール
をワークに搭載する方法では、ピックアップミスや搭載
ミスが発生しやすいという問題点がある。そこで本出願
人は、先きにピックアップミスや搭載ミスを検出する方
法を提案した（特開平８−９７２１８号）。この方法
は、同公報の図２および図３に示されるように、吸着ヘ
ッド（ピックアップヘッド）の吸着孔の漏光によりピッ
クアップミスを検出するものである。また同公報の図５
に示されるように、吸着ヘッドの移動路をはさむように
発光素子と受光素子を設け、発光素子から吸着ヘッドの
下面に沿うように照射された光を受光素子が受光するか
否かにより、吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を
検出するものであり、若し導電性ボールが検出されたな
らば、搭載ミスがあったものと判断するようになってい
る。
をワークに搭載する方法では、ピックアップミスや搭載
ミスが発生しやすいという問題点がある。そこで本出願
人は、先きにピックアップミスや搭載ミスを検出する方
法を提案した（特開平８−９７２１８号）。この方法
は、同公報の図２および図３に示されるように、吸着ヘ
ッド（ピックアップヘッド）の吸着孔の漏光によりピッ
クアップミスを検出するものである。また同公報の図５
に示されるように、吸着ヘッドの移動路をはさむように
発光素子と受光素子を設け、発光素子から吸着ヘッドの
下面に沿うように照射された光を受光素子が受光するか
否かにより、吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を
検出するものであり、若し導電性ボールが検出されたな
らば、搭載ミスがあったものと判断するようになってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、導電性ボールが小さくなると、発光素子か
ら照射される光のビーム径を絞り切れないため、導電性
ボールは光を完全に遮光できず、したがって導電性ボー
ルの有無を正確に判断できなくなるという問題点があっ
た。
の方法では、導電性ボールが小さくなると、発光素子か
ら照射される光のビーム径を絞り切れないため、導電性
ボールは光を完全に遮光できず、したがって導電性ボー
ルの有無を正確に判断できなくなるという問題点があっ
た。
【０００６】また吸着ヘッドのサイズが大きくなると、
発光素子と受光素子の距離が大きくなり、したがって発
光素子から照射された光は拡散するので、導電性ボール
は光を完全に遮光できず、やはり導電性ボールの有無を
正確に判断できなくなるという問題点があった。この問
題点を解消するためには、パワーの大きいレーザ光を用
いることが考えられるが、パワーの大きいレーザ光では
装置コストが高くなるだけでなく、その安全対策を講じ
なければならなくなるという新たな問題が発生する。
発光素子と受光素子の距離が大きくなり、したがって発
光素子から照射された光は拡散するので、導電性ボール
は光を完全に遮光できず、やはり導電性ボールの有無を
正確に判断できなくなるという問題点があった。この問
題点を解消するためには、パワーの大きいレーザ光を用
いることが考えられるが、パワーの大きいレーザ光では
装置コストが高くなるだけでなく、その安全対策を講じ
なければならなくなるという新たな問題が発生する。
【０００７】したがって本発明は、搭載ミスによって吸
着ヘッドの下面に付着したままの微小な導電性ボールを
簡単確実に検出できる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法を提供することを目的とする。
着ヘッドの下面に付着したままの微小な導電性ボールを
簡単確実に検出できる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の導電性ボールの
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、下面に導電性ボ
ールの吸着孔が複数個形成された吸着ヘッドと、ワーク
の位置決め部と、吸着ヘッドを導電性ボールの供給部と
ワークの位置決め部の間を移動させる移動テーブルと、
吸着ヘッドの移動路にあって吸着ヘッドの側方から吸着
ヘッドの下面に沿う光を照射する光照射器と、吸着ヘッ
ドの下方にあって吸着孔に吸着された導電性ボールの球
状の鏡面によって下方へ反射された光を受光する受光部
とを備えた。
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、下面に導電性ボ
ールの吸着孔が複数個形成された吸着ヘッドと、ワーク
の位置決め部と、吸着ヘッドを導電性ボールの供給部と
ワークの位置決め部の間を移動させる移動テーブルと、
吸着ヘッドの移動路にあって吸着ヘッドの側方から吸着
ヘッドの下面に沿う光を照射する光照射器と、吸着ヘッ
ドの下方にあって吸着孔に吸着された導電性ボールの球
状の鏡面によって下方へ反射された光を受光する受光部
とを備えた。
【０００９】また本発明の導電性ボールの搭載方法は、
導電性ボールの供給部に備えられた導電性ボールを吸着
ヘッドがその下面の複数個の吸着孔に真空吸着してピッ
クアップする工程と、吸着ヘッドが位置決め部に位置決
めされたワークの上方へ移動し導電性ボールをワークに
搭載する工程と、この搭載を行った後に、吸着ヘッドの
側方の光照射器から吸着ヘッドの下面に沿う光を照射
し、吸着ヘッドの下方に設けられた受光部が反射光を受
光するか否かにより導電性ボールの有無を判定する工程
と、を含む。
導電性ボールの供給部に備えられた導電性ボールを吸着
ヘッドがその下面の複数個の吸着孔に真空吸着してピッ
クアップする工程と、吸着ヘッドが位置決め部に位置決
めされたワークの上方へ移動し導電性ボールをワークに
搭載する工程と、この搭載を行った後に、吸着ヘッドの
側方の光照射器から吸着ヘッドの下面に沿う光を照射
し、吸着ヘッドの下方に設けられた受光部が反射光を受
光するか否かにより導電性ボールの有無を判定する工程
と、を含む。
【００１０】
【発明の実施の形態】上記構成の各発明によれば、導電
性ボールの表面は半田ボールなどの光沢のある球状の鏡
面であることから、光照射器から吸着ヘッドの下面に沿
うように照射された光は、導電性ボールの球状の鏡面に
より下方へ反射されるので、下方の受光部により反射光
を確実に検出し、導電性ボールの有無を正確に判断する
ことができる。
性ボールの表面は半田ボールなどの光沢のある球状の鏡
面であることから、光照射器から吸着ヘッドの下面に沿
うように照射された光は、導電性ボールの球状の鏡面に
より下方へ反射されるので、下方の受光部により反射光
を確実に検出し、導電性ボールの有無を正確に判断する
ことができる。
【００１１】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の正面図、図２および図３は同吸着ヘッ
ドと光学系の側面図である。
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の正面図、図２および図３は同吸着ヘッ
ドと光学系の側面図である。
【００１２】まず、図１を参照して、導電性ボールの搭
載装置の全体構造を説明する。１は導電性ボールであっ
て、容器から成る供給部２に大量に貯溜されている。３
は供給部の支持台である。
載装置の全体構造を説明する。１は導電性ボールであっ
て、容器から成る供給部２に大量に貯溜されている。３
は供給部の支持台である。
【００１３】供給部２の側方にはワーク４を位置決めす
る位置決め部５が設けられている。位置決め部５は、Ｘ
テーブル６とＹテーブル７とワークホルダ８を重ねて構
成されており、ワークホルダ８にワーク４が保持されて
いる。Ｘ軸モータ９とＹ軸モータ１０が駆動すると、ワ
ーク４はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、その位置調整が
なされる。
る位置決め部５が設けられている。位置決め部５は、Ｘ
テーブル６とＹテーブル７とワークホルダ８を重ねて構
成されており、ワークホルダ８にワーク４が保持されて
いる。Ｘ軸モータ９とＹ軸モータ１０が駆動すると、ワ
ーク４はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、その位置調整が
なされる。
【００１４】１２は吸着ヘッドであって、その下面には
導電性ボール１を真空吸着する吸着孔１３が多数形成さ
れている（図２も参照）。吸着ヘッド１２はシャフト１
４の下端部に結合されており、シャフト１４はケース１
５に装着されている。ケース１５の内部には、吸着ヘッ
ド１２に上下動作を行わせる上下動手段が内蔵されてい
る。
導電性ボール１を真空吸着する吸着孔１３が多数形成さ
れている（図２も参照）。吸着ヘッド１２はシャフト１
４の下端部に結合されており、シャフト１４はケース１
５に装着されている。ケース１５の内部には、吸着ヘッ
ド１２に上下動作を行わせる上下動手段が内蔵されてい
る。
【００１５】ケース１５は水平な移動テーブル１６に装
着されており、モータ１７が駆動すると、ケース１５お
よび吸着ヘッド１２は移動テーブル１６に沿って導電性
ボールの供給部２とワーク４の間を水平移動する。なお
吸着ヘッド１２は、真空吸引系（図示せず）に接続され
ており、真空吸引系が作動することにより、吸着孔１３
に導電性ボール１を真空吸着し、また真空吸着状態を解
除する。導電性ボールの供給部２とワーク４の位置決め
部５の間の吸着ヘッド１２の移動路の下方には、光学系
２０が設置されている。次に、図２および図３を参照し
て光学系２０について説明する。
着されており、モータ１７が駆動すると、ケース１５お
よび吸着ヘッド１２は移動テーブル１６に沿って導電性
ボールの供給部２とワーク４の間を水平移動する。なお
吸着ヘッド１２は、真空吸引系（図示せず）に接続され
ており、真空吸引系が作動することにより、吸着孔１３
に導電性ボール１を真空吸着し、また真空吸着状態を解
除する。導電性ボールの供給部２とワーク４の位置決め
部５の間の吸着ヘッド１２の移動路の下方には、光学系
２０が設置されている。次に、図２および図３を参照し
て光学系２０について説明する。
【００１６】図２および図３において、２１は光照射器
である。光照射器２１は吸着ヘッド１２の移動路の側方
に配設されており、吸着ヘッド１２の下面に沿うように
この下面と平行なビーム光Ｌを照射する。このビーム光
Ｌはレーザ光である。
である。光照射器２１は吸着ヘッド１２の移動路の側方
に配設されており、吸着ヘッド１２の下面に沿うように
この下面と平行なビーム光Ｌを照射する。このビーム光
Ｌはレーザ光である。
【００１７】吸着ヘッド１２の移動路の下方には、入光
部を兼ねた射光部２２と、光源ユニット２３が配設され
ている。光源ユニット２３は、ハロゲンランプである光
源２４と、光源２４の前方に設けられたミラー２５と、
ミラー２５の下方に設けられた受光部２６を備えてい
る。ミラー２５はピン２７を中心に回転する。
部を兼ねた射光部２２と、光源ユニット２３が配設され
ている。光源ユニット２３は、ハロゲンランプである光
源２４と、光源２４の前方に設けられたミラー２５と、
ミラー２５の下方に設けられた受光部２６を備えてい
る。ミラー２５はピン２７を中心に回転する。
【００１８】射光部２２と光源ユニット２３は光ケーブ
ル２８で接続されている。光ケーブル２８には多数本の
光ファイバ２９が収納されている。光ケーブル２８の先
端部から導出した光ファイバ２９は、射光部２２の内部
において吸着ヘッド１２の移動方向と直交する方向（ビ
ーム光Ｌの照射方向）にライン状に並べられている。し
たがってミラー２５を図２に示すように倒伏させた状態
では、光源２４から照射された光は光ケーブル２８内に
入り、光ファイバ２９の上端部から上方へ照射される
（図２の矢印ａ，ｂ参照）。また吸着ヘッド１２の内部
には、吸着孔１３から漏光した光ｃを検出する光検出セ
ンサ３０が設けられている。
ル２８で接続されている。光ケーブル２８には多数本の
光ファイバ２９が収納されている。光ケーブル２８の先
端部から導出した光ファイバ２９は、射光部２２の内部
において吸着ヘッド１２の移動方向と直交する方向（ビ
ーム光Ｌの照射方向）にライン状に並べられている。し
たがってミラー２５を図２に示すように倒伏させた状態
では、光源２４から照射された光は光ケーブル２８内に
入り、光ファイバ２９の上端部から上方へ照射される
（図２の矢印ａ，ｂ参照）。また吸着ヘッド１２の内部
には、吸着孔１３から漏光した光ｃを検出する光検出セ
ンサ３０が設けられている。
【００１９】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
な構成より成り、次にその動作を説明する。図１におい
て、吸着ヘッド１２は供給部２の上方で上下動作を行
い、その下面の吸着孔１３に導電性ボール１を真空吸着
してピックアップする。次に吸着ヘッド１２はワーク４
へ向って移動し、その途中で光学系２０の射光部２２の
上方を通過するが、その際、ピックアップミスの有無の
検査が行われる。
な構成より成り、次にその動作を説明する。図１におい
て、吸着ヘッド１２は供給部２の上方で上下動作を行
い、その下面の吸着孔１３に導電性ボール１を真空吸着
してピックアップする。次に吸着ヘッド１２はワーク４
へ向って移動し、その途中で光学系２０の射光部２２の
上方を通過するが、その際、ピックアップミスの有無の
検査が行われる。
【００２０】図２は、このピックアップミスの有無の検
査の様子を示している。このとき、ミラー２５は倒伏し
ており、光源２４を点灯すると、その光は光ケーブル２
８に入り（矢印ａ）、射光部２２内の光ファイバ２９の
上端部から上方へ照射される（矢印ｂ）。ここで、吸着
孔１３がピックアップミスをして導電性ボール１を真空
吸着していない場合には、光は矢印ｃで示すように吸着
孔１３を通って光検出センサ３０に入射するので、これ
によりピックアップミスがあったことが判明する。なお
このピックアップミスの有無の判断等は、光検出センサ
３０に接続されたコンピュータのＣＰＵ（図示せず）な
どが行う。そしてピックアップミスがあった場合には、
吸着ヘッド１２は供給部２の上方へ戻り、再度ピックア
ップ動作を行う。
査の様子を示している。このとき、ミラー２５は倒伏し
ており、光源２４を点灯すると、その光は光ケーブル２
８に入り（矢印ａ）、射光部２２内の光ファイバ２９の
上端部から上方へ照射される（矢印ｂ）。ここで、吸着
孔１３がピックアップミスをして導電性ボール１を真空
吸着していない場合には、光は矢印ｃで示すように吸着
孔１３を通って光検出センサ３０に入射するので、これ
によりピックアップミスがあったことが判明する。なお
このピックアップミスの有無の判断等は、光検出センサ
３０に接続されたコンピュータのＣＰＵ（図示せず）な
どが行う。そしてピックアップミスがあった場合には、
吸着ヘッド１２は供給部２の上方へ戻り、再度ピックア
ップ動作を行う。
【００２１】さて、ピックアップミスが無かった場合に
は、吸着ヘッド１２はワーク４の上方へ移動する。そこ
で吸着ヘッド１２は下降して吸着孔１３に真空吸着され
た導電性ボール１をワーク４のパッド（図示せず）上に
着地させ、次いで真空吸着状態を解除して上昇すること
により、導電性ボール１はワーク４のパッド上に搭載さ
れる。なおパッド４上には、フラックスが予め塗布され
ている。
は、吸着ヘッド１２はワーク４の上方へ移動する。そこ
で吸着ヘッド１２は下降して吸着孔１３に真空吸着され
た導電性ボール１をワーク４のパッド（図示せず）上に
着地させ、次いで真空吸着状態を解除して上昇すること
により、導電性ボール１はワーク４のパッド上に搭載さ
れる。なおパッド４上には、フラックスが予め塗布され
ている。
【００２２】次に吸着ヘッド１２は供給部２の上方へ戻
るが、その途中、光学系２０の上方を通過し、搭載ミス
の有無の検査が行われる。図３は、搭載ミスの有無の検
査の様子を示している。このときミラー２５は傾斜姿勢
となっており、また光源２４は消灯している。さて、吸
着ヘッド１２が光照射器２１の側方を通過するとき、光
照射器２１から吸着ヘッド１２の下面に沿うビーム光Ｌ
が照射される。吸着孔１３に導電性ボール１が付着して
いる場合には、ビーム光Ｌは光沢のある導電性ボール１
の球状の鏡面により下方へ強く反射され（矢印ｄ）、射
光部を兼ねた入光部２２の光ファイバ２９に入射する。
そして光ケーブル２８内を通ってミラー２５に反射さ
れ、受光部２６に入射する（矢印ｅ）。これにより、導
電性ボール１が吸着ヘッド１２の下面に付着しているこ
とが判明する。
るが、その途中、光学系２０の上方を通過し、搭載ミス
の有無の検査が行われる。図３は、搭載ミスの有無の検
査の様子を示している。このときミラー２５は傾斜姿勢
となっており、また光源２４は消灯している。さて、吸
着ヘッド１２が光照射器２１の側方を通過するとき、光
照射器２１から吸着ヘッド１２の下面に沿うビーム光Ｌ
が照射される。吸着孔１３に導電性ボール１が付着して
いる場合には、ビーム光Ｌは光沢のある導電性ボール１
の球状の鏡面により下方へ強く反射され（矢印ｄ）、射
光部を兼ねた入光部２２の光ファイバ２９に入射する。
そして光ケーブル２８内を通ってミラー２５に反射さ
れ、受光部２６に入射する（矢印ｅ）。これにより、導
電性ボール１が吸着ヘッド１２の下面に付着しているこ
とが判明する。
【００２３】この場合、要は光照射器２１から照射され
たビーム光Ｌの一部を導電性ボール１により下方へ反射
させればよいので（すなわち従来方法のようにビーム光
を導電性ボールで完全に遮光する必要はないので）、ビ
ーム光Ｌをそれ程絞る必要はなく、またビーム光Ｌが多
少拡散してもよいものである。なおこの導電性ボール１
の有無の判断も、受光部２６に接続されたコンピュータ
のＣＰＵなどが行う。図３に示す例では、左側から２番
目の吸着孔１３に導電性ボール１が付着しているが、こ
れはワーク４に搭載ミスして吸着ヘッド１２の下面に付
着したままになったものである。
たビーム光Ｌの一部を導電性ボール１により下方へ反射
させればよいので（すなわち従来方法のようにビーム光
を導電性ボールで完全に遮光する必要はないので）、ビ
ーム光Ｌをそれ程絞る必要はなく、またビーム光Ｌが多
少拡散してもよいものである。なおこの導電性ボール１
の有無の判断も、受光部２６に接続されたコンピュータ
のＣＰＵなどが行う。図３に示す例では、左側から２番
目の吸着孔１３に導電性ボール１が付着しているが、こ
れはワーク４に搭載ミスして吸着ヘッド１２の下面に付
着したままになったものである。
【００２４】以上のように上記光学系２０によれば、ピ
ックアップミスと搭載ミスを共に検出できる。しかも、
光ファイバ２９をライン状に並べて成る光学素子を、ピ
ックアップミス検出時の射光部２２と、搭載ミス検出時
の入光部２２として兼用し、かつ光ファイバ２９やミラ
ー２５などの素子をピックアップミスの検出手段と搭載
ミスの検出手段として共用できるので、光学系を簡単化
し、かつ小型コンパクト化できる。
ックアップミスと搭載ミスを共に検出できる。しかも、
光ファイバ２９をライン状に並べて成る光学素子を、ピ
ックアップミス検出時の射光部２２と、搭載ミス検出時
の入光部２２として兼用し、かつ光ファイバ２９やミラ
ー２５などの素子をピックアップミスの検出手段と搭載
ミスの検出手段として共用できるので、光学系を簡単化
し、かつ小型コンパクト化できる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、導電性ボールは光沢の
ある球状の鏡面であることを利用して、吸着ヘッドの側
方から光を照射し、下方へ反射させるというきわめて簡
単な構成により、導電性ボールの搭載ミスの有無を正確
に検査できるものであり、殊に導電性ボールで光を完全
に遮断する必要はないので、直径の小さい微小な導電性
ボールであっても、その有無を正確に検査することがで
きる。
ある球状の鏡面であることを利用して、吸着ヘッドの側
方から光を照射し、下方へ反射させるというきわめて簡
単な構成により、導電性ボールの搭載ミスの有無を正確
に検査できるものであり、殊に導電性ボールで光を完全
に遮断する必要はないので、直径の小さい微小な導電性
ボールであっても、その有無を正確に検査することがで
きる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の吸着ヘッドと光学系の側面図
置の吸着ヘッドと光学系の側面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の吸着ヘッドと光学系の側面図
置の吸着ヘッドと光学系の側面図
１ 導電性ボール ２ 導電性ボールの供給部 ４ ワーク ５ ワークの位置決め部 １２ 吸着ヘッド １３ 吸着孔 １６ 移動テーブル ２０ 光学系 ２１ 光照射器 ２２ 射光部（入光部） ２６ 受光部
Claims (2)
- 【請求項１】導電性ボールの供給部と、下面に導電性ボ
ールの吸着孔が複数個形成された吸着ヘッドと、ワーク
の位置決め部と、吸着ヘッドを導電性ボールの供給部と
ワークの位置決め部の間を移動させる移動テーブルと、
吸着ヘッドの移動路にあって吸着ヘッドの側方から吸着
ヘッドの下面に沿う光を照射する光照射器と、吸着ヘッ
ドの下方にあって吸着孔に吸着された導電性ボールの球
状の鏡面によって下方へ反射された光を受光する受光部
とを備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。 - 【請求項２】導電性ボールの供給部に備えられた導電性
ボールを吸着ヘッドがその下面の複数個の吸着孔に真空
吸着してピックアップする工程と、吸着ヘッドが位置決
め部に位置決めされたワークの上方へ移動し導電性ボー
ルをワークに搭載する工程と、この搭載を行った後に、
吸着ヘッドの側方の光照射器から吸着ヘッドの下面に沿
う光を照射し、吸着ヘッドの下方に設けられた受光部が
反射光を受光するか否かにより導電性ボールの有無を判
定する工程と、を含むことを特徴とする導電性ボールの
搭載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4751797A JPH10242209A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4751797A JPH10242209A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10242209A true JPH10242209A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12777311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4751797A Pending JPH10242209A (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10242209A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7066377B2 (en) | 1999-06-24 | 2006-06-27 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
-
1997
- 1997-03-03 JP JP4751797A patent/JPH10242209A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7066377B2 (en) | 1999-06-24 | 2006-06-27 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
| US7077305B1 (en) | 1999-06-24 | 2006-07-18 | Athlete Fa Corporation | Ball loading apparatus |
| US7240822B2 (en) | 1999-06-24 | 2007-07-10 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
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