JP3200881B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- photosensitive glass
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/04—Compositions for glass with special properties for photosensitive glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来よりインクジェットヘッドは、流路
基板の素材としてガラス基板を用いて、その表面にイン
ク射出口，加圧室，インク溜り，インク供給口などが連
通するインク流路となる溝をエッチングにより形成す
る。この様な溝を設けた基板に、ガラス製の振動板を熱
融着し、加圧室に対向する位置の振動板の表面に圧電素
子を接着して製造している。流路基板の素材としては、
近来、複雑な流路の形成が容易な感光性ガラスを用いる
ことが提案されており、この場合、感光性ガラス板の表
面に溝を形成する方法は、まず溝の形状のパターンが形
成されているフォトマスクを通して紫外線を照射して露
光部を形成し、露光部を熱処理して結晶部を形成し、こ
れを所定の深さまでエッチングして溝を形成する。
基板の素材としてガラス基板を用いて、その表面にイン
ク射出口，加圧室，インク溜り，インク供給口などが連
通するインク流路となる溝をエッチングにより形成す
る。この様な溝を設けた基板に、ガラス製の振動板を熱
融着し、加圧室に対向する位置の振動板の表面に圧電素
子を接着して製造している。流路基板の素材としては、
近来、複雑な流路の形成が容易な感光性ガラスを用いる
ことが提案されており、この場合、感光性ガラス板の表
面に溝を形成する方法は、まず溝の形状のパターンが形
成されているフォトマスクを通して紫外線を照射して露
光部を形成し、露光部を熱処理して結晶部を形成し、こ
れを所定の深さまでエッチングして溝を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように流路基板
の素材として感光性ガラスを用いると、表面に形成され
る溝は、露光，熱処理によって結晶化した層を、フッ化
水素酸溶液などのエッチング液で所定の深さまでエッチ
ングしたものであるので、溝の内面は結晶部の粒界の影
響もあり、表面粗さを小さくすることができない。イン
クジェットヘッドの溝の表面粗さが大きいと、インクに
混入した気泡が溝内で停滞し、インク射出特性に悪影響
を及ぼす問題がある。
の素材として感光性ガラスを用いると、表面に形成され
る溝は、露光，熱処理によって結晶化した層を、フッ化
水素酸溶液などのエッチング液で所定の深さまでエッチ
ングしたものであるので、溝の内面は結晶部の粒界の影
響もあり、表面粗さを小さくすることができない。イン
クジェットヘッドの溝の表面粗さが大きいと、インクに
混入した気泡が溝内で停滞し、インク射出特性に悪影響
を及ぼす問題がある。
【０００４】また感光性ガラス製の流路基板にガラス製
の振動板を熱融着により接合する場合には、８００℃以
上に加熱しなければならないので、その昇温及び降温ス
ピードに制約があり、工程に時間がかかる。また全体を
均一な弱い圧力で押えなければならないので、未融着部
分を生じて歩留まりが悪いなどの問題がある。
の振動板を熱融着により接合する場合には、８００℃以
上に加熱しなければならないので、その昇温及び降温ス
ピードに制約があり、工程に時間がかかる。また全体を
均一な弱い圧力で押えなければならないので、未融着部
分を生じて歩留まりが悪いなどの問題がある。
【０００５】更にこの熱融着時には、上記のエッチング
のための熱処理温度よりも高温で加熱するので、露光の
有無にかかわらず、エッチング加工時とは別の結晶が感
光性ガラスに形成される。この結晶化によって溝の内部
が見え難くなり、製造後の種々の検査がやり難くなると
いう問題がある。
のための熱処理温度よりも高温で加熱するので、露光の
有無にかかわらず、エッチング加工時とは別の結晶が感
光性ガラスに形成される。この結晶化によって溝の内部
が見え難くなり、製造後の種々の検査がやり難くなると
いう問題がある。
【０００６】そこで本発明の目的は、感光性ガラスを用
い、エッチング面の表面粗さを改善し、工程を短縮し、
かつ歩留まりを向上させ、さらに製造後の検査をし易く
することにある。
い、エッチング面の表面粗さを改善し、工程を短縮し、
かつ歩留まりを向上させ、さらに製造後の検査をし易く
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、 感
光性ガラス板の表面に溝部を形成すべき部分に露光し熱
処理しエッチングしてインク流路となる溝部を形成し、
溝部が形成してある感光性ガラス表面を溝部の内部及び
溝部が形成されていない表面の全体にわたりＳｉＯ2系
被膜形成用塗布液を用いてコーティングし、その後振動
板をコーティング膜を介して感光性ガラス板の表面に熱
溶着する。
に、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、 感
光性ガラス板の表面に溝部を形成すべき部分に露光し熱
処理しエッチングしてインク流路となる溝部を形成し、
溝部が形成してある感光性ガラス表面を溝部の内部及び
溝部が形成されていない表面の全体にわたりＳｉＯ2系
被膜形成用塗布液を用いてコーティングし、その後振動
板をコーティング膜を介して感光性ガラス板の表面に熱
溶着する。
【０００８】
【作用】ＳｉＯ2 系被膜形成用塗付液を用いて形成した
コーティング膜によって、エッチング面が平滑となり、
振動板の接合に際してエッチングのための熱処理温度以
上の高温加熱が不要となり、しかも確実に接合し、内部
も見易くなる。
コーティング膜によって、エッチング面が平滑となり、
振動板の接合に際してエッチングのための熱処理温度以
上の高温加熱が不要となり、しかも確実に接合し、内部
も見易くなる。
【０００９】
【実施例】図１を参照して本発明の製造工程を説明す
る。まずＡ工程において、感光性ガラス板１の表面に形
成する溝、即ち、インクジェットヘッドのインク射出口
２，加圧室３，インク溜り４，インク供給口５などを連
通するインク流路となるための溝の露光パターンと、そ
の周囲に遮光部とが形成してある図示しないフォトマス
クを介して、感光性ガラス板１の表面に紫外線を照射
し、感光性ガラス板内に露光部を形成し、熱処理して結
晶部を形成し、エッチングして上記の溝を形成したもの
である。溝の面は、結晶部の結晶粒により表面が粗くな
っている。
る。まずＡ工程において、感光性ガラス板１の表面に形
成する溝、即ち、インクジェットヘッドのインク射出口
２，加圧室３，インク溜り４，インク供給口５などを連
通するインク流路となるための溝の露光パターンと、そ
の周囲に遮光部とが形成してある図示しないフォトマス
クを介して、感光性ガラス板１の表面に紫外線を照射
し、感光性ガラス板内に露光部を形成し、熱処理して結
晶部を形成し、エッチングして上記の溝を形成したもの
である。溝の面は、結晶部の結晶粒により表面が粗くな
っている。
【００１０】そこでＢ工程において、感光性ガラス板１
の溝の内面及び溝が形成されていない表面の全体にわた
り、ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布液をコーティングしてコ
ーティング膜６を形成する。ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布
液としては、例えばＯＣＤ（東京応化工業（株）の商品
名）を用いることができる。ＯＣＤはケイ素化合物およ
び添加剤（拡散用不純物、ガラス質形成剤、有機バイン
ダ）を有機溶剤（アルコール主成分、エステル、ケト
ン）に溶解したものである。ＯＣＤのコーティングは、
スピンナー、ディッピング、吹き付け、刷毛塗りなどの
方法で簡単に塗布できる。ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布液
としては、ＯＣＤの他にも、被膜形成性と接着性とを具
備し、かつ感光性ガラスとの密着性の良いものが選択さ
れる。このＢ工程によって、インクジェットヘッドの流
路基板１０が形成され、図２にその平面を示している。
流路基板１０は溝の内面を含む基板全表面がコーティン
グ膜６で覆われて平滑な面となっており、表面には共通
のインク溜り４から複数のインク射出口２へ至る複数本
のインク流路である溝１０ａ…が設けられている。
の溝の内面及び溝が形成されていない表面の全体にわた
り、ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布液をコーティングしてコ
ーティング膜６を形成する。ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布
液としては、例えばＯＣＤ（東京応化工業（株）の商品
名）を用いることができる。ＯＣＤはケイ素化合物およ
び添加剤（拡散用不純物、ガラス質形成剤、有機バイン
ダ）を有機溶剤（アルコール主成分、エステル、ケト
ン）に溶解したものである。ＯＣＤのコーティングは、
スピンナー、ディッピング、吹き付け、刷毛塗りなどの
方法で簡単に塗布できる。ＳｉＯ2 系被膜形成用塗布液
としては、ＯＣＤの他にも、被膜形成性と接着性とを具
備し、かつ感光性ガラスとの密着性の良いものが選択さ
れる。このＢ工程によって、インクジェットヘッドの流
路基板１０が形成され、図２にその平面を示している。
流路基板１０は溝の内面を含む基板全表面がコーティン
グ膜６で覆われて平滑な面となっており、表面には共通
のインク溜り４から複数のインク射出口２へ至る複数本
のインク流路である溝１０ａ…が設けられている。
【００１１】その後でＣ工程において、表面にＳｉＯ2
系被膜形成用塗布液によるコーティング膜６が形成され
た流路基板１０と振動板７とを対接保持し、熱処理を行
う。この熱処理は、例えば５００℃で３０分間加熱する
ことにより行われるもので、これによりコーティング膜
６が接着剤となって流路基板１０と振動板７とが確実に
接着する。なお、振動板７は感光性ガラスを素材とする
ものや通常のガラスを素材とするものなど、種々の素材
のものが適用可能である。
系被膜形成用塗布液によるコーティング膜６が形成され
た流路基板１０と振動板７とを対接保持し、熱処理を行
う。この熱処理は、例えば５００℃で３０分間加熱する
ことにより行われるもので、これによりコーティング膜
６が接着剤となって流路基板１０と振動板７とが確実に
接着する。なお、振動板７は感光性ガラスを素材とする
ものや通常のガラスを素材とするものなど、種々の素材
のものが適用可能である。
【００１２】図３に示すように、流路基板１０に振動板
７を接着した後で、振動板７の表面であって加圧室３と
対向する位置に、圧電素子８を接着することによってイ
ンクジェットヘッドの製造が完了する。
７を接着した後で、振動板７の表面であって加圧室３と
対向する位置に、圧電素子８を接着することによってイ
ンクジェットヘッドの製造が完了する。
【００１３】このインクジェットヘッドは、図示しない
インク供給手段からインク流路内にインクが充填され、
圧電素子８に電力が供給されたとき、振動板７が内方へ
変形して加圧室３内のインクが加圧され、インク射出口
２からインクが射出される。
インク供給手段からインク流路内にインクが充填され、
圧電素子８に電力が供給されたとき、振動板７が内方へ
変形して加圧室３内のインクが加圧され、インク射出口
２からインクが射出される。
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のインク
ジェットヘッドの製造方法では、インク流路となる溝部
が形成してある感光性ガラス板の溝部の内部及び溝部が
形成されていない表面の全体にわたり、ＳｉＯ2系被膜
形成用塗布液を用いてコーティングし、その後で振動板
をコーティング膜を介して感光性ガラス板の表面に熱溶
着するので、溝部の面が平滑となり、工程が短縮でき、
また振動板の接合を確実にできるので、歩留まりが向上
する。更に接合のための加熱温度をエッチングのための
熱処理温度よりも低くすることができるので、感光性ガ
ラスが結晶化することがなくなり、製造後の検査をし易
くすることができる。
ジェットヘッドの製造方法では、インク流路となる溝部
が形成してある感光性ガラス板の溝部の内部及び溝部が
形成されていない表面の全体にわたり、ＳｉＯ2系被膜
形成用塗布液を用いてコーティングし、その後で振動板
をコーティング膜を介して感光性ガラス板の表面に熱溶
着するので、溝部の面が平滑となり、工程が短縮でき、
また振動板の接合を確実にできるので、歩留まりが向上
する。更に接合のための加熱温度をエッチングのための
熱処理温度よりも低くすることができるので、感光性ガ
ラスが結晶化することがなくなり、製造後の検査をし易
くすることができる。
【図１】（Ａ）乃至（Ｃ）は本発明の製造方法の工程を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】インクジェットヘッドの流路基板を示す平面図
である。
である。
【図３】同上の流路基板を用いて製造したインクジェッ
トヘッドの断面図である。
トヘッドの断面図である。
１ 感光性ガラス板 ２，３，４，５ インク流路となる溝部 ６ コーティング膜 ７ 振動板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−69474（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−161668（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−178065（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−21862（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 33/00
Claims (2)
- 【請求項１】 感光性ガラス板の表面に溝部を形成すべ
き部分に露光し熱処理しエッチングしてインク流路とな
る上記溝部を形成し、 上記溝部が形成してある上記感光性ガラス表面を上記溝
部の内部及び上記溝部が形成されていない表面の全体に
わたりＳｉＯ２系被膜形成用塗布液を用いてコーティン
グし、その後振動板を上記コーティング膜を介して上記
感光性ガラス板の表面に熱溶着することを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 インク流路を構成する溝部を形成した基
板と、該基板に上記溝部の内部及び上記溝部が形成され
ていない表面の全体にわたりコーティングされたＳｉＯ
２系の被膜を介して接合された振動板とを備えたインク
ジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24143591A JP3200881B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24143591A JP3200881B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578138A JPH0578138A (ja) | 1993-03-30 |
| JP3200881B2 true JP3200881B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=17074266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24143591A Expired - Fee Related JP3200881B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3200881B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06262761A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-20 | Rohm Co Ltd | インクジェットプリントヘッド及びそれを用いた印刷装置 |
| DE69710411T2 (de) * | 1996-10-18 | 2002-11-07 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
| SE0004594D0 (sv) * | 2000-12-12 | 2000-12-12 | Gyros Ab | Microscale nozzie |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP24143591A patent/JP3200881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0578138A (ja) | 1993-03-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010522 |
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