JP3180920B2 - 薬液の高温加熱装置 - Google Patents
薬液の高温加熱装置Info
- Publication number
- JP3180920B2 JP3180920B2 JP15378691A JP15378691A JP3180920B2 JP 3180920 B2 JP3180920 B2 JP 3180920B2 JP 15378691 A JP15378691 A JP 15378691A JP 15378691 A JP15378691 A JP 15378691A JP 3180920 B2 JP3180920 B2 JP 3180920B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat exchange
- exchange tube
- heater
- annular
- temperature heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温の薬液にて洗浄エ
ッジング等を行なう高温薬液循環回路に用いられる薬液
の高温加熱装置に関するものである。
ッジング等を行なう高温薬液循環回路に用いられる薬液
の高温加熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シリコンウェハの洗浄、エッジン
グ、レジスト剥離等を行なうために、高温の薬液、例え
ばアンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水、リン酸、硫酸
等の薬液を循環させた高温薬液循環回路が用いられてい
る。図９は上記高温薬液循環回路を示すもので、処理槽
１内の薬液２はベローズ型のポンプ３にて吸い込み、高
温加熱装置４にて高温に加熱し、ついでフィルタ５にて
濾過して上記処理槽１に戻し、この回路を薬液を循環さ
せている。そして上記処理槽１内にシリコンウェハ６を
浸漬してこれの洗浄等、必要な処理を行なうようになっ
ている。ところで、上記高温薬液循環回路における従来
の高温加熱装置は図７に示すようになっていて、熱交換
部７が入口部８及び出口部９より大きな径の筒形になっ
ている石英管にて構成されており、これの熱交換部７の
周囲にヒータ１０を配置し、このヒータ１０はセラミッ
ク等からなる内側断熱材１１にて支持し、さらにこの内
側断熱材１１の外側に綿状の外側断熱材１２にてカバー
し、さらにその外側を鋼板よりなるカバー１３にて覆っ
ている構成となっており、極めてクリーンな加熱が行な
われるようになっている。
グ、レジスト剥離等を行なうために、高温の薬液、例え
ばアンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水、リン酸、硫酸
等の薬液を循環させた高温薬液循環回路が用いられてい
る。図９は上記高温薬液循環回路を示すもので、処理槽
１内の薬液２はベローズ型のポンプ３にて吸い込み、高
温加熱装置４にて高温に加熱し、ついでフィルタ５にて
濾過して上記処理槽１に戻し、この回路を薬液を循環さ
せている。そして上記処理槽１内にシリコンウェハ６を
浸漬してこれの洗浄等、必要な処理を行なうようになっ
ている。ところで、上記高温薬液循環回路における従来
の高温加熱装置は図７に示すようになっていて、熱交換
部７が入口部８及び出口部９より大きな径の筒形になっ
ている石英管にて構成されており、これの熱交換部７の
周囲にヒータ１０を配置し、このヒータ１０はセラミッ
ク等からなる内側断熱材１１にて支持し、さらにこの内
側断熱材１１の外側に綿状の外側断熱材１２にてカバー
し、さらにその外側を鋼板よりなるカバー１３にて覆っ
ている構成となっており、極めてクリーンな加熱が行な
われるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年で
はシリコンウェハの大型化に伴い、処理槽１の容量の増
大、及びＩＣの容量の増大に伴い洗浄度の向上が望まれ
ており、また処理槽１の容量の増大に反して薬液の温度
上昇の待ち時間の短縮、装置の小型化も望まれている。
ところが、上記した従来の高温薬液循環回路における高
温加熱装置にあっては、その熱交換部７が比較的径が大
きい筒形になっていて、その周囲からヒータ１０にて加
熱する構成となっていたため、単位容積当たりの熱量を
大きくとることができず、熱交換率が悪いため、薬液の
温度上昇の待ち時間を短縮しようとすると、ヒータ部分
が大型化し、しかもこれの熱が外側に伝わらないように
するための断熱材の量も多く必要となって装置全体が大
型化してしまうという問題があった。また従来の装置に
おけるヒータ１０は図８に示すようにコイル状になった
ニクロム線のヒータ１０をセラミック等の断熱材１１に
モールドするので熱交換部７の全面で照射されずに影が
できてしまい、ヒータ１０の熱が強くあたる部分Ｑと、
弱くあたる部分Ｒが生じて熱効率が悪かった。
はシリコンウェハの大型化に伴い、処理槽１の容量の増
大、及びＩＣの容量の増大に伴い洗浄度の向上が望まれ
ており、また処理槽１の容量の増大に反して薬液の温度
上昇の待ち時間の短縮、装置の小型化も望まれている。
ところが、上記した従来の高温薬液循環回路における高
温加熱装置にあっては、その熱交換部７が比較的径が大
きい筒形になっていて、その周囲からヒータ１０にて加
熱する構成となっていたため、単位容積当たりの熱量を
大きくとることができず、熱交換率が悪いため、薬液の
温度上昇の待ち時間を短縮しようとすると、ヒータ部分
が大型化し、しかもこれの熱が外側に伝わらないように
するための断熱材の量も多く必要となって装置全体が大
型化してしまうという問題があった。また従来の装置に
おけるヒータ１０は図８に示すようにコイル状になった
ニクロム線のヒータ１０をセラミック等の断熱材１１に
モールドするので熱交換部７の全面で照射されずに影が
できてしまい、ヒータ１０の熱が強くあたる部分Ｑと、
弱くあたる部分Ｒが生じて熱効率が悪かった。
【０００４】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、熱交換部の熱交換率がよくなり、装置全体が大型
化することなく大量の薬液の温度上昇を早く行なうこと
ができて、処理槽の容量の増大化及び薬液の温度上昇の
待ち時間の短縮を図ることができるようにした薬液の高
温加熱装置を提供することを目的とするものである。
ので、熱交換部の熱交換率がよくなり、装置全体が大型
化することなく大量の薬液の温度上昇を早く行なうこと
ができて、処理槽の容量の増大化及び薬液の温度上昇の
待ち時間の短縮を図ることができるようにした薬液の高
温加熱装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る薬液の高温加熱装置は、中空の環状筒
形に構成され、かつ一方に入口管１６を、他方に出口管
１７を上記中空部に接続して設けた環状の熱交換筒１５
の内側と外側に、この熱交換筒１５の内周面と外周面に
沿わせてヒータ１８，１９を配置した構成となってい
る。また、中空の環状筒形に構成され、かつ一方に入口
管１６を、他方に出口管１７を上記中空部に接続して設
けた環状の熱交換筒１５の内側に、この熱交換筒１５の
内周面に沿わせて内側ヒータ１８を配置し、また熱交換
筒１５の外周に対向する部分に環状の外側空気通路２９
を設け、この外側空気通路２９を上記内側ヒータ１８を
設けた内側ヒータ室と連通し、内側ヒータ室にて加熱さ
れた空気を外側空気通路に導くようにした構成となって
いる。さらに、中空の環状筒形に構成された熱交換筒の
周面に対向して設けるヒータをニクロム線にて構成し、
これを断熱材の表面に細かいピッチで巻きつけた構成と
なっている。
に、本発明に係る薬液の高温加熱装置は、中空の環状筒
形に構成され、かつ一方に入口管１６を、他方に出口管
１７を上記中空部に接続して設けた環状の熱交換筒１５
の内側と外側に、この熱交換筒１５の内周面と外周面に
沿わせてヒータ１８，１９を配置した構成となってい
る。また、中空の環状筒形に構成され、かつ一方に入口
管１６を、他方に出口管１７を上記中空部に接続して設
けた環状の熱交換筒１５の内側に、この熱交換筒１５の
内周面に沿わせて内側ヒータ１８を配置し、また熱交換
筒１５の外周に対向する部分に環状の外側空気通路２９
を設け、この外側空気通路２９を上記内側ヒータ１８を
設けた内側ヒータ室と連通し、内側ヒータ室にて加熱さ
れた空気を外側空気通路に導くようにした構成となって
いる。さらに、中空の環状筒形に構成された熱交換筒の
周面に対向して設けるヒータをニクロム線にて構成し、
これを断熱材の表面に細かいピッチで巻きつけた構成と
なっている。
【０００６】
【作 用】入口管１６から流入した薬液は環状の通路
を通って出口管１７に導かれ、その間に、熱交換筒１５
の内、外側から内、外のヒータ１８，１９にて、あるい
は内側から内側ヒータ１８にて、外側から外側空気通路
２９の加熱空気にてそれぞれ加熱される。
を通って出口管１７に導かれ、その間に、熱交換筒１５
の内、外側から内、外のヒータ１８，１９にて、あるい
は内側から内側ヒータ１８にて、外側から外側空気通路
２９の加熱空気にてそれぞれ加熱される。
【０００７】
【実 施 例】本発明の第１の実施例を図１から図６に
基づいて説明する。図１、図２は本発明に係る薬液の高
温加熱装置の第１の実施例を示すもので、図中１５は熱
交換筒であり、この熱交換筒１５は中空の環状筒形に構
成されていて、これの軸方向の一側端部に入口管１６と
出口管１７とが直径方向に位置をずらせて中空部に接続
して設けてある。この熱交換筒１５は石英にて、好まし
くは透明の石英にて構成されている。上記入口管１６と
出口管１７とは軸方向の反対側に設けてもよい。熱交換
筒１５の内側には円筒の軸心と平行して円周方向に多数
本設けた内側ヒータ１８が熱交換筒１５の内面に沿い、
かつ非接触で対向させて設けてある。また熱交換筒１５
の外側には上記内側ヒータ１８と同一構成の外側ヒータ
１９が上記内側ヒータ１８に対して円周方向にピッチを
ずらせて設けてある。そして上記内側ヒータ１８は熱交
換筒１５の内側に設けられたセラミック等からなる内側
断熱材２０に支持されており、また外側ヒータ１９の外
側は外側断熱材２１にて覆われている。なお熱交換筒１
５は、これの両端の円周方向複数箇所に固着したブロッ
ク２２を介して上記両断熱材２０，２１に支持されてい
る。上記外側断熱材２１及びブロック２２の外側は綿状
の外被断熱材２３にて覆われ、その外側が鋼板等の被覆
材２４にて覆われている。この被覆材２４の一方の端部
には支持板２５が装着され、これにカバー２６が固着さ
れ、このカバー２６に入口管１６と出口管１７を支持す
る支持カバー２７が配設してある。上記実施例では内、
外のヒータ１８，１９を軸芯と平行に配置した例を示し
たが、円周に沿って一本のスパイラル状に、あるいは段
階状にしてもよい。
基づいて説明する。図１、図２は本発明に係る薬液の高
温加熱装置の第１の実施例を示すもので、図中１５は熱
交換筒であり、この熱交換筒１５は中空の環状筒形に構
成されていて、これの軸方向の一側端部に入口管１６と
出口管１７とが直径方向に位置をずらせて中空部に接続
して設けてある。この熱交換筒１５は石英にて、好まし
くは透明の石英にて構成されている。上記入口管１６と
出口管１７とは軸方向の反対側に設けてもよい。熱交換
筒１５の内側には円筒の軸心と平行して円周方向に多数
本設けた内側ヒータ１８が熱交換筒１５の内面に沿い、
かつ非接触で対向させて設けてある。また熱交換筒１５
の外側には上記内側ヒータ１８と同一構成の外側ヒータ
１９が上記内側ヒータ１８に対して円周方向にピッチを
ずらせて設けてある。そして上記内側ヒータ１８は熱交
換筒１５の内側に設けられたセラミック等からなる内側
断熱材２０に支持されており、また外側ヒータ１９の外
側は外側断熱材２１にて覆われている。なお熱交換筒１
５は、これの両端の円周方向複数箇所に固着したブロッ
ク２２を介して上記両断熱材２０，２１に支持されてい
る。上記外側断熱材２１及びブロック２２の外側は綿状
の外被断熱材２３にて覆われ、その外側が鋼板等の被覆
材２４にて覆われている。この被覆材２４の一方の端部
には支持板２５が装着され、これにカバー２６が固着さ
れ、このカバー２６に入口管１６と出口管１７を支持す
る支持カバー２７が配設してある。上記実施例では内、
外のヒータ１８，１９を軸芯と平行に配置した例を示し
たが、円周に沿って一本のスパイラル状に、あるいは段
階状にしてもよい。
【０００８】上記構成の薬液の高温加熱装置は、これの
熱交換筒１５の入口管１６にポンプの出口回路を接続
し、出口管１７にフィルタ回路を接続して用いられる。
しかしてポンプ回路より供給された薬液は入口管１６よ
り熱交換筒１５の環状中空部に流入し、ここで内側と外
側から内、外のヒータ１８，１９にて加熱されて、出口
管１７よりフィルタ回路へ流出する。このとき、熱交換
筒１５は石英にて構成されているので、薬液は金属イオ
ンを受けることなく加熱される。また熱交換筒１５は中
空の環状筒形に形成されていることにより、これの環状
中空寸法Ｌを小さくすれば、内、外のヒータ１８，１９
の熱放射方向の流体層が薄くなって熱交換筒１５内の薬
液にヒータ１８，１９の熱が十分に伝達され、熱交換筒
１５内の薬液は熱交換率がよく、速やかに高温に加熱さ
れる。なおこのとき、内側ヒータ１８と外側ヒータ１９
とが円周方向にピッチがずれていることにより内、外の
ヒータ１８，１９の熱を効果的に吸収できる。またこの
とき、内側ヒータ１８より外側ヒータ１９の温度を低く
して、外側の断熱材２１を薄くすることにより、装置全
体の外形寸法を小さくできる。
熱交換筒１５の入口管１６にポンプの出口回路を接続
し、出口管１７にフィルタ回路を接続して用いられる。
しかしてポンプ回路より供給された薬液は入口管１６よ
り熱交換筒１５の環状中空部に流入し、ここで内側と外
側から内、外のヒータ１８，１９にて加熱されて、出口
管１７よりフィルタ回路へ流出する。このとき、熱交換
筒１５は石英にて構成されているので、薬液は金属イオ
ンを受けることなく加熱される。また熱交換筒１５は中
空の環状筒形に形成されていることにより、これの環状
中空寸法Ｌを小さくすれば、内、外のヒータ１８，１９
の熱放射方向の流体層が薄くなって熱交換筒１５内の薬
液にヒータ１８，１９の熱が十分に伝達され、熱交換筒
１５内の薬液は熱交換率がよく、速やかに高温に加熱さ
れる。なおこのとき、内側ヒータ１８と外側ヒータ１９
とが円周方向にピッチがずれていることにより内、外の
ヒータ１８，１９の熱を効果的に吸収できる。またこの
とき、内側ヒータ１８より外側ヒータ１９の温度を低く
して、外側の断熱材２１を薄くすることにより、装置全
体の外形寸法を小さくできる。
【０００９】図３、図４は本発明の第２の実施例を示す
もので、以下その構成を説明する。熱交換筒１５の内側
には第１の実施例同様に内側ヒータ１８が内側断熱材２
０に支持されて設けてある。この内側ヒータ１８は第１
の実施例と同様に内側断熱材２０に設けた溝２０ａに嵌
合して円周方向に多数本配置されている。一方熱交換筒
１５の外周側は遮閉支持板２８にて構成される環状の外
側空気通路２９にて囲繞されている。そしてこの外側空
気通路２９は熱交換筒１５の軸方向端側で上記内側ヒー
タ１８の各溝２１ａに連通されており、この各溝２０ａ
に内側断熱材２０に設けた空気流入通路３０が連通され
ている。また内側断熱材２０の側端部に空気出口通路３
１が設けてあり、これに上記外側空気通路２９が連通し
てある。上記遮閉支持板２８の外側は綿状の外側断熱材
３２にて包まれており、その外側が鋼板よりなる外被板
３３にて覆われている。そしてこの外被板３３の一側部
に上記空気流入通路３０に連通する空気流入管３４と、
空気出口通路３１に連通する空気流出管３５とが設けて
ある。
もので、以下その構成を説明する。熱交換筒１５の内側
には第１の実施例同様に内側ヒータ１８が内側断熱材２
０に支持されて設けてある。この内側ヒータ１８は第１
の実施例と同様に内側断熱材２０に設けた溝２０ａに嵌
合して円周方向に多数本配置されている。一方熱交換筒
１５の外周側は遮閉支持板２８にて構成される環状の外
側空気通路２９にて囲繞されている。そしてこの外側空
気通路２９は熱交換筒１５の軸方向端側で上記内側ヒー
タ１８の各溝２１ａに連通されており、この各溝２０ａ
に内側断熱材２０に設けた空気流入通路３０が連通され
ている。また内側断熱材２０の側端部に空気出口通路３
１が設けてあり、これに上記外側空気通路２９が連通し
てある。上記遮閉支持板２８の外側は綿状の外側断熱材
３２にて包まれており、その外側が鋼板よりなる外被板
３３にて覆われている。そしてこの外被板３３の一側部
に上記空気流入通路３０に連通する空気流入管３４と、
空気出口通路３１に連通する空気流出管３５とが設けて
ある。
【００１０】上記構成において、ポンプ回路より供給さ
れた薬液は上記第１の実施例と同様に、熱交換筒１５の
環状中空部に流入し、ここで内側ヒータ１８にて加熱さ
れて出口管１７よりフィルタ回路へ流出する。またこの
とき、空気流入管３４より空気を供給装置にて空気を供
給する。この空気は内側ヒータ１８が嵌合した溝２０ａ
内で加熱され、この加熱された空気は熱交換筒１５の端
面を経て外側空気通路２９に流れ、ここから熱交換筒１
５の外周面を加熱する。そしてその後、空気出口通路３
１を経て空気出口管３５より排出される。従って熱交換
筒１５は内側から内側ヒータ１８にて、外側から加熱空
気にて加熱される。
れた薬液は上記第１の実施例と同様に、熱交換筒１５の
環状中空部に流入し、ここで内側ヒータ１８にて加熱さ
れて出口管１７よりフィルタ回路へ流出する。またこの
とき、空気流入管３４より空気を供給装置にて空気を供
給する。この空気は内側ヒータ１８が嵌合した溝２０ａ
内で加熱され、この加熱された空気は熱交換筒１５の端
面を経て外側空気通路２９に流れ、ここから熱交換筒１
５の外周面を加熱する。そしてその後、空気出口通路３
１を経て空気出口管３５より排出される。従って熱交換
筒１５は内側から内側ヒータ１８にて、外側から加熱空
気にて加熱される。
【００１１】図５、図６はヒータ部のそれぞれ異なる実
施例を示す。すなわち、例えば内側ヒータ１８は図５に
示すように、内側断熱材３６の円筒部にニクロム線より
なるヒータ３７をモールドされないで細かいピッチＰで
巻きつけてもよく、また、図６に示すように、ニクロム
線よりなるヒータ３８をジグザグ状に巻きつけてもよ
い。
施例を示す。すなわち、例えば内側ヒータ１８は図５に
示すように、内側断熱材３６の円筒部にニクロム線より
なるヒータ３７をモールドされないで細かいピッチＰで
巻きつけてもよく、また、図６に示すように、ニクロム
線よりなるヒータ３８をジグザグ状に巻きつけてもよ
い。
【００１２】上記ヒータ３７，３８はモールドと異な
り、細かいピッチＰで巻きつけられるので、熱の拡散性
がよくなると共に、熱交換筒１５に影になる部分がなく
全体に照射でき熱効率がよい。
り、細かいピッチＰで巻きつけられるので、熱の拡散性
がよくなると共に、熱交換筒１５に影になる部分がなく
全体に照射でき熱効率がよい。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、中空の環状筒形に形成
された熱交換筒１５内に流入した薬液はこれの環状の流
路内を流れる間に、これの内側及び外側からヒータ１
８，１９にて加熱されるから、流入口１６より流入した
薬液は広い面積にわたって内、外の両側からヒータ１
８，１９の熱に曝されることになって単位容積当たりに
受ける熱量が極めて大きくなり、これにより熱交換率が
よくなり、ヒータ部分を大型にすることなしに薬液の温
度上昇の待ち時間を短くすることができる。また上記外
側のヒータ１９にかえて熱交換筒１５の外側に環状の外
側空気通路を設け、この通路に熱交換筒１５の内側で加
熱された空気を流し、これにより熱交換筒１５の外側を
加熱するようにしたから、内側だけのヒータ１８の熱量
を熱交換筒１５の内、外面に供給することができる。さ
らに熱交換位置の周面に対向して設けられたヒータは、
これを支持する断熱材に裸に巻きつけることにより、ヒ
ータのピッチは細かくなってヒータからの熱量は大きく
なると共に、影ができることなく効率よく熱照射するこ
とができる。
された熱交換筒１５内に流入した薬液はこれの環状の流
路内を流れる間に、これの内側及び外側からヒータ１
８，１９にて加熱されるから、流入口１６より流入した
薬液は広い面積にわたって内、外の両側からヒータ１
８，１９の熱に曝されることになって単位容積当たりに
受ける熱量が極めて大きくなり、これにより熱交換率が
よくなり、ヒータ部分を大型にすることなしに薬液の温
度上昇の待ち時間を短くすることができる。また上記外
側のヒータ１９にかえて熱交換筒１５の外側に環状の外
側空気通路を設け、この通路に熱交換筒１５の内側で加
熱された空気を流し、これにより熱交換筒１５の外側を
加熱するようにしたから、内側だけのヒータ１８の熱量
を熱交換筒１５の内、外面に供給することができる。さ
らに熱交換位置の周面に対向して設けられたヒータは、
これを支持する断熱材に裸に巻きつけることにより、ヒ
ータのピッチは細かくなってヒータからの熱量は大きく
なると共に、影ができることなく効率よく熱照射するこ
とができる。
【図１】本発明の第１実施例の薬液の高温加熱装置の概
略的な全体構成を示すもので、図２のＡ−Ａ断面図であ
る。
略的な全体構成を示すもので、図２のＡ−Ａ断面図であ
る。
【図２】第１実施例の図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明の第２実施例の薬液の高温加熱装置の概
略的な全体構成を示すもので、図４のＤ−Ｄ断面図であ
る。
略的な全体構成を示すもので、図４のＤ−Ｄ断面図であ
る。
【図４】第２実施例の図３のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】本発明の薬液の高温加熱装置のヒータ部の第１
実施例を示す構成断面図である。
実施例を示す構成断面図である。
【図６】本発明の高温加熱装置のヒータ部の第２実施例
を示す一部概略側面図である。
を示す一部概略側面図である。
【図７】従来の実施例の薬液の高温加熱装置の概略を示
す全体構成断面図である。
す全体構成断面図である。
【図８】従来の実施例の薬液の高温加熱装置の一部拡大
図である。
図である。
【図９】高温サーキュレータ回路図である。
１５ 熱交換筒、１６ 入口管、１７ 出口管、１８
内側ヒータ、１９ 外側ヒータ、２９ 外側空気通路、
３７，３８ ヒータ。
内側ヒータ、１９ 外側ヒータ、２９ 外側空気通路、
３７，３８ ヒータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 諦四 神奈川県平塚市四之宮2597 小松エレク トロニクス電子冷凍機器部内 (72)発明者 早坂 知紘 神奈川県平塚市四之宮2597 小松エレク トロニクス電子冷凍機器部内 (72)発明者 片岡 美春 神奈川県平塚市四之宮2597 小松エレク トロニクス電子冷凍機器部内 (56)参考文献 特開 平４−353350（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−136454（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−117345（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−170341（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24H 1/10
Claims (3)
- 【請求項１】 中空の環状筒形に構成され、かつ一方に
入口管１６を、他方に出口管１７を上記中空部に接続し
て設けた環状の熱交換筒１５の内側と外側に、この熱交
換筒１５の内周面と外周面に沿わせてヒータ１８，１９
を配置したことを特徴とする薬液の高温加熱装置。 - 【請求項２】 中空の環状筒形に構成され、かつ一方に
入口管１６を、他方に出口管１７を上記中空部に接続し
て設けた環状の熱交換筒１５の内側に、この熱交換筒１
５の内周面に沿わせて内側ヒータ１８を配置し、また熱
交換筒１５の外周に対向する部分に環状の外側空気通路
２９を設け、この外側空気通路２９を上記内側ヒータ１
８を設けた内側ヒータ室と連通し、内側ヒータ室にて加
熱された空気を外側空気通路に導くようにしたことを特
徴とする薬液の高温加熱装置。 - 【請求項３】 中空の環状筒形に構成された熱交換筒の
周面に対向して設けるヒータ３７，３８をニクロム線に
て構成し、これを断熱材の表面に細かいピッチで巻きつ
けたことを特徴とする請求項１，２記載の薬液の高温加
熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15378691A JP3180920B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 薬液の高温加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15378691A JP3180920B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 薬液の高温加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629275A JPH0629275A (ja) | 1994-02-04 |
| JP3180920B2 true JP3180920B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=15570112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15378691A Expired - Fee Related JP3180920B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 薬液の高温加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180920B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010023959A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | 栗田工業株式会社 | 液体加熱器および液体加熱方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809592B1 (ko) * | 2006-09-12 | 2008-03-04 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
| US7864270B2 (en) | 2008-02-08 | 2011-01-04 | Motorola, Inc. | Electronic device and LC shutter with diffusive reflective polarizer |
| US8059232B2 (en) | 2008-02-08 | 2011-11-15 | Motorola Mobility, Inc. | Electronic device and LC shutter for polarization-sensitive switching between transparent and diffusive states |
| JP5880482B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2016-03-09 | 菱田 新悟 | 海水・川の水から飲料水を作る蒸留装置 |
| CN105570117A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-05-11 | 上海申航热能科技有限公司 | 采用陶瓷加热管的泵 |
-
1991
- 1991-05-30 JP JP15378691A patent/JP3180920B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010023959A1 (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | 栗田工業株式会社 | 液体加熱器および液体加熱方法 |
| JP2010060147A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Kurita Water Ind Ltd | 液体加熱器および液体加熱方法 |
| US9485807B2 (en) | 2008-09-01 | 2016-11-01 | Kurita Water Industries Ltd. | Liquid heating apparatus and liquid heating method |
| EP2325574A4 (en) * | 2008-09-01 | 2016-11-30 | Kurita Water Ind Ltd | LIQUID HEATER AND LIQUID HEATING METHOD |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629275A (ja) | 1994-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0423327B1 (en) | Apparatus and method for treating flat substrates under reduced pressure | |
| US6845732B2 (en) | Gas heating apparatus for chemical vapor deposition process and semiconductor device fabrication method using same | |
| JP3180920B2 (ja) | 薬液の高温加熱装置 | |
| JP2998903B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2011528501A5 (ja) | ||
| KR20020063200A (ko) | 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 방법 | |
| JPH08139045A (ja) | 縦型熱処理装置 | |
| JP3171636B2 (ja) | 液体加熱装置 | |
| JP3084575B2 (ja) | 薬液の高温加熱装置 | |
| KR950009622B1 (ko) | 본딩장치에 있어서의 반도체 시료흡착유지장치 | |
| JP4025146B2 (ja) | 処理液用タンク及び処理装置 | |
| KR20050116247A (ko) | 퍼니스 장치 및 그 장치를 사용한 열처리 방법 | |
| JP2574049Y2 (ja) | 液体の高温加熱装置 | |
| JP3077195B2 (ja) | 半導体熱処理用縦型プロセスチューブの構造 | |
| JP2901903B2 (ja) | 薬液等の加熱装置 | |
| JP3118760B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| CN218627593U (zh) | 一种干燥装置 | |
| JP3131205B1 (ja) | 縦型加熱装置 | |
| CN214120413U (zh) | 一种滤芯式化学品加热器 | |
| JPH0763059B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH04369215A (ja) | 縦型電気炉 | |
| JP3127438B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS61164220A (ja) | 熱処理炉 | |
| JP2987216B2 (ja) | 純水の加熱方法 | |
| JP3253176B2 (ja) | クリーンガス加熱装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |