JP2574049Y2 - 液体の高温加熱装置 - Google Patents
液体の高温加熱装置Info
- Publication number
- JP2574049Y2 JP2574049Y2 JP1991055904U JP5590491U JP2574049Y2 JP 2574049 Y2 JP2574049 Y2 JP 2574049Y2 JP 1991055904 U JP1991055904 U JP 1991055904U JP 5590491 U JP5590491 U JP 5590491U JP 2574049 Y2 JP2574049 Y2 JP 2574049Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- heat insulating
- heater
- temperature
- temperature heating
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、液体の高温加熱装置に
係わり、特には、アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水
等の薬液を用いて、洗浄、エッジング等を高温で行う高
温加熱装置の改良に関する。
係わり、特には、アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水
等の薬液を用いて、洗浄、エッジング等を高温で行う高
温加熱装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近来、シリコンウエハの洗浄、エッジン
グ、レジスト剥離等を行うために、図４に示すような高
温サーキュレータ回路に薬液（アンモニア過水、硫酸過
水、塩酸過水、リン酸、硫酸等）を用い、高温にして行
っている。薬液の加熱方法としては、従来は薬液用槽に
テフロンで被覆したヒータを液槽内に入れる方式がある
が、テフロンが破れた場合には薬液が金属汚染するので
信頼性に欠けている。このため、近年では薬液をフイル
ターリングする目的で高温サーキュレータ回路１０が用
いられている。高温サーキュレータ回路１０は、通常、
処理槽１からベローズ型のポンプ３で吸い込み、図５に
示すような熱交換器５で高温にされた後にフイルタ７で
処理液中に混入している異物を濾過して処理槽１に戻し
ている。処理槽１ではウエハー等を洗浄している。この
高温サーキュレータ回路１０の特徴はポンプ３とフイル
ター７との間に加熱装置の熱交換器５を設け、薬液を加
熱している。熱交換器５では石英管１１の中に薬液を流
し、石英管１１の外側からヒータ１３で加熱し、そのヒ
ータ１３の外側にセラミック等からなる断熱材１４と、
綿状の断熱材１５と鋼板よりなる遮蔽板１６で覆ってい
るので極めてクリーンな加熱が行われている。
グ、レジスト剥離等を行うために、図４に示すような高
温サーキュレータ回路に薬液（アンモニア過水、硫酸過
水、塩酸過水、リン酸、硫酸等）を用い、高温にして行
っている。薬液の加熱方法としては、従来は薬液用槽に
テフロンで被覆したヒータを液槽内に入れる方式がある
が、テフロンが破れた場合には薬液が金属汚染するので
信頼性に欠けている。このため、近年では薬液をフイル
ターリングする目的で高温サーキュレータ回路１０が用
いられている。高温サーキュレータ回路１０は、通常、
処理槽１からベローズ型のポンプ３で吸い込み、図５に
示すような熱交換器５で高温にされた後にフイルタ７で
処理液中に混入している異物を濾過して処理槽１に戻し
ている。処理槽１ではウエハー等を洗浄している。この
高温サーキュレータ回路１０の特徴はポンプ３とフイル
ター７との間に加熱装置の熱交換器５を設け、薬液を加
熱している。熱交換器５では石英管１１の中に薬液を流
し、石英管１１の外側からヒータ１３で加熱し、そのヒ
ータ１３の外側にセラミック等からなる断熱材１４と、
綿状の断熱材１５と鋼板よりなる遮蔽板１６で覆ってい
るので極めてクリーンな加熱が行われている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、近年で
は更にシリコンウエハの大型化にともない薬液用槽の容
量の増大、および、ＩＣの容量の増大にともない洗浄度
の向上が望まれている。また、薬液用槽の容量の増大に
反して、温度上昇の待ち時間の短縮、装置の小型化等も
望まれている。このために、熱交換器のパワー（例え
ば、現在では、約２．０Ｋｗから４．０Ｋｗに増加）の
向上が望まれているが、上記従来の加熱装置では熱交換
率が悪いために熱交換器が非常に大型化するという問題
があり、これは、石英管の外側からヒータで加熱して行
っているため熱効率が悪いのと、外側に配設してあるヒ
ータの熱が外部に伝わらないように断熱材でその外側を
遮蔽するために外形形状が大型になっている。このため
に、石英管の内側からヒータで加熱し、ヒータの内側に
セラミック等の断熱材を配置したものを提案している。
しかし、上記の構造では、電源が切られてニクロ線等の
ヒータへの電流が停止し、薬液の流れも停止した場合
に、セラミック等の断熱材に蓄熱されたエネルギーが液
量に対して非常に大きいので二重管の中で薬液が沸騰し
て処理槽から蒸気が吹き出すという問題が生ずる。本考
案は上記問題に着目し、液体の高温加熱装置に係わり、
特には、アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水等の薬液
を用いて、洗浄、エッジング等を高温で行う高温加熱装
置の改良を目的としている。
は更にシリコンウエハの大型化にともない薬液用槽の容
量の増大、および、ＩＣの容量の増大にともない洗浄度
の向上が望まれている。また、薬液用槽の容量の増大に
反して、温度上昇の待ち時間の短縮、装置の小型化等も
望まれている。このために、熱交換器のパワー（例え
ば、現在では、約２．０Ｋｗから４．０Ｋｗに増加）の
向上が望まれているが、上記従来の加熱装置では熱交換
率が悪いために熱交換器が非常に大型化するという問題
があり、これは、石英管の外側からヒータで加熱して行
っているため熱効率が悪いのと、外側に配設してあるヒ
ータの熱が外部に伝わらないように断熱材でその外側を
遮蔽するために外形形状が大型になっている。このため
に、石英管の内側からヒータで加熱し、ヒータの内側に
セラミック等の断熱材を配置したものを提案している。
しかし、上記の構造では、電源が切られてニクロ線等の
ヒータへの電流が停止し、薬液の流れも停止した場合
に、セラミック等の断熱材に蓄熱されたエネルギーが液
量に対して非常に大きいので二重管の中で薬液が沸騰し
て処理槽から蒸気が吹き出すという問題が生ずる。本考
案は上記問題に着目し、液体の高温加熱装置に係わり、
特には、アンモニア過水、硫酸過水、塩酸過水等の薬液
を用いて、洗浄、エッジング等を高温で行う高温加熱装
置の改良を目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
には、本考案に係わる第１の考案では、液体を管の中に
流し、管の内側に配設したヒータより加熱して液体を高
温にする液体の高温加 熱装置において、二重に巻かれた
間の内部に液体を流し、かつ、その一端側に液体の流入
口を、他端側に液体の流出口を配設した管と、管の内方
で、かつ、管に非接触に配設され管内の液体を高温にす
るヒータと、ヒータの内方に配設され、かつ、中空の筒
形状よりなる断熱部材と、からなることを特徴とする。
には、本考案に係わる第１の考案では、液体を管の中に
流し、管の内側に配設したヒータより加熱して液体を高
温にする液体の高温加 熱装置において、二重に巻かれた
間の内部に液体を流し、かつ、その一端側に液体の流入
口を、他端側に液体の流出口を配設した管と、管の内方
で、かつ、管に非接触に配設され管内の液体を高温にす
るヒータと、ヒータの内方に配設され、かつ、中空の筒
形状よりなる断熱部材と、からなることを特徴とする。
【０００５】さらに、第１考案を主体とする第２の考案
では、中空の筒形状の断熱部材には、中空の筒形状の両
端部に断熱部材が詰められていることを特徴とする。
では、中空の筒形状の断熱部材には、中空の筒形状の両
端部に断熱部材が詰められていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、石英管が二重管で、その内
側にヒータが配置され、さらに、そのヒータの内側に中
空にされたセラミック等の質量の少ない断熱材を配置し
ているために、電流を止めても発熱体の残存エネルギー
が小さいので二重管の中に留まっている液体が沸騰する
ことがない。また、中空にして発熱体の残存エネルギー
を小さくし、さらに、両端に断熱材を配置したので外部
に伝わる熱が小さくなり、その外側に配設する断熱材を
薄くできるので加熱装置が小型になる。
側にヒータが配置され、さらに、そのヒータの内側に中
空にされたセラミック等の質量の少ない断熱材を配置し
ているために、電流を止めても発熱体の残存エネルギー
が小さいので二重管の中に留まっている液体が沸騰する
ことがない。また、中空にして発熱体の残存エネルギー
を小さくし、さらに、両端に断熱材を配置したので外部
に伝わる熱が小さくなり、その外側に配設する断熱材を
薄くできるので加熱装置が小型になる。
【０００７】
【実施例】以下に、本考案の液体の高温加熱装置の実施
例につき、図面を参照して詳細に説明する。図１は本考
案の第１実施例の液体の高温加熱装置の概略を示す全体
構成断面図、図２は図１のＺ−Ｚ断面図である。図１に
おいて、石英管５１は円筒に二重に巻かれて内部には薬
液が流れる空間になっている。石英管５１の一方の下方
には薬液の流入口５２が設けられ、他方の上方には流出
口５３が設けられている。石英管５１の円筒の内方には
円筒の軸芯に平行にヒータ５４が石英管５１には非接触
で近傍に配設されている。ヒータ５４の内方には中空の
セラミック等よりなる断熱材５５が配設され発熱体を構
成している。ヒータ５４の外方および側方にも綿状の断
熱材５６が配設され、また、その外方には鋼板よりなる
被覆材５７で被覆されて熱交換器２０が構成されてい
る。上記実施例ではヒータは軸芯に平行に配置したが、
円周に沿って一本でスパイラル状に、あるいは、段階状
に配置しても良い。
例につき、図面を参照して詳細に説明する。図１は本考
案の第１実施例の液体の高温加熱装置の概略を示す全体
構成断面図、図２は図１のＺ−Ｚ断面図である。図１に
おいて、石英管５１は円筒に二重に巻かれて内部には薬
液が流れる空間になっている。石英管５１の一方の下方
には薬液の流入口５２が設けられ、他方の上方には流出
口５３が設けられている。石英管５１の円筒の内方には
円筒の軸芯に平行にヒータ５４が石英管５１には非接触
で近傍に配設されている。ヒータ５４の内方には中空の
セラミック等よりなる断熱材５５が配設され発熱体を構
成している。ヒータ５４の外方および側方にも綿状の断
熱材５６が配設され、また、その外方には鋼板よりなる
被覆材５７で被覆されて熱交換器２０が構成されてい
る。上記実施例ではヒータは軸芯に平行に配置したが、
円周に沿って一本でスパイラル状に、あるいは、段階状
に配置しても良い。
【０００８】上記構成において、次に作動を説明する。
ポンプ１より送られた薬液は下方に配設された流入口５
２より石英管５１に入り、石英管５１の内方に配設され
た非接触のヒータ５４より金属イオンを受けることなく
加熱される。ヒータ５４より熱を受けて段々温度が上が
り上部に流れ流出口５３より次のフイルタ７に流れる。
そのヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の
少ない断熱材５６を配置しているために、電源が切られ
てニクロム線等のヒータ５４への電流が停止し、薬液の
流れも停止した場合に発熱体の残存エネルギーが小さい
ので石英管５１の中に留まっている薬液が沸騰すること
がない。
ポンプ１より送られた薬液は下方に配設された流入口５
２より石英管５１に入り、石英管５１の内方に配設され
た非接触のヒータ５４より金属イオンを受けることなく
加熱される。ヒータ５４より熱を受けて段々温度が上が
り上部に流れ流出口５３より次のフイルタ７に流れる。
そのヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の
少ない断熱材５６を配置しているために、電源が切られ
てニクロム線等のヒータ５４への電流が停止し、薬液の
流れも停止した場合に発熱体の残存エネルギーが小さい
ので石英管５１の中に留まっている薬液が沸騰すること
がない。
【０００９】図３は本考案の第２実施例の液体の高温加
熱装置の概略を示す全体構成断面を示し、第１実施例と
同一部品には同一符号を付し説明は省略する。ヒータ５
４の内方には中空のセラミック等よりなる断熱材５５が
配設され、中空の断熱材５５の両端部には、ほぼヒータ
５４の端面（Ａ）と同位置（Ｂ）から断熱材６１、６２
が詰められている。石英管５１の外径方向の外方には断
熱材６３が、また、中空の断熱材５５と両端部の断熱材
６１、６２の側方にも綿状の断熱材６４、６５が配設さ
れ、また、その断熱材６１と６４、６５の外方には鋼板
よりなる被覆材５８、５９で被覆されて熱交換器２０が
構成されている。
熱装置の概略を示す全体構成断面を示し、第１実施例と
同一部品には同一符号を付し説明は省略する。ヒータ５
４の内方には中空のセラミック等よりなる断熱材５５が
配設され、中空の断熱材５５の両端部には、ほぼヒータ
５４の端面（Ａ）と同位置（Ｂ）から断熱材６１、６２
が詰められている。石英管５１の外径方向の外方には断
熱材６３が、また、中空の断熱材５５と両端部の断熱材
６１、６２の側方にも綿状の断熱材６４、６５が配設さ
れ、また、その断熱材６１と６４、６５の外方には鋼板
よりなる被覆材５８、５９で被覆されて熱交換器２０が
構成されている。
【００１０】上記構成において、次に作動を説明する。
そのヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の
少ない断熱材の発熱体の残存エネルギーが小さいので二
重管の中に留まっている薬液が沸騰することがないし、
また、中空にされた断熱材の中の残存エネルギーが軸芯
方向に配設された断熱材６１、６２で断熱されるため
に、その外側の断熱材６４、６５が薄くなり軸芯方向を
短くできる。
そのヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の
少ない断熱材の発熱体の残存エネルギーが小さいので二
重管の中に留まっている薬液が沸騰することがないし、
また、中空にされた断熱材の中の残存エネルギーが軸芯
方向に配設された断熱材６１、６２で断熱されるため
に、その外側の断熱材６４、６５が薄くなり軸芯方向を
短くできる。
【００１１】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
石英管の二重管の内側にヒータが配置され、さらに、そ
のヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の少
ない断熱材を配置しているので、電流の停止によりポン
プが止まっても発熱体の残存エネルギーが小さいので二
重管の中に留まっている液体は沸騰しない。また、両端
に断熱材を配置しているので外部に伝わる熱が小さくな
り、その外側に配設する断熱材を薄くでき、加熱装置を
小型にできるという優れた効果が得られる。
石英管の二重管の内側にヒータが配置され、さらに、そ
のヒータの内側に中空にされたセラミック等の質量の少
ない断熱材を配置しているので、電流の停止によりポン
プが止まっても発熱体の残存エネルギーが小さいので二
重管の中に留まっている液体は沸騰しない。また、両端
に断熱材を配置しているので外部に伝わる熱が小さくな
り、その外側に配設する断熱材を薄くでき、加熱装置を
小型にできるという優れた効果が得られる。
【図１】本考案の第１実施例の液体の高温加熱装置の概
略を示す全体構成断面図。
略を示す全体構成断面図。
【図２】第１実施例の図１のＺ−Ｚ断面図。
【図３】本考案の第２実施例の液体の高温加熱装置の概
略を示す全体構成断面図。
略を示す全体構成断面図。
【図４】従来の実施例の薬液の高温加熱装置の概略を示
す全体構成断面図。
す全体構成断面図。
【図５】高温サーキュレータ回路図。
１ 処理槽 ３ ベローズ型のポンプ ５ 熱交換器 ７ フイルター ５１ 石英管 ５２ 流入口 ５３ 流出口 ５４ ヒータ ５５、６１、６２ 断熱材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 片岡 美春 神奈川県平塚市四之宮2597 小松エレク トロニクス株式会社 電子冷凍機器部内 (56)参考文献 特開 昭62−5045（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F24H 1/14 F24H 1/16
Claims (2)
- 【請求項１】 液体を管の中に流し、管の内側に配設し
たヒータより加熱して液体を高温にする液体の高温加熱
装置において、二重に巻かれた間の内部に液体を流し、
かつ、その一端側に液体の流入口を、他端側に液体の流
出口を配設した管と、管の内方で、かつ、管に非接触に
配設され管内の液体を高温にするヒータと、ヒータの内
方に配設され、かつ、中空の筒形状よりなる断熱部材
と、からなることを特徴とする液体の高温加熱装置。 - 【請求項２】 請求項１の液体の高温加熱装置におい
て、中空の筒形状の断熱部材には、中空の筒形状の両端
部に断熱部材が詰められていることを特徴とする液体の
高温加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991055904U JP2574049Y2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 液体の高温加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991055904U JP2574049Y2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 液体の高温加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH053844U JPH053844U (ja) | 1993-01-22 |
| JP2574049Y2 true JP2574049Y2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=13012106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991055904U Expired - Lifetime JP2574049Y2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 液体の高温加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2574049Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS625045A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-12 | Okuto:Kk | 流体昇温装置 |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP1991055904U patent/JP2574049Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH053844U (ja) | 1993-01-22 |
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