JP2901903B2 - 薬液等の加熱装置 - Google Patents
薬液等の加熱装置Info
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- JP2901903B2 JP2901903B2 JP30555595A JP30555595A JP2901903B2 JP 2901903 B2 JP2901903 B2 JP 2901903B2 JP 30555595 A JP30555595 A JP 30555595A JP 30555595 A JP30555595 A JP 30555595A JP 2901903 B2 JP2901903 B2 JP 2901903B2
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- Japan
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- cylinder
- chemical solution
- heating device
- heating
- heater
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温の薬液や薬液に準
ずる超純水にて洗浄エッチング等を行う洗浄装置に付随
して用いられる薬液等の加熱装置に関する。
ずる超純水にて洗浄エッチング等を行う洗浄装置に付随
して用いられる薬液等の加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の装置は、管状の外筒内
に、外筒よりわずか径が小さい内筒を挿入して中空の環
状筒形を構成し、この熱交換筒の内周面又はさらに外周
面に沿わせてヒータを配置することにより加熱を行うよ
う構成していた。（特開平４ー３５３３５０号、６−０
２９２７５号参照）
に、外筒よりわずか径が小さい内筒を挿入して中空の環
状筒形を構成し、この熱交換筒の内周面又はさらに外周
面に沿わせてヒータを配置することにより加熱を行うよ
う構成していた。（特開平４ー３５３３５０号、６−０
２９２７５号参照）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら係る従来
の方式の場合は、環状筒形の通路内に薬液等を流し、そ
の内側又は／及び外側から加熱しているだけであるた
め、加熱される距離が短いと共に、ヒータの片面のみの
加熱であって効率がよくなかった。さらに、内筒の内側
は断熱材で埋められており、交換熱量の割には装置が大
きくなるという問題があった。
の方式の場合は、環状筒形の通路内に薬液等を流し、そ
の内側又は／及び外側から加熱しているだけであるた
め、加熱される距離が短いと共に、ヒータの片面のみの
加熱であって効率がよくなかった。さらに、内筒の内側
は断熱材で埋められており、交換熱量の割には装置が大
きくなるという問題があった。
【０００４】そこで本発明は、係る従来技術の問題点に
鑑みなされたもので、装置の熱交換効率を向上させると
ともに、コンパクト化な薬液等の加熱装置を提供する事
を目的とするものである。
鑑みなされたもので、装置の熱交換効率を向上させると
ともに、コンパクト化な薬液等の加熱装置を提供する事
を目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、側端
部付近に入口管と出口管とを有する外筒を備えた中空円
筒の薬液等の加熱装置において、外筒の中央部並びに同
心円上に小径の円筒を外筒を貫通させて配置し、外筒外
周面及び中心部円筒内周面に全反射塗装を施すと共に、
前記同心円上の円筒内にヒータを挿入することにより、
本目的を達成しようとするものである。
部付近に入口管と出口管とを有する外筒を備えた中空円
筒の薬液等の加熱装置において、外筒の中央部並びに同
心円上に小径の円筒を外筒を貫通させて配置し、外筒外
周面及び中心部円筒内周面に全反射塗装を施すと共に、
前記同心円上の円筒内にヒータを挿入することにより、
本目的を達成しようとするものである。
【０００６】
【作用】すなわち本発明では、それぞれのヒータが離間
して薬液内にあることになるため、加熱したヒータの熱
は全周にわたって薬液等を加熱することになる。さら
に、中央部には全反射膜を塗装した小径の中空円筒を挿
入しているため、同心円状に配置されたヒータが相互に
干渉する事がなく、均一な加熱がなされる。
して薬液内にあることになるため、加熱したヒータの熱
は全周にわたって薬液等を加熱することになる。さら
に、中央部には全反射膜を塗装した小径の中空円筒を挿
入しているため、同心円状に配置されたヒータが相互に
干渉する事がなく、均一な加熱がなされる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明を図面に示された実施例に従っ
て詳細に説明する。図１及び図２は本発明に係る薬液等
の加熱装置の実施例を示す。
て詳細に説明する。図１及び図２は本発明に係る薬液等
の加熱装置の実施例を示す。
【０００８】本実施例の加熱装置１の外筒２は、石英硝
子からなる側板３及び大径の筒４で加熱室５を構成し、
それぞれの側板３ａ、３ｂ付近には低い位置に入口管６
及、高い位置に出口管７が突設される。外周には全反射
膜が塗布され、さらに断熱材８を巻き付けている。両側
板３ａ、３ｂ間には、小径管９が複数貫通して挿入され
る。該小径管９は、先ず外筒２の中心部を、両側端のシ
ールを維持しながら貫通する。 つづいて、その中心に
対して同心状に複数の小径管９を配置する。中心部に挿
入した小径管９ａの内面には全反射膜が塗布されるが、
周辺に配置された管９ｂには塗布されない。
子からなる側板３及び大径の筒４で加熱室５を構成し、
それぞれの側板３ａ、３ｂ付近には低い位置に入口管６
及、高い位置に出口管７が突設される。外周には全反射
膜が塗布され、さらに断熱材８を巻き付けている。両側
板３ａ、３ｂ間には、小径管９が複数貫通して挿入され
る。該小径管９は、先ず外筒２の中心部を、両側端のシ
ールを維持しながら貫通する。 つづいて、その中心に
対して同心状に複数の小径管９を配置する。中心部に挿
入した小径管９ａの内面には全反射膜が塗布されるが、
周辺に配置された管９ｂには塗布されない。
【０００９】１０は、加熱室内の長手方向に交互に４枚
取り付けられて小径管９が貫通する半円状の仕切板であ
る。そして、その底部には小さな切り欠き１１を設け
て、運転停止時等の残留液の排出を可能にしている。
取り付けられて小径管９が貫通する半円状の仕切板であ
る。そして、その底部には小さな切り欠き１１を設け
て、運転停止時等の残留液の排出を可能にしている。
【００１０】そして、両側板３ａ、３ｂ部分にはさらに
キャップ１２を取り付け可能にし、該キャップ１２には
側板３の小径管９に対応する位置に、ハロゲンランプヒ
ータ１３の端部を固定してある。そして、中心を除く小
径管９ｂにハロゲンランプヒータ１３を挿入し固定す
る。
キャップ１２を取り付け可能にし、該キャップ１２には
側板３の小径管９に対応する位置に、ハロゲンランプヒ
ータ１３の端部を固定してある。そして、中心を除く小
径管９ｂにハロゲンランプヒータ１３を挿入し固定す
る。
【００１１】続いて、上記実施例の作用を説明する。入
口から流入した薬液は、加熱室５内を通過して出口管７
から図示しない洗浄槽等へ供給される。この通過する間
にハロゲンランプヒータ１３による放射伝熱で薬液等が
加熱される。
口から流入した薬液は、加熱室５内を通過して出口管７
から図示しない洗浄槽等へ供給される。この通過する間
にハロゲンランプヒータ１３による放射伝熱で薬液等が
加熱される。
【００１２】本実施例では入口管６と出口管７とを対角
線上に離間して配置してあるため、薬液が加熱室５内を
回転しながら熱交換し、均一に加熱される。一般に、中
心部は流速が小さく淀んで熱交換効率が悪いが、本発明
では、中心部にも小径の管を配置してあるため、淀むこ
とがなく、効率よく熱交換が行われる。さらに、仕切板
１０によって、直径方向にも薬液が移動し蛇行するた
め、一層、均一化と熱交換効率が向上する。
線上に離間して配置してあるため、薬液が加熱室５内を
回転しながら熱交換し、均一に加熱される。一般に、中
心部は流速が小さく淀んで熱交換効率が悪いが、本発明
では、中心部にも小径の管を配置してあるため、淀むこ
とがなく、効率よく熱交換が行われる。さらに、仕切板
１０によって、直径方向にも薬液が移動し蛇行するた
め、一層、均一化と熱交換効率が向上する。
【００１３】そして、前記のように薬液が回転且つ蛇行
して通過する流路内に同心円上にヒータ１３を配置して
あるため、加熱が更に確実に効率よく行われる。しか
も、中心の小径管９の内周には全反射膜を塗布してある
ため、複数の小径管９が相互に干渉して内径側のみが加
熱されるというような不具合が発生することなく、均一
加熱が促進される。
して通過する流路内に同心円上にヒータ１３を配置して
あるため、加熱が更に確実に効率よく行われる。しか
も、中心の小径管９の内周には全反射膜を塗布してある
ため、複数の小径管９が相互に干渉して内径側のみが加
熱されるというような不具合が発生することなく、均一
加熱が促進される。
【００１４】
【効果】以上述べたように本発明に係る薬液の加熱装置
によれば、効率よく均一に加熱を行うことができる。併
せて、このことによって、従来と同程度の性能ならば、
装置の大きさを小さくできる効果がある。
によれば、効率よく均一に加熱を行うことができる。併
せて、このことによって、従来と同程度の性能ならば、
装置の大きさを小さくできる効果がある。
【図１】本発明の第１実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す横断面図である。
１ 薬液等の加熱装置 ２ 外筒 ３ 側板 ４ 大径の筒 ５ 加熱室 ６ 入口管 ７ 出口管 ８ 断熱材 ９ 小径管 １０ 仕切板 １１ 切欠き １２ キャップ １３ ハロゲンランプヒータ
Claims (5)
- 【請求項１】 側端部付近に入口管と出口管とを有する
外筒を備えた中空円筒の薬液の加熱装置において、外筒
の中央部並びに同心円上に、小径の円筒を外筒の側板に
対して貫通させて配置し、外筒外周面及び中心部円筒内
周面に全反射塗装を施すと共に、前記同心円上の円筒内
にヒータを挿入したことを特徴とする薬液等の加熱装
置。 - 【請求項２】 出口管を入口管よりも高い位置に取り付
けたことを特徴とする請求項１記載の薬液等の加熱装
置。 - 【請求項３】 中空円筒内に半円状の仕切板を所定ピッ
チで上下交互に設けたことを特徴とする請求項１記載の
薬液等の加熱装置。 - 【請求項４】 入口側よりも出口側が高くなるように中
空円筒を傾けて取り付けることを特徴とする請求項１記
載の薬液等の加熱装置。 - 【請求項５】 中空の円筒内に挿入したヒータをハロゲ
ンランプヒータとしたことを特徴とする請求項１記載の
薬液等の加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30555595A JP2901903B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 薬液等の加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30555595A JP2901903B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 薬液等の加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145155A JPH09145155A (ja) | 1997-06-06 |
| JP2901903B2 true JP2901903B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=17946571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30555595A Expired - Lifetime JP2901903B2 (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 薬液等の加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2901903B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216369A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Takashi Misawa | 熱交換構造体 |
| JP6716302B2 (ja) * | 2016-03-17 | 2020-07-01 | 倉敷紡績株式会社 | 流体加熱装置 |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP30555595A patent/JP2901903B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09145155A (ja) | 1997-06-06 |
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