JP3169348B2 - ウエハー裏面の引っ掻き傷を防止するための方法及び制御システム - Google Patents

ウエハー裏面の引っ掻き傷を防止するための方法及び制御システム

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体の微細リソグ
ラフィ処理のためのステッパーマシン内の装置に関す
る。特に、本発明はステッパーマシンの取出アームによ
るウエハー裏面の引っ掻き傷を防止するための方法及び
制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来のステッパーにおける移送シ
ステムの構成要素の一部及びウエハーホルダーを示す。
取出アーム１１０の吸込ヘッドは、側方スライドアーム
１２０上のウエハー１３０を吸着保持作用で取り上げ、
それをカセットホルダー１００に移送し、次に吸着保持
作用を解除してウエハー１３０をカセットホルダー１０
０内で離すようになっている。この移送の間中を通し、
ウエハー１３０はこれがカセットホルダー１００内に落
とされるまで、吸込ヘッド内の負圧により、即ち、吸着
保持作用で保持される。
【０００３】上述の移送システムの場合には一つの大き
な問題点がある。即ち、取出アーム１１０が格納準備位
置Ａ１から格納位置Ａ２まで移動するので、ウエハー１
３０がカセットホルダー１００の側部と衝突し、これに
よって取出アーム１１０に吸着保持されているウエハー
１３０が当該取出アーム１１０から僅かに位置ずれを起
こす可能性がある。従って、ウエハー背面と吸込ヘッド
との間の接触領域に引っ掻き傷が発生するというもので
ある。
【０００４】図２は従来のステッパーにおける取出アー
ムの動きを制御する制御回路のブロック図である。図３
は従来のステッパーにおける取出アームの動きに関連す
る動作シーケンスのタイミングチャート図である。
【０００５】図３に示されるように、ステッパーの操作
は概ね３つの操作段階、即ちカセットホルダーからウエ
ハーを取り上げる段階と、幾つかの微細リソグラフィの
投影を実行する段階と、ウエハーをカセットホルダーに
戻す段階とに分けられる。それに伴い、取出アームは３
つの動作段階、即ち、前進段階、後退段階、静止段階を
有する。取出アームの吸込ヘッドは２つの段階、即ち、
吸着保持作用の解除段階（負圧解放段階）及び吸着保持
作用の維持段階（負圧保持段階）を有する。
【０００６】また、微細リソグラフィの投影は他の付属
する工程を含むことができる。これらの工程は本発明と
は直接関係しないので、その操作の詳細な説明は省略す
る。本発明に関連する点はウエハーをカセットホルダー
からステッパーに送り込み、ウエハーをステッパーから
カセットホルダーに戻す操作である。特に、本発明が主
に関係するのは、ウエハー背面に引っ掻き傷が形成され
やすい、ウエハーをカセットホルダーに戻す操作の時で
ある。そこで、ウエハーをカセットホルダーに戻すこと
に関連する操作の制御を図１ないし図３を参照しつつ詳
細に説明する。
【０００７】従来のステッパーにおける取出アームの制
御システムは、第１センサー２００、第２センサー２１
０、入力インターフェース２２０、マイクロコントロー
ラ２３０、出力インターフェース２４０及び負圧ソレノ
イド弁２５０を含む。第１センサー２００及び第２セン
サー２１０は取出アーム１１０の位置を検出するのに用
いられる。即ち、第１センサー２００は取出アーム１１
０が格納準備位置Ａ１にあるか否かを検出し、その結果
として第１検出信号Ｓstartを発生する。取出アーム１
１０が格納準備位置Ａ１にある場合には論理ハイの出力
信号が発生される。他方、取出アーム１１０が格納準備
位置Ａ１にない場合には論理ロウの出力信号が発生され
る。例えば、時刻ｔ２において、取出アーム１１０が格
納準備位置Ａ１から格納位置Ａ２へと動きを開始する
と、第１検出信号Ｓstartは論理ハイとなり、時刻ｔ６
において、即ち、取出アーム１１０が格納準備位置Ａ１
に復帰すると、第１検出信号Ｓstartは論理ロウとな
る。
【０００８】第２センサー２１０は取出アーム１１０が
格納位置Ａ２にあるか否かを検出し、その結果として第
２検出信号Ｓstopを発生する。即ち、取出アーム１１０
が位置Ａ２にある場合には論理ロウとなり、取出アーム
１１０が格納位置Ａ２にない場合には論理ハイとなる。
例えば、時刻ｔ３において、取出アーム１１０が格納位
置Ａ２に達すると、第２検出信号Ｓstopは論理ロウとな
り、時刻ｔ５において、即ち、取出アーム１１０が格納
位置Ａ２から格納準備位置へと復帰する動きを開始する
と、第２検出信号Ｓstopは論理ハイとなる。
【０００９】図２に示されるように、マイクロコントロ
ーラ２３０は第１センサー２００からの第１検出信号Ｓ
startと第２センサー２１０からの第２検出信号Ｓstop
を受けると、第１制御信号Ｓcを出力する装置である。
第１制御信号Ｓcは負圧ソレノイド弁２５０の開閉を制
御する。負圧ソレノイド弁２５０は、取出アーム１１０
の吸込ヘッド内の負圧の保持、解放を両センサーからの
検出信号に応じて交互に制御する、即ち、吸込ヘッドに
よる吸着保持作用の維持、解除を両センサーからの検出
信号に応じて交互に制御する。
【００１０】図３はウエハー１３０をカセットホルダー
１００に戻す際に含まれる工程を示す。まず、時刻ｔ２
において取出アームが格納位置Ａ２へと格納準備位置Ａ
１から離れる動きを開始する前の時刻ｔ１において取出
アーム１１０の吸込ヘッド内に負圧が形成される。時刻
ｔ３において取出アームは格納位置Ａ２に達して停止す
る。時刻ｔ４において、吸込ヘッド内の負圧が解放され
る。従って、時刻ｔ１から時刻ｔ４の時間の間、取出ア
ーム１１０の吸込ヘッドは負圧保持段階にある。換言す
れば、ウエハー１３０は取出アーム１１０が格納準備位
置Ａ１から格納位置Ａ２へと前進している間、当該取出
アームの吸込ヘッドにより確実に吸着保持されている。
この制御システムの大きな問題点は、取出アームが格納
準備位置Ａ１から格納位置Ａ２に前進している間に、当
該取出アームにより搬送されているウエハー１３０がカ
セットホルダー１００と衝突して、ウエハー１３０がわ
ずかに位置ずれを起こす可能性がある点である。ウエハ
ーが取出アームに対して自由に動ける場合には問題はな
い。しかし、ウエハーは負圧によって吸込ヘッドに強固
に吸着保持されているので、ウエハー裏面と吸込ヘッド
との接触領域には引っ掻き傷が発生する可能性がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述の説明から明らか
なように、ステッパーの取出アームによってウエハー裏
面の引っ掻き傷の発生を防止する技術が必要である。
【００１２】従って、本発明は従来のステッパーの取出
アームの動作を改良し、ステッパーからカセットホルダ
ーにウエハーを移送する間におけるウエハー裏面の引っ
掻き傷を回避することを目的とする。さらに、本発明は
ステッパーからカセットホルダーにウエハーを移送する
間におけるウエハー裏面の引っ掻き傷を回避する、取出
アームの動きを制御する制御システムを提供すること
も、その目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】これらの利点及び他の利
点を実現すべく、又ここで具体化されるとともに、説明
するように、本発明によれば、ウエハーをカセットホル
ダー内に装填する時にステッパーの取出アームによって
ウエハー裏面の引っ掻き傷を防止するための方法が提供
される。この方法の主たる特徴はウエハーがカセットホ
ルダー内に挿入される直前に、吸込ヘッドの負圧が解放
される点にある。このように吸込ヘッドの負圧を解放す
ると、吸込ヘッドによるウエハーの吸着保持作用が解除
されるのであるから、カセットホルダーの側部との間で
ウエハーに不意の衝突があった場合にウエハーの衝撃に
起因するウエハー裏面と吸込ヘッドとの間の摩擦力を軽
減することができる。これにより、取出アームの吸込ヘ
ッドによるウエハー裏面の引っ掻き傷は回避される。
【００１４】さらに、本発明はウエハーがカセットホル
ダー内に装填された時にステッパーの取出アームによっ
てウエハー裏面の引っ掻き傷を防止する方法を提供す
る。この方法は、(a) 取出アームが前記格納位置に向け
て移動を開始する前に取出アームの吸込ヘッドによる吸
着保持作用でウエハーを保持するステップと、(b) 前記
取出アームが前記格納位置へと第１所定時間だけ前進し
た後であって、ウエハーがカセットホルダーに挿入され
る直前に吸込ヘッドによる吸着保持作用を解除するステ
ップと、(c) 前記取出アームが格納位置に到達して前記
ウエハーがカセットホルダーに挿入された時に、取出ア
ームを停止するステップとで構成されている。
【００１５】さらに、本発明は取出アームの吸込ヘッド
に負圧によって保持されるウエハーの裏面の引っ掻き傷
を防止する制御システムも提供している。この制御シス
テムは、取出アームの位置を決定する複数の位置検出セ
ンサーと、該センサーからの信号が入力され、負圧ソレ
ノイド弁を制御する負圧解放コントローラと、前記位置
検出センサーと前記負圧解放コントローラと接続された
マイクロコントローラとからなり、前記マイクロコント
ローラは、前記位置検出センサーからの出力信号により
前記取出アームが前記格納位置へと第１所定時間だけ前
進したが、ウエハーがカセットホルダー内に装填される
直前の位置にあると判定すると、吸込ヘッドによる吸着
保持作用を解除する構成となっている。
【００１６】本発明の好ましい実施形態によれば、負圧
解放コントローラは、ウエハーがカセットホルダーに挿
入される直前に吸込ヘッドによる吸着保持作用が解除さ
れるように、入力される第１センサー信号の立ち上がり
を第１所定時間だけ遅延させ、対応する遅延信号を取出
アームの種々な速度に応じて出力する第１信号遅延回路
と、取出アームが格納位置に到達する直前に吸着保持作
用が解除が停止されないように、第２センサー信号の立
ち下がりを第２所定時間だけ遅延させる第２信号遅延回
路と、第１信号遅延回路及び第２信号遅延回路からの出
力を受け、第２制御信号を発生するタイミング制御回路
と、第１制御信号及び第２制御信号を用いて負圧ソレノ
イド弁を制御し、これにより取出アームの吸込ヘッドに
よる吸着保持作用の維持、解除のシーケンスを制御する
光遮断式の電子スイッチング回路とで構成するのが望ま
しい。
【００１７】この負圧解放コントローラは、第２制御信
号とマイクロコントローラによって発生された第１制御
信号を受けて負圧ソレノイド弁を制御し、これにより取
出アームの吸込ヘッドによる吸着保持作用の解除、維持
のシーケンスを制御する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以後、添付図面に示された具体例
を参照しつつ本発明の好ましい実施形態を詳細に説明す
るが、本発明においては取出アームを用いてステッパー
からカセットホルダーにウエハーを移送する工程の間に
ウエハー裏面に発生する引っ掻き傷を最小にする改良さ
れた方法を提供することが意図されている。さらに、負
圧解放コントローラが、本発明の改良された方法を実行
するために付加されている。カセットホルダーにウエハ
ーを戻す工程の間、負圧解放コントローラは取出アーム
がその初期位置から所定時間の間に前進した後に吸込ヘ
ッド内の負圧を解放する、即ち、吸込みヘッドによる吸
着保持作用を解除する。負圧解放の動作を通して、ウエ
ハーは不意にカセットホルダーと衝突して位置ずれを起
こしても、その時はウエハーと吸込ヘッドとの間の接触
領域における吸着保持作用は既に解除されているので、
ウエハー裏面には引っ掻き傷が発生することはない。
尚、添付図面では、同一部品には同一の参照符号を付し
ている。
【００１９】図４は本発明の好ましい実施形態によるス
テッパーの取出アームの動きに関係する動作シーケンス
のタイミングチャートを示す。ウエハーをカセットホル
ダーから離して微細リソグラフィの投影を実行している
間での取出アームの動作シーケンス及び吸込ヘッドの真
空状態のシーケンスは、図３に示されるように従来の構
成の場合と同様である。本発明は、ウエハーがステッパ
ーからカセットホルダーに戻される時での吸込ヘッドに
よる吸着保持作用の維持、解除のタイミングの制御に特
徴があるので、ウエハーをカセットホルダーに戻すため
に必要な本発明の制御機構を詳細に説明する。
【００２０】図４に示されるように、時刻ｔ１から時刻
ｔ８までの時間は、ウエハー１３０をカセットホルダー
１００に戻す動作に含まれる機能が実行される時間帯で
ある。負圧の保持及び解放の動作が実行される、即ち、
吸込ヘッドによる吸着作用の維持と解除が実行されるこ
の時間帯は、本発明にとっては特に重要である。図１及
び図４を参照しつつ、この時間帯の動作を詳細に説明す
る。
【００２１】(1) 時刻ｔ１では、取出アーム１１０は格
納準備位置Ａ１に停止したままで、吸込ヘッド内には負
圧が形成されていて、ウエハー１３０は吸込ヘッドの吸
着保持作用により取出アーム１１０に載置されたままで
ある。 (2) 時刻ｔ２では、取出アーム１１０は格納準備位置Ａ
１から格納位置Ａ２に向けて移動を開始する。この時も
吸込ヘッド内の負圧は維持されたままである。 (3) 時刻ｔ３では、取出アーム１１０はまだ格納位置Ａ
２に向かう移動中であるが、ウエハー１３０はカセット
ホルダー１００にほぼ挿入されている。この時、吸込ヘ
ッド内の負圧は解放され、ウエハー１３０はいつでも取
出アーム１１０から離れることができる状態になって
る。 (4) 時刻ｔ４では、取出アーム１１０は格納位置Ａ２に
到達して停止される。この時でも吸込ヘッド内の負圧は
解放されたままである。 (5) 時刻ｔ５では、取出アーム１１０は格納位置Ａ２に
停止したままではあるが、ウエハー１３０が既にカセッ
トホルダー１００内にあるか否かをチェックするため
に、吸込ヘッド内には負圧が形成される。 (6) 時刻ｔ６では、取出アーム１１０は格納位置Ａ２に
停止したままである一方、吸込ヘッド内の負圧は解放さ
れる。 (7) 時刻ｔ７では、取出アーム１１０は格納位置Ａ２か
ら格納準備位置Ａ１に向けて後退を開始する。吸込ヘッ
ドは負圧解放の状態を維持している。カセットホルダー
１００は次のウエハー１３０を受け取るために少し上昇
する。 (8) 時刻ｔ８では、取出アーム１１０は格納準備位置Ａ
１に復帰し、これによりウエハー１３０をカセットホル
ダー１００に戻す一サイクルが完了する。
【００２２】上述の本発明による吸込ヘッド内の負圧の
保持及び解放の動作で、ステッパーの取出アームによる
ウエハー裏面の引っ掻き傷を防止することができる。こ
の方法の主たる特徴はウエハーがカセットホルダー内に
挿入される直前に吸込ヘッドの負圧が解放される点にあ
る。この負圧の解放は、カセットホルダーの側部に対し
てウエハーが不意に衝突した場合にウエハーの衝撃に起
因するウエハー裏面と吸込ヘッドとの間の摩擦力を低減
する上で役立っている。従って、取出アームの吸込ヘッ
ドによるウエハー裏面の引っ掻き傷は防止されるのであ
る。
【００２３】図５は本発明の好ましい実施形態によるス
テッパーの取出アームの動きを制御するための制御回路
を示すブロック図である。図５に示されるように、回路
内において用いられる大部分の回路構成部品は図２にお
けるそれと同じである。例えば、第１センサー２００、
第２センサー２１０、入力インターフェース２２０、マ
イクロコントローラ２３０、出力インターフェース２４
０、負圧ソレノイド弁２５０は図２に示したものと機能
的に同じであり、従ってその更なる説明は必要ないであ
ろう。主たる相違点は図５に示されるように負圧解放コ
ントローラ５００が新しく付加された点にある。第１セ
ンサー信号Ｓstart及び第２センサー信号Ｓstopが受け
取られると、信号は他の従来の制御デバイスと共に同時
に処理される。次に、負圧解放コントローラは、吸込ヘ
ッド内の負圧を解放させるための制御信号を発生する。
次に、この制御信号は従来の第１制御信号Ｓcとともに
負圧ソレノイド弁２５０の開閉を制御する。その結果、
吸込ヘッド内の負圧を解放したり、保持するための動作
シーケンスは上述のようになる。
【００２４】図６は負圧解放コントローラ５００の回路
構成図である。負圧解放コントローラ５００は第１信号
遅延回路５１０、第２信号遅延回路５２０、タイミング
制御回路５３０及び光遮断式の電子スイッチング回路５
４０を含む。
【００２５】第１信号遅延回路５１０は図４に示される
ように時刻Ｔ３と時刻ｔ２との間の時間差である第１所
定時間だけ、第１センサー２００からの第１センサー信
号Ｓstartの立ち上がりを遅延する。従って、異なる取
出アームの様々な速度に適合させるために適切な遅延信
号が出力されることができ、これによりウエハーがカセ
ットホルダーに挿入される直前に吸込ヘッド内の負圧が
解放される。
【００２６】第２信号遅延回路５２０は図４に示される
ように時刻Ｔ５は時刻ｔ４との間の時間差である第２所
定時間だけ、第２センサー２１０からの第２センサー信
号Ｓstopの立ち下がりを遅延する。従って、取出アーム
が時刻ｔ４で停止する前に負圧解放の工程が停止される
こととなる。
【００２７】タイミング制御回路５３０にはＤ型フリッ
プ・フロップＵ２Ｂが好ましい。このＤ型フリップ・フ
ロップは図４に示されるように、第１信号遅延回路５１
０で発生された出力信号Ｓstart-delayを入力クロック
信号として用いるとともに、第２信号遅延回路５２０か
らの出力信号Ｓstop-delayを入力クリアー信号として用
いる。図６に示されるように、フリップ・フロップの反
転出力端子Ｑは入力端子Ｄに接続されている。従って、
タイミング制御回路５３０は第１信号遅延回路５１０か
らの出力信号Ｓstart-delay及び第２信号遅延回路５２
０からの出力信号Ｓstop-delayを受けることによって作
動し、負圧解放段階の開始及びその長さを制御するため
に第２制御信号ＳQ(図４参照)を発生する。
【００２８】光遮断式の電子スイッチング回路５４０
は、従来の取出アームの制御システムにおける出力イン
ターフェース２４０及び負圧ソレノイド弁２５０に接続
された非接触式のスイッチである。図７は光遮断式の電
子スイッチング回路５４０、出力インターフェース２４
０、負圧ソレノイド弁２５０及びそれらの接続関係を示
す回路図である。図４に示されるように、光遮断式の電
子スイッチング回路５４０は第１制御信号ＳC及び第２
制御信号ＳQを入力とし、負圧ソレノイド弁２５０の開
閉を制御するための出力信号ＳP3-2を発生し、これによ
り吸込ヘッド内の負圧の保持段階及び解放段階が制御さ
れる。
【００２９】第１制御信号ＳCが第２制御信号ＳQと組合
されて吸込ヘッドの負圧段階を決定することは上述の回
路動作の説明から明らかである。図４を参照しつつタイ
ミング制御について詳細に説明する。 (1) 時刻ｔ１から時刻ｔ３の間、第１制御信号ＳCは論
理ハイの状態にあり、第２制御信号ＳQ もまた論理ハイ
の状態にある。従って、信号ＳP3-2は論理ロウの状態に
あって吸込ヘッドは負圧保持の段階にある。 (2) 時刻ｔ３から時刻ｔ５の間、第１制御信号ＳC は論
理ハイの状態にあり、第２制御信号ＳQ は論理ロウの状
態にある。従って、信号ＳP3-2は論理ハイの状態にあっ
て吸込ヘッドは負圧解放の段階にある。 (3) 時刻ｔ５から時刻ｔ６の間、第１制御信号ＳCは論
理ハイの状態にあり、第２制御信号ＳQは論理ハイの状
態にある。従って、信号ＳP3-2は論理ロウの状態にあっ
て吸込ヘッドは負圧保持の段階にある。 (4) 時刻ｔ６から時刻ｔ８の間、第１制御信号ＳCは論
理ロウの状態にあり、第２制御信号ＳQは論理ハイの状
態にある。従って、信号ＳP3-2は論理ハイの状態にあっ
て吸込ヘッドは負圧解放の段階に戻る。
【００３０】こうして、本発明における第１制御信号Ｓ
Cによって与えられる動作は従来の制御システムの制御
信号によって与えられる動作と類似している。主たる相
違点は第２制御信号ＳQを付加した点にあり、第２制御
信号ＳQ は論理ロウの状態にあれば、吸込ヘッド内の負
圧を解放させる指示を発する。従って、ウエハーがカセ
ットホルダー内に挿入される直前に吸込ヘッド内の負圧
が解放される構成が実現できるのである。
【００３１】好ましい実施形態の上述の説明から、負圧
解放コントローラを付加することによってウエハーがカ
セットホルダー内に挿入される直前に吸込ヘッド内の負
圧が解放され、そのためにウエハーをカセットホルダー
に装填する工程において、ウエハーがカセットホルダー
に不意に衝突して衝撃を受けても、吸着保持作用はその
時はすでに解除されているのでウエハーと吸込ヘッドと
の間の接触領域における摩擦力は最小となり、引っ掻き
傷は発生しないのは明らかである。その結果、本発明は
その後のウエハー処理に最適であるばかりでなく、製品
の品質を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のステッパーにおける移送システムの構
成要素の一部及びウエハーホルダーを示す斜視図であ
る。
【図２】 従来のステッパーにおける取出アームの動き
を制御する制御回路を示すブロック図である。
【図３】 従来のステッパーにおける取出アームの動き
に関連する動作シーケンスを示すタイミングチャート図
である。
【図４】 本発明の好ましい実施形態によるステッパー
の取出アームの動きに関連する動作シーケンスを示すタ
イミングチャート図である。
【図５】 本発明の好ましい実施形態によるステッパー
の取出アームの動きを制御する制御回路を示すブロック
図である。
【図６】 負圧解放コントローラを示す回路図である。
【図７】 光遮断式の電子スイッチング回路、出力イン
ターフェース、負圧ソレノイド弁及びそれらの接続ケー
ブルを示す回路図である。
【符号の説明】
１００ カセットホルダー １１０ 取出アーム １３０ ウエハー ２００ 第１センサ
ー ２１０ 第２センサー ２２０ 入力インタ
ーフェース ２３０ マイクロコントローラ ２４０ 出力インタ
ーフェース ２５０ 負圧ソレノイド弁 ５００ 負圧解放コ
ントローラ ５１０ 第１信号遅延回路 ５２０ 第２信号遅延
回路 ５３０ タイミング制御回路 ５４０ 光遮断式電
子スイッチング回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07 H01L 21/027

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吸着保持作用でウエハーを保持する吸込
    ヘッドを備えて、少なくともカセットホルダーに臨んで
    ウエハーを当該カセットホルダーに装填する格納位置と
    それより隔てた格納準備位置との間を移動自在な取出ア
    ームを用いてウエハーがカセットホルダー内に装填され
    る時に、当該取出アームによるウエハー裏面の引っ掻き
    傷を防止する方法であって： (a) 取出アームが前記格納位置に向けて移動を開始する
    前に取出アームの吸込ヘッドによる吸着保持作用でウエ
    ハーを保持するステップと； (b) 前記取出アームが前記格納位置へと第１所定時間だ
    け前進した後であって、ウエハーがカセットホルダーに
    挿入される直前に吸込ヘッドによる吸着保持作用を解除
    するステップと； (c) 前記取出アームが格納位置に到達して前記ウエハー
    がカセットホルダーに挿入された時に、取出アームを停
    止するステップとからなる方法。
  2. 【請求項２】 (d)前記ステップ(c)における取出アーム
    の停止中に取出アーム上でのウエハーの有無を検出する
    ために吸込ヘッドによる吸着保持作用を第２所定時間だ
    け行うステップと、(e)前記ステップ(d)の後に、前記吸
    着保持作用を解除して取出アームを前記格納準備位置へ
    復帰させるステップとを更に含むことよりなる請求項１
    に記載の方法。
  3. 【請求項３】 吸着保持作用でウエハーを保持する吸込
    ヘッドを備えて、少なくともカセットホルダーに臨んで
    ウエハーを当該カセットホルダーに装填する格納位置と
    それより隔てた格納準備位置との間を移動自在な取出ア
    ームを用いてウエハーがカセットホルダー内に装填され
    る時に、当該取出アームによるウエハーの裏面に引っ掻
    き傷が発生するのを防止する制御システムであって、取
    出アームの位置を決定する複数の位置検出センサーと、
    該センサーからの信号が入力され、負圧ソレノイド弁を
    制御する負圧解放コントローラと、前記位置検出センサ
    ーと前記負圧解放コントローラと接続されたマイクロコ
    ントローラとからなり、前記マイクロコントローラは、
    前記位置検出センサーからの出力信号により前記取出ア
    ームが前記格納位置へと第１所定時間だけ前進したが、
    ウエハーがカセットホルダー内に装填される直前の位置
    にあると判定すると、当該マイクロコントローラが負圧
    解放コントローラに対して吸込ヘッドによる吸着保持作
    用を解除する指示を発することよりなる制御システム。
  4. 【請求項４】 前記複数のセンサーが第１及び第２セン
    サーからなり、前記第１センサーは取出アームが格納準
    備位置にあるか否かを検出し、取出アームが格納準備位
    置にあるか否かを示す第１センサー信号をマイクロコン
    トローラに対して出力するものであり、前記第２センサ
    ーは取出アームが格納位置にあるか否かを検出し、取出
    アームが格納位置にあるか否かを示す第１センサー信号
    をマイクロコントローラに対して出力するものであるこ
    とよりなる請求項３に記載の制御システム。
  5. 【請求項５】 第１センサー信号は取出アームが格納準
    備位置にある時に論理ロウの信号、取出アームが格納位
    置にない時には論理ハイの信号であることよりなる請求
    項４に記載の制御システム。
  6. 【請求項６】 第２センサー信号は取出アームが格納位
    置にある時に論理ロウの信号、取出アームが格納位置に
    ない時には論理ハイの信号であることよりなる請求項４
    又は５に記載の制御システム。
  7. 【請求項７】 マイクロコントローラが第１及び第２セ
    ンサーから第１及び第２センサー信号を受けて第１制御
    信号を発生することよりなる請求項４から７までの何れ
    か一項に記載の制御システム。
  8. 【請求項８】 負圧解放コントローラがマイクロコント
    ローラからの前記第１制御信号及び第１、第２センサー
    からの第１、第２センサー信号を受けて第２制御信号を
    発生することよりなる請求項７に記載の制御システム。
  9. 【請求項９】 吸込ヘッドは、第２制御信号が論理ロウ
    であるか、または、第２制御信号が論理ハイで第１制御
    信号が論理ロウの組合せである場合に吸着保持作用を解
    除するが、第２制御信号が論理ハイで第１制御信号が論
    理ハイの組合せである場合に吸着保持作用を維持するこ
    とよりなる請求項８に記載の制御システム。
  10. 【請求項１０】 前記負圧解放コントローラが、 ウエハーがカセットホルダーに挿入される直前に吸込ヘ
    ッドによる吸着保持作用が解除されるように、入力され
    る第１センサー信号の立ち上がりを第１所定時間だけ遅
    延させ、対応する遅延信号を取出アームの種々な速度に
    応じて出力する第１信号遅延回路と、 取出アームが格納位置に到達する前に吸着保持作用が解
    除が停止されないように、第２センサー信号の立ち下が
    りを第２所定時間だけ遅延させる第２信号遅延回路と、 第１信号遅延回路及び第２信号遅延回路からの出力を受
    け、第２制御信号を発生するタイミング制御回路と、 第１制御信号及び第２制御信号を用いて負圧ソレノイド
    弁を制御し、これにより取出アームの吸込ヘッドによる
    吸着保持作用の維持、解除のシーケンスを制御する光遮
    断式の電子スイッチング回路とからなる請求項４から９
    までの何れか一項に記載の制御システム。
  11. 【請求項１１】 タイミング制御回路がＤ型フリップ・
    フロップであり、該フリップ・フロップはクロック信号
    として第１信号遅延回路からの出力を、クリアー信号と
    して第２信号遅延回路からの出力を用いるとともに、フ
    リップ・フロップの入力端子に接続された反転出力端子
    を含み、該反転出力端子からは前記第２制御信号が出力
    されることよりなる請求項１０に記載の制御システム。
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