JP3166974U - プラズマエッチングチャンバ用エッジリング組立体 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- プラズマエッチングチャンバ内の基板支持部を取り囲むように誘電体結合リングが構成され、前記誘電体結合リングを取り囲み且つその上に支持されるように導電エッジリングが構成され、前記基板支持部上で支持された基板が前記導電エッジリングの一部の上に張り出すようになる、前記プラズマエッチングチャンバにおいて使用されるエッジリング組立体の構成要素であって、
直径11.6〜11.7インチ、高さ0.49〜0.50インチの内側円筒面と、直径13.2〜13.3インチ、高さ0.39〜0.40インチで、前記内側円筒面と同心である外側円筒面と、前記外側円筒面の中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の下部周縁から前記内側円筒面の下部周縁へ延びる下面と、前記外側円筒面の前記中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の上部周縁から内側に延びる上面と、前記内側円筒面の上部周縁から外側に延び且つ前記上面の内側周縁から上方へ延びる、高さ0.09〜0.11インチ、幅0.04〜0.05インチの環状突出部と、を有する前記誘電体結合リング、及び/又は
直径11.7〜11.8インチ、高さ0.095〜0.105インチの内側円筒面と、直径13.35〜13.45インチ、高さ0.10〜0.11インチで、前記内側円筒面と同心である外側円筒面と、前記内側円筒面の中心軸線に垂直で、前記内側円筒面の下部周縁から外側へ0.7〜0.8インチ延びる下面と、前記外側円筒面の中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の上部周縁から内側へ0.5〜0.6インチ延びる上面と、0.04〜0.05インチの幅を有し、前記内側円筒面の前記中心軸線に垂直であり、前記内側円筒面の上部周縁から外側へ延びる第一の環状面と、119°〜121°の開放角及び0.2〜0.22インチの幅を有し、前記内側円筒面と同心であり、前記第一の環状面の外周縁から前記上面の内周縁へ上方外側に延びる円錐台面と、0.06〜0.075インチの幅を有し、前記外側円筒面の前記中心軸線に垂直であり、前記外側円筒面の下部周縁から内側へ延びる第二の環状面と、高さ0.085〜0.095インチで、前記外側円筒面と同心であり、前記第二の環状面の内周縁から前記下面の外周縁へ延びる円筒面と、を有する前記導電エッジリング、
を備える構成要素。 - 請求項1記載の構成要素であって、
前記上面と前記下面との間に、上部円筒空洞と、前記上部円筒空洞と同心の下部円筒空洞とからなる段付きスルーホールを更に含む前記誘電体結合リングを備え、
前記上部円筒空洞及び下部円筒空洞の中心軸線は、前記誘電体結合リングの中心軸線と平行であり、前記誘電体結合リングの前記中心軸線から6.1〜6.2インチの半径距離に位置しており、
前記上部円筒空洞は、0.40〜0.45インチの直径と、0.20〜0.21インチの深さとを有し、
前記下部円筒空洞は、0.20〜0.25インチの直径と、約0.18〜0.20インチの深さとを有する、構成要素。 - 請求項1記載の構成要素であって、
前記誘電体結合リングを備え、前記誘電体結合リングは、石英又はセラミック材料又はポリマ材料からなる、構成要素。 - 請求項1記載の構成要素であって、
0.29〜0.31インチの均一な直径を有するスルーホールを更に含む前記導電エッジリングを備え、前記スルーホールの中心軸線は、前記導電エッジリングの中心軸線と平行であり、前記導電エッジリングの前記中心軸線から6.1〜6.2インチの半径距離に位置する、構成要素。 - 請求項1記載の構成要素であって、
前記導電エッジリングを備え、前記導電エッジリングは、ホウ素ドープ単結晶シリコンからなる、構成要素。 - 請求項1記載の構成要素であって、
前記導電エッジリングの前記第一の環状面は、前記導電エッジリングが前記誘電体結合リングに装着された時に、前記誘電体結合リングの前記突出部の上面と同一の広がりを有する、構成要素。 - プラズマエッチングチャンバ内の基板支持部を取り囲むように誘電体結合リングが構成され、前記誘電体結合リングを取り囲み且つその上に支持されるように導電エッジリングが構成され、前記基板支持部上で支持された基板が前記導電エッジリングの一部の上に張り出すようになる、前記プラズマエッチングチャンバにおいて使用されるエッジリング組立体の構成要素であって、
直径11.6〜11.7インチ、高さ0.39〜0.40インチの内側円筒面と、直径13.2〜13.3インチ、高さ0.39〜0.40インチで、前記内側円筒面と同心である外側円筒面と、前記外側円筒面の中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の下部周縁から前記内側円筒面の下部周縁へ延びる下面と、前記外側円筒面の前記中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の上部周縁から前記内側円筒面の上部周縁へ延びる上面と、を有する誘電体結合リング、及び/又は
直径11.6〜11.7インチ、高さ0.095〜0.105インチの内側円筒面と、直径13.35〜13.45インチ、高さ0.10〜0.11インチで、前記内側円筒面と同心である外側円筒面と、前記内側円筒面の中心軸線に垂直で、前記内側円筒面の下部周縁から外側へ0.8〜0.9インチ延びる下面と、前記外側円筒面の中心軸線に垂直で、前記外側円筒面の上部周縁から内側へ0.5〜0.6インチ延びる上面と、0.09〜0.10インチの幅を有し、前記内側円筒面の前記中心軸線に垂直であり、前記内側円筒面の上部周縁から外側へ延びる第一の環状面と、119°〜121°の開放角及び0.2〜0.22インチの幅を有し、前記内側円筒面と同心であり、前記第一の環状面の外周縁から前記上面の内周縁へ上方外側に延びる円錐台面と、0.06〜0.075インチの幅を有し、外側円筒面の前記中心軸線に垂直であり、前記外側円筒面の下部周縁から内側へ延びる第二の環状面と、高さ0.085〜0.095インチで、前記外側円筒面と同心であり、前記第二の環状面の内周縁から前記下面の外周縁へ延びる円筒面と、を有する導電エッジリング、
を備える構成要素。 - 請求項7記載の構成要素であって、
前記誘電体結合リングを備え、前記誘電体結合リングは、石英又はセラミック材料又はポリマ材料からなる、構成要素。 - 請求項7記載の構成要素であって、
前記導電エッジリングを備え、前記導電エッジリングは、ホウ素ドープ単結晶シリコンからなる、構成要素。
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