JP3161891B2 - ディスクチルト検出装置およびディスクチルト補正装置 - Google Patents

ディスクチルト検出装置およびディスクチルト補正装置

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JP3161891B2 JP28705993A JP28705993A JP3161891B2 JP 3161891 B2 JP3161891 B2 JP 3161891B2 JP 28705993 A JP28705993 A JP 28705993A JP 28705993 A JP28705993 A JP 28705993A JP 3161891 B2 JP3161891 B2 JP 3161891B2
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    • G11B7/13Optical detectors therefor
    • G11B7/131Arrangement of detectors in a multiple array

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクドライブに
おいて、光ディスク媒体と光ピックアップの対物レンズ
の光軸との傾きを検出するディスクチルト検出装置、お
よびそのディスクチルト検出装置からの検出信号を用い
てディスクチルトを補正するディスクチルト補正装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、光ディスク装置は高密度化の一途
を辿っているが、高密度になるほど光ピックアップ系の
精度の向上が強く要望される。なかでも光ディスク媒体
に対する光ピックアップの対物レンズの光軸の垂直性は
厳密に要求され、両者の間にチルトと呼ばれる傾斜誤差
が発生すると、これを高精度に検出して補正することが
必要となる。
【0003】従来のディスクチルト検出装置は、例えば
図7のように、光ピックアップ31と、光学センサー3
2と、差動アンプ33とを備えており、光学センサー3
2は、発光源34と、受光素子35a,35bとを備え
ていた(例えば実開昭60−127630号公報参
照)。光ピックアップ31は、光ディスク媒体30の情
報トラックに光を照射する。光学センサー32は、光ピ
ックアップ31に設けられており、発光源34から光デ
ィスク媒体30に光を照射し、反射光を受光素子35
a,35bで受光する。差動アンプ33は、受光素子3
5a,35bからの出力の差を演算する。
【0004】この従来のディスクチルト検出装置におい
て、発光源34から出た遠赤外線などの光は、光ディス
ク媒体30を反射して受光素子35a,35bに達す
る。ここで、チルトが0°のとき、すなわち対物レンズ
の光軸と光ディスク媒体30とが垂直のとき、反射光が
受光素子35a,35bの境界に到達するようになって
いるので、チルトが発生した場合、反射光が受光素子3
5a,35bのいずれか一方に片寄る。したがって、受
光素子35a,35bの出力の差を演算する差動アンプ
33の出力として、チルトの方向および量に応じた電気
信号を得ることができる。
【0005】また従来のディスクチルト補正装置は、光
ピックアップ全体を傾斜ステージで傾ける構成であっ
た。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来のディ
スクチルト検出装置では、検出精度に限界があり、しか
も光ピックアップ31上に別途光学センサー32を設け
るため、光ピックアップ31が大がかりになるという問
題点を有していた。また上記従来のディスクチルト補正
装置では、光ピックアップ全体を傾斜ステージで傾ける
ので、装置が大がかりになり、応答性に難点があった。
【0007】本発明はかかる事情に鑑みて成されたもの
であり、検出精度が高く、しかも従来のような別光学系
を必要としないディスクチルト検出装置を提供すること
を目的とする。さらに本発明は、応答性に優れたディス
クチルト補正装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、対物
レンズによって集束されたレーザービームを光ディスク
媒体に形成された情報トラックに照射する照射手段と、
遠視野におけるレーザービームの反射光の反射直進光と
情報トラックによる1次回折光との干渉領域内のしかも
その干渉領域より小さい小領域内の反射光を検出する第
1の受光手段と、小領域を除く干渉領域の反射光を検出
する第2の受光手段と、第1の受光手段による受光量と
第2の受光手段による受光量との差を演算する差動手段
と、を備えたことを特徴としている。
【0009】請求項2の発明は、小領域を通過する反射
光を第1の受光手段へ導く偏向機能を有した光学素子を
遠視野における反射光の光軸上に設けたことを特徴とし
ている。請求項3の発明は、第2の受光手段は、反射光
の光軸を中心に対称に設けられた2つの受光素子から成
り、第1の受光手段は、第2の受光手段の両側に設けら
れた2つの受光素子から成る構成としたことを特徴とし
ている。
【0010】請求項4の発明は、第1の受光手段を成す
2つの受光素子のそれぞれの出力をA1 ,A2 とし、第
2の受光手段を成す2つの受光素子のそれぞれの出力を
1,B2 とし、しかも出力A1 は出力B1 と同一の干
渉領域における反射光を検出したものであり、また出力
2 は出力B2 と同一の干渉領域における反射光を検出
したものであるときに、差動手段が、上記数1の演算を
行う構成としたことを特徴としている。
【0011】
【0012】
【0013】
【0014】
【0015】
【作用】請求項1の発明において、照射手段は、対物レ
ンズによって集束されたレーザービームを光ディスク媒
体に形成された情報トラックに照射する。第1の受光手
段は、遠視野におけるレーザービームの反射光の反射直
進光と情報トラックによる1次回折光との干渉領域内の
しかもその干渉領域より小さい小領域内の反射光成分を
検出する。第2の受光手段は、小領域を除く干渉領域の
反射光を検出する。差動手段は、第1の受光手段による
受光量と第2の受光手段による受光量との差を演算す
る。
【0016】請求項2の発明において、光学素子は、遠
視野における反射光の光軸上に設けられ、小領域を通過
する反射光を第1の受光手段へ導く。請求項3の発明に
おいて、2つの受光素子から成る第2の受光手段は、反
射光の光軸を中心に対称に設けられており、2つの受光
素子から成る第1の受光手段は、第2の受光手段の両側
に設けられている。
【0017】請求項4の発明において、差動手段は、第
1の受光手段を成す2つの受光素子のそれぞれの出力を
1 ,A2 とし、第2の受光手段を成す2つの受光素子
のそれぞれの出力をB1 ,B2 とし、しかも出力A1
出力B1 と同一の干渉領域における反射光を検出したも
のであり、また出力A2 は出力B2 と同一の干渉領域に
おける反射光を検出したものであるときに、上記数1の
演算を行う。
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。 (実施例1)図1は本発明の実施例1におけるディスク
チルト検出装置の構成図で、このディスクチルト検出装
置は、対物レンズ2と、受光レンズ3と、分波素子4
と、受光素子5a,5b,6a,6bと、加算アンプ
7,8と、差動アンプ9とを備えている。なお、対物レ
ンズ2によって集束されたレーザービームを光ディスク
媒体1に形成された情報トラック1aに照射する照射手
段は、周知の構成であるので図示していない。光ディス
ク媒体1の記録面上には、情報トラック1aが形成され
ている。分波素子4は、平板基材上に微小プリズム4
a,4bを形成したものであり、遠視野におけるレーザ
ービームの反射光の光軸上に設けられ、遠視野における
レーザービームの反射光の反射直進光と情報トラック1
aによる1次回折光との干渉領域内のしかもその干渉領
域より小さい小領域を通過する反射光を受光素子6a,
6bへ導く偏向機能を有した光学素子を構成している。
受光素子5a,5bは、レーザービームの反射光の光軸
を中心に、光ディスク媒体1の半径方向に沿って対称に
設けられており、上記小領域を除く干渉領域の反射光を
検出する第2の受光手段を構成している。受光素子6
a,6bは、受光素子5a,5bの両側に、光ディスク
媒体1の半径方向に所定間隔をあけて設けられており、
上記小領域内の反射光を検出する第1の受光手段を構成
している。加算アンプ7,8と差動アンプ9とは、受光
素子6a,6bによる受光量と受光素子5a,5bによ
る受光量との差を演算する差動手段を構成しており、受
光素子6a,6bのそれぞれの出力をA1 ,A2 とし、
受光素子5a,5bのそれぞれの出力をB1 ,B2
し、しかも出力A1 は出力B1 と同一の干渉領域におけ
る反射光を検出したものであり、また出力A2 は出力B
2 と同一の干渉領域における反射光を検出したものであ
るときに、下記数2の演算を行う。
【0023】
【数2】
【0024】次に動作を説明する。いま、対物レンズ2
にはレーザー発光源(図示せず)からのレーザービーム
が入射し、光ディスク媒体1の情報トラック1a上に集
光しているものとする。このときの反射光は再び対物レ
ンズ2を経て、レーザービームが十分発散した領域であ
る遠視野領域において受光レンズ3および分波素子4を
通過する。そして分波素子4が、微小プリズム4a,4
bの形成されている領域を通過した光を受光素子6a,
6bに振り分け、残りを直進させて受光素子5a,5b
に入射させる。
【0025】ここで、遠視野における光ディスク媒体1
の反射光の強度分布は、ディスクチルトが無い場合、図
2の(A)に示すように、レーザービームが情報トラッ
ク1a上で反射すると、トラックエッジによる散乱作用
により、直進光である0次光が生じると共に、その両側
にそれぞれ1次回折光である+1次光および−1次光が
生じる。遠視野領域においてこれらは互いに干渉しあ
い、図2の(A)に斜線で示すような模様を作る。つま
り、対物レンズ2により集束されたレーザービームが情
報トラック1aのほぼ中心線を照射している場合、1次
回折光は0次光に対して一定の位相差を有す性質があ
る。従って、遠視野領域における干渉領域ではこの両者
がベクトル加算され、非干渉領域に対してほぼ均等に強
度が低下あるいは増加することとなる。一方、ディスク
チルトがある場合、レーザービームに波面収差すなわち
コマ収差が発生する。収差とは、同一波面内における位
相差の不均一分布を意味し、これがあると上記干渉領域
における0次および+1次ならびに−1次光の位相差も
不均一となり、その結果図2の(B)あるいは(C)に
示すような不均一強度分布が干渉領域内に生じる。図2
の(B)は対物レンズ2の光軸が相対的に光ディスク媒
体1の半径方向すなわち情報トラック1aに対して垂直
(ラジアル)方向にθ傾斜した場合を示し、図2の
(C)はラジアル方向に−θ傾斜した場合を示してい
る。そこで、干渉領域内の小領域と、干渉領域の他の部
分との差をとればこの収差、すなわちチルトの量と方向
とを検出することができる。
【0026】上記小領域部分を通過する反射光は、分波
素子4に形成された微小プリズム4a,4bによってそ
れぞれ受光素子6a,6bに振り分けられ、残りは受光
素子5a,5bに振り分けられる。これら微小プリズム
4a,4bは、ガラスを加工したものであってもよい
し、ホログラム素子のようなものであってもよい。従っ
て、受光素子6a,6bの出力信号をA1 ,A2 とし、
受光素子5a,5bの出力信号をB1 ,B2 とすれば、
加算アンプ7,8および差動アンプ9が、上記数2を演
算して検出チルト量に対応するラジアルチルト検出信号
rad を出力する。
【0027】このように、0次光と1次光または−1次
光との干渉領域内の小領域と他の干渉領域とにおける検
出信号の差を求めることにより、ディスクチルトを高精
度にしかも光ピックアップ上に特別なセンサーを設ける
ことなく検出することができる。すなわち、図7に示す
従来装置では、受光素子35a,35bのS/Nやオフ
セットから考えて0.1°のチルトを正確に検出するこ
とは困難である。一方本実施例では、0.1°程度のチ
ルトでも上記波面収差は位相差にして数10°程度発生
し、反射光強度分布を顕著に変える。
【0028】さらに本実施例では従来例のような光学セ
ンサー32を光ピックアップ31に設ける必要がなく、
図1に示した要素を光ピックアップ内に取り込むことが
可能である。このとき、受光素子5a,5bおよび受光
素子6a,6bからなる受光素子群の出力を用いて、下
記数3および数4を演算することにより、再生信号RF
やトラッキング誤差信号TEを同時に検出することがで
きる。
【0029】
【数3】
【0030】
【数4】
【0031】(実施例2)上記実施例1のディスクチル
ト検出装置が有効に動作するのは、先述のようにラジア
ル方向のチルトであるため、トラック接線方向のチルト
すなわちタンジェンシャルチルトを検出する他のディス
クチルト検出装置と併用する必要がある。そこで実施例
2では、タンジェンシャルチルトを高精度に検出するデ
ィスクチルト検出装置について説明する。
【0032】図3は本発明の実施例2におけるディスク
チルト検出装置の構成図で、このディスクチルト検出装
置は、対物レンズ12と、受光素子13a,13bと、
差動アンプ14と、極大値検出回路15と、極小値検出
回路16と、差動アンプ17とを備えている。なお、回
転する光ディスク媒体11に形成された情報マーク11
aに対物レンズ12によって集束されたレーザービーム
を照射する照射手段は、周知であるので図示を省略す
る。光ディスク媒体11の記録面上には、破線で示す情
報トラックに沿って情報マーク11aが記録されてい
る。受光素子13a,13bは、光ディスク媒体11の
回転接線すなわちタンジェンシャル方向に互いに隣接し
て配置されている。差動アンプ14は、受光素子13
a,13bの出力の差動演算を実行する第2の差動手段
を構成している。受光素子13a,13bと差動アンプ
14とにより、レーザービームの反射光の光量変化の微
分値を出力する微分手段を構成している。極大値検出回
路15は、微分手段の出力すなわち差動アンプ14の出
力の極大値をサンプルホールドする極大値検出手段を構
成している。極小値検出回路16は、微分手段の出力す
なわち差動アンプ14の出力の極小値をサンプルホール
ドする極小値検出手段を構成している。差動アンプ17
は、極大値検出手段すなわち極大値検出回路15の出力
と極小値検出手段すなわち極小値検出回路16の出力と
の差を演算する第1の差動手段を構成している。
【0033】次に動作を説明する。受光素子13a,1
3bならびに差動アンプ14は、対物レンズ12の出射
ビームが情報マーク11aを走査した際に得られる反射
光検出信号の微分を実行する微分器として動作する。す
なわちチルトが無い場合、図4の(A)に示すように、
情報マーク11aを走査したときの検出光量すなわち受
光素子13a,13bの和出力の変化は、出射ビームが
情報マーク11aの中央に位置するときに最大値をとる
前後対称な波形になる。差動アンプ14からはこれを微
分した波形が得られる。これは図4の(A)に示される
ような極大、極小値が等振幅なS次波形となる。ここで
タンジェンシャル方向の正方向あるいは負方向にチルト
が発生すると、これに起因するコマ収差のために、図4
の(B)に実線あるいは破線で示すように、検出光量は
前後に歪む。このときの微分波形は図4の(B)に示す
ように極大、極小値がそれぞれアンバランスになる。
【0034】そこでこの極大値および極小値をそれぞれ
極大値検出回路15および極小値検出回路16でサンプ
ルホールドし、さらに差動アンプ17で両者の差を演算
する。かくして差動アンプ17の出力に、チルト0°で
0となり、チルトの方向および量に応じて正負に適量変
化するタンジェンシャルチルト検出信号Ttan が得られ
る。
【0035】このように、タンジェンシャル方向のチル
トを簡易な光学系で検出することができる。なお上記実
施例2では、微分手段として受光素子13a,13bと
差動アンプ14とを用い、受光素子13a,13bの出
力を差動アンプ14により差動演算するように構成した
が、微分手段を、単一受光素子の出力を電気的に微分す
る構成としてもよい。ただしこのように電気的に微分す
る構成の場合、S/Nが悪くなることが考えられる。 (実施例3)上記実施例1ではラジアル成分のチルト検
出を行うディスクチルト検出装置について説明し、上記
実施例2ではタンジェンシャル成分のチルト検出を行う
ディスクチルト検出装置について説明したが、実施例1
のディスクチルト検出装置における受光素子5a,5b
をそれぞれ2分割するだけで、ラジアル成分のチルト検
出とタンジェンシャル成分のチルト検出との双方を行え
るディスクチルト検出装置を実現できる。実施例3のデ
ィスクチルト検出装置は、このようなラジアル成分のチ
ルト検出とタンジェンシャル成分のチルト検出との双方
を行えるディスクチルト検出装置であり、図5のよう
に、図1の受光素子5aの代わりに受光素子5a1 ,5
2 を設け、受光素子5bの代わりに受光素子5b1
5b2 を設けたものである。他の構成は図1に示すディ
スクチルト検出装置と同じであるので図示を省略する。
ただし、図3に示すディスクチルト検出装置の差動アン
プ14や極大値検出回路15や極小値検出回路16や差
動アンプ17などを図1に示すディスクチルト検出装置
に加える必要がある。
【0036】次に動作を説明する。受光素子5a1 と受
光素子5a2 との出力を加算すれば、図1の受光素子5
aと等価になり、受光素子5b1 と受光素子5b2 との
出力を加算すれば、図1の受光素子5bと等価になる。
また、受光素子5a1 と受光素子5b1 との出力を加算
すれば、図3の受光素子13aと等価になり、受光素子
5a2 と受光素子5b2 との出力を加算すれば、図3の
受光素子13bと等価になる。したがって、これらの加
算に必要な加算アンプと、図3のディスクチルト検出装
置の電気系の構成要素とを、図1のディスクチルト検出
装置に加えることにより、ラジアル成分のチルト検出と
タンジェンシャル成分のチルト検出との双方を行えるデ
ィスクチルト検出装置を実現できる。 (実施例4)上記ディスクチルト検出装置からの検出信
号をフィードバック系に入れ、チルトを補正するために
は、ディスクチルト補正装置が必要である。したがって
このようなディスクチルト補正装置について説明する。
【0037】図6は本発明の実施例4におけるディスク
チルト補正装置の構成図で、このディスクチルト補正装
置は、対物レンズ21と、コマ収差レンズ22,23
と、回転装置24,25と、変換回路26とを備えてい
る。レーザー発光源20および対物レンズ21は、図外
の光ディスク媒体上に集光レーザービームを照射する。
コマ収差レンズ22,23は、互いに同等のコマ収差を
有しており、集光レーザービームの光軸上に設置されて
いる。回転装置24,25は、コマ収差レンズ22,2
3をそれぞれ互いに同方向および逆方向に集光レーザー
ビームの光軸を中心として回転させる。変換回路26
は、ラジアルチルト検出信号Trad およびタンジェンシ
ャルチルト検出信号Ttan に基づいて、同方向回転信号
φを作出して回転装置24に供給し、また逆方向回転信
号ψを作出して回転装置25に供給する。
【0038】次に動作を説明する。いま、コマ収差レン
ズ22,23は、ある基準軸に対して下記数5で表され
るコマ収差を有しているものとする。この収差関数は極
座標表示されていて、rはレンズ光軸からの半径、θは
方位角を表す。wは係数である。こういったコマ収差レ
ンズ22,23は、実際にこういった形状の入射面を持
ったレンズでも実現できるし、また通常の凹あるいは凸
レンズを光軸に沿って傾けたものでも実現でき、さらに
はホログラム素子のようなものであってもよい。ここ
で、コマ収差レンズ22,23が上記基準軸に対して同
方向にφ、互いに逆方向にψ回転したとすると、両者の
合成収差Wsは下記数6のようになる。これより明かな
ように、逆方向回転角ψは係数項となり、収差係数を0
〜2wまで可変にすることができる。また同方向回転角
φによって、収差を基準軸に対して回転することができ
る。
【0039】
【数5】
【0040】
【数6】
【0041】そこで変換回路26が、ディスクチルト検
出装置からのラジアルチルト検出信号Trad およびタン
ジェンシャルチルト検出信号Ttan に基づいて、同方向
回転角φおよび逆方向回転角ψを演算する。すなわち両
チルト成分は互いに直交しているので、これらよりコマ
収差の方向が下記数7のように計算され、これをφとす
る。また収差の絶対値は下記数8により得られるから、
これに適当な負符号の係数を掛けてψとする。このよう
に求めたφ,ψになるようコマ収差レンズ22,23を
光軸中心に回転すれば、チルトによって生じるコマ収差
を相殺することができ、その結果、実質的にチルトが補
正できることとなる。
【0042】
【数7】
【0043】
【数8】
【0044】このように、ラジアル方向およびタンジェ
ンシャル方向に生じたチルトを実質的に補正することが
できる。また従来のように光ピックアップ全体を傾斜ス
テージで傾けるというような大掛かりな装置でないの
で、応答性に優れている。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、対
物レンズによって集束されたレーザービームを光ディス
ク媒体に形成された情報トラックに照射する照射手段
と、遠視野におけるレーザービームの反射光の反射直進
光と情報トラックによる1次回折光との干渉領域内のし
かもその干渉領域より小さい小領域内の反射光を検出す
る第1の受光手段と、小領域を除く干渉領域の反射光を
検出する第2の受光手段と、第1の受光手段による受光
量と第2の受光手段による受光量との差を演算する差動
手段と、を備えたので、情報トラック遠視野像の0次、
1次光干渉領域内の小領域における検出光と、それ以外
の干渉領域内の検出光の差から、ラジアルチルトを検出
することから、ラジアル方向のチルトを高精度にしかも
光ピックアップ上に特別なセンサーを設けることなく検
出することができる。
【0046】また、回転する光ディスク媒体に形成され
た情報マークに対物レンズによって集束されたレーザー
ビームを照射する照射手段と、レーザービームの反射光
の光量変化の微分値を出力する微分手段と、微分手段の
出力の極大値をサンプルホールドする極大値検出手段
と、微分手段の出力の極小値をサンプルホールドする極
小値検出手段と、極大値検出手段の出力と極小値検出手
段の出力との差を演算する第1の差動手段と、を備えれ
ば、情報マーク検出信号を微分したものの極大値と極小
値との差からタンジェンシャルチルトを検出することか
ら、タンジェンシャル方向のチルトを簡易な光学系で検
出することができる。
【0047】また、同等のコマ収差を有する第1の光学
素子と第2の光学素子とを、発光手段から光ディスク媒
体に至る同一の光軸を中心に回転可能に設ければ、例え
ばコマ収差特性を持つ2枚のレンズを互いに同方向、逆
方向に回転させることによって、ラジアル・タンジェン
シャルチルトを補正することができることから、従来の
ように光ピックアップ全体を傾斜ステージで傾けるとい
うような大掛かりな装置を必要とせず、応答性に優れて
いる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1におけるディスクチルト検出
装置の構成図である。
【図2】遠視野における光ディスク媒体の反射光の強度
分布の説明図である。
【図3】本発明の実施例2におけるディスクチルト検出
装置の構成図である。
【図4】光ディスク媒体の反射光の光量およびその微分
信号の説明図である。
【図5】本発明の実施例3におけるディスクチルト検出
装置に備えられた受光素子の配置説明図である。
【図6】本発明の実施例4におけるディスクチルト補正
装置の構成図である。
【図7】従来のディスクチルト検出装置の構成図であ
る。
【符号の説明】
1 光ディスク媒体 1a 情報トラック 2 対物レンズ 3 受光レンズ 4 分波素子 4a 微小プリズム 4b 微小プリズム 5a 受光素子 5b 受光素子 5a1 受光素子 5a2 受光素子 5b1 受光素子 5b2 受光素子 6a 受光素子 6b 受光素子 7 加算アンプ 8 加算アンプ 9 差動アンプ 11 光ディスク媒体 11a 情報マーク 12 対物レンズ 13a 受光素子 13b 受光素子 14 差動アンプ 15 極大値検出回路 16 極小値検出回路 17 差動アンプ 20 レーザー発光源 21 対物レンズ 22 コマ収差レンズ 23 コマ収差レンズ 24 回転装置 25 回転装置 26 変換回路

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対物レンズによって集束されたレーザー
    ビームを光ディスク媒体に形成された情報トラックに照
    射する照射手段と、 遠視野における前記レーザービームの反射光の反射直進
    光と前記情報トラックによる1次回折光との干渉領域内
    のしかもその干渉領域より小さい小領域内の反射光を検
    出する第1の受光手段と、 前記小領域を除く前記干渉領域の反射光を検出する第2
    の受光手段と、 前記第1の受光手段による受光量と前記第2の受光手段
    による受光量との差を演算する差動手段と、 を備えたことを特徴とするディスクチルト検出装置。
  2. 【請求項2】 小領域を通過する反射光を第1の受光手
    段へ導く偏向機能を有した光学素子を遠視野における反
    射光の光軸上に設けたことを特徴とする請求項1に記載
    のディスクチルト検出装置。
  3. 【請求項3】 第2の受光手段は、反射光の光軸を中心
    に対称に設けられた2つの受光素子から成り、第1の受
    光手段は、前記第2の受光手段の両側に設けられた2つ
    の受光素子から成る構成としたことを特徴とする請求項
    1に記載のディスクチルト検出装置。
  4. 【請求項4】 第1の受光手段を成す2つの受光素子の
    それぞれの出力をA1 ,A2 とし、第2の受光手段を成
    す2つの受光素子のそれぞれの出力をB1 ,B2 とし、
    しかも出力A1 は出力B1 と同一の干渉領域における反
    射光を検出したものであり、また出力A2 は出力B2
    同一の干渉領域における反射光を検出したものであると
    きに、差動手段が、下記数1の演算を行う構成としたこ
    とを特徴とする請求項3に記載のディスクチルト検出装
    置。 【数1】
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