JP3155034B2 - 超音波モータを用いた小型移動装置 - Google Patents

超音波モータを用いた小型移動装置

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    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
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    • Y02TCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
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    • Y02T10/72Electric energy management in electromobility

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、狭い管路など、手の
届かない箇所を移動出来る超音波モータを用いた小型移
動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、図4に示す側面の断面図、及び、
図5に示す正面図に示すように、電磁振動型移動装置で
は、図示しない駆動回路から一定の電圧をコイル53へ
与える。磁心50が磁化し磁心先端50aが永久磁石5
1に吸引、反発することによって、振動が起こる。この
振動を利用して、前記永久磁石51の下面に接着された
斜毛52によって、常に一定方向へ進む。又、磁心15
0、永久磁石151、斜毛152、コイル153を上記
と同様に構成し、並列に2個を連結し、各々を別に制御
することにより方向転換を行う構造である。
【0003】図6に示す側面の断面図、及び、図7に示
す正面図に示す移動装置は、出力軸64に出力羽根61
を固定する。出力羽根61を囲う箱60と、前記箱60
の両側より突出した出力軸64aに、駆動車63及び駆
動車163を固定する。箱60の一部に取り付けたパイ
プ62より空気を送り、出力羽根61に回転力を与え
る。出力軸64を介して駆動車63、駆動車163へ回
転力を伝達することにより、一定方向に移動する。例え
ば、1990年12月号の精密工学会誌、第51頁乃至
54頁の「山登りマイクロメカニズム製作コンテストか
ら」(著書:林輝)に、このような従来の小型移動装置
が記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の小型移
動装置は、これ以上コイルを小さく巻けないことや、電
流を流し過ぎるとコイルを焼損する、又、方向制御や後
退が出来ないという課題を有していた。そこで、この発
明の目的は上記課題を解決するため、コイルを使わず自
在に移動できる小型移動装置を得ることを目的としてい
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、超音波モータを並列に2個搭載し、各
々を別に制御することにより、コイルも使わない構造と
した。
【0006】
【作用】上記のように、動力源及び超音波モータ駆動回
路と、振動体、移動体、加圧手段から構成される2個の
超音波モータの、移動体及び振動体の中心軸を同一に支
持する支持手段と、移動体により動作する複数の移動手
段から構成された小型移動装置は、2個の超音波モータ
に別々に駆動信号を与えることにより、自在に移動する
ことができる。
【0007】
【実施例】以下に、本発明の第1の実施例を図面に基づ
いて説明する。図1は、本発明の小型移動装置のブロッ
ク図である。支持手段675に第1の振動体674を組
み込む。第1の移動体672は、第1の加圧手段673
により、第1の振動体674に加圧支持される。第1の
振動体674の振動により、第1の移動体672が動作
する。第1の移動体672の動作は、第1の移動手段6
71に伝達される。第1の移動手段671の動作によ
り、小型移動装置は移動できる。
【0008】同様に支持手段675に第2の振動体68
4が組み込まれている。第2の移動体682、第2の加
圧手段683、第2の移動手段681の動作により、小
型移動装置は移動できる。図2に示す側面図、及び、図
3に示す図2AOB部の断面図において、振動体支持板
1には、モータ軸2と駆動軸11及び案内軸14が固定
されている。振動体支持板1の第1面1a側には、モー
タ軸2に圧電素子5を接着した振動体3を固定する。移
動体4は、振動体3へ接しモータ軸2に回転可能に支持
する。モータ軸2に案内されたコイルバネ8を、移動体
4とバネ押え7で挟み込む。バネ押え7をモータ軸2に
バネ押え止めネジ9によって固定する。駆動軸11は、
駆動輪ゴム12を組み込んだ駆動輪6を、回転可能に支
持し、駆動輪止めネジ13を駆動軸11に固定する。こ
のとき駆動輪6の歯形部6aは、移動体4の歯形部4a
と噛み合っている。案内軸14は案内輪ゴム16を組み
込んだ案内輪15を回転可能に支持し、案内輪止めネジ
17を案内軸14に固定する。
【0009】又、振動体支持板1の第2面1b側には、
圧電素子105を接着した振動体103、移動体10
4、コイルバネ108、バネ押え107、バネ押え止め
ネジ109、駆動輪ゴム112を組み込んだ駆動輪10
6、駆動輪止めネジ113、案内輪ゴム116を組み込
んだ案内輪115、案内輪止めネジ117が、モータ軸
2と駆動軸11及び案内軸14に、振動体支持板1の第
1面1a側と同様に構成されている。
【0010】次に、動作について説明する。振動体支持
板1の第1面1a側に所定の分極処理をして電極パター
ンを形成した圧電素子5を固着する。圧電素子5に接合
されたリード線10及びリード線10aを介して、図示
しない駆動回路から任意の周波電圧を圧電素子5に与え
ることにより、振動体3は変形し、くし歯3aの変形に
より移動体4を任意の速度で回転させる。移動体4の歯
形部4aは、駆動輪6の歯形部6aと噛み合い、回転力
を伝達することにより移動出来る、又、駆動回路から位
相を変えた周波電圧を、圧電素子5の電極パターン(図
示しない)に与えることにより、移動体4が逆回転し駆
動輪6に伝達する。振動体支持板1の第2面1b側も同
様に、圧電素子103に接合されたリード線110及び
110aに任意の周波電圧を与えることにより駆動輪1
06に回転力を伝達する。そして、振動体支持板1の第
1面1a側と第2面1b側の超音波モータを、別々に制
御し回転差をつけることで方向転換を行うことができ
る。
【0011】図8に示す側面図、図9に示す図8AOB
部の断面図は、本発明の第2の実施例を示す。第1の実
施例との違いは、振動体支持板101の溝部101a
に、案内輪ゴム216を組み込んだ案内輪215を、案
内軸114に回転可能に支持し、案内軸114の両端は
振動体支持板101bに固定する構成とした。振動体、
移動体の支持手段と加圧方法及び移動手段は、第1の実
施例の図3に示す構造と同様の構造である。このように
すると、案内輪215が1個で済み、接地箇所が3点と
なり接地性が向上する。
【0012】図10の側面図、及び、図11に示す図1
0AOB部の断面図は、本発明の第3の実施例を示す。
第1の実施例との違いは、振動体支持板201に駆動軸
111が固定されている。振動体支持板201の第1面
201a側には、駆動軸111に駆動輪ゴム212を組
み込んだ駆動輪206を回転可能に支持し、駆動輪止め
ネジ213を駆動軸111に固定する。このとき駆動輪
206の歯形部206aは、移動体4の歯形部4bと噛
み合っている。振動体支持板201の第2面201bも
同様に構成されている。振動体、移動体の支持手段と加
圧方法及び移動手段は、第1の実施例の図3に示す構造
と同様の構造である。このようにすると4輪駆動とな
り、登力が向上し、例えば1輪が浮いた状態でも安定
した移動が行える。
【0013】図12は、本発明の第4の実施例を示す。
振動体、振動体の支持手段と、加圧方法及び移動手段
は、第1の実施例の図3に示す構造と同様の構造であ
る。違いは、振動体支持板301に駆動軸が4本、移動
体4の外周に固定されている。振動体支持板301の第
1面301a側には、それぞれの駆動軸に移動体4の歯
形部4aと噛み合う、駆動輪6、206、406、60
6が回転可能に支持されている。図示しない振動体支持
板301の第2面301b側も同様に構成されている。
このようにすると8輪駆動となり、進行方向の前後に倒
れた場合でも、いずれかの4輪が接地し、安定した移動
が行える。
【0014】図13に示す側面図、及び、図14に示す
断面図は、本発明の第5の実施例を示す。振動体、移動
体の支持手段と加圧方法は、第1の実施例の図3に示す
構造と同様の構造である。違いは、移動体204の外周
部204aを接地させ、直接移動手段としている。又、
移動体204の回転方向への倒れを防ぐため、振動体支
持板401の両端部に出っ張り形状部401c、401
dを設けた。このようにすると、移動体204が他の部
品を介さず、直接回転力を接地面に伝えることができる
ため、回転力の損失が無くなる。
【0015】図15は、本発明の第6の実施例を示す。
第1の実施例との違いは、振動体支持板501に駆動軸
11及び案内軸14が固定されている。振動体支持板5
01の第1面501a側には、圧電素子5を接着した振
動体203がモータ軸102を振動体支持板501に固
定することによって挟み込まれている。移動体4は、モ
ータ軸102に回転可能に支持されている。モータ軸1
02に案内されたコイバネ8を、移動体4とバネ押え
7で挟み込む。バネ押え7をモータ軸102に、バネ押
え止めネジ9によって固定する。
【0016】振動体支持板601の第1面601a側に
は、圧電素子305を接着した振動体303が、モータ
軸202を振動体支持板303に固定することによって
挟み込まれている。移動体104は、モータ軸202に
回転可能に支持されている。モータ軸202に案内され
たコイルバネ108を移動体104とバネ押え107
挟み込む。バネ押え107をモータ軸202にバネ押え
止めネジ109によって固定する。
【0017】上記のように、振動体支持板601に構成
された超音波モータユニットを、振動体支持板501に
密着するように、駆動軸11及び案内軸14に固定す
る。移動手段及び他の構成は、第1の実施例と同様であ
る。このようにすると、組み立て・分解が容易になり、
不良部品の交換も行い易い。尚、上記の実施例では2つ
の超音波モータを、それぞれ独立に駆動する構造につい
て説明したが、4個の超音波モータを用いて、4つの駆
動輪をそれぞれ独立に駆動する構造も考えられる。この
ような構造では、4輪が常に接地するので安定した移動
が行え、方向転換が容易である。同様に6つの超音波モ
ータを用いた構造も考えられる。
【0018】本発明の小型移動装置の動力源・駆動回路
は、上記の実施例では、小型移動装置から有線で別に配
置しているが、動力源・駆動回路の一方又は両方を小型
移動装置に搭載することも可能である。この場合の動作
の制御は、有線で行っても良いが別に無線通信装置を搭
載して制御することも可能である。更に、本発明の小型
移動装置を複数用意して集中制御することも可能であ
る。
【0019】図16に示すように、集中制御回路771
から、3つの送信回路及び3つの受信回路772ないし
777に、小型移動装置の動作を制御する信号を出力
し、一方、小型移動装置からの情報を入力する。第1の
移動装置851の受信回路D852は、送信回路A77
2の出力する制御信号が入力される。一方、第1の移動
装置851の送信回路D853は、第1の移動装置の持
っている動作状況や入力した情報を受信回路A773へ
出力する。同様に第2の移動装置861には、受信回路
E862及び送信回路E863があり、送信回路B77
4及び受信回路B775と信号の送受信を行う。第3の
移動装置871の構成も同様である。このように集中制
御回路771により複数の移動装置の動作の制御と情報
のやりとりが可能となる。
【0020】本発明の小型移動装置の応用例として、例
えば、CCDカメラなどを搭載して、精密機械の内部検
査を行うこともできる。又、二酸化炭素センサやガスセ
ンサなどを搭載した安全装置として活用することもでき
る。更に、小型の溶接機や接着剤供給装置を搭載して小
型加工機械として活用することもでき、搬送機械として
も活用できる。これらの小型移動装置の応用が可能なの
は、本発明が超音波モータを用いているため、外部磁界
の影響を受けず動作に酸素が不要で、又、制御電流によ
る火花の発生も無いためである。
【0021】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように動力源
及び超音波モータ駆動回路と、振動体、移動体及び加圧
手段から構成される2個の超音波モータと移動体により
動作する複数の移動手段を用いることにより、上記2個
の超音波モータを別々に制御して、自在に移動させられ
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の小型移動装置のブロック図である。
【図2】本発明の小型移動装置の第1の実施例の側面図
である。
【図3】本発明の小型移動装置の第1の実施例、図2の
AOB部の断面図である。
【図4】従来の小型移動装置の側面の断面図である。
【図5】従来の小型移動装置の正面図である。
【図6】従来の小型移動装置の側面の断面図である。
【図7】従来の小型移動装置の正面図である。
【図8】本発明の小型移動装置の第2の実施例の側面図
である。
【図9】本発明の小型移動装置の第2の実施例のAOB
部の断面図である。
【図10】本発明の小型移動装置の第3の実施例の側面
図である。
【図11】本発明の小型移動装置の第3の実施例10の
AOB部の断面図である。
【図12】本発明の小型移動装置の第4の実施例の側面
図である。
【図13】本発明の小型移動装置の第5の実施例の側面
図である。
【図14】本発明の小型移動装置の第5の実施例の断面
図である。
【図15】本発明の小型移動装置の第6の実施例の断面
図である。
【図16】本発明の小型移動装置の集中制御を示すブロ
ック図である。
【符号の説明】
1、 101、 201、 301、 401、 501、 601 振動体支持板 2、 102、 202 モータ軸 3、 103、 203、 303 振動体 4、 104、 204、 304 移動体 5、 105、 205、 305 圧電素子 6、 106、 206、 306 駆動輪 7、 107 バネ押え 8、 108 コイルバネ 9、 109 バネ押え止めネジ 10、 110 リード線 11、 111 駆動軸 12、 112、 212、 312 駆動輪ゴム 13、 113、 213、 313 駆動輪止めネジ 14、 114 案内軸 15、 115、 215 案内輪 16、 116、 216 案内輪ゴム 17、 117 案内輪止めネジ 18 加圧バネ 50、 150 磁心 51、 151 永久磁石 52、 152 斜毛 53、 153 コイル 60 箱 61 出力羽根 62 パイプ 63、 163 駆動車 64 出力軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小澤 不二夫 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (72)発明者 春日 政雄 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−111205(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05D 1/00 - 3/20 B60L 15/00 - 15/42 H02N 1/00 - 15/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ひとつの支持手段と、 前記支持手段により支持される軸と、 前記軸がその中心部を貫通することでこの軸により固定
    支持される振動体を有し、加圧手段により前記振動体に
    加圧支持されることで、前記振動体の振動により動作す
    る移動体から構成される複数の超音波モータと、を有
    し、 前記移動体の動作により移動することを特徴とする 超音
    波モータを用いた小型移動装置。
  2. 【請求項2】 前記複数の超音波モータは、前記支持部
    材を挟んで対向するように配置されて前記軸に支持され
    た、ふたつの超音波モータであることを特徴とする請求
    項1に記載の超音波モータを用いた小型移動装置。
  3. 【請求項3】 前記複数の超音波モータは、別々に制御
    可能であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記
    載の超音波モータを用いた小型移動装置。
  4. 【請求項4】 前記支持手段により回転可能に支持され
    るとともに、前記移動体の動作が伝達されて回転する駆
    動輪により移動することを特徴とする請求項1から3に
    記載の超音波モータを用いた小型移動装置。 以上
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6025183B1 (ja) * 2015-06-11 2016-11-16 ニチユ三菱フォークリフト株式会社 柱体支持装置およびロール体搬送車

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5457351A (en) * 1991-10-31 1995-10-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic motor
US5726518A (en) * 1992-07-22 1998-03-10 Nikon Corporation Supporting device of relative moving element of vibration actuator or vibration motor
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
JP3171968B2 (ja) * 1992-12-24 2001-06-04 キヤノン株式会社 振動波モータの制御装置
JPH0880075A (ja) * 1994-08-31 1996-03-22 Nikon Corp アクチュエータ内蔵機器
JP2001518280A (ja) * 1997-03-21 2001-10-09 ザ ペンステート リサーチ ファウンデーション 超音波モータ
KR20040096614A (ko) * 2002-03-11 2004-11-16 가부시기가이샤 아이 에이 아이 초음파 부상장치
JP4780770B2 (ja) * 2006-04-10 2011-09-28 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ
KR20130094123A (ko) * 2012-02-15 2013-08-23 삼성전자주식회사 진동 액추에이터 조립체 및 이를 구비한 디지털 영상 처리 장치
CN106828644B (zh) * 2017-03-06 2023-07-25 南京航空航天大学 一种贴片式压电驱动四轮行星探测机器人及其工作方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3018086A (en) * 1957-10-14 1962-01-23 Raney Products Inc Tractor device for conduits and the like
US4006359A (en) * 1970-10-12 1977-02-01 Abs Worldwide Technical Services, Inc. Pipeline crawler
US4194218A (en) * 1978-12-29 1980-03-18 Kabushiki Kaisha Kantool Inspection apparatus for underground channels
JPS5826256A (ja) * 1981-08-07 1983-02-16 Kubota Ltd 管の検査装置
GB2128842B (en) * 1982-08-06 1986-04-16 Univ London Method of presenting visual information
DE3236947A1 (de) * 1982-10-06 1984-04-12 Rainer 6074 Rödermark Hitzel Rohrmanipulator fuer das durchfahren von rohrleitungen
NO851590L (no) * 1984-05-14 1985-11-15 Kraftwerk Union Ag Selvdrevet inspeksjons- og tilsynskjoeretoey.
JPH07108659B2 (ja) * 1985-08-07 1995-11-22 東京瓦斯株式会社 管内走行装置、及び管内点検走行装置
DE3602281A1 (de) * 1986-01-25 1987-07-30 Klaus Zawisla Vorrichtung zur behandlung unterirdisch verlegter kanalrohre
JPS63213476A (ja) * 1987-02-27 1988-09-06 Hitachi Maxell Ltd 回転ロ−ラ型超音波モ−タ
JP2569545B2 (ja) * 1987-04-15 1997-01-08 株式会社日本自動車部品総合研究所 圧電振動モ−タ
JPS6417669A (en) * 1987-12-03 1989-01-20 Nitta Kk Glasses for golf exercise
JP2611296B2 (ja) * 1987-12-29 1997-05-21 アイシン精機株式会社 超音波モータ
JP2614635B2 (ja) * 1988-04-12 1997-05-28 日立マクセル株式会社 電歪公転子及び単相超音波モータ
JPH01268463A (ja) * 1988-04-18 1989-10-26 Fuji Photo Film Co Ltd 超音波モータ
US4862808A (en) * 1988-08-29 1989-09-05 Gas Research Institute Robotic pipe crawling device
JPH02162153A (ja) * 1988-11-07 1990-06-21 Sumitomo Metal Ind Ltd 管内駆動台車
GB8913200D0 (en) * 1989-06-08 1989-07-26 Woodbridge Electronics Limited Method and device for locating branches in drains
DE4012619C2 (de) * 1990-04-20 1994-12-01 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zum Orten von Leckstellen in einem Abwasserkanal

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6025183B1 (ja) * 2015-06-11 2016-11-16 ニチユ三菱フォークリフト株式会社 柱体支持装置およびロール体搬送車

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