JP3150510B2 - 発熱抵抗式空気流量計 - Google Patents
発熱抵抗式空気流量計Info
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- JP3150510B2 JP3150510B2 JP30621693A JP30621693A JP3150510B2 JP 3150510 B2 JP3150510 B2 JP 3150510B2 JP 30621693 A JP30621693 A JP 30621693A JP 30621693 A JP30621693 A JP 30621693A JP 3150510 B2 JP3150510 B2 JP 3150510B2
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- amplifier
- flow meter
- heating
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
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- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
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- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
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- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空気流量計に係り、特に
自動車のエンジン制御に供する発熱抵抗式空気流量計に
関する。
自動車のエンジン制御に供する発熱抵抗式空気流量計に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、例えば特開昭57−184923
号公報に記載されているように空気流量計の出力スパン
は発熱抵抗体の電流検出端子に接続される抵抗を調整
し、零は差動増幅器の基準入力電圧を換えることによっ
て調整していた。
号公報に記載されているように空気流量計の出力スパン
は発熱抵抗体の電流検出端子に接続される抵抗を調整
し、零は差動増幅器の基準入力電圧を換えることによっ
て調整していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、発熱
抵抗体の温度が製品によって異なり、空気流量計の出力
の零調整をするとスパンが変わってしまい、零調整とス
パン調整を繰り返しお互いの目標値になるように収束さ
せなければならず、出力調整が困難であった。即ち、零
調整とスパン調整とが干渉せず独立に調整するというこ
とができないという問題があった。また、任意の１流量
点における出力の温度補償はなされているが、全流量域
における出力の温度補償はできず、温度変化に対する精
度が十分に確保することができなかった。
抵抗体の温度が製品によって異なり、空気流量計の出力
の零調整をするとスパンが変わってしまい、零調整とス
パン調整を繰り返しお互いの目標値になるように収束さ
せなければならず、出力調整が困難であった。即ち、零
調整とスパン調整とが干渉せず独立に調整するというこ
とができないという問題があった。また、任意の１流量
点における出力の温度補償はなされているが、全流量域
における出力の温度補償はできず、温度変化に対する精
度が十分に確保することができなかった。
【０００４】本発明の目的は、零調整とスパン調整とを
干渉することなく調整可能な発熱抵抗式空気流量計を提
供することにある。
干渉することなく調整可能な発熱抵抗式空気流量計を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、空気流量を
検出するための発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度
を検出するための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度
を制御し、そのときの制御状態を電気信号として出力す
る駆動回路とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、
一方の入力端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増
幅器からの信号が入力され、他方の入力端子に一定の電
圧を維持する維持手段からの信号が入力される減算器
と、前記維持手段の維持すべき電圧を変更する手段と、
前記増幅器の増幅率を変更する手段と、を備えたことに
よって達成される。
検出するための発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度
を検出するための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度
を制御し、そのときの制御状態を電気信号として出力す
る駆動回路とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、
一方の入力端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増
幅器からの信号が入力され、他方の入力端子に一定の電
圧を維持する維持手段からの信号が入力される減算器
と、前記維持手段の維持すべき電圧を変更する手段と、
前記増幅器の増幅率を変更する手段と、を備えたことに
よって達成される。
【０００６】また、上記目的は、空気流量を検出するた
めの発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度を検出する
ための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度を制御し、
そのときの制御状態を電気信号として出力する駆動回路
とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、一方の入力
端子に前記駆動回路からの信号が入力され、他方の入力
端子に一定の電圧を維持する維持手段からの信号が入力
される減算器と、前記維持手段の維持すべき電圧を変更
する手段と、前記減算器の出力を増幅する増幅器と、前
記増幅器の増幅率を変更する手段と、を備えたことによ
って達成される。
めの発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度を検出する
ための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度を制御し、
そのときの制御状態を電気信号として出力する駆動回路
とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、一方の入力
端子に前記駆動回路からの信号が入力され、他方の入力
端子に一定の電圧を維持する維持手段からの信号が入力
される減算器と、前記維持手段の維持すべき電圧を変更
する手段と、前記減算器の出力を増幅する増幅器と、前
記増幅器の増幅率を変更する手段と、を備えたことによ
って達成される。
【０００７】また、上記目的は、空気流量を検出するた
めの発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度を検出する
ための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度を制御し、
そのときの制御状態を電気信号として出力する駆動回路
とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、一方の入力
端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増幅器からの
信号が入力され、他方の入力端子に一定の電圧が入力さ
れる減算器と、前記一定の電圧を変更する手段とを備
え、前記増幅器は一方の入力端子と出力端子との間に温
度係数の異なる２つの抵抗体を設けたことによって達成
される。
めの発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の周辺温度を検出する
ための感温抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度を制御し、
そのときの制御状態を電気信号として出力する駆動回路
とを備えた発熱抵抗式空気流量計において、一方の入力
端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増幅器からの
信号が入力され、他方の入力端子に一定の電圧が入力さ
れる減算器と、前記一定の電圧を変更する手段とを備
え、前記増幅器は一方の入力端子と出力端子との間に温
度係数の異なる２つの抵抗体を設けたことによって達成
される。
【０００８】
【作用】発熱抵抗体に流れる電流が基準抵抗体により電
圧信号に変換される。この電圧信号を所定の傾きになる
ように非反転増幅器によりスパン調整される。この調整
された信号から零点が所定の電圧になるように基準電源
電圧で調整されボルテージフォロワを介した電圧信号が
減算器で減算させる。このため、零−スパンが独立に調
整できる。
圧信号に変換される。この電圧信号を所定の傾きになる
ように非反転増幅器によりスパン調整される。この調整
された信号から零点が所定の電圧になるように基準電源
電圧で調整されボルテージフォロワを介した電圧信号が
減算器で減算させる。このため、零−スパンが独立に調
整できる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図によって説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例を示す図、図２
は本発明の空気流量計の断面図である。これら図１，図
２を用いて基本動作と基本構造を説明する。１は発熱抵
抗体、２は空気温度を検出するための感温抵抗体で空気
通路３０内に置かれている。４は発熱抵抗体１に流れた
電流を電圧に抵抗するための基準抵抗で抵抗５，６，７
とともにブリッジ回路が形成されている。このブリッジ
回路は発熱抵抗体１と感温抵抗体２とで発熱抵抗体１が
空気温度に対して常に所定の温度になるように差動増幅
器８，９を介しトランジスター３を制御している。した
がって、発熱抵抗体１が一定温度に制御されているとき
基準抵抗４に流れる電流Ｉｈは（１）式に示されるよう
に空気流量Ｑに対応して変化する。すなわち基準抵抗４
の端子電圧Ｖｏは（２）式に示されるように空気流量Ｑ
に対応して変化する。ここでこの発熱抵抗体１の制御を
する部分は駆動回路１０２である。
は本発明の空気流量計の断面図である。これら図１，図
２を用いて基本動作と基本構造を説明する。１は発熱抵
抗体、２は空気温度を検出するための感温抵抗体で空気
通路３０内に置かれている。４は発熱抵抗体１に流れた
電流を電圧に抵抗するための基準抵抗で抵抗５，６，７
とともにブリッジ回路が形成されている。このブリッジ
回路は発熱抵抗体１と感温抵抗体２とで発熱抵抗体１が
空気温度に対して常に所定の温度になるように差動増幅
器８，９を介しトランジスター３を制御している。した
がって、発熱抵抗体１が一定温度に制御されているとき
基準抵抗４に流れる電流Ｉｈは（１）式に示されるよう
に空気流量Ｑに対応して変化する。すなわち基準抵抗４
の端子電圧Ｖｏは（２）式に示されるように空気流量Ｑ
に対応して変化する。ここでこの発熱抵抗体１の制御を
する部分は駆動回路１０２である。
【００１１】 Ｉｈ2Ｒｈ＝(Ａ＋Ｂ√Ｑ)(Ｔｈ−Ｔａ) …（１） ここで、Ｒｈ ：発熱抵抗体の発熱時の抵抗値 Ａ，Ｂ：発熱抵抗体の定数 Ｔｈ ：発熱抵抗体の発熱温度 Ｔａ ：空気温度 である。
【００１２】Ｖｏ＝Ｒ４｛(Ａ＋Ｂ√Ｑ)／Ｒｈ(Ｔｈ−
Ｔａ)｝ …（２） ここで、Ｒ４：基準抵抗４の抵抗値 である。
Ｔａ)｝ …（２） ここで、Ｒ４：基準抵抗４の抵抗値 である。
【００１３】この端子電圧Ｖｏの個間ばらつきは発熱抵
抗体の製造ばらつきによって発生する。このばらつきを
吸収し、所定の出力を得るために出力調整回路１０１が
設けられる。図３は従来使われていた回路構成を示す。
これによると所定のスパンになるように発熱抵抗体１に
流れた電流を検出する抵抗４に接続されている抵抗４ａ
を調整する。これによると発熱抵抗体１の温度が変わ
り、温度特性が悪化する。また零は差動増幅器７４の基
準入力電圧を抵抗７６，７７，７８を変えることにより
調整する。これによると端子電圧Ｖｏと出力電圧Ｖout
は（３）式で表される。
抗体の製造ばらつきによって発生する。このばらつきを
吸収し、所定の出力を得るために出力調整回路１０１が
設けられる。図３は従来使われていた回路構成を示す。
これによると所定のスパンになるように発熱抵抗体１に
流れた電流を検出する抵抗４に接続されている抵抗４ａ
を調整する。これによると発熱抵抗体１の温度が変わ
り、温度特性が悪化する。また零は差動増幅器７４の基
準入力電圧を抵抗７６，７７，７８を変えることにより
調整する。これによると端子電圧Ｖｏと出力電圧Ｖout
は（３）式で表される。
【００１４】 Ｖout＝｛１＋(Ｒ７７＋Ｒ７５)×Ｒ７５／(Ｒ７７×Ｒ７５＋Ｒ７５ ×Ｒ７６＋Ｒ７６×Ｒ７７)｝×｛Ｒ７３／(Ｒ７３＋Ｒ７２)｝ ×Ｖｏ−｛(Ｒ７８×Ｒ７５)／(Ｒ７７×Ｒ７８＋Ｒ７８×Ｒ７６ ＋Ｒ７６×Ｒ７７)｝×Ｖref …（３） ここで、Ｖref ：基準電圧 Ｒ７２：抵抗７２の抵抗値 Ｒ７３：抵抗７３の抵抗値 Ｒ７５：抵抗７５の抵抗値 Ｒ７６：抵抗７６の抵抗値 Ｒ７７：抵抗７７の抵抗値 Ｒ７８：抵抗７８の抵抗値 である。
【００１５】（３）式からも分かるように零調整用抵抗
を調整するとスパンも変化する。
を調整するとスパンも変化する。
【００１６】それに対し本実施例は、１１の差動増体器
と１２，１３の抵抗体で構成した非反転増幅器と２１の
差動増幅器の出力と負入力が接続されたボルテージフォ
ロワと１８の差動増幅器と１４，１５，１６，１７の抵
抗で形成された減算器とで形成されている。これらは基
板７０の上に形成され、ケース８０の中に実装されてい
る。これによると端子電圧Ｖｏと出力電圧Ｖout は
（４）式で表される。
と１２，１３の抵抗体で構成した非反転増幅器と２１の
差動増幅器の出力と負入力が接続されたボルテージフォ
ロワと１８の差動増幅器と１４，１５，１６，１７の抵
抗で形成された減算器とで形成されている。これらは基
板７０の上に形成され、ケース８０の中に実装されてい
る。これによると端子電圧Ｖｏと出力電圧Ｖout は
（４）式で表される。
【００１７】 Ｖout＝｛(Ｒ１２＋Ｒ１３)／Ｒ１２｝×Ｖｏ −｛Ｒ１９／(Ｒ１９＋Ｒ２０)｝×Ｖref …（４） ここで、Ｒ１２：抵抗１２の抵抗値 Ｒ１３：抵抗１３の抵抗値 Ｒ１９：抵抗１９の抵抗値 Ｒ２０：抵抗２０の抵抗値 である。
【００１８】（４）式からも分かるように、Ｒ１２とＲ
１３とでスパンを調整し、Ｒ１９とＲ２０とで零を調整
する。零とスパンは互いに干渉せずに調整できる。調整
方法として空気を流しながら出力Ｖoutを測定し、出力
Ｖoutが所定の値になるように抵抗を調整しても良い
が、調整のしている間、空気を流し続けなければならな
いのでエネルギーの無駄になる。そこで調整している間
空気を流さない方法について、図４の調整手順のフロー
チャートを用いて示す。
１３とでスパンを調整し、Ｒ１９とＲ２０とで零を調整
する。零とスパンは互いに干渉せずに調整できる。調整
方法として空気を流しながら出力Ｖoutを測定し、出力
Ｖoutが所定の値になるように抵抗を調整しても良い
が、調整のしている間、空気を流し続けなければならな
いのでエネルギーの無駄になる。そこで調整している間
空気を流さない方法について、図４の調整手順のフロー
チャートを用いて示す。
【００１９】まず、任意の流量Ｑ１における基準抵抗の
端子電圧Ｖｏを測定し、その値をＶｏ１とする。次に任
意の流量Ｑ１とは異なる任意の流量Ｑ２における端子電
圧Ｖｏを測定する。この値をＶｏ２とする。ここで任意
の流量Ｑ１，Ｑ２における必要な出力をそれぞれＶout
１，Ｖout２とすると、(４)式より、Ｒ１２，Ｒ１３お
よびＲ１９，Ｒ２０は（５）式，（６）式のような関係
になる。
端子電圧Ｖｏを測定し、その値をＶｏ１とする。次に任
意の流量Ｑ１とは異なる任意の流量Ｑ２における端子電
圧Ｖｏを測定する。この値をＶｏ２とする。ここで任意
の流量Ｑ１，Ｑ２における必要な出力をそれぞれＶout
１，Ｖout２とすると、(４)式より、Ｒ１２，Ｒ１３お
よびＲ１９，Ｒ２０は（５）式，（６）式のような関係
になる。
【００２０】 (Ｒ１２＋Ｒ１３)／Ｒ１２＝(Ｖout１−Ｖout２)／(Ｖｏ２−Ｖｏ１) …（５） Ｒ２０−(Ｒ１９＋Ｒ２０)＝(Ｖｏ１Ｖout２−Ｖｏ２Ｖout１)／｛(Ｖｏ２ −Ｖｏ１)×Ｖref｝ …（６） （５）,(６）式からも分かるように、流量Ｑ１，Ｑ２に
置ける端子電圧Ｖｏ１，Ｖｏ２さえ測定しておけば、調
整すべき抵抗値は計算により一義的にもとまり、空気を
流さずにＲ１２，Ｒ１３，Ｒ１９，Ｒ２０の抵抗値を調
整するだけで出力が零−スパン干渉せずに調整できる。
置ける端子電圧Ｖｏ１，Ｖｏ２さえ測定しておけば、調
整すべき抵抗値は計算により一義的にもとまり、空気を
流さずにＲ１２，Ｒ１３，Ｒ１９，Ｒ２０の抵抗値を調
整するだけで出力が零−スパン干渉せずに調整できる。
【００２１】図５に非反転増幅器と減算器とボルテージ
フォロアの構成を変えた実施例を示す。この場合のＶｏ
に対するＶout の関係は次式になる。
フォロアの構成を変えた実施例を示す。この場合のＶｏ
に対するＶout の関係は次式になる。
【００２２】 Ｖout＝｛(Ｒ１２＋Ｒ１３)／Ｒ１２｝×｛Ｖｏ−Ｒ２０／(Ｒ１９ ＋Ｒ２０)×Ｖref｝ …（７） （７）式からも分かるように本実施例も零を先に調整し
スパンを後から調整することにより零とスパンが干渉せ
ずに調整することができる。
スパンを後から調整することにより零とスパンが干渉せ
ずに調整することができる。
【００２３】図６に本零−スパン独立回路を出力変換回
路の前段に設置した実施例を示す。４０は電圧を周波数
に、又は電流出力に換える変換回路である。これによる
と周波数出力の調整、あるいは電流出力も零−スパン独
立に行える。
路の前段に設置した実施例を示す。４０は電圧を周波数
に、又は電流出力に換える変換回路である。これによる
と周波数出力の調整、あるいは電流出力も零−スパン独
立に行える。
【００２４】図７に非反転増幅回路の負帰還部に他の抵
抗と温度係数の違う抵抗体を具備し、温度係数の違う抵
抗体が吸入空気にさらされる位置に設置された実施例を
示す。
抗と温度係数の違う抵抗体を具備し、温度係数の違う抵
抗体が吸入空気にさらされる位置に設置された実施例を
示す。
【００２５】従来使われていた回路は電源回路Ｖref 温
度室化をもたせ任意の流量Ｑａにおける吸気温度変化に
対する出力Ｖout の変化を零にしていた。しかし、これ
によると全流量域でのＶout の変化が流量によって一律
でないためできない。吸入空気温度に対する出力Ｖout
の変化量が吸入流量によって一律でないのは（８）式で
表される様に熱伝達係数ｈがＣ１，Ｃ２の関係であり、
Ｃ１，Ｃ２が図８で示されるように温度に依存してい
る。
度室化をもたせ任意の流量Ｑａにおける吸気温度変化に
対する出力Ｖout の変化を零にしていた。しかし、これ
によると全流量域でのＶout の変化が流量によって一律
でないためできない。吸入空気温度に対する出力Ｖout
の変化量が吸入流量によって一律でないのは（８）式で
表される様に熱伝達係数ｈがＣ１，Ｃ２の関係であり、
Ｃ１，Ｃ２が図８で示されるように温度に依存してい
る。
【００２６】 ｈ＝Ｃ１＋Ｃ２√Ｑ …（８） ここでＣ１，Ｃ２は定数である。
【００２７】このため任意の流量Ｑａにおける出力変化
を零にできても全流量域で変化量を零にはできない。し
たがって空気流量に対する出力誤差ｄＱ／Ｑが図９に示
すように変化する。そこで流量変化に対しそれを打ち消
すような温度係数を持った抵抗体を設置し、吸気温によ
る変化を０にする。従来回路と組み合わせることによ
り、零とスパンの温度変化を補正できる。
を零にできても全流量域で変化量を零にはできない。し
たがって空気流量に対する出力誤差ｄＱ／Ｑが図９に示
すように変化する。そこで流量変化に対しそれを打ち消
すような温度係数を持った抵抗体を設置し、吸気温によ
る変化を０にする。従来回路と組み合わせることによ
り、零とスパンの温度変化を補正できる。
【００２８】図１０，図１１に調整可能な他の抵抗１２
ａ，１３ａと調整可能な温度係数の違う抵抗体５０ａを
具備した実施例を、図１２には固定の温度係数の違う抵
抗体５０を差動増幅器１１の負入力とアースとの間に設
置した実施例を示す。図１３に該温度係数の違う抵抗体
５０をモノリシック抵抗で形成しＩＣの中に具備した実
施例を示す。この実施例によると温度係数のばらつきに
よる精度は落ちるが、安価に作ることができる。該温度
係数の違う抵抗体、又は該温度係数の違う抵抗体を内蔵
したＩＣを基板に設置し、基板ごと直接吸入空気にさら
す、または、図１４の実施例のように、該基板を吸入空
気温に近くなるような位置に設置する、または、構造に
することによりＩＣ他の素子を保護でき、信頼性を向上
することができる。
ａ，１３ａと調整可能な温度係数の違う抵抗体５０ａを
具備した実施例を、図１２には固定の温度係数の違う抵
抗体５０を差動増幅器１１の負入力とアースとの間に設
置した実施例を示す。図１３に該温度係数の違う抵抗体
５０をモノリシック抵抗で形成しＩＣの中に具備した実
施例を示す。この実施例によると温度係数のばらつきに
よる精度は落ちるが、安価に作ることができる。該温度
係数の違う抵抗体、又は該温度係数の違う抵抗体を内蔵
したＩＣを基板に設置し、基板ごと直接吸入空気にさら
す、または、図１４の実施例のように、該基板を吸入空
気温に近くなるような位置に設置する、または、構造に
することによりＩＣ他の素子を保護でき、信頼性を向上
することができる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、零調整とスパン調整と
を干渉することなく調整でき、高精度の空気流量の検出
が可能となる。
を干渉することなく調整でき、高精度の空気流量の検出
が可能となる。
【図１】本発明の実施例を示す図。
【図２】本発明の実施例の空気流量計の断面図。
【図３】従来の空気流量計を示す図。
【図４】本発明の調整法のフローチャート。
【図５】本発明の他の実施例を示す図。
【図６】本発明の他の実施例を示す図。
【図７】本発明の他の実施例を示す図。
【図８】熱伝達係数と空気流量の関係を示す図。
【図９】空気流量と温度による誤差の関係を示す図。
【図１０】温度調整可能な増幅器の構成を示す図。
【図１１】温度調整可能な増幅器の構成を示す図。
【図１２】温度調整可能な増幅器の構成を示す図。
【図１３】温度調整可能な増幅器の構成を示す図。
【図１４】本発明の他の実施例を示す空気流量計の断面
図。
図。
１…発熱抵抗体、２…感温抵抗体、３…トランジスタ、
４…電流検出基準抵抗体、５，６，７，１０，１４，１
５，１６，１７…抵抗体、８，９，１１，１８，２１…
差動増幅器、１２，１３，１９，２０…調整可能な抵抗
体、３０…空気通路、４０…出力変換器、５０…温度係
数の違う抵抗体、５０ａ…調整可能な温度係数の違う抵
抗体、６０…ＩＣ、７０…基板、１０１…駆動回路、１
０２…出力調整回路。
４…電流検出基準抵抗体、５，６，７，１０，１４，１
５，１６，１７…抵抗体、８，９，１１，１８，２１…
差動増幅器、１２，１３，１９，２０…調整可能な抵抗
体、３０…空気通路、４０…出力変換器、５０…温度係
数の違う抵抗体、５０ａ…調整可能な温度係数の違う抵
抗体、６０…ＩＣ、７０…基板、１０１…駆動回路、１
０２…出力調整回路。
フロントページの続き (72)発明者 米田 浩志 茨城県勝田市大字高場字鹿島谷津2477番 地３ 日立オートモティブエンジニアリ ング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−28621（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−184923（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−35109（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−133783（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/68 - 1/699
Claims (10)
- 【請求項１】空気流量を検出するための発熱抵抗体と、 該発熱抵抗体の周辺温度を検出するための感温抵抗体
と、 前記発熱抵抗体の温度を制御し、そのときの制御状態を
電気信号として出力する駆動回路とを備えた発熱抵抗式
空気流量計において、 一方の入力端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増
幅器からの信号が入力され、他方の入力端子に一定の電
圧を維持する維持手段からの信号が入力される減算器
と、 前記維持手段の維持すべき電圧を変更する手段と、 前記増幅器の増幅率を変更する手段と 、を備えた ことを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項２】請求項１において、前記維持手段は、 差動増幅器の出力と負入力とが接続さ
れたボルテージフォロワによって構成されていることを
特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項３】請求項１において、 前記増幅器は非反転増幅器であることを特徴とする発熱
抵抗式空気流量計。 - 【請求項４】空気流量を検出するための発熱抵抗体と、 該発熱抵抗体の周辺温度を検出するための感温抵抗体
と、 前記発熱抵抗体の温度を制御し、そのときの制御状態を
電気信号として出力する駆動回路とを備えた発熱抵抗式
空気流量計において、 一方の入力端子に前記駆動回路からの信号が入力され、
他方の入力端子に一定の電圧を維持する維持手段からの
信号が入力される減算器と、 前記維持手段の維持すべき電圧を変更する手段と、 前記減算器の出力を増幅する増幅器と、 前記増幅器の増幅率を変更する手段と 、を備えた ことを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項５】請求項４において、 前記減算器の出力を増幅する非反転増幅器を設けたこと
を特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項６】請求項４または５において、 前記維持手段は、差動増幅器の出力と負入力とが接続さ
れたボルテージフォロワによって構成されていることを
特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項７】空気流量を検出するための発熱抵抗体と、 該発熱抵抗体の周辺温度を検出するための感温抵抗体
と、 前記発熱抵抗体の温度を制御し、そのときの制御状態を
電気信号として出力する駆動回路とを備えた発熱抵抗式
空気流量計において、 一方の入力端子に前記駆動回路の出力信号を増幅する増
幅器からの信号が入力され、他方の入力端子に一定の電
圧が入力される減算器と、 前記一定の電圧を変更する手段とを備え、 前記増幅器は一方の入力端子と出力端子との間に温度係
数の異なる２つの抵抗体を設けたことを特徴とする発熱
抵抗式空気流量計。 - 【請求項８】請求項７において、 前記２つの抵抗体のうちの１つは空気通路に設けられて
いることを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項９】請求項７において、 前記減算器に入力される一定の電圧は差動増幅器の出力
と負入力とが接続されたボルテージフォロワによって出
力されることを特徴とする発熱抵抗式空気流量計。 - 【請求項１０】請求項７において、 前記増幅器は非反転増幅器であることを特徴とする発熱
抵抗式空気流量計。
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