JP2002116074A - 発熱抵抗式空気流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】計測する空気の温度変化に対する温度補正を全
流量域に亘って行い流量を高精度に計測できる発熱抵抗
式空気流量計を提供する。 【解決手段】空気通路30に設置された発熱抵抗体1、感
温抵抗体2と、該発熱抵抗体1に流れた電流を電圧信号に
変換する基準抵抗体4とからなるブリッジ回路を有し空
気流を検出する定温度制御回路102と、増幅率を決める
複数の増幅用抵抗対を有し電圧信号を流量信号として増
幅する出力増幅回路103とを含み空気流量を計測するも
のにおいて、出力増幅回路103は、複数の増幅用抵抗体
のうち少なくとも１つの増幅用抵抗体50が、他の増幅用
抵抗体13，14，15，16，51の温度係数とは異なり、空気
流の温度変化による増幅率の変化を打ち消す関係にある
温度係数を有する異種抵抗体Rsから選定され、空気流の
温度変化に対し温度補正する補正手段を備えた発熱抵抗
式空気流量計。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は空気流量計に係り、
特に、自動車のエンジン制御に供する発熱抵抗式空気流
量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】環境保護や省資源等から自動車のエンジ
ンに対して、より高精度な燃焼制御が要求され、このた
めに、吸入空気量を高精度に検出できる空気流量計が望
まれている。これに応える従来技術の空気流量計とし
て、特開昭６０−１００２１８号公報に開示されたもの
がある。この開示技術によれば、発熱抵抗式空気流量計
の電源回路のツェナーダイオード電流を調整することに
より、吸入空気温度変化に対する計測値の温度補正を行
っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、計測される空気流量の如何に関わらず、流量信号
に対し、吸入空気温度に応じた一定の電圧を変化させる
補正だけであった。したがって、任意の１流量点におけ
る流量信号の温度補正は為されるが、実際には発熱抵抗
体に流れる空気の温度によって空気流量に対応する流量
信号が変化するので、すなわち、流量の吸入空気温度に
よる依存性があるため、全流量域における流量信号の温
度補正は為されず、温度変化に対する精度は不十分であ
った。換言すれば、吸入空気温度変化に対する計測値の
温度補正は、任意の１流量点のみであって、全流量域に
亘って為されておらず、計測精度上に問題があった。

【０００４】従って、本発明の目的は、計測する空気流
の温度変化に対する温度補正を全流量域に亘って行い、
流量を高精度に計測できる発熱抵抗式空気流量計を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、空気通路
に設置された発熱抵抗体と感温抵抗体、及び該発熱抵抗
体に流れた電流を電圧信号に変換する基準抵抗体からな
るブリッジ回路を有し空気流を検出する定温度制御回路
と、増幅率を決める複数の増幅用抵抗体を有し前記電圧
信号を流量信号として増幅する出力増幅回路とを含み、
空気流量を計測する発熱抵抗式空気流量計において、
前記出力増幅回路は、複数の前記増幅用抵抗体のうち少
なくとも１つの前記増幅用抵抗体が、他の前記増幅用抵
抗体の温度係数とは異なり、前記空気流の温度変化によ
る前記増幅率の変化を打ち消す関係にある温度係数を有
する異種抵抗体から選定され、前記空気流の温度変化に
対し温度補正する補正手段を備えることにより達成され
る。

【０００６】そして、補正手段を出力増幅回路の入力段
の基準抵抗体の端子電圧側とアース間に接続する、また
は出力増幅回路の入力段の基準抵抗体の端子電圧側と足
切り電圧側間に接続する、あるいは出力増幅回路の差動
増幅器のフィードバック部位に接続することが望まし
い。

【０００７】

【発明の実施の形態】上記手段とすることにより、計測
する空気流の温度変化に対する温度補正を全流量域に亘
って行うことができる。すなわち、定温度制御回路の発
熱抵抗体に流れた電流が、基準抵抗体により電圧信号に
変換され、該電圧信号は流量信号として増幅するための
出力増幅回路に送られる。この出力増幅回路の増幅率を
決める複数の増幅用抵抗体のうち、少なくとも１つの増
幅用抵抗体を、他の増幅用抵抗体の温度係数とは異なる
温度係数を有する異種抵抗体で構成することによって、
空気温度による増幅率の変化を打ち消す、即ち、温度変
化による発熱抵抗体の熱伝達係数の変化を打ち消すこと
により、流量の吸入空気温度による依存性を無くすこと
ができる。これにより、全流量域において計測値の温度
補正ができる。

【０００８】

【実施例】本発明による実施例について、図面を参照し
説明する。

【０００９】図１は、本発明による一実施例の発熱抵抗
式空気流量計を示す回路構成図である。図２は、図１の
発熱抵抗式空気流量計を実装した場合の流量計測部の断
面を示す図である。図１と図２から、構成と動作につい
て説明する。

【００１０】図１に示した発熱抵抗式の空気流量計は、
空気通路30内に設置され空気流量を計測するための発熱
抵抗体１及び感温抵抗体２と、発熱抵抗体１及び感温抵
抗体２に結線された定温度制御回路102と、出力増幅回
路103と、電源回路101とを含み構成される。そして、定
温度制御回路102において、発熱抵抗体１に流れた電流
を電圧信号に変換するための基準抵抗体４が、発熱抵抗
体１及び感温抵抗体２と組み合わされて、発熱抵抗体１
が空気温度に対して常に所定温度になるようにブリッジ
回路を構成し、所謂熱線式流量計が構成されている。
尚、このような熱線式流量計については広く知られてい
るので、構成と動作の説明は省略する。

【００１１】図２に示した実装例は、例えば内燃機関の
吸気管である空気通路30に、発熱抵抗体１や感温抵抗体
２などが配設された発熱抵抗式空気流量計の断面図であ
る。そして、流量計測部100は、発熱抵抗体１や感温抵
抗体２などからなる検出部、定温度制御回路102などが
組み込まれた基板70等を備える発熱抵抗式空気流量計の
本体部分である。

【００１２】上記構成の動作について説明する。発熱抵
抗体１が一定温度に制御されているとき、基準抵抗体４
に流れる電流Ｉhは、(数1)式に示されるように、空気通
路30内を流れる空気流量Ｑに対応して変化する。

【００１３】 Ｉh²・Ｒh＝(Ａ＋Ｂ√Ｑ)・(Ｔh−Ｔa) (数1) Ｒh：発熱抵抗体１の発熱時の抵抗値 Ａ，Ｂ：発熱抵抗体１の定数 Ｔh：発熱抵抗体１の発熱温度 Ｔa：吸入空気温度

【００１４】そして、基準抵抗体４の電流から変換した
電圧信号としての端子電圧Ｖoは、(数2)式に示されるよ
うに、空気流量Ｑに対応して変化する。

【００１５】 Ｖo＝Ｒ4・√｛(Ａ＋Ｂ√Ｑ)・(Ｔh−Ｔa)/Ｒh｝ (数2) Ｒ4：基準抵抗体４の抵抗値

【００１６】次に、基準抵抗体４の端子電圧Ｖoは、出
力増幅回路103を構成している、増幅用抵抗体としての
抵抗体５０と抵抗体５１とにより分圧される。そしてさ
らに、差動増幅器１１と複数の増幅用抵抗体としての抵
抗体１３，１４，１５，１６とからなる出力増幅回路10
3によって、電源回路101で作られた基準電圧Ｖrefが用
いられて、（数３）式のように増幅されて出力される。
尚、電源回路101は、特開６０−１００２１８号公報に
示された回路であり温度補正機能を持っている。したが
って、基準抵抗体４の電流から変換した電圧信号の、流
量信号として増幅された出力電圧Ｖoutは、次式で表わ
せる。

【００１７】 Ｖout={(Rs/(R51+Rs))・(1+((R15+R16)・R13)/(R14R15+R15R16+R16R14)}Vo -{(R16R13)/(R14R15+R15R16+R16R14)}Vref (数3) ただし、 Ｖout：出力電圧 Ｖref：基準電圧 Ｒ13：抵抗体13の抵抗値 Ｒ14：抵抗体14の抵抗値 Ｒ15：抵抗体15の抵抗値 Ｒ16：抵抗体16の抵抗値 Ｒ51：抵抗体51の抵抗値 Ｒs ：異種抵抗体50の抵
抗値

【００１８】ここで、（数１）式などにある (A+B√Q)
は、熱伝達率ｈに相当するものである。そして、一般
に、発熱抵抗体の熱伝達率ｈは、図３に示すように吸入
空気温度Ｔaに依存することが知られている。ここに、
流量の吸入空気温度による依存性の因がある。

【００１９】図３は、空気流量√Ｑと熱伝達率ｈとの関
係を表す図である。熱伝達率ｈは、空気流量√Ｑと、切
片Ａと、勾配Ｂとの一次関数となり、 切片Ａ(Ta)と勾
配Ｂ(Ta)は、その時の吸入空気温度Ｔaをパラメータと
している。

【００２０】したがって、従来技術のように、電源回路
101に温度補正機能を持たせて任意の流量Ｑａにおいて
温度変化に対する出力変化を０(零)にしても、即ち、温
度補正機能を有する電源回路101のみで任意の１流量点
である流量Ｑａにおいて、温度変化に対する流量の誤差
(出力変化)を零にしても、次の図４に示すように、他の
流量点において検出の誤差(dＱ／Ｑ)を生じ、補正し切
れないことが判る。

【００２１】図４は、空気流量と誤差との関係を表す図
である。図の場合は、吸入空気温度Ｔa＝20℃を基準と
し温度補正している。従って、Ｔa＝20℃の場合は、全
流量域において問題ないが、基準から外れて、Ｔa＝−2
0℃ や 80℃となった場合、１つの流量点である流量Ｑ
ａにおいてのみ誤差は零となるが、他の流量点において
誤差を生じることを示している。

【００２２】以上の図３と図４が、前述した流量の吸入
空気温度に対する依存性についての説明である。そこ
で、吸入空気温度によらず、全流量域において誤差を生
じないようにすることが本発明である。これについて説
明する。

【００２３】出力増幅回路103において、差動増幅器１
１の傾き(増幅率)を決める複数の増幅用抵抗体のうち、
１つの増幅用抵抗体としての抵抗体５０を異種抵抗体Ｒ
ｓとしての異種抵抗体５０とし、該異種抵抗体５０の温
度係数を残りの増幅用抵抗体の温度係数と異なる値にす
る。すなわち、出力増幅回路103を構成する複数の増幅
用抵抗体のうち、例えば、出力増幅回路103の入力段の
基準抵抗体４の端子電圧側とアース間に接続された抵抗
体５０を、他の複数の増幅用抵抗体の温度係数とは異な
る、温度係数α値を有する異種抵抗体５０とする。そし
て、出力増幅回路103を構成する残りの抵抗体を、温度
係数β値を有する一般の抵抗体とする。以下の説明で抵
抗体５０は、異種抵抗体５０または異種抵抗体Ｒｓと呼
称する。

【００２４】これによって、（数3）式の出力電圧Ｖout
は、（数4）式のように変換することができる。

【００２５】 Ｖout={(1＋αTa)・Rso/((1+βTa)・R51o+(1+αTa)・Rso)}・a・Ｖo-b (数4) R51o:0℃におけるR51の抵抗値 Rso :0℃におけるR50の抵抗値 α :Rs(R50)の温度係数 β :R13,R14,R15,R16,R51の温度係数 a :抵抗比率 a＝1+((R15+R16)・R13)/(R14R15+R15R16+R
16R14) b :抵抗比率 b＝(R16R13)/(R14R15+R15R16+R16R14)
（a,bは温度に関係なく一定になる。）

【００２６】そして、適切なる温度係数α，βおよび抵
抗比率 a,bを選定することにより、熱伝達率ｈの吸入空
気温度Ｔaによる依存性を無くし、空気流の温度変化に
対し流量信号として出力される出力電圧Ｖoutを温度補
正する補正手段を備えることができる。

【００２７】すなわち、（数４）式において、温度係数
α>>１であれば、(1+αTa)/((1+βTa)+(1+αTa))は、１
／(β/α+１)と近似することができる。すなわち、（数
４）式からTaの項を無くし、吸入空気温度Taによる増幅
率の変化を打ち消すことができる。換言すれば、吸入空
気温度Taの影響を無くすことができる。この結果、吸入
空気温度Taの変化に対する計測値の温度補正が、全流量
域に亘って為されることになる。

【００２８】尚、出力増幅回路の増幅率を決める複数の
抵抗体のうち、少なくとも１つの抵抗体５０を、他の複
数の抵抗体の温度係数とは異なる温度係数を有する異種
抵抗体Ｒsで構成し、基準抵抗体４の電流の、すなわち
該電流から変換した電圧信号(即ち、流量信号)の吸入空
気温度Taによる増幅率の変化を打ち消すよう構成した補
正手段において、１つの抵抗体５０を選択したが、（数
４）式から吸入空気温度Taの影響を無くすことができる
ならば、１つの抵抗体に拘泥する必要は無い。図５は、
本発明による他の実施例の発熱抵抗式空気流量計を示す
回路構成図である。図５は、温度係数の異なる異種抵抗
体Ｒｓを基準抵抗体４の端子電圧と足切り電圧部に接続
した実施例である。すなわち、補正手段が出力増幅回路
の入力段の基準抵抗体の端子電圧側と足切り電圧側間に
接続されたものである。

【００２９】本実施例の出力電圧Voutは（数５）式にな
る。 Vout=(Rs/(R51+Rs))・(1+(R13/R14))・(Vo-Vsn)+Vsn (数5) ただし、R51>>R16, Rs>>R16 Vsn=(R16/(R15+R16))・Vref とする。

【００３０】出力増幅回路103の増幅率は、複数の抵抗
体１３，１４，１５，１６などによって決定されるが、
図５の実施例によれば、R51及びRsにのみから決定され
るようになり、R13，R14，R15，R16の抵抗体自体のバラ
ツキや温度変化による抵抗値の影響を受けないものとす
る、または少なくすることができる。

【００３１】図６は、本発明によるもう一つ別の実施例
の発熱抵抗式空気流量計を示す回路構成図である。図６
は、温度係数の異なる異種抵抗体５０を差動増幅器１１
のフィードバック部位に接続した実施例である。すなわ
ち、補正手段が出力増幅回路の増幅率を決定する差動増
幅器のフィードバック部位に結線されたものである。こ
の実施例によると出力Voutは、(数6)式のようになる。

【００３２】 Vout={(R32o+R33o+Rso・(1＋αTa)/(1+βTa))/R32o}・Vo -(R20o/(R19o+R20o))・Vref (数6) ただし、 R32o:0℃におけるR32の抵抗値 R33o:0℃にお
けるR33の抵抗値 R19o:0℃におけるR19の抵抗値 R20o:0℃におけるR20の
抵抗値 Rso :0℃におけるR50の抵抗値

【００３３】なお、抵抗体１９，２０，３２，３３，３
４，３５，３６，３７は、増幅用抵抗体である。そし
て、R34＝R35＝R36＝R37は、同じの抵抗値を有する。

【００３４】この場合も、適切に温度係数αとβを選定
することにより、Ｖoの熱伝達率の吸気温度による依存
性を補正することができる。

【００３５】なお、図中のプルダウン抵抗５２は、異種
抵抗体Ｒｓの降下電圧を小さくできる場合はなくても良
い。

【００３６】図７は、異種抵抗体Ｒsの他の実施例を示
す図である。図１から図６までの異種抵抗体Ｒsは、一
般に用いられる炭素皮膜抵抗、金属皮膜抵抗、印刷用抵
抗ペーストなどから作られたものであって、温度係数の
異なる抵抗体であった。

【００３７】これに対し、図７の実施例の異種抵抗体Ｒ
sは、感温抵抗体２と構造が同じである抵抗体素子510を
使用したものである。すなわち、抵抗体素子510は、絶
縁体としてのボビン502に白金線501が巻かれ、さらに絶
縁体としてのガラス503が覆われ、該白金線501が導電体
としてのリード505と、支持体504とを介して、差動増幅
器１１に接続されているものである。白金線等からなる
抵抗体素子510の温度係数αは、3870ｐｐｍ／℃であ
る。この値は α>>１であり、かつ、炭素皮膜抵抗や金
属皮膜抵抗などからなる抵抗体１３，１４等の温度係数
βの100ｐｐｍ／℃位とは、大きく異なり、０℃におけ
る白金線の抵抗値を適度に設定することにより、Ｖoの
温度依存性を補正できる。すなわち、熱伝達率ｈの吸入
空気温度Ｔaによる依存性を無くすことができる。

【００３８】図８は、異種抵抗体Ｒsの別の実施例を示
す図である。異種抵抗体50は、サーミスタ520である。
図において、サーミスタ520が発熱抵抗体１や感温抵抗
体２などと一緒に内燃機関の吸気管である空気通路30に
配設された、流量計測部100が示されている。

【００３９】サーミスタ520の抵抗値Ｒtは一般的に(数
7)式で表わされる。

【００４０】 Ｒs＝Ｒt＝Rto・EXP{Ｂ・((1/Ta)−(1/To))} (数7) Rto:０℃におけるサーミスタの抵抗値 Ｂ :サーミスタの温度定数 To :273K 従って、前述の実施例と同様に、適度な値のＢを有する
サーミスタを選定することにより、Ｖoの温度依存性を
補正することができる。

【００４１】図９は、異種抵抗体Ｒsのもう１つ別の実
施例を示す図である。異種抵抗体50は、ＩＣチップ60に
内蔵されたモノリシック抵抗530である。ＩＣチップ60
のモノリシック抵抗530の温度係数は、通常1000ｐｐｍ/
℃以上あるため、他の増幅用抵抗体と異なった温度係数
を有するものとなる。従って、モノリシック抵抗530の
温度係数を適切に選定することによって、Ｖoの温度依
存性を補正することができる。

【００４２】この場合、モノリシック抵抗530だけに吸
入空気を当てることが難しいので、実装する場合に工夫
を加え、補正精度の低下を防ぐ必要がある。そこで、モ
ノリシック抵抗530を含むＩＣチップを、出力増幅回路1
03の基板70と一体に形成し、該基板全体を吸入空気中に
設置する例を図１０に示す。

【００４３】図１０は、図９の発熱抵抗式空気流量計を
実装した場合の流量計測部の断面を示す図である。図の
ように、該ＩＣチップ60を搭載した基板70全体を、例え
ば内燃機関の吸気管である空気通路30内に配設し、ＩＣ
チップ60やモノリシック抵抗530に吸入空気を直接当て
る流量計測部100の例である。これにより、ＩＣチップ6
0及びモノリシック抵抗530は、常に吸入空気温度と同じ
温度になり、補正精度は悪化しないものとなる。

【００４４】また、基板70を吸入空気に曝す場合、図１
１に示すように温度係数の異なる抵抗体、例えば、異種
抵抗体５０、抵抗体素子510またはサーミスタ520は、出
力増幅回路103の基板70と一体に形成されたものが望ま
しいと言える。

【００４５】図１１は、他の実施例の発熱抵抗式空気流
量計を実装した場合の流量計測部の断面を示す図であ
る。図１０とは異なる基板70全体を空気通路30内に配設
した例である。図のように、基板70上に搭載された異種
抵抗体Ｒsとしての抵抗体素子510またはサーミスタ520
を、該基板70と一緒に内燃機関の吸気管である空気通路
30内に配設し、抵抗体素子510等に吸入空気を当てる流
量計測部100の例である。図１１に示した実施例でも本
発明による温度補正が高精度に行える。

【００４６】

【発明の効果】本発明によれば、吸入空気温度変化に対
する温度補正が全流量域に亘って行われるので、吸入空
気量を高精度に計測できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による一実施例の発熱抵抗式空気流量
計を示す回路構成図である。

【図２】 図１の発熱抵抗式空気流量計を実装した場合
の流量計測部の断面を示す図である。

【図３】 空気流量と熱伝達率との関係を表す図であ
る。

【図４】 空気流量と誤差との関係を表す図である。

【図５】 本発明による他の実施例の発熱抵抗式空気流
量計を示す回路構成図である。

【図６】 本発明によるもう一つ別の実施例の発熱抵抗
式空気流量計を示す回路構成図である。

【図７】 異種抵抗体Ｒsの他の実施例を示す図であ
る。

【図８】 異種抵抗体Ｒsの別の実施例を示す図であ
る。

【図９】 異種抵抗体Ｒsのもう１つ別の実施例を示す
図である。

【図１０】 図９の発熱抵抗式空気流量計を実装した場
合の流量計測部の断面を示す図である。

【図１１】 他の実施例の発熱抵抗式空気流量計を実装
した場合の流量計測部の断面を示す図である。

【符号の説明】 １…発熱抵抗体、２…感温抵抗体、３…トランジスタ、
４…基準抵抗体、５，６，７，１０，１３，１４，１
５，１６，１９，２０，２３，２４，２６，３２，３
３，３４，３５，３６，３７，５１…抵抗体、８，９，
１１，１８，２１，２２…差動増幅器、２５…ツェナー
ダイオード、２７…ダイオード、３０…空気通路、５０
…異種抵抗体(Ｒs)、５２…プルダウン抵抗、６０…Ｉ
Ｃチップ、７０…基板、100…流量計測部、101…電源回
路、102…定温度制御回路、103…出力増幅回路、501…
白金線、502…ボビン、503…ガラス、504…支持体、505
…リード、510…抵抗体素子、520…サーミスタ、530…
モノリシック抵抗。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤松 培雄 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内 Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA03 EA05 EA09

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】空気通路に設置された発熱抵抗体、感温抵
   抗体と前記発熱抵抗体に流れる電流を電圧信号に変換す
   る基準抵抗体を含むブリッジ回路の電位差を第１の差動
   増幅器に入力し、任意の空気温度を基準温度として前記
   感温抵抗体によって温度補正を行い前記発熱抵抗体に供
   給する電流を制御する発熱抵抗式空気流量計において、
   前記基準抵抗体の電圧信号を増幅しＩＣチップに内蔵さ
   れている第２の差動増幅器を設け、前記第２の差動増幅
   器を構成する入力抵抗と帰還抵抗の増幅用抵抗体のいず
   れか一方の増幅用抵抗体は他方の増幅用抵抗体より温度
   係数を大きくしたことを特徴とする発熱抵抗式空気流量
   計。
2. 【請求項２】空気通路に設置された発熱抵抗体、感温抵
   抗体と前記発熱抵抗体に流れる電流を電圧信号に変換す
   る基準抵抗体を含むブリッジ回路の電位差を第１の差動
   増幅器に入力し、任意の空気温度を基準温度として前記
   感温抵抗体によって温度補正を行い前記発熱抵抗体が定
   抵抗になるように電流制御を行う発熱抵抗式空気流量計
   において、前記基準抵抗体の電圧信号を増幅しＩＣチッ
   プに内蔵されている第２の差動増幅器を設け、前記第２
   の差動増幅器を構成する入力抵抗と帰還抵抗の増幅用抵
   抗体のいずれか一方の増幅用抵抗体は他方の増幅用抵抗
   体より温度係数を大きくし、前記ＩＣチップを基板に搭
   載して前記空気通路に配置したことを特徴とする発熱抵
   抗式空気流量計。
3. 【請求項３】空気通路に設置された発熱抵抗体、感温抵
   抗体と前記発熱抵抗体に流れる電流を電圧信号に変換す
   る基準抵抗体を含むブリッジ回路の電位差を第１の差動
   増幅器に入力し、任意の空気温度を基準温度として前記
   感温抵抗体によって温度補正を行い前記発熱抵抗体の発
   熱と空気温度の差が所定値となるように前記発熱抵抗体
   に供給する電流を制御する発熱抵抗式空気流量計におい
   て、前記基準抵抗体の電圧信号を増幅しＩＣチップに内
   蔵されている第２の差動増幅器を設け、前記第２の差動
   増幅器を構成する帰還抵抗の増幅用抵抗体の温度係数は
   入力抵抗の増幅用抵抗体より大きくしたことを特徴とす
   る発熱抵抗式空気流量計。
4. 【請求項４】空気通路に設置された発熱抵抗体、感温抵
   抗体と前記発熱抵抗体に流れる電流を電圧信号に変換す
   る基準抵抗体を含むブリッジ回路の電位差を第１の差動
   増幅器に入力し、任意の空気温度を基準温度として前記
   感温抵抗体によって温度補正を行い前記発熱抵抗体の発
   熱と空気温度の差が所定値となるように前記発熱抵抗体
   に供給する電流を制御する発熱抵抗式空気流量計におい
   て、前記基準抵抗体の電圧信号を増幅しＩＣチップに内
   蔵されている第２の差動増幅器を設け、前記第２の差動
   増幅器を構成する帰還抵抗の増幅用抵抗体の温度係数は
   入力抵抗の増幅用抵抗体より大きくし、前記ＩＣチップ
   を基板に搭載して前記空気通路に配置したことを特徴と
   する発熱抵抗式空気流量計。