JPH11132810A

JPH11132810A - 空気流量測定装置およびその調整方法

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Publication number: JPH11132810A
Application number: JP9300310A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Kono; 泰河野; Rei Nagasaka; 玲永坂; Minoru Kondo; 稔近藤
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1997-10-31
Publication date: 1999-05-21

Abstract

(57)【要約】【課題】ブリッジ回路の抵抗値調整を省略することに
より製造工数を低減することができ、ブリッジ回路の抵
抗体を小さくすることにより小型化することが可能な空
気流量測定装置を提供する。【解決手段】発熱抵抗体および温度補償抵抗体の抵抗
値を測定して選別し、支持部材に選別した発熱素子およ
び感温素子を取付け、空気流量を測定し、アンプ回路の
出力電圧を所定電圧に調整し、最終出力特性を検査する
ことにより、ホイートストンブリッジ回路の第２の固定
抵抗器１１３および第３の固定抵抗器１１４の抵抗値の
調整を省略することができる。したがって、製造工数を
低減することができる。さらに、第２の固定抵抗器１１
３および第３の固定抵抗器１１４の抵抗値の調整が不要
となることにより、第２の固定抵抗器１１３および第３
の固定抵抗器１１４を比較的小さくすることができ、空
気流量測定装置を小型化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気流路を流れる
空気流量を測定する空気流量測定装置に関し、特に流量
測定素子部に発熱抵抗体を有する熱式空気流量測定装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、内燃機関の吸入空気量を測定
する空気流量測定装置として、流量測定素子部に発熱抵
抗体を有する熱式空気流量測定装置が知られている。熱
式空気流量測定装置は、温度変化に伴い抵抗値が変化す
る発熱抵抗体と、この発熱抵抗体が所定温度に達するま
で通電されるように発熱抵抗体と共にブリッジ回路を構
成する温度補償抵抗体とを吸入空気の流れの中に設置し
たもので、発熱抵抗体と吸入空気との間の熱伝達現象に
よる発熱抵抗体の温度変化を発熱抵抗体に流れる電流値
を電圧の変化として検出し、この温度変化を補償するに
必要な加熱電流を測定することで吸入空気量を測定して
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来より、このような
熱式空気流量測定装置では、発熱抵抗体や制御回路の製
造ばらつきによる出力特性のばらつきをなくすため、組
付け後に制御回路内の抵抗体の抵抗値を調整していた。
このような制御回路内の抵抗の抵抗値の調整方法とし
て、特開平８−４３１７６号公報に開示される空気流量
測定装置の調整方法が知られている。

【０００４】しかしながら、従来の空気流量測定装置の
調整方法では、発熱抵抗体の発熱温度を所定温度に調整
するため、ホイートストンブリッジ回路の抵抗体の抵抗
値を個々にレーザトリミング等により調整するホイート
ストンブリッジ回路の調整と、最終的に空気流量測定装
置から出力される出力電圧を所定電圧に調整するための
アンプ回路の出力電圧の調整とが必要であった。

【０００５】以下、従来の空気流量測定装置の調整工程
を図７に基づいて説明する。図７のステップＳ１１において、制御回路と電気的
に接続される支持部材に発熱抵抗体および温度補償抵抗
体を有する流量測定素子部を溶接により取付ける。図７のステップＳ１２において、流量測定素子部の
発熱抵抗体および温度補償抵抗体の抵抗値を測定する。

【０００６】図７のステップＳ１３において、ホイ
ートストンブリッジ回路の抵抗体の抵抗値をレーザトリ
ミング等により調整する。図７のステップＳ１４において、ホイートストンブ
リッジ回路の抵抗体の抵抗値調整後に空気流量を測定す
る。図７のステップＳ１５において、アンプ回路の出力
電圧を所定電圧に調整する。

【０００７】図７のステップＳ１６において、最終
出力特性を検査する。上記の〜に示したように、従来の空気流量測定装置
においては、ホイートストンブリッジ回路の抵抗値調整
とアンプ回路の出力電圧調整とをそれぞれ別工程にて調
整する必要があるため、製造工数が増大するという問題
があった。また、ホイートストンブリッジ回路の抵抗体
を調整可能としなければならないため、ホイートストン
ブリッジ回路の抵抗体を小さくすることができず、空気
流量測定装置が大型になるという問題があった。

【０００８】本発明は、このような問題を解決するため
になされたものであり、ホイートストンブリッジ回路の
抵抗値調整を省略することができ、製造工数を低減する
ことができる空気流量測定装置を提供することを目的と
する。本発明の他の目的は、ホイートストンブリッジ回
路の抵抗体を小さくすることができ、小型化することが
可能な空気流量測定装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
空気流量測定装置によると、制御回路は、空気流路内に
配設され発熱抵抗体を有する流量測定素子部と電気的に
接続し、発熱抵抗体の発熱温度を所定温度に調整するブ
リッジ回路と、このブリッジ回路で検出される流量と相
関のある電圧を増幅し出力電圧を出力するアンプ回路と
を有する。このため、発熱抵抗体と空気流路内の空気と
の間の熱伝達現象による発熱抵抗体の温度変化を発熱抵
抗体に流れる電流値を電圧の変化として検出し、この温
度変化を補償するに必要な加熱電流を測定することによ
り空気流量を測定することができる。

【００１０】さらに、抵抗値の調整が不要な抵抗体がブ
リッジ回路の一部を構成するよう制御回路内に設けられ
るので、ブリッジ回路の抵抗値の調整工程を省略するこ
とができる。したがって、製造工数を低減することがで
きる。さらにまた、ブリッジ回路の抵抗値の調整が不要
となることにより、ブリッジ回路の抵抗体を比較的小さ
くすることができ、空気流量測定装置を小型化すること
ができる。

【００１１】本発明の請求項２記載の空気流量測定装置
によると、制御回路はモノリシックＩＣを有し、このモ
ノリシックＩＣ内に抵抗値の調整が不要な抵抗体を配置
するので、空気流量測定装置をさらに小型化することが
可能となる。本発明の請求項３記載の空気流量測定装置
によると、流量測定素子部がバイパス流路を有するバイ
パス部材内に収容されるので、吸気管に空気流量測定装
置を組付ける際に流量測定素子部が吸気管に接触するこ
とを防止する。したがって、組付けの際に流量測定素子
部が損傷することを防止できる。

【００１２】本発明の請求項４記載の空気流量測定装置
によると、バイパス流路がＵ字状に形成されるので、バ
イパス流路の長さを長くすることができ、空気流路内の
空気流れに生じる脈動の影響をバイパス流路で低減する
ことが可能となる。したがって、空気流量を高精度に検
出できる。本発明の請求項５記載の空気流量測定装置の
調整方法によると、流量測定素子部の抵抗値を測定し選
別する工程と、制御回路と電気的に接続される支持部材
に流量測定素子部を取付ける工程と、空気流量を測定す
る工程と、アンプ回路の出力電圧を所定電圧に調整する
工程と、最終出力特性を検査する工程とを含む。このた
め、ブリッジ回路の抵抗体の抵抗値調整を省略すること
ができるので、製造工数を低減することができる。さら
に、ブリッジ回路の抵抗体の抵抗値の調整が不要となる
ことにより、ブリッジ回路の抵抗体を比較的小さくする
ことができ、空気流量測定装置を小型化することができ
る。さらにまた、制御回路にモノリシックＩＣを設け、
このモノリシックＩＣ内に抵抗値の調整が不要な抵抗体
を配置することが可能となるので、空気流量測定装置を
さらに小型化することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示す
実施例を図面に基づいて説明する。本発明の一実施例に
よる図２に示す空気流量測定装置１０をエンジンの吸気
管に取付けた例を図３および図４に示す。空気流量測定
装置１０は、回路モジュール２０およびバイパス部材３
０からなり、吸気管１に設けた取付孔１ａにバイパス部
材３０を挿入し、吸気管１に回路モジュール２０をボル
ト２９で固定している。回路モジュール２０とバイパス
部材３０とは接着または溶着で結合されている。

【００１４】回路モジュール２０は回路部および流量測
定素子部を有する。この他に回路モジュール２０は、空
気流路２の空気温度を測定する空気温度測定素子として
のサーミスタ２７を備えている。回路部は、ハウジング
２１、制御回路２２、コネクタ２４およびカバー２８を
有し、流量測定素子部は、感温素子２５および発熱素子
２６を有する。感温素子２５および発熱素子２６への通
電を制御するとともに、流量検出信号を出力する制御回
路２２が回路部の樹脂製のハウジング２１内に収容され
ている。

【００１５】ハウジング２１は、吸気管１に回路モジュ
ール２０を取付けるための取付穴部２１ａを有してい
る。回路モジュール２０とバイパス部材３０とは結合し
てモジュール化されているので、吸気管１に回路モジュ
ール２０を取り付けることにより、空気流量測定装置１
０が吸気管１に取付けられる。図２に示すように、制御
回路２２は感温素子２５および発熱素子２６とそれぞれ
２本の支持部材２０２および２０１を介して電気的に接
続している。感温素子２５および発熱素子２６をそれぞ
れ支持する支持部材２０２および２０１はハウジング２
１にモールド成形されている。回路モジュール２０の側
部には、図示しないワイヤハーネスを接続するためのコ
ネクタ２４が設けられている。感温素子２５は温度補償
抵抗体１０２とリード線２５ａとを有しており、発熱素
子２６は発熱抵抗体１０１とリード線２６ａとを有して
いる。温度補償抵抗体１０２および発熱抵抗体１０１
は、例えば中空セラミックスの外表面に形成された温度
依存性の加熱抵抗体と、この加熱抵抗体を被覆する被覆
材とから構成される。リード線２５ａおよびリード線２
６ａは、支持部材２０２および２０１に抵抗溶接等によ
り溶接されており、線径に対して長さが充分にとられて
いるので、発熱抵抗体１０１からリード線２６ａを伝わ
って支持部材２０１へ逃げる熱を小さくすることができ
る。

【００１６】図３に示すように、感温素子２５および発
熱素子２６は後述するバイパス流路３４の曲部３４ａの
上流側流路に設置されている。感温素子２５は、発熱素
子２６に触れる空気の温度を測定するため、発熱素子２
６の放熱の影響を受けない範囲で発熱素子２６の近くに
設置することが好ましい。バイパス部材３０は外管３１
と、外管３１と一体に成形されたベンチュリ管３２とを
有する。外管３１およびベンチュリ管３２は空気流れに
平行に配置されている。ベンチュリ管３２は外管３１の
回路モジュール２０と反対側の底部に位置し、ベンチュ
リ管３２から回路モジュール２０に向かって隔壁３３が
延びている。この隔壁３３により、バイパス部材３０内
にＵ字状のバイパス流路３４が形成されている。

【００１７】上記の構成により、吸気流路２から外管３
１の吸気入口３１ａに流入した空気は、バイパス流路３
４に向かう流れと、ベンチュリ管３２内のベンチュリ流
路３２ａに向かう流れとに別れる。バイパス流路３４に
流入した空気は、ベンチュリ管３２の下流側でベンチュ
リ流路３２ａを通過した空気と合流し、吸気出口３１ｂ
から空気流路２に流出する。ベンチュリ管３２の下流側
は空気の流速が増加するので負圧が発生する。この負圧
によりバイパス流路３４の空気が吸引されバイパス流路
３４内の空気の流速が速くなる。

【００１８】図１に示すように、コネクタ２４に埋設さ
れたターミナル２３はワイヤボンディング等により制御
回路２２と電気的に接続されている。制御回路２２は、
第１、第２および第３の固定抵抗器１１０、１１３およ
び１１４と、分圧抵抗器１１５、１１６、１１７および
１１８と、パワートランジスタ１３０と、モノリシック
ＩＣ３０１とを有している。

【００１９】次に、制御回路２２について、図５に示す
回路図に基づいて説明する。図５に示すように、図示し
ないバッテリ等の電源の端子は、パワートランジスタ１
３０のコレクタ端子に接続されている。発熱抵抗体１０
１と温度補償抵抗体１０２とはほぼ同一の抵抗値であ
る。発熱抵抗体１０１には加熱電流が流され、温度補償
抵抗体１０２は空気流の温度に応じて温度が変化する。
したがって、発熱抵抗体１０１は温度補償抵抗体１０２
との温度差が一定となるように制御される。

【００２０】第１の固定抵抗器１１０は発熱抵抗体１０
１に流れる電流を電圧に変換して検出する。分圧抵抗器
１１１および１１２は発熱抵抗体１０１の両端電圧を分
圧するための分圧回路を構成する。第２の固定抵抗器１
１３および第３の固定抵抗器１１４は直列接続され、温
度補償抵抗体１０２に流れる電流を電圧に変換して検出
する。分圧抵抗器１１５および１１６は基準電圧源１４
０の出力電圧を分圧するための分圧回路を構成する。ま
た制御回路２２には、分圧抵抗器１１７および１１８
と、オペアンプ１２０、１２１、１２２および１２３が
設けられる。オペアンプ１２０の出力端子は、パワート
ランジスタ１３０のベースに接続されている。また、オ
ペアンプ１２１および１２２の出力端子は、オペアンプ
１２１および１２２の反転入力端子に接続されており、
ボルテージフォロワ回路となっている。ここで、オペア
ンプ１２０および１２１と、第１、第２および第３の固
定抵抗器１１０、１１３および１１４と、分圧抵抗器１
１１および１１２と、発熱抵抗体１０１と、温度補償抵
抗体１０２とは、ホイートストンブリッジ回路およびそ
の制御回路１００を構成する。また、オペアンプ１２２
および１２３と、分圧抵抗器１１５、１１６、１１７お
よび１１８と、基準電圧源１４０とはホイートストンブ
リッジ回路およびその制御回路１００から流量と相関を
もった電圧として検出される電圧Ｖ₁を増幅し、出力電
圧Ｖ_Gを出力するためのアンプ回路２００を構成する。

【００２１】まず、ホイートストンブリッジ回路および
その制御回路１００について説明する。ここで、Ｖ₁、
Ｖ₂、Ｖ₃、Ｖ₄およびＶ_Gはその記号の付してある部
分の電圧を示している。発熱抵抗体１０１および温度補
償抵抗体１０２を含むブリッジ回路に電圧が印加される
と、オペアンプ１２０の非反転入力端子にはＶ₁が発生
し、反転入力端子には電圧Ｖ₂が発生する。ここで、電
圧Ｖ₁＞Ｖ₂となっているとき、オペアンプ１２０の出
力電圧Ｖ₄は上昇する。すると、パワートランジスタ１
３０のエミッタ電圧Ｖ₃も上昇する。この電圧Ｖ₃の上
昇によって、発熱抵抗体１０１を流れる電流は上昇し、
発熱抵抗体１０１の温度は上昇する。この結果、発熱抵
抗体１０１の抵抗値は上昇し、電圧Ｖ₁は低下する。

【００２２】電圧Ｖ₁が低下し、Ｖ₁＜Ｖ₂となると、
オペアンプ１２０の出力電圧Ｖ₄は低下する。このた
め、パワートランジスタ１３０のエミッタ電圧Ｖ₃も低
下する。この電圧Ｖ₃の低下によって、発熱抵抗体１０
１を流れる電流は低下し、発熱抵抗体１０１の温度は低
下する。この結果、発熱抵抗体１０１の抵抗値は低下
し、電圧Ｖ₁は上昇する。そして、再びＶ₁＞Ｖ₂とな
ると、上記の制御を繰返し実行する。

【００２３】このように、オペアンプ１２０の出力Ｖ₄
がＶ₁＝Ｖ₂となるようにパワートランジスタ１３０を
制御する。ここで、温度補償抵抗体１０２は自己発熱し
ないようにそこに加わる電圧が調整されている。つま
り、温度補償抵抗体１０２の両端に加わる電圧は、発熱
抵抗体１０１の両端に加わる電圧（Ｖ₃−Ｖ₁）の数分
の一程度となるように設定されている。これによって、
温度補償抵抗体１０２の温度が流量計内を流れる空気の
温度とほぼ等しくなり、温度補償抵抗体１０２は温度測
定用として用いられる。

【００２４】一方、発熱抵抗体１０１に流れる加熱電流
をＩとし、発熱抵抗体１０１の抵抗値をＲ_Hとすると、
発熱抵抗体１０１はＩ²Ｒ_Hの電力を消費し、発熱す
る。この電力Ｉ²Ｒ_Hによる発熱抵抗体１０１の発熱は
図３に示すバイパス流路３４を流れる空気に放熱される
ので、バイパス流路３４を流れる吸気流量が多いか、少
ないかによって空気に奪われる熱量が変化する。このた
め、空気量に応じて温度が変化し、抵抗値Ｒ_Hも変化し
ようとするが、発熱抵抗体１０１の抵抗値Ｒ_Hが変わら
ないようにオペアンプ１２０がパワートランジスタ１３
０の通電量を制御する。つまり、空気流量に応じて加熱
電流Ｉを変化させることにより、Ｉ²Ｒ_Hを変化させ、
Ｒ_Hが常に所定抵抗値になるように制御される。

【００２５】したがって、加熱電流Ｉは空気流量に相関
をもった値となり、第１の固定抵抗器１１０によって電
圧Ｖ₁に変換され、出力される。ホイートストンブリッ
ジ回路およびその制御回路１００は、発熱抵抗体１０１
を所定抵抗値、すなわち所定温度に制御している。ここ
で、ホイートストンブリッジ回路およびその制御回路１
００により制御される発熱抵抗体１０１の温度について
説明する。

【００２６】内燃機関の吸入空気量を測定する空気流量
測定装置は通常、空気温度−４０℃から１５０℃の間で
精度と耐久性が要求される。発熱抵抗体１０１で耐熱上
問題となるのは被覆材であり、例えば被覆材として鉛ガ
ラスを用いると、この鉛ガラスの融点の関係から発熱抵
抗体１０１の温度を４００℃以上にすることはできな
い。すなわち、空気温度と発熱抵抗体１０１との温度差
を２５０℃以下にする必要がある。また、吸入空気中に
含まれる水滴が発熱抵抗体１０１に付着すると、空気流
量測定装置１０の出力信号は誤差を生ずる。さらに水滴
は、吸入空気中の塵埃と一緒になって発熱抵抗体１０１
の表面に付着すると、塵埃を発熱抵抗体１０１の表面に
保持する作用をし、空気流量測定装置１０の出力信号は
誤差を生ずる。したがって、吸入空気中の水滴で発熱抵
抗体１０１に付着したものは、瞬時に蒸発させる。すな
わち、発熱抵抗体１０１の温度を水の沸点以上にする必
要がある。したがって、発熱抵抗体１０１の温度と空気
温度との差を１４０℃から２５０℃の間に設定する必要
がある。

【００２７】次に、アンプ回路２００について説明す
る。アンプ回路２００は、ホイートストンブリッジ回路
およびその制御回路１００から流量に相関をもった電圧
Ｖ₁をオペアンプ１２３の非反転入力端子に入力し、分
圧抵抗器１１７および１１８によって決定される増幅度
により電圧Ｖ₁を増幅する。さらに、分圧抵抗器１１５
および１１６によって基準電圧源１４０の出力電圧を分
圧し、この分圧された電圧Ｖ₅と分圧抵抗器１１７およ
び１１８の比との積によって得られる電圧が上記の増幅
された電圧から差し引かれる。そして、この差し引かれ
た電圧値が出力電圧Ｖ_Gとして出力される。

【００２８】上述のように、アンプ回路２００は電圧増
幅作用を有する。また、このアンプ回路２００は、個々
の製品に固有のＶ₁のばらつきをなくすることができる
よう、分圧抵抗器１１５および１１６の抵抗値と、分圧
抵抗器１１７および１１８の抵抗値とを調整可能になっ
ている。これによって、出力電圧Ｖ_GをＡ／Ｄ変換する
Ａ／Ｄ変換器のＡ／Ｄ変換可能範囲に合わせたゼロスパ
ン調整された出力電圧を出力することができ、Ａ／Ｄ変
換器のＡ／Ｄ変換可能範囲を無駄なく使ってＡ／Ｄ変換
時のビット誤差を小さくしている。

【００２９】次に、空気流量測定装置１０の調整工程を
図６に基づいて説明する。図６のステップＳ１において、発熱抵抗体１０１お
よび温度補償抵抗体１０２の抵抗値を測定し、抵抗値別
に発熱素子２６および感温素子２５を選別する。図６のステップＳ２において、支持部材２０１およ
び２０２に選別した発熱素子２６および感温素子２５の
リード線２６ａおよび２５ａを溶接することにより、支
持部材２０１および２０２に発熱素子２６および感温素
子２５を取付ける。

【００３０】図６のステップＳ３において、支持部
材２０１および２０２に発熱素子２６および感温素子２
５を取付け後、空気流量を測定する。図６のステップＳ４において、分圧抵抗器１１５お
よび１１６の抵抗値と分圧抵抗器１１７および１１８の
抵抗値とを調整することにより、アンプ回路２００の出
力電圧を所定電圧に調整する。

【００３１】図６のステップＳ５において、最終出
力特性を検査する。上記の〜の工程により、ホイートストンブリッジ回
路およびその制御回路１００の第２の固定抵抗器１１３
および第３の固定抵抗器１１４の抵抗値を調整すること
なく発熱抵抗体１０１の制御温度を所定範囲内とするこ
とができる。したがって、第２の固定抵抗器１１３およ
び第３の固定抵抗器１１４の抵抗値の調整を省略するこ
とにより、製造工数を低減することができる。

【００３２】さらに、第２の固定抵抗器１１３および第
３の固定抵抗器１１４の抵抗値の調整が不要となること
により、第２の固定抵抗器１１３および第３の固定抵抗
器１１４を比較的小さくすることができ、空気流量測定
装置１０を小型化することができる。さらにまた、第２
の固定抵抗器１１３および第３の固定抵抗器１１４を小
型化することにより、モノリシックＩＣ３０１内に第２
の固定抵抗器１１３および第３の固定抵抗器１１４を配
置することが可能となり、空気流量測定装置をさらに小
型化することができる。

【００３３】本実施例では、バイパス流路３４をＵ字状
に形成したが、本発明では、バイパス流路を例えば直線
状に形成してもよい。また本実施例では、バイパス流路
３４を有するバイパス部材３０を空気流路２内に配設
し、バイパス流路３４内に流量測定素子部を配設した
が、本発明では、空気流路に直接流量測定素子部を配設
してもよい。

【００３４】また本実施例では、空気流路２内の空気温
度を検出するサーミスタ２７を備えているが、本発明で
は、サーミスタを設置しない構成としてもよい。本発明
は、内燃機関の空気流量を測定する装置に限定されず、
種々の空気流路を流れる空気流量を測定する装置として
利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による空気流量測定装置のカ
バーを外した状態を示す平面図である。

【図２】本発明の一実施例による空気流量測定装置を示
す斜視図である。

【図３】本発明の一実施例による空気流量測定装置を吸
気管に取付けた状態を示す縦断面図である。

【図４】図３のIV方向矢視図である。

【図５】本発明の一実施例の制御回路を示す回路図であ
る。

【図６】本発明の空気流量測定装置の調整工程を示すフ
ロー図である。

【図７】従来の空気流量測定装置の調整工程を示すフロ
ー図である。

【符号の説明】

１吸気管１ａ取付穴２空気流路１０空気流量測定装置２０回路モジュール２１ハウジング２２制御回路２５感温素子（流量測定素子部）２５ａリード線２６発熱素子（流量測定素子部）２６ａリード線２７サーミスタ３０バイパス部材３４バイパス流路１００ホイートストンブリッジ回路および制御回
路１０１発熱抵抗体１０２温度補償抵抗体１１０第１の固定抵抗器１１１、１１２分圧抵抗器１１３第２の固定抵抗器１１４第３の固定抵抗器１１５、１１６、１１７、１１８分圧抵抗器１３０パワートランジスタ２００アンプ回路２０１、２０２支持部材３０１モノリシックＩＣ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気流路を流れる空気流量を測定する空
気流量測定装置であって、前記空気流路内に配設され、発熱抵抗体を有する流量測
定素子部と、前記流量測定素子部と電気的に接続し、前記発熱抵抗体
の発熱温度を所定温度に調整するブリッジ回路、および
このブリッジ回路で検出される流量と相関のある電圧を
増幅し出力電圧を出力するアンプ回路を有する制御回路
と、前記ブリッジ回路の一部を構成するよう前記制御回路内
に設けられ、抵抗値の調整が不要な抵抗体と、を備えることを特徴とする空気流量測定装置。
【請求項２】前記制御回路はモノリシックＩＣを有
し、前記抵抗値の調整が不要な抵抗体は前記モノリシッ
クＩＣ内に配置されることを特徴とする請求項１記載の
空気流量測定装置。
【請求項３】前記空気流路内に配設されるバイパス部
材であって、前記空気流路内を流れる空気の一部が流入
するバイパス流路を有するバイパス部材を備え、前記バ
イパス流路内に前記流量測定素子部を配設することを特
徴とする請求項１または２記載の空気流量測定装置。
【請求項４】前記バイパス流路はＵ字状に形成される
ことを特徴とする請求項１、２または３記載の空気流量
測定装置。
【請求項５】請求項１〜４記載の空気流量測定装置を
調整する方法であって、前記流量測定素子部の抵抗値を測定し、選別する工程
と、前記制御回路と電気的に接続される支持部材に前記
流量測定素子部を取付ける工程と、空気流量を測定する工程と、前記アンプ回路の出力電圧を所定電圧に調整する工程
と、最終出力特性を検査する工程と、を含むことを特徴とする空気流量測定装置の調整方法。