JP3147233U - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】組み立て作業が容易で、低コストで作成できるとともに、基板収納容器が使用される工程の作業指図書等の書面を挿入、取り出しが容易なカードケースを保持可能なホルダ付の基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口を有する容器本体２と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器１であって、基板収納容器は、基板又は基板収納容器の情報が記載された情報シートを収納するカードケース１０を一側壁に保持するために設けられるカードケースホルダ１１を有し、カードケースホルダは、カードケースを支持するために間隔をおいて配設される一組のカードケース収納部と、基板収納容器への取り付け部２２とを有し、カードケースは、１枚のシート部材を加熱して互いに重なり合うように、かつ一方の端辺と他方の端辺とが段違いになるように折り曲げ加工して、三方向に開口を有するように形成され、上記カードケースを上記カードケースホルダに収納してなる基板収納容器とする。
【選択図】図１

Description

本考案は、半導体ウェーハやガラスウェーハ、化合物ウェーハ、フォトマスクガラス、液晶基板などの薄く脆弱で、汚染を嫌う基板を内部に収納し、こうした基板上に電子回路を形成するための処理や加工が行われる工程内で使用される基板収納用に関し、特には作業指図書や基板収納容器の識別書面を保持可能なカードケースホルダ付きの基板収納容器に関するものである。

従来のカードケースは、長方形状をした２枚のシート部材を向かい合わせて、これらを隙間を形成するように貼り合せるために間に設けられるシート部材の短辺と同じ長さに形成される2つの隔壁部材と、シート部材の長辺と同じ長さに形成される１つの隔壁部材とからなり、これらの部材を一方の長辺側に開口を有するように接着剤を介して接着して組み立てることで形成されている。

しかし、従来のカードケースでは組立て加工に手間がかかるのと、接着剤が外側にはみ出したり、シート部材や隔壁部材を切断するときに周辺にバリが発生したり、組み立て作業において異物が混入してしまうという欠点があった。

また、同じ大きさのシート部材を使用しているので、開口部へ指図書等の管理シートを挿入したり、開口部から管理シートを取り出すときに、挿入しにくかったり取り出しにくいなどの問題があった。あるいは、管理シートとカードケースが一緒に外れてしまうといった問題があった。

この改善策として、シート部材の一方に切り欠を加工して設けることも提案されているが、切り欠き作業の工程が増える他、切り欠き作業によるバリの発生や異物の発生がさらに懸念された。
特開２００４−０５５８６８号公報

解決しようとする問題点は、組み立て作業が容易で、低コストで作成できるとともに、基板収納容器が使用される工程の作業指図書等の書面を挿入、取り出しが容易なカードケースを保持可能なホルダ付の基板収納容器を提供することを課題としている。

一端に開口を有する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器であって、基板収納容器は、基板又は基板収納容器の情報が記載された情報シートを収納するカードケースを一側壁に保持するために設けられるカードケースホルダを有し、カードケースホルダは、カードケースを支持するために間隔をおいて配設される一組のカードケース収納部と、基板収納容器への取り付け部とを有し、カードケースは、１枚のシート部材を加熱して互いに重なり合うように、かつ一方の端辺と他方の端辺とが段違いになるように折り曲げ加工して、三方向に開口を有するように形成され、上記カードケースを上記カードケースホルダに収納してなる基板収納容器とすることができる。

前記カードケースが、基部と基部の折り返し部とを有し、基部と折り返し部とのなす角度が、１°〜２０°であるような基板収納容器とすることができる。
また、前記カードケースの全高（Ｈ）に対する端辺の段差（Δｈ）との比（Δｈ÷Ｈ×１００）が１０％から４０％とすることができる。

本考案の基板収納容器は、カードケースの組み立て作業が容易で、低コストで作成できるとともに、基板収納容器が使用される工程の作業指図書等の書面を挿入、取り出しが容易であるという利点がある。

本考案の基板収納容器を、図面を参照して説明する。図１、図２は、本考案のカードケース１０、カードケースホルダ１１取り付けられる基板収納容器１の断面図と背面図であり、基板収納容器１は、一端に開口を有し、向き合う内側壁に基板を一定間隔で水平状態で収納する支持部４を有する容器本体２と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体３とからなる。容器本体の上面と外側壁には、基板収納容器１を自動又は手動で搬送するときに使用される各種の搬送用のハンドル５、マニュアルハンドル６が取り付けられる。蓋体３の内面には、基板の端部と接触し保護する押さえ部材７着脱自在に取り付けられている。また、蓋体３の側壁と容器本体の開口部周縁の間には、この開口部を気密に閉鎖する為にエンドレス形状に形成されるシール部材８取り付けられている。

図３は、上記基板収納容器１取り付けられたカードケースホルダ１１に挿入されるカードケース１０を表す拡大された正面図と、側面図である。
図５は、上記基板収納容器１取り付けられたカードケースホルダ１１に挿入されるカードケース１０を表す部分拡大図である。
カードケース１０は、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリエステルテレフタレート、シクロオレフィンポリマーなどの透明な熱可塑性樹脂を原材料として形成される。好ましくは、上記樹脂からなるシートを所定の大きさの板状に形成して、これを折り曲げ加工して形成することができる。

本考案のカードケースは、上記した透明なシート材料を折り曲げ加工して形成されるが、このときシート部材のコーナー部がＲとなるように形成することが好ましい。次にシート部材を加熱した後に、折り曲げ加工を行うが、一方の端部１３が他方の端部１４と重ならないようにし、両者に高さ方向の段差（△ｈ）１６が形成されるように重ねることで形成される。

このように形成される折り返し部１５は、シート材料の基部１２との間のなす角度が２°〜２０°、好ましくは３°〜１０°となるように形成することが好ましい。この場合、管理シート９の挿入側が所定の角度で開いているので管理シート９を取り付けたり取り出すことが容易になる。こうしたカードケース１０を、基板収納容器１に設けられるカードケースホルダ１１に挿入すると、カードケース１０の開口１７が、カードケースホルダ１１によって、狭まり保持されるようになるので、管理シート９を適度な保持力で保持することができ、抜け落ちを防止できる。また、管理シート９を取り外すときにも、カードケース１０が折り返し部１５の反発力で、カードケースホルダ１１に保持されるので、カードケース１０から管理シート９のみを容易に外すことが出来る。

上記した両者の段差（△ｈ）１６は、シート部材の基部１２の全高（Ｈ）に対する比率（△ｈ／Ｈ×１００）が５％〜５０％の範囲が好ましい。この段差１６の比率が５％以上であれば、開口部１７に指が掛かるので、管理シート９が入れ易く、取り出し易くなるので好ましい。また、段差１６が５０％以下であれば、管理シート９を適度な保持力で保持でき、抜け落ちを防止できる。また、段差１６の比率は、より好ましくは、１０％〜４０％の範囲である。１０％以上であれば、開口部を簡単に広げやすくなるので好ましい。４０％以下であれば管理シートの倒れを防止できるのでより好ましい。

カードケースホルダ１１は、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂、ポリプロピレン樹脂などの熱可塑性樹脂、好ましくは透明材料を原材料として、左右対称な一組のカードケースホルダとして形成されていて、このカードケースホルダ１１は、平坦な基材部１８と、基材部１８の一端に設けられる断面Ｌ字状に形成される収納部１９と、基材部１８の他端に前記収納部１９と相対するように、基材部１８の表面に突出するように設けられる突出リブ２０と、収納部１９の側壁２１の上部で収納部と逆側の外側と、下部外側で収納部と逆側の２箇所に取り付けられる取り付け部２２とからなる。

カードケースホルダ１１は、外部から確認し易い位置に取り付けられる事が好ましく、図１に示すように基板収納容器１の背面に固定ボルトを介して取り付けられる。このため、容器本体２の背面には、螺刻部を有する複数のカードケースホルダ１１の固定部２３が、カードケースホルダ１１の取付部２２のそれぞれと合致するように一定間隔で設けられている。相対するカードケース１０の収納部１９には、例えば、ＪＩＳで定められるＢ５やＢ６など所定のサイズに形成される透明なカードケース１０に収納された工程管理用の管理シート９が挿入されて使用される。

収納部１９は、基材部１８から一体に形成される側壁２１と側壁２１と直交する下端壁２４と、側壁２１と下端壁２４とに囲まれた部分を覆う平板部２５とを有し、側壁２１と下端部２４のそれぞれに相対する方向には開口２６、２７がそれぞれ形成されている。カードケースホルダ１１の平板部分２５が投影される部分には、平板部分２５とほぼ同形状をした角穴２８を形成して、カードケースの角部を逃がすことができる。
基材部１８の他端に設けられる突出リブ２０は、収納部１９と平行になるように細長く形成されていて、突出リブ２０の両端部は中央部に向かって徐々に高さが高くなるような傾斜面が形成されていて、中央部は同一高さからなる。リブの先端部は断面略半円形状に形成されている。

収納部１９の上下方向のそれぞれに平面視円形ボスとして設けられる取り付け部２２は、収納部１９の開口２６よりも外側に設けられており、中央に基板収納容器１に固定するときに螺刻部品を収納する貫通穴と螺刻部品の頭部を収納する凹部が形成されている。

容器本体２と蓋体３は、収納した基板に静電気による埃付着や性能劣化等の障害や損傷が起こらないように静電気消散性の材料から形成することが好ましい。例えば、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの樹脂に、炭素繊維やカーボンナノチューブあるいは、チタン酸バリウムなどの導電材料を添加したり、ポリアミドブロックとポリエーテルブロックおよび／又はポリエーテルブロックからなりこれらのブロックがエステル結合又はエステルアミド結合により結合されたブロックコポリアミド樹脂を使用するなど導電樹脂材料とのアロイ処方によって静電気消散性を有する材料から形成されるのが好ましい。

図６は、図５のＢ−Ｂ線の略断面図であり、カードケースホルダ１１に挿入される透明なカードケース１０は、カードケースホルダ１１に形成された突出リブ２０によって、容器本体２背面の曲面と略平行になるように撓まされて動かないように保持される。このとき、収納部１９の裏側と相対する基材部１８に角穴を設けておくことで、カードケース２１の稜線部の接触を逃がすことになるので撓ませて保持するのが容易となる。

これにより、工程管理シートの確認が容易になるほか、突出リブ２０と、収納部１９によって透明なカードケース１０をしっかり保持することができ、搬送中に透明なカードケース１０が脱落したり位置ずれしたりする事を防止できる。さらに容器本体２の背面が透明ケース１０と擦れることによって傷ついたり擦れてパーティクルを発生することを防止できる。

図８は、カードケース２９の別の実施形態で、シート材料からなる基部３０からの折り返し部３３を、ヘアピン状に若干隙間３６が空くように形成され、段差（△ｈ）３４を形成する端部のうち、高さの低い方の端部３２が、高い方の端部３１を備えたシート部材に接触するように形成され、挿入される管理シート９を開口部３５で、保持することができるようになる。ここで、先端部の接触部３７での管理シート９の保持力は僅かなものとして、カードケースホルダ１１に収納されるときに、押し圧されるようにしても良い。この場合、折り返し部３３が、膨らんでいることで、管理シート９を引き抜くときに、抵抗となりカードケース２９が一緒に抜けることを防止できる。

また、こうしたカードケースは、透明性を損ねないような着色を施すことができる。この場合は、工程や仕様にあわせて色による区分ができるようになる。

各種の基板を収納し、基板の加工や処理が行われる工程内で使用され、工程指図書などの管理カードを保持する基板収納容器に適用できる。

本考案の実施形態のカードケースホルダを備えた基板収納容器を背面か ら見た展開図。 図1の基板収納容器を表す略断面図 本考案の実施形態のカードケースを表す正面図 本考案の実施形態のカードケースを表す側面図 本考案の実施形態のカードケースをカードケースホルダに収納した状態を 表す正面図 本考案の実施形態のカードケースをカードケースホルダに収納し基板収納容 器に取り付けた状態を表す略断面図 図６の要部の部分拡大図 本考案の別の実施形態のカードケースを表す側面図

符号の説明

１ 基板収納容器 、 ２ 容器本体 、３ 蓋体 、４ 支持部材、
５ 搬送用ハンドル 、６ マニュアルハンドル 、 ７押さえ部材、
８ シール部材 、 ９ 管理カード 、１０、２９ カードケース、
１１ カードケースホルダ 、１２、３０ シート材料の基部 、
１３、３１ 一方の端部 、１４、３２ 他方の端部 、 １５、３３ 折り返し部、
１６、３４ 段差 、 １７、３５ 開口部 、１８ 基材部 、１９ 収納部 、
２０ 突出リブ 、２１ 収納部側壁 、２２ 取り付け部 、２３ 固定部 、
２４ 下端壁 、２５ 平板部分 、２６、２７ 開口部 、 ２８ 角穴 、
３６ 隙間 、 ３７ 先端接触部 、３８ 透明窓

Claims (3)

1. 一端に開口を有する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器であって、前記基板収納容器は、基板又は基板収納容器の情報が記載された情報シートを収納するカードケースを一側壁に保持するカードケースホルダを有し、前記カードケースホルダは、前記カードケースを支持するために、間隔をおいて配設される一組のカードケース収納部と、前記基板収納容器への取り付け部とを有し、前記カードケースは、１枚のシート部材を加熱して互いに重なり合うように、かつ一方の端辺と他方の端辺とが段違いになるように折り曲げ加工して、三方向に開口を有するように形成されていて、前記カードケースを前記カードケースホルダに収納してなることを特徴とする基板収納容器。
2. 前記カードケースが、基部と基部の折り返し部とを有し、前記基部と前記折り返し部とのなす角度が、１°〜２０°であることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
3. 前記カードケースの全高（Ｈ）に対する端辺の段差（Δｈ）の比（Δｈ／Ｈ×１００）が１０％から４０％であることを特徴とする請求項１又は２の何れか１項に記載の基板収納容器。