JP3136357B2 - 共振器の共振周波数調整方法 - Google Patents
共振器の共振周波数調整方法Info
- Publication number
- JP3136357B2 JP3136357B2 JP11054373A JP5437399A JP3136357B2 JP 3136357 B2 JP3136357 B2 JP 3136357B2 JP 11054373 A JP11054373 A JP 11054373A JP 5437399 A JP5437399 A JP 5437399A JP 3136357 B2 JP3136357 B2 JP 3136357B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- resonator
- resonance frequency
- adjusting
- resonators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Filters And Equalizers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共振器の共振周波
数調整方法に関する。
数調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、共振器の周波数を調整する方法と
しては、共振器のパターンをレーザトリミングする方法
が知られている。
しては、共振器のパターンをレーザトリミングする方法
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、共振器
のパターンをレーザトリミングすると、トリミング近辺
の導電率が悪化し、共振器の無負荷Ｑが低下する。特
に、超伝導材料を用いて構成された共振器のように高い
無負荷Ｑを有する場合には、その最大の利点を失うこと
になる。
のパターンをレーザトリミングすると、トリミング近辺
の導電率が悪化し、共振器の無負荷Ｑが低下する。特
に、超伝導材料を用いて構成された共振器のように高い
無負荷Ｑを有する場合には、その最大の利点を失うこと
になる。
【０００４】本発明は上記問題を解決できる共振器の共
振周波数調整方法を提供することを目的とする。
振周波数調整方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、基板上にキャパシタ部
とインダクタ部を有する共振器を複数形成するととも
に、個々の共振器のキャパシタ部と容量結合する調整用
キャパシタ部をそれぞれ形成し、 前記複数の共振器のう
ち被測定共振器以外の共振器の共振周波数をシフトさせ
た状態で前記被測定共振器の共振周波数を測定し、 その
測定結果に基づいて前記被測定共振器のキャパシタ部と
容量結合する調整用キャパシタ部の面積を調整して前記
被測定共振器の共振周波数を調整することを特徴として
いる。また、請求項３に記載の発明では、基板上にキャ
パシタ部とインダクタ部を有する共振器を複数形成する
とともに、個々の共振器のキャパシタ部と容量結合する
調整用キャパシタ部をそれぞれ形成し、 前記複数の共振
器の共振周波数をそれぞれ測定し、 その測定結果に基づ
いて前記調整用キャパシタ部の面積を調整することによ
り、前記複数の共振器の共振周波数を独立して調整する
ことを特徴としている。
め、請求項１に記載の発明では、基板上にキャパシタ部
とインダクタ部を有する共振器を複数形成するととも
に、個々の共振器のキャパシタ部と容量結合する調整用
キャパシタ部をそれぞれ形成し、 前記複数の共振器のう
ち被測定共振器以外の共振器の共振周波数をシフトさせ
た状態で前記被測定共振器の共振周波数を測定し、 その
測定結果に基づいて前記被測定共振器のキャパシタ部と
容量結合する調整用キャパシタ部の面積を調整して前記
被測定共振器の共振周波数を調整することを特徴として
いる。また、請求項３に記載の発明では、基板上にキャ
パシタ部とインダクタ部を有する共振器を複数形成する
とともに、個々の共振器のキャパシタ部と容量結合する
調整用キャパシタ部をそれぞれ形成し、 前記複数の共振
器の共振周波数をそれぞれ測定し、 その測定結果に基づ
いて前記調整用キャパシタ部の面積を調整することによ
り、前記複数の共振器の共振周波数を独立して調整する
ことを特徴としている。
【０００６】このようにキャパシタ部と容量結合する調
整用キャパシタ部の面積を調整することによって、調整
用キャパシタ部とグランドプレーン間の容量が変化し、
共振器の共振周波数を調整することができる。また、調
整用キャパシタ部に流れる電流が小さいため、例えばト
リミングによって調整用キャパシタ部の面積調整を行い
トリミング近辺の導電率が悪化したとしても、共振器の
無負荷Ｑの低下を少なくすることができる。
整用キャパシタ部の面積を調整することによって、調整
用キャパシタ部とグランドプレーン間の容量が変化し、
共振器の共振周波数を調整することができる。また、調
整用キャパシタ部に流れる電流が小さいため、例えばト
リミングによって調整用キャパシタ部の面積調整を行い
トリミング近辺の導電率が悪化したとしても、共振器の
無負荷Ｑの低下を少なくすることができる。
【０００７】請求項１に記載の発明の場合、請求項２に
記載の発明のように、レーザトリミングにより前記調整
用キャパシタ部を削って前記被測定共振器の共振周波数
を調整することができる。 レーザトリミングを用いた
場合、共振周波数を測定しながらトリミングの調整を行
うことができるというメリットがある。また、前記調整
用キャパシタ部の面積調整は、前記調整用キャパシタ部
に新たに導電材料を付加して行うこともできる。 また、
請求項３に記載の発明の場合、請求項４に記載の発明の
ように、前記複数の共振器のうち被測定共振器以外の共
振器の共振周波数をシフトさせた状態で前記被測定共振
器の共振周波数を測定することにより、前記複数の共振
器の共振周波数をそれぞれ測定することができる。ま
た、前記調整用キャパシタ部の面積調整は、請求項５に
記載の発明のように、フォトリソグラフィ技術を用いて
トリミングすることにより行うことができる。
記載の発明のように、レーザトリミングにより前記調整
用キャパシタ部を削って前記被測定共振器の共振周波数
を調整することができる。 レーザトリミングを用いた
場合、共振周波数を測定しながらトリミングの調整を行
うことができるというメリットがある。また、前記調整
用キャパシタ部の面積調整は、前記調整用キャパシタ部
に新たに導電材料を付加して行うこともできる。 また、
請求項３に記載の発明の場合、請求項４に記載の発明の
ように、前記複数の共振器のうち被測定共振器以外の共
振器の共振周波数をシフトさせた状態で前記被測定共振
器の共振周波数を測定することにより、前記複数の共振
器の共振周波数をそれぞれ測定することができる。ま
た、前記調整用キャパシタ部の面積調整は、請求項５に
記載の発明のように、フォトリソグラフィ技術を用いて
トリミングすることにより行うことができる。
【０００８】
【０００９】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施形態に係
る共振器を用いた集中定数型フィルタの平面構成を示
す。この集中定数型フィルタは、誘電体基板（以下、単
に基板という）１の表面に共振器１０を構成するパター
ンが形成され、基板１の裏面にグランドプレーンが形成
されたマイクロストリップライン型の構造となってい
る。
る共振器を用いた集中定数型フィルタの平面構成を示
す。この集中定数型フィルタは、誘電体基板（以下、単
に基板という）１の表面に共振器１０を構成するパター
ンが形成され、基板１の裏面にグランドプレーンが形成
されたマイクロストリップライン型の構造となってい
る。
【００１０】共振器１０は、キャパシタ部１１、１２、
およびインダクタ部１３を有しており、キャパシタ部１
１は、入力配線１４に接続された入力側のキャパシタ部
１５と容量結合し、キャパシタ部１２は、出力配線１６
に接続された出力側のキャパシタ部１７と容量結合して
いる。この実施形態においては、上記したキャパシタ部
１１、１２、インダクタ部１３、入力配線１４、キャパ
シタ部１５、出力配線１６、キャパシタ部１７、および
グランドプレーンを構成する膜は、いずれも超伝導材料
を用いて形成されている。
およびインダクタ部１３を有しており、キャパシタ部１
１は、入力配線１４に接続された入力側のキャパシタ部
１５と容量結合し、キャパシタ部１２は、出力配線１６
に接続された出力側のキャパシタ部１７と容量結合して
いる。この実施形態においては、上記したキャパシタ部
１１、１２、インダクタ部１３、入力配線１４、キャパ
シタ部１５、出力配線１６、キャパシタ部１７、および
グランドプレーンを構成する膜は、いずれも超伝導材料
を用いて形成されている。
【００１１】ここで、キャパシタ部１１、１２の近傍に
は、図に示すように、共振周波数を調整するための調整
用キャパシタ部１８、１９がぞれぞれ形成されている。
調整用キャパシタ部１８、１９は、金などの常伝導材
料、あるいは超伝導材料を用いて形成されており、キャ
パシタ部１１、１２とそれぞれ容量結合している。この
ような集中定数型フィルタにおいて、共振器１０の共振
周波数を調整する場合、例えばプローブを用いて共振器
１０の共振周波数を測定し、その共振周波数が所望の値
になるように調整用キャパシタ部１８、１９の面積を調
整する。
は、図に示すように、共振周波数を調整するための調整
用キャパシタ部１８、１９がぞれぞれ形成されている。
調整用キャパシタ部１８、１９は、金などの常伝導材
料、あるいは超伝導材料を用いて形成されており、キャ
パシタ部１１、１２とそれぞれ容量結合している。この
ような集中定数型フィルタにおいて、共振器１０の共振
周波数を調整する場合、例えばプローブを用いて共振器
１０の共振周波数を測定し、その共振周波数が所望の値
になるように調整用キャパシタ部１８、１９の面積を調
整する。
【００１２】例えば、調整用キャパシタ部１８、１９を
削って面積を小さくすると、グランドプレーンとの間の
容量が小さくなり、共振周波数が高い方にシフトするた
め、共振周波数を所望の値に調整することができる。こ
こで、調整用キャパシタ部１８、１９を削る場合、キャ
パシタ部１１、１２と対向する領域はそのままにして他
の領域を削るようにするのが好ましい。これは、調整用
キャパシタ部１８、１９とキャパシタ部１１、１２間の
それぞれの結合容量に影響を与えないようにするためで
ある。この場合、具体的には、キャパシタ部１１、１２
と対向する側と反対側から、すなわち図１に示す矢印方
向からレーザトリミングを用いて削るようにする。この
ようにレーザトリミングを用いて調整用キャパシタ部１
８、１９を削るようにすると、共振周波数を測定しなが
らトリミングの調整を行うことができ、精度よく共振周
波数の調整を行うことができる。
削って面積を小さくすると、グランドプレーンとの間の
容量が小さくなり、共振周波数が高い方にシフトするた
め、共振周波数を所望の値に調整することができる。こ
こで、調整用キャパシタ部１８、１９を削る場合、キャ
パシタ部１１、１２と対向する領域はそのままにして他
の領域を削るようにするのが好ましい。これは、調整用
キャパシタ部１８、１９とキャパシタ部１１、１２間の
それぞれの結合容量に影響を与えないようにするためで
ある。この場合、具体的には、キャパシタ部１１、１２
と対向する側と反対側から、すなわち図１に示す矢印方
向からレーザトリミングを用いて削るようにする。この
ようにレーザトリミングを用いて調整用キャパシタ部１
８、１９を削るようにすると、共振周波数を測定しなが
らトリミングの調整を行うことができ、精度よく共振周
波数の調整を行うことができる。
【００１３】また、調整用キャパシタ部１８、１９が超
伝導材料で形成されている場合、レーザトリミングを用
いると超伝導材料にダメージを与えるため、半導体のフ
ォトリソグラフィ技術を用いたトリミングによりキャパ
シタ部１１、１２と対向する側と反対側の領域を削るよ
うにするのが好ましい。このようにフォトリソグラフィ
技術を用いて調整用キャパシタ部１８、１９を削るよう
にすると、高精度で一度に周波数調整を行うことができ
る。
伝導材料で形成されている場合、レーザトリミングを用
いると超伝導材料にダメージを与えるため、半導体のフ
ォトリソグラフィ技術を用いたトリミングによりキャパ
シタ部１１、１２と対向する側と反対側の領域を削るよ
うにするのが好ましい。このようにフォトリソグラフィ
技術を用いて調整用キャパシタ部１８、１９を削るよう
にすると、高精度で一度に周波数調整を行うことができ
る。
【００１４】また、共振周波数が所望の値より高いとき
には、調整用キャパシタ部１８、１９に常伝導材料（導
電材料）を新たに付加して面積を大きくする。この場
合、調整用キャパシタ部１８、１９とグランドプレーン
間の容量が大きくなって、共振周波数が低い方にシフト
するため、共振周波数を所望の値に調整することができ
る。
には、調整用キャパシタ部１８、１９に常伝導材料（導
電材料）を新たに付加して面積を大きくする。この場
合、調整用キャパシタ部１８、１９とグランドプレーン
間の容量が大きくなって、共振周波数が低い方にシフト
するため、共振周波数を所望の値に調整することができ
る。
【００１５】図２に、図１に示す集中定数型フィルタの
等価回路を示す。図において、Ｃ１はキャパシタ部１５
とキャパシタ部１１間に形成されるキャパシタ、Ｃ２は
キャパシタ部１１とグランドプレーン間に形成されるキ
ャパシタ、Ｃ３はキャパシタ部１２とグランドプレーン
間に形成されるキャパシタ、Ｃ４はキャパシタ部１２と
キャパシタ部１７間に形成されるキャパシタ、Ｃ５はキ
ャパシタ部１１と調整用キャパシタ部１８間に形成され
るキャパシタ、Ｃ６はキャパシタ部１２と調整用キャパ
シタ部１９間に形成されるキャパシタ、Ｃ７は調整用キ
ャパシタ部１８とグランドプレーン間に形成されるキャ
パシタ、Ｃ８は調整用キャパシタ部１９とグランドプレ
ーン間に形成されるキャパシタを示している。また、Ｌ
はインダクタ部１３、Ｒ１はキャパシタ部１１の抵抗成
分、Ｒ２はキャパシタ部１２の抵抗成分、Ｒ３は調整用
キャパシタ部１８の抵抗成分、Ｒ４は調整用キャパシタ
部１９の抵抗成分を示している。
等価回路を示す。図において、Ｃ１はキャパシタ部１５
とキャパシタ部１１間に形成されるキャパシタ、Ｃ２は
キャパシタ部１１とグランドプレーン間に形成されるキ
ャパシタ、Ｃ３はキャパシタ部１２とグランドプレーン
間に形成されるキャパシタ、Ｃ４はキャパシタ部１２と
キャパシタ部１７間に形成されるキャパシタ、Ｃ５はキ
ャパシタ部１１と調整用キャパシタ部１８間に形成され
るキャパシタ、Ｃ６はキャパシタ部１２と調整用キャパ
シタ部１９間に形成されるキャパシタ、Ｃ７は調整用キ
ャパシタ部１８とグランドプレーン間に形成されるキャ
パシタ、Ｃ８は調整用キャパシタ部１９とグランドプレ
ーン間に形成されるキャパシタを示している。また、Ｌ
はインダクタ部１３、Ｒ１はキャパシタ部１１の抵抗成
分、Ｒ２はキャパシタ部１２の抵抗成分、Ｒ３は調整用
キャパシタ部１８の抵抗成分、Ｒ４は調整用キャパシタ
部１９の抵抗成分を示している。
【００１６】上記したように調整用キャパシタ部１８、
１９の面積を変えると、キャパシタＣ７、Ｃ８の容量が
それぞれ変化する。ここで、図２に示す等価回路を用
い、キャパシタＣ７、Ｃ８の容量を変化させた場合の共
振周波数の変化の一例を図３に示す。この図３は、キャ
パシタＣ７、Ｃ８の容量（両者とも同じ値）を、５ｐ
Ｆ、４ｐＦ、３ｐＦ、２ｐＦ、１ｐＦに変化させたとき
の共振周波数の変化を示している。この図３から、キャ
パシタＣ７、Ｃ８の容量が小さくなると、共振周波数が
高い方にシフトしていくことが分かる。なお、キャパシ
タＣ７、Ｃ８の容量を小さくしていくことは、調整用キ
ャパシタ部１８、１９の面積を小さくしていくこと意味
する。
１９の面積を変えると、キャパシタＣ７、Ｃ８の容量が
それぞれ変化する。ここで、図２に示す等価回路を用
い、キャパシタＣ７、Ｃ８の容量を変化させた場合の共
振周波数の変化の一例を図３に示す。この図３は、キャ
パシタＣ７、Ｃ８の容量（両者とも同じ値）を、５ｐ
Ｆ、４ｐＦ、３ｐＦ、２ｐＦ、１ｐＦに変化させたとき
の共振周波数の変化を示している。この図３から、キャ
パシタＣ７、Ｃ８の容量が小さくなると、共振周波数が
高い方にシフトしていくことが分かる。なお、キャパシ
タＣ７、Ｃ８の容量を小さくしていくことは、調整用キ
ャパシタ部１８、１９の面積を小さくしていくこと意味
する。
【００１７】図４に、共振器１０を構成するキャパシタ
部１１、１２を削った場合と、調整用キャパシタ部１
８、１９を削った場合における、それぞれの抵抗成分の
抵抗値と無負荷Ｑとの関係を示す。キャパシタ部１１、
１２を削った場合には、図４中の黒四角で示すように、
その抵抗成分（図２に示すＲ１、Ｒ２）の抵抗値変化に
伴って、無負荷Ｑが大きく低下する。しかし、調整用キ
ャパシタ部１８、１９を削った場合には、図４中の黒丸
で示すように、その抵抗成分（図２に示すＲ３、Ｒ４）
の抵抗値変化に対し、無負荷Ｑはほとんど変化しない。
これは、調整用キャパシタ部１８、１９に流れる電流が
小さいため、調整用キャパシタ部１８、１９の抵抗値変
化に対し無負荷Ｑへの影響が小さいためである。
部１１、１２を削った場合と、調整用キャパシタ部１
８、１９を削った場合における、それぞれの抵抗成分の
抵抗値と無負荷Ｑとの関係を示す。キャパシタ部１１、
１２を削った場合には、図４中の黒四角で示すように、
その抵抗成分（図２に示すＲ１、Ｒ２）の抵抗値変化に
伴って、無負荷Ｑが大きく低下する。しかし、調整用キ
ャパシタ部１８、１９を削った場合には、図４中の黒丸
で示すように、その抵抗成分（図２に示すＲ３、Ｒ４）
の抵抗値変化に対し、無負荷Ｑはほとんど変化しない。
これは、調整用キャパシタ部１８、１９に流れる電流が
小さいため、調整用キャパシタ部１８、１９の抵抗値変
化に対し無負荷Ｑへの影響が小さいためである。
【００１８】従って、調整用キャパシタ部１８、１９を
トリミングし、トリミング付近の導電率が悪化したとし
ても、共振器１０の無負荷Ｑの低下を最低限に留めたま
まで共振周波数の調整を行うことができる。なお、上記
した実施形態においては、１つの共振器１０により集中
定数型フィルタを構成するものを示したが、共振器１０
を複数形成して集中定数型フィルタを構成するようにし
てもよい。この場合の集中定数型フィルタの平面構成を
図５に示す。
トリミングし、トリミング付近の導電率が悪化したとし
ても、共振器１０の無負荷Ｑの低下を最低限に留めたま
まで共振周波数の調整を行うことができる。なお、上記
した実施形態においては、１つの共振器１０により集中
定数型フィルタを構成するものを示したが、共振器１０
を複数形成して集中定数型フィルタを構成するようにし
てもよい。この場合の集中定数型フィルタの平面構成を
図５に示す。
【００１９】この実施形態においては、基板１の表面に
複数の共振器１０、入力配線１４、キャパシタ部１５、
出力配線１６、キャパシタ部１７が形成され、基板１の
裏面の全面にグランドプレーンが形成されたマイクロス
トリップライン型構造の集中定数型フィルタとなってい
る。また、個々の共振器１０におけるキャパシタ部１
１、１２の近傍には図１に示したのと同様の調整用キャ
パシタ部１８、１９がそれぞれ形成されている。
複数の共振器１０、入力配線１４、キャパシタ部１５、
出力配線１６、キャパシタ部１７が形成され、基板１の
裏面の全面にグランドプレーンが形成されたマイクロス
トリップライン型構造の集中定数型フィルタとなってい
る。また、個々の共振器１０におけるキャパシタ部１
１、１２の近傍には図１に示したのと同様の調整用キャ
パシタ部１８、１９がそれぞれ形成されている。
【００２０】このように構成された集中定数型フィルタ
において、複数の共振器１０の共振周波数を、それぞれ
に設けた調整用キャパシタ部１８、１９の面積を調整す
ることによって独立して調整する。この場合、複数の共
振器１０の共振周波数を個々に測定する必要があるが、
図５に示すように複数の共振器１０が並んで配置されて
いると、測定しようとする共振器（以下、被測定共振器
という）とそれ以外の共振器が電磁結合によって干渉す
るため、個々の共振器の共振周波数を正確に測定するこ
とができない。
において、複数の共振器１０の共振周波数を、それぞれ
に設けた調整用キャパシタ部１８、１９の面積を調整す
ることによって独立して調整する。この場合、複数の共
振器１０の共振周波数を個々に測定する必要があるが、
図５に示すように複数の共振器１０が並んで配置されて
いると、測定しようとする共振器（以下、被測定共振器
という）とそれ以外の共振器が電磁結合によって干渉す
るため、個々の共振器の共振周波数を正確に測定するこ
とができない。
【００２１】そこで、この実施形態においては、図６に
示すように、被測定共振器のキャパシタ部以外におい
て、キャパシタ部が容量結合している個所に導電部材
（導電性テープなどのように容易に着脱できるもの）２
１、２２、２３、２４を設け、被測定共振器以外の共振
器の共振周波数をシフトさせて、被測定共振器とそれ以
外の共振器が干渉しないようにする。そして、入力プロ
ーブ３１、出力プローブ３２を用いて被測定共振器の共
振周波数を測定する。
示すように、被測定共振器のキャパシタ部以外におい
て、キャパシタ部が容量結合している個所に導電部材
（導電性テープなどのように容易に着脱できるもの）２
１、２２、２３、２４を設け、被測定共振器以外の共振
器の共振周波数をシフトさせて、被測定共振器とそれ以
外の共振器が干渉しないようにする。そして、入力プロ
ーブ３１、出力プローブ３２を用いて被測定共振器の共
振周波数を測定する。
【００２２】この場合、調整用キャパシタ部１８、１９
が金などの常伝導材料で形成されているときには、共振
周波数を測定しながら調整用キャパシタ部１８、１９を
レーザトリミングする、あるいは調整用キャパシタ部１
８、１９に新たに導電材料を付加して、被測定共振器の
共振周波数を調整する。他の共振器においても同様に、
共振周波数を測定して、その共振周波数の調整を行う。
が金などの常伝導材料で形成されているときには、共振
周波数を測定しながら調整用キャパシタ部１８、１９を
レーザトリミングする、あるいは調整用キャパシタ部１
８、１９に新たに導電材料を付加して、被測定共振器の
共振周波数を調整する。他の共振器においても同様に、
共振周波数を測定して、その共振周波数の調整を行う。
【００２３】なお、調整用キャパシタ部１８、１９が超
伝導材料で形成されているときには、複数の共振器１０
の共振周波数を個々に測定し、その測定結果に基づいて
それぞれの共振器１０に設けられた調整用キャパシタ部
１８、１９をフォトリソグラフィ技術を用いてトリミン
グする。この場合、調整用キャパシタ部１８、１９の面
積が小さくなる、すなわち共振器１０の共振周波数が高
い方にシフトすることになるため、予め複数の共振器１
０のそれぞれの共振周波数を所望の値より若干低めに設
計しておけば、上記した調整によって複数の共振器の共
振周波数を所望の値にそれぞれ調整することができる。
伝導材料で形成されているときには、複数の共振器１０
の共振周波数を個々に測定し、その測定結果に基づいて
それぞれの共振器１０に設けられた調整用キャパシタ部
１８、１９をフォトリソグラフィ技術を用いてトリミン
グする。この場合、調整用キャパシタ部１８、１９の面
積が小さくなる、すなわち共振器１０の共振周波数が高
い方にシフトすることになるため、予め複数の共振器１
０のそれぞれの共振周波数を所望の値より若干低めに設
計しておけば、上記した調整によって複数の共振器の共
振周波数を所望の値にそれぞれ調整することができる。
【００２４】図６に示す測定方法においては、キャパシ
タ部が容量結合している個所に導電部材２１〜２４を設
けるものを示したが、図７に示すように、被測定共振器
以外の共振器のインダクタ部に、上記と同様の導電部材
２５、２６、２７、２８を設けても、被測定共振器以外
の共振器の共振周波数をシフトさせることができるた
め、被測定共振器とそれ以外の共振器の干渉をなくして
被測定共振器の共振周波数を測定することができる。
タ部が容量結合している個所に導電部材２１〜２４を設
けるものを示したが、図７に示すように、被測定共振器
以外の共振器のインダクタ部に、上記と同様の導電部材
２５、２６、２７、２８を設けても、被測定共振器以外
の共振器の共振周波数をシフトさせることができるた
め、被測定共振器とそれ以外の共振器の干渉をなくして
被測定共振器の共振周波数を測定することができる。
【００２５】なお、上記した実施形態においては、１つ
の共振器に対し２つの調整用キャパシタ部１８、１９を
形成するものを示したが、そのいずれか一方のみでもよ
い。また、上記した実施形態においては、グランドプレ
ーンを構成する膜を基板１の裏面に形成するものを示し
たが、基板１とは別の基板にグランドプレーンを構成す
る膜を形成し、そのグランドプレーンを構成する膜と共
振器を構成するパターンが空間を隔てて対向するよう
に、基板１と別の基板を対向配置した構成としてもよ
い。
の共振器に対し２つの調整用キャパシタ部１８、１９を
形成するものを示したが、そのいずれか一方のみでもよ
い。また、上記した実施形態においては、グランドプレ
ーンを構成する膜を基板１の裏面に形成するものを示し
たが、基板１とは別の基板にグランドプレーンを構成す
る膜を形成し、そのグランドプレーンを構成する膜と共
振器を構成するパターンが空間を隔てて対向するよう
に、基板１と別の基板を対向配置した構成としてもよ
い。
【００２６】また、集中定数型フィルタは、超伝導材料
を用いて構成されているものに限らず、常伝導材料を用
いて構成されていてもよい。さらに、本発明に係る共振
器は、集中定数型フィルタに用いるものに限らず、例え
ば発振器を構成するものに用いるようにしてもよい。
を用いて構成されているものに限らず、常伝導材料を用
いて構成されていてもよい。さらに、本発明に係る共振
器は、集中定数型フィルタに用いるものに限らず、例え
ば発振器を構成するものに用いるようにしてもよい。
【図１】本発明の一実施形態に係る共振器を用いた集中
定数型フィルタの平面構成を示す図である。
定数型フィルタの平面構成を示す図である。
【図２】図１に示す集中定数型フィルタの等価回路であ
る。
る。
【図３】図２に示す等価回路を用い、キャパシタＣ７、
Ｃ８の容量を変化させた場合の共振周波数の変化の一例
を示す図である。
Ｃ８の容量を変化させた場合の共振周波数の変化の一例
を示す図である。
【図４】共振器１０を構成するキャパシタ部１１、１２
を削った場合と、調整用キャパシタ部１８、１９を削っ
た場合における、それぞれの抵抗成分の抵抗値と無負荷
Ｑとの関係を示す図である。
を削った場合と、調整用キャパシタ部１８、１９を削っ
た場合における、それぞれの抵抗成分の抵抗値と無負荷
Ｑとの関係を示す図である。
【図５】共振器１０を複数形成した集中定数型フィルタ
の平面構成を示す図である。
の平面構成を示す図である。
【図６】図５に示す構成において、キャパシタ部が容量
結合している個所に導電部材を設けて被測定共振器の共
振周波数を測定する状態を示す図である。
結合している個所に導電部材を設けて被測定共振器の共
振周波数を測定する状態を示す図である。
【図７】図５に示す構成において、インダクタ部に導電
部材を設けて被測定共振器の共振周波数を測定する状態
を示す図である。
部材を設けて被測定共振器の共振周波数を測定する状態
を示す図である。
１…基板、１０…共振器、１１、１２…キャパシタ部、
１３…インダクタ部、１４…入力配線、１５…入力側の
キャパシタ部、１６…出力配線、１７…出力側のキャパ
シタ部、１８、１９…調整用キャパシタ部。
１３…インダクタ部、１４…入力配線、１５…入力側の
キャパシタ部、１６…出力配線、１７…出力側のキャパ
シタ部、１８、１９…調整用キャパシタ部。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−127810（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−34914（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−162642（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−297608（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−83017（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−117805（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−39125（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−28342（ＪＰ，Ｕ) 特表 平８−510882（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 5/02 H03H 7/01 H03H 7/12 H01P 7/00 H01P 1/20
Claims (5)
- 【請求項１】 基板上にキャパシタ部とインダクタ部を
有する共振器を複数形成するとともに、個々の共振器の
キャパシタ部と容量結合する調整用キャパシタ部をそれ
ぞれ形成し、 前記複数の共振器のうち被測定共振器以外の共振器の共
振周波数をシフトさせた状態で前記被測定共振器の共振
周波数を測定し、 その測定結果に基づいて前記被測定共振器のキャパシタ
部と容量結合する調整用キャパシタ部の面積を調整して
前記被測定共振器の共振周波数を調整することを特徴と
する共振器の共振周波数調整方法。 - 【請求項２】 レーザトリミングにより前記調整用キ
ャパシタ部を削って、あるいは前記調整用キャパシタ部
に新たに導電材料を付加して、前記被測定共振器の共振
周波数を調整することを特徴とする請求項１に記載の共
振器の共振周波数調整方法。 - 【請求項３】 基板上にキャパシタ部とインダクタ部を
有する共振器を複数形成するとともに、個々の共振器の
キャパシタ部と容量結合する調整用キャパシタ部をそれ
ぞれ形成し、 前記複数の共振器の共振周波数をそれぞれ測定し、 その測定結果に基づいて前記調整用キャパシタ部の面積
を調整することにより、前記複数の共振器の共振周波数
を独立して調整することを特徴とする共振器の共振周波
数調整方法。 - 【請求項４】 前記複数の共振器のうち被測定共振器以
外の共振器の共振周波数をシフトさせた状態で前記被測
定共振器の共振周波数を測定することにより、前記複数
の共振器の共振周波数をそれぞれ測定することを特徴と
する請求項３に記載の共振器の共振周波数調整方法。 - 【請求項５】 フォトリソグラフィ技術を用いて前記調
整用キャパシタ部をトリミングすることにより、前記複
数の共振器の共振周波数を独立して調整することを特徴
とする請求項３または４に記載の共振器の共振周波数調
整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11054373A JP3136357B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 共振器の共振周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11054373A JP3136357B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 共振器の共振周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000252713A JP2000252713A (ja) | 2000-09-14 |
| JP3136357B2 true JP3136357B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=12968879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11054373A Expired - Fee Related JP3136357B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | 共振器の共振周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3136357B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5216727B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2013-06-19 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜評価法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428342U (ja) * | 1977-07-27 | 1979-02-24 | ||
| JPS5739125U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-02 | ||
| US5618777A (en) * | 1993-05-28 | 1997-04-08 | Superconductor Technologies, Inc. | High temperature superconductor lumped elements and circuit therefrom |
| JPH03127810A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Sumitomo Metal Ind Ltd | セラミック基板とその製造方法 |
| JPH0434914A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Nippon Oil & Fats Co Ltd | 導体パタンのトリミング方法 |
| JPH04117805A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波電圧制御発振器 |
| JPH0583017A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波集積回路装置 |
| JPH05327306A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-10 | Murata Mfg Co Ltd | マイクロストリップラインフィルタおよびその製造方法 |
| JPH07297608A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-11-10 | Nec Corp | 超伝導マイクロストリップ回路 |
| JPH09162642A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Hitachi Ltd | マイクロ波発振周波数調整方法、並びにマイクロ波発振回路 |
-
1999
- 1999-03-02 JP JP11054373A patent/JP3136357B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000252713A (ja) | 2000-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4749963A (en) | Oscillator having stripline loop resonator | |
| US7482890B2 (en) | Automated systems and methods for tuning filters by using a tuning recipe | |
| JP2002507359A (ja) | 相互変調低減型高ｑ値構造体のための高温超伝導構造体と方法 | |
| KR20060042937A (ko) | 코플레너 웨이브가이드 필터 및 그 형성방법 | |
| JPH0443703A (ja) | 対称型ストリップライン共振器 | |
| EP0680141B1 (en) | Improvement of frequency characteristic of semiconductor device in microwave frequency band | |
| JP3481069B2 (ja) | トリミングコンデンサ付積層回路 | |
| EP0415558B1 (en) | Bandpass filter and method of trimming response characteristics thereof | |
| JP3136357B2 (ja) | 共振器の共振周波数調整方法 | |
| JPH01236724A (ja) | 静磁波素子用チップおよび静磁波素子 | |
| US7038359B2 (en) | Piezoelectric resonator and the method for making the same | |
| Couker et al. | A microstrip phase-trim device using a dielectric overlay | |
| JP3050226B1 (ja) | 共振器の共振周波数測定方法および共振器の結合度測定方法 | |
| CA2101344C (en) | Method and apparatus for adjusting the impedance of a microstrip transmission line | |
| JP3532069B2 (ja) | 表面抵抗の測定方法 | |
| JP3058161B1 (ja) | 共振器の共振周波数調整方法およびその方法を用いて周波数調整された共振器 | |
| JP3361073B2 (ja) | フィルタおよびフィルタを構成する共振器の共振周波数調整方法 | |
| JPH0865007A (ja) | 高周波フィルタ | |
| JPH10507314A (ja) | 超伝導ループおよび共振器を備えたｓｑｕｉｄ | |
| JP3141350B2 (ja) | 発振回路の発振周波数の調整方法 | |
| JP2000503166A (ja) | 電圧制御型発振器用トリマブル多端子コンデンサ | |
| JP2001267804A (ja) | フィルタおよびフィルタを構成する共振器の共振周波数調整方法 | |
| JP3941350B2 (ja) | 発振器の位相条件調整方法及び発振器 | |
| JPH0213483B2 (ja) | ||
| JPS6359103A (ja) | マイクロ波集積回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |