JP3133791B2 - ワーク搬送装置 - Google Patents

ワーク搬送装置

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JP3133791B2
JP3133791B2 JP03246229A JP24622991A JP3133791B2 JP 3133791 B2 JP3133791 B2 JP 3133791B2 JP 03246229 A JP03246229 A JP 03246229A JP 24622991 A JP24622991 A JP 24622991A JP 3133791 B2 JP3133791 B2 JP 3133791B2
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真 笠原
孝友 井爪
誠道 加藤
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ワークを保持する位
置と、ワークを離す位置となるワーク保持部材の最下降
位置の周期を連続移動しながらコントロールできるよう
にしたワーク搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、保持したワークを搬送して所定位
置でワークの保持を解除する装置としては、例えば特開
昭62−114290号公報記載のものが知られてい
る。
【0003】即ち、回転可能なテーブルの周縁に配置さ
れた上下動可能な吸着ヘッドを吸着ステーションの位置
においてテーブルを停止した後に下降させ、チップ等の
ワークを吸着した後、再び上昇させる。次にテーブルを
所定量回転させワークを保持した吸着ヘッドを装着ステ
ーションまで搬送して停止させ、再度吸着ヘッドを下降
させてプリント基板上に装着する実装運動を繰返す構造
となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前記した如く従来手段
にあっては、吸着ヘッドによるワークの吸着時、及びそ
の吸着解除時においてテーブルの回転を一時停止させる
間欠運動を繰返すため、テーブルが停止している間、ロ
ス時間につながる等作業能率の面で望ましくない。ま
た、搬送領域も回転テーブル上に限定された専用の装置
となっている。
【0005】そこで、この発明にあっては、ワークを保
持する位置と、ワークを離す位置となるワーク保持部材
の最下降位置の周期を連続移動しながらコントロールで
きるようにして作業能率の向上を図ると共に、しかも、
搬送領域に制約されることのないワーク搬送装置を提供
することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明にあっては、ガイド部材に沿って移動可能
な移動部材と、移動部材に取付けられ、その取付軸部を
中心として旋回可能なワーク保持部材と、前記移動部材
の移動量を制御する一方、移動部材の移動に連動して
ーク保持部材の保持部を常に下向きの状態で最下降位置
まで旋回運動を与えると共に、ワーク保持部材の旋回最
下降位置から最下降位置までの周期を変化させる差動装
置制御機構と、ワーク保持部材の最下降時に、ワークの
保持及びワークを離すワーク解除時とを制御する制御部
とを備えている。
【0007】
【作用】かかる搬送装置によれば、ワーク保持部材は、
移動部材によって移動しながら最下降位置まで旋回運動
するようになる。この旋回運動時において、ワークを保
持するワーク保持部材の最下降位置と、ワークを離す最
下降位置までの周期のコントロールが可能となる。この
場合、周期を長くコントロールすることで、ワークを供
給面から大きく上昇させた状態で搬送が可能となり、
確に置くことができるようになる。したがって、目的の
場所へ確実にワークを搬送できると共に、しかも、ワー
クの保持及びその保持の解除は連続移動しながら行なえ
るようになる。また、搬送領域に制約されることもな
い。
【0008】
【実施例】以下、図1乃至図6の図面を参照しながらこ
の発明の一実施例を詳細に説明する。
【0009】図1において、1はチェーン3により牽引
制御される搬送装置5の移動部材を示しており、所定の
間隔で配置されている。
【0010】移動部材1は、プレート状に形成され、ロ
ーラ7を介して前後に長い上下のガイドレール9,9に
沿って走行自在に装着支持されると共に、移動部材1に
は、ワーク保持部材11が装着されている。
【0011】ワーク保持部材11は、保持部となる太さ
の異なる吸着ノズル13が放射方向に90度の間隔を有
して4箇所に設けられた回転ヘッド15を有し、後述す
る差動装置制御機構19によって同一姿勢のまま旋回運
動が与えられるようになっている。
【0012】吸着ノズル13は、図2に示す如く真空ポ
ンプ21とパイプ23を介して連通し、パイプ23に設
けられた開閉弁25を開閉制御することで吸着ノズル1
3の真空圧により吸着及び吸着解除が可能となってい
る。
【0013】パイプ23は開閉弁25と共に前記移動部
材1と一緒に移動可能となっており、一端は、前記回転
ヘッド15の背面側に接触し合う円板体27の連通孔2
9と接続している。この連通孔29は前記円板体27が
ばね30等の付勢手段によって付勢されることで、回転
ヘッド15を、例えば、90度回転させた時に、吸着ノ
ズル13側に設けられた通路31と常に対向し合う位置
に設けられている。
【0014】差動装置制御機構19は、スリーブ軸33
に固定されたリンク35と、同リンク35によりスリー
ブ軸33のまわりを公転する第1軸37、第2軸39、
第3軸41を有する。第1軸37は、吸着ノズル回転制
御機構42の伝導系となっていて、第2軸39の内側に
回転自在に配置されており、その一端は、吸着ノズル駆
動プーリ43が、他端にはサイドギヤ45がそれぞれ装
着され、サイドギヤ45には前記吸着ノズル13の基部
に装着されたピニオンギヤ47が噛み合っている。
【0015】したがって、吸着ノズル駆動プーリ43に
回転動力が与えられて、サイドギヤ45、ピニオンギヤ
47を介して吸着ノズル13が自転することで図6に示
す如く吸着ノズル13のθ角補正、即ち、基準線Wに対
し正しい向きのワークPの吸着姿勢が確保されるように
なる。
【0016】第2軸39は、吸着ノズル選択制御機構4
9の伝導系となっていて、第3軸41の内側に回転自在
に配置されると共に一端には、前記回転ヘッド15が、
他端には回転ヘッド駆動プーリ51がそれぞれ装着して
いる。したがって、回転ヘッド駆動プーリ51に回転動
力が入力されることで、回転ヘッド15が回転し、4箇
所にある吸着ノズル13の選択が可能となる。
【0017】第3軸41は前記差動装置制御機構19の
伝導系となっていて、一端には前記リンク35が嵌挿固
着されている。
【0018】第3軸41の他方には、前記円板体27の
胴部が回転可能に装着されており、円板体27の胴部に
はプーリ53が設けられている。このプーリ53は前記
スリーブ軸33を貫通した中心の固定軸55に固着され
た最終プーリ57とベルト59を介して伝導状態が確保
されている。なお、固定軸55の他方は、前記移動部材
1から延長されたブラケット61に固定支持されてい
る。
【0019】吸着ノズル駆動プーリ43及び回転ヘッド
駆動プーリ51は、後述する第2、第3の伝導経路7
0,71を構成する最終プーリ63,65とそれぞれベ
ルト67を介して伝導状態が確保されている。したがっ
て、最終プーリ63,65が停止した状態において後述
する差動装置制御機構19の第1の伝導経路69からの
動力によりリンク35が回転することで回転ヘッド25
が自転しながら公転する遊星機構が構成されるようにな
る。
【0020】この場合、各プーリ57,63,65及び
43,51,53を、ベルトにかえてギヤ伝導とし、ギ
ヤ伝導による遊星歯車機構とすることも可能である。
【0021】なお、回転ヘッド駆動プーリ51、吸着ノ
ズル駆動プーリ43及び円板体27のプーリ53と、前
記各最終プーリ57,63,65のプーリ比は1:1の
関係にそれぞれ設定されている。
【0022】これにより、前記遊星機構の働きによって
回転ヘッド15は、スリーブ軸33を中心として吸着作
動用の吸着ノズル13が常に下を向いた同一姿勢の回転
運動が得られるようになっている。
【0023】第1の伝導経路69は、図3に示す如く移
動部材1に装着された第1のモータM1からの動力と、
ガイドレール9に沿って固定されたラック73からの動
力が差動装置75を介して同時に入力される経路となっ
ている。
【0024】差動装置75は、一般にハーモニック装置
と呼ばれており、第1のモータM1の動力を出力用のプ
ーリ77に伝達するモータ伝達系と、前記ラック73と
伝達ギヤ79が噛み合い、移動部材1が移動することで
伝達ギヤ79がラック73によって自転することでラッ
ク73からの動力が差動装置75を介してスリーブ軸3
3に伝達されるラック伝達系の2つの伝達機構を有する
構造となっている。
【0025】出力用のプーリ77は、前記差動装置75
を構成する太陽ギア81の周囲を自転しながら公転する
遊星ギヤ83に装着されている。なお、遊星ギヤ83
は、伝達ギヤ79と一体に固定されたリングギヤ84と
噛み合っている。
【0026】したがって、第1のモータM1のオフ時に
おいて、移動部材1が矢印(図3イ方向)に移動するこ
とで、伝達ギヤ79がラック73と噛み合いながら自転
すると、その回転動力は差動装置75を介して前記スリ
ーブ軸33に反時計方向の回転動力として伝達されるよ
うになる。この結果、回転ヘッド15の吸着ノズル13
は図5に示すサイクロイド曲線Nを描いて上下動するピ
ックアップ運動を繰返すようになる。
【0027】一方、ピックアップ運動時において、第1
のモータM1の作動制御により移動部材1の移動方向と
同じ向きに出力用のプーリ77を回転させることで、前
記のピックアップ運動の周期を長くしたり、短くするこ
とができる。
【0028】この点についてさらに具体的に説明する
と、出力用のプーリ77が、停止している時、伝達ギヤ
79が一回転すると、その回転は、遊星ギヤ83を介し
て太陽ギヤ81に逆向きの回転として伝達され最下降時
から最下降時までの周期Lが得られる。この時に、伝達
ギヤ79の回転と同方向に遊星ギヤ81を、第1のモー
タM1によって回動制御することで、例えば、図4に示
す如く吸着ノズル13は伝達ギヤ79のギヤ比に対応し
たサイクル3Lのサイクロイド曲線Nを描くピックアッ
プ運動が得られるようになる。このピックアップ運動
は、移動部材1の矢印イ方向の回転による吸着ノズル1
32先端の速度と、吸着時の吸着ノズル13の先端の速
度とが一致するよう回転比が設定されているため、吸着
ノズル13はほぼ零に近い対地速度となり支障のない吸
着動作が可能となる。したがって、遊星ギヤ83の公転
を第1のモータM1によって制御することでサイクロイ
ド曲線NのサイクルLを長く3L,4L…としたり短く
することが可能となる。
【0029】この場合、遊星ギヤ83の、回転制御をさ
らに発展させて、遊星ギヤ83の公転を伝達ギヤ79の
回転に同期させることで、回転ヘッド15は自転せず同
一姿勢のまま公転することが可能となり、例えば、回転
ヘッド15が最上昇位置のまま移動する周期の長いサイ
クルが可能となる。
【0030】第2の伝導経路70は、移動部材1に支持
された第2のモータM2の動力が入力プーリ85を介し
て吸着ノズル駆動プーリ43に入力される吸着ノズル1
3のθ角補正用の伝導系となっている。入力プーリ85
は、第4の軸となる前記最終プーリ65の胴部に固着さ
れ、第2のモータM2のモータプーリ87と伝導ベルト
を介して伝導状態が確保されている。
【0031】第3の伝導経路71は、移動部材1に支持
された第3のモータM3の動力が、入力プーリ89を介
して回転ヘッド駆動プーリ51に入力される吸着ノズル
13の選択用の伝導系となっている。入力プーリ89
は、第3の軸となる前記最終プーリ63のスリーブ軸9
1に固着されると共に第3のモータM3のモータプーリ
92と伝導ベルトを介して伝導している。
【0032】したがって、第3のモータM3の作動制御
により、回転ヘッド15を約90度回転させることで吸
着ノズル13の選択が可能となる。
【0033】一方、図1においてSLは制御部を示して
いる。制御部SLには、入力側に、ワークの保持状態を
確認する画像認識装置等の視覚センサあるいは、移動距
離センサ等各種情報が入力され、出力側からは入力され
た情報に基づき指令信号を出力し、前記開閉弁25の開
閉時間や第1から第3のモータM1…M3のオン、オフ
時間を作動制御する機能を有している。
【0034】次に動作について説明する。
【0035】移動部材1の移動に対して下向きの吸着ノ
ズル13は同一姿勢のまま旋回運動を続ける。この時、
図5に示すように吸着ノズル13の吸着位置となる最下
降位置X1からワークPを離す最下降位置X2までの周
期3Lをコントロールすれば、吸着ノズル13を搬送工
程中に下降させないで済むようになり、ワークPが供給
面Gと干渉し合うことなく、目的の場所へ正確にワーク
を置けるようになる。この動作時において、最下降時に
吸着ノズル13はほぼ零に近い対地速度となるためワー
クPを支障なく吸着又は吸着解除が行えるようになる。
又、これら一連の動作において、吸着ノズル13は連続
移動しながら吸着,解除作動となるためロス時間は発生
せず、しかも、搬送領域に制約されることもない。
【0036】また、サイクロイド曲線Nの周期Lの長さ
を制御すれば、組立ラインの供給場所へ正しくワークを
置けるようになる。この結果、タクトタイムが短縮し稼
働率が向上する。
【0037】なお、これら一連の実施例ではワークの保
持に真空圧の吸着手段を用いているが、この手段に限定
されるものではなく、電磁石,チャック等の他の手段を
利用することも可能である。
【0038】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明のワー
ク搬送装置によれば、ワークを保持する最下降位置と、
ワークの保持を解除する最下降位置の周期を自由にコン
トロールできるため、搬送中の下降運動をしないで済む
ようになり、ワークを干渉させることなく目的の場所へ
確実に置けるようになる。また、連続移動しながらサイ
クロイド曲線を描いて上下動するワーク保持部材によっ
て、ワークの保持とワークの装着解除ができるためロス
時間がなくなり、作業能率の向上が図れると共に、搬送
領域に制約されることもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のワーク搬送装置の概要側面図。
【図2】図1の概要切断面図。
【図3】ワーク搬送装置の全体の概要側面図。
【図4】サイクロイド曲線を描いた説明図。
【図5】ワーク保持部材の動作説明図。
【図6】回転ヘッドの取付状態を示した概略平面図。
【符号の説明】
1 移動部材 9 ガイドレール(ガイド部材) 11 ワーク保持部材 19 差動装置制御機構 33 スリーブ軸(取付軸部) P ワーク SL 制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 誠道 三重県三重郡朝日町大字縄生2121 株式 会社東芝 三重工場内 (72)発明者 南浜 悦郎 三重県三重郡朝日町大字縄生2121 株式 会社東芝 三重工場内 (56)参考文献 特開 平3−274800(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 13/00 - 13/04 B23P 19/00 - 21/00 307

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガイド部材に沿って移動可能な移動部材
    と、移動部材に取付けられ、その取付軸部を中心として
    旋回可能なワーク保持部材と、前記移動部材の移動量を
    制御する一方、移動部材の移動に連動してワーク保持部
    材の保持部を常に下向きの状態で最下降位置まで旋回運
    動を与えると共に、ワーク保持部材の旋回最下降位置
    ら最下降位置までの周期を変化させる差動装置制御機構
    と、ワーク保持部材の最下降時に、ワークの保持及びワ
    ークを離すワーク解除時とを制御する制御部とを備えた
    ワーク搬送装置。
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