JP3119323B2 - インゴットの搬送装置 - Google Patents
インゴットの搬送装置Info
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- JP3119323B2 JP3119323B2 JP286693A JP286693A JP3119323B2 JP 3119323 B2 JP3119323 B2 JP 3119323B2 JP 286693 A JP286693 A JP 286693A JP 286693 A JP286693 A JP 286693A JP 3119323 B2 JP3119323 B2 JP 3119323B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインゴットの搬送装置に
係り、特に円柱状のシリコンインゴットをスライシング
マシンまで搬送するインゴットの搬送装置に関する。
係り、特に円柱状のシリコンインゴットをスライシング
マシンまで搬送するインゴットの搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハ材料のインゴットは、人
手によって持ち上げられ、スライシングマシンのインゴ
ット保持部に固定されている。
手によって持ち上げられ、スライシングマシンのインゴ
ット保持部に固定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
ウェーハは大口径化の傾向にあるのでインゴットも大重
量となり、このような重量物のインゴットを持ち上げて
スライシングマシンのインゴット保持部に固定する作業
は、多数の人手を要すると共に時間がかかり、また取り
付け作業に危険が伴うという欠点がある。
ウェーハは大口径化の傾向にあるのでインゴットも大重
量となり、このような重量物のインゴットを持ち上げて
スライシングマシンのインゴット保持部に固定する作業
は、多数の人手を要すると共に時間がかかり、また取り
付け作業に危険が伴うという欠点がある。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、インゴットをスライシングマシンに容易に固定
することができるインゴットの搬送装置を提供すること
を目的とする。
もので、インゴットをスライシングマシンに容易に固定
することができるインゴットの搬送装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、スライシングマシンに近接して配置されたポ
ストと、前記ポストに上下方向、並びにスライシングマ
シンのインゴット支持部に対して進退方向に移動可能に
設けられ、インゴットの上部係合部と嵌合可能な係合部
を持つチャック部材と、複数のインゴットを前記ポスト
近傍まで供給するインゴット供給装置と、から成り、前
記インゴット供給装置は、インゴットのワークブロック
に係合してインゴットを保持するフック部を備え、この
フック部でワークブロックを保持した状態で、ワークブ
ロックに固着された上部係合部を前記チャック部材の係
合部に係合させ、前記チャック部材の係合部は、前記イ
ンゴット供給装置で供給されたインゴットの前記上部係
合部に嵌合してインゴットを持ち上げ、このインゴット
を懸架状態でスライシングマシンのインゴット支持部ま
で移動して、インゴット支持部に受け渡すことを特徴と
する。
する為に、スライシングマシンに近接して配置されたポ
ストと、前記ポストに上下方向、並びにスライシングマ
シンのインゴット支持部に対して進退方向に移動可能に
設けられ、インゴットの上部係合部と嵌合可能な係合部
を持つチャック部材と、複数のインゴットを前記ポスト
近傍まで供給するインゴット供給装置と、から成り、前
記インゴット供給装置は、インゴットのワークブロック
に係合してインゴットを保持するフック部を備え、この
フック部でワークブロックを保持した状態で、ワークブ
ロックに固着された上部係合部を前記チャック部材の係
合部に係合させ、前記チャック部材の係合部は、前記イ
ンゴット供給装置で供給されたインゴットの前記上部係
合部に嵌合してインゴットを持ち上げ、このインゴット
を懸架状態でスライシングマシンのインゴット支持部ま
で移動して、インゴット支持部に受け渡すことを特徴と
する。
【０００６】
【作用】本発明によれば、先ず、インゴット供給装置の
昇降ロッドに固着されたフック部にインゴットのワーク
ブロックを係合し、該インゴット供給装置でインゴット
をポストの近傍まで移動する。次に、チャック部材をイ
ンゴット供給装置の近傍まで移動させると共に下降さ
せ、このチャック部材の係合部にインゴット供給装置上
のインゴットの上部係合部を嵌合させる。次いで、前記
チャック部材でインゴットを持ち上げ、このインゴット
を懸架状態でスライシングマシンのインゴット支持部ま
で搬送する。そして、チャック部材を下降させ、インゴ
ットを前記インゴット支持部に受け渡す。
昇降ロッドに固着されたフック部にインゴットのワーク
ブロックを係合し、該インゴット供給装置でインゴット
をポストの近傍まで移動する。次に、チャック部材をイ
ンゴット供給装置の近傍まで移動させると共に下降さ
せ、このチャック部材の係合部にインゴット供給装置上
のインゴットの上部係合部を嵌合させる。次いで、前記
チャック部材でインゴットを持ち上げ、このインゴット
を懸架状態でスライシングマシンのインゴット支持部ま
で搬送する。そして、チャック部材を下降させ、インゴ
ットを前記インゴット支持部に受け渡す。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るインゴッ
トの搬送装置の好ましい実施例について詳説する。図１
は、本発明に係るインゴットの搬送装置１０がウェーハ
製造システムに適用された実施例を示す斜視図である。
トの搬送装置の好ましい実施例について詳説する。図１
は、本発明に係るインゴットの搬送装置１０がウェーハ
製造システムに適用された実施例を示す斜視図である。
【０００８】前記インゴット搬送装置１０は図１、図２
に示すように一対のポスト１２、１４を有し、これらの
ポスト１２、１４はスライシングマシン１６に近接して
スライシングマシン１６の前部を挟むようにして設置さ
れる。一対のポスト１２、１４の上部には支持梁１８が
架け渡されて固定されており、この支持梁１８にはガイ
ドレール２０が支持梁１８に直交する方向に固定されて
いる。このガイドレール２０は、図２に示すインゴット
供給装置２２の上方から、即ちインゴット２４の受け渡
し位置から、スライシングマシン１６のワーク割り出し
機構（インゴット支持部）２６の上方まで延出配置され
る。前記インゴット供給装置２２、及びスライシングマ
シン１６については後述する。尚、前記支持梁１８、ガ
イドレール２０には、それぞれカバー２８、３０が被覆
されている。
に示すように一対のポスト１２、１４を有し、これらの
ポスト１２、１４はスライシングマシン１６に近接して
スライシングマシン１６の前部を挟むようにして設置さ
れる。一対のポスト１２、１４の上部には支持梁１８が
架け渡されて固定されており、この支持梁１８にはガイ
ドレール２０が支持梁１８に直交する方向に固定されて
いる。このガイドレール２０は、図２に示すインゴット
供給装置２２の上方から、即ちインゴット２４の受け渡
し位置から、スライシングマシン１６のワーク割り出し
機構（インゴット支持部）２６の上方まで延出配置され
る。前記インゴット供給装置２２、及びスライシングマ
シン１６については後述する。尚、前記支持梁１８、ガ
イドレール２０には、それぞれカバー２８、３０が被覆
されている。
【０００９】前記ガイドレール２０には、ローダ部３２
がガイドレール２０に沿って図中矢印方向（Ｘ軸方向）
に往復移動可能に設けられる。このローダ部３２は、前
記ポスト１４に取り付けられた操作部３４によって駆動
制御される。また、前記ローダ部３２は図３に示すよう
に、ガイドレール２０に移動自在に設けられたローダ本
体３６と、このローダ本体３６にシリンダロッド３８を
下方に向けて固定された油圧シリンダ４０と、から構成
される。前記シリンダロッド３８の下端部には、チャッ
ク部材４２が固着されており、このチャック部材４２の
係合部４４に、ワークブロック４６の上端部に固着され
た上部係合部４８が着脱自在に係合されてインゴット２
４が保持される。
がガイドレール２０に沿って図中矢印方向（Ｘ軸方向）
に往復移動可能に設けられる。このローダ部３２は、前
記ポスト１４に取り付けられた操作部３４によって駆動
制御される。また、前記ローダ部３２は図３に示すよう
に、ガイドレール２０に移動自在に設けられたローダ本
体３６と、このローダ本体３６にシリンダロッド３８を
下方に向けて固定された油圧シリンダ４０と、から構成
される。前記シリンダロッド３８の下端部には、チャッ
ク部材４２が固着されており、このチャック部材４２の
係合部４４に、ワークブロック４６の上端部に固着され
た上部係合部４８が着脱自在に係合されてインゴット２
４が保持される。
【００１０】図２に示すようにインゴット２４は、前述
したインゴット供給装置２２によって、インゴット保管
場所からインゴット搬送装置１０のポスト１２、１４近
傍（受け渡し位置）まで搬送される。このインゴット供
給装置２２には昇降ロッド５０が鉛直方向に固定されて
おり、この昇降ロッド５０の上端部には略Ｓ字状のフッ
ク部５２が固着されている。インゴット２４は、前記フ
ック部５２に形成された一対の掛け溝５４、５４に前記
ワークブロック４６が嵌合されることによりインゴット
供給装置２２に保持され、また昇降ロッド５０を上昇さ
せることにより前記ローダ部３２の位置まで上昇されて
ローダ部３２のチャック部材４２に保持される。
したインゴット供給装置２２によって、インゴット保管
場所からインゴット搬送装置１０のポスト１２、１４近
傍（受け渡し位置）まで搬送される。このインゴット供
給装置２２には昇降ロッド５０が鉛直方向に固定されて
おり、この昇降ロッド５０の上端部には略Ｓ字状のフッ
ク部５２が固着されている。インゴット２４は、前記フ
ック部５２に形成された一対の掛け溝５４、５４に前記
ワークブロック４６が嵌合されることによりインゴット
供給装置２２に保持され、また昇降ロッド５０を上昇さ
せることにより前記ローダ部３２の位置まで上昇されて
ローダ部３２のチャック部材４２に保持される。
【００１１】前記スライシングマシン１６は、既知のス
ライシングマシンである。このスライシングマシン１６
は図１に示すように、Ｘ方向に移動されるワーク送り機
構５６に前述したワーク割り出し機構（インゴット支持
部）２６が搭載されている。前記インゴット搬送装置１
０で搬送されてきたインゴット２４は、このワーク割り
出し機構（インゴット支持部）２６に固定されて切断方
向（Ｚ軸方向）に割り出しされる。前記ワーク送り機構
５６の下方には、図示しない内周刃が設けられており、
この内周刃によって前記ワーク割り出し機構（インゴッ
ト支持部）２６に固定されたインゴット２４がウェーハ
に切断される。この内周刃は、ドーナツ状に形成された
ブレードの内周縁にダイヤモンド砥粒が電着されて形成
される。また、内周刃は、スライシングマシン１６に内
設されたチャックボディに前記ブレードの外周縁が張り
上げられると共に、図示しない回転機構により高速回転
される。
ライシングマシンである。このスライシングマシン１６
は図１に示すように、Ｘ方向に移動されるワーク送り機
構５６に前述したワーク割り出し機構（インゴット支持
部）２６が搭載されている。前記インゴット搬送装置１
０で搬送されてきたインゴット２４は、このワーク割り
出し機構（インゴット支持部）２６に固定されて切断方
向（Ｚ軸方向）に割り出しされる。前記ワーク送り機構
５６の下方には、図示しない内周刃が設けられており、
この内周刃によって前記ワーク割り出し機構（インゴッ
ト支持部）２６に固定されたインゴット２４がウェーハ
に切断される。この内周刃は、ドーナツ状に形成された
ブレードの内周縁にダイヤモンド砥粒が電着されて形成
される。また、内周刃は、スライシングマシン１６に内
設されたチャックボディに前記ブレードの外周縁が張り
上げられると共に、図示しない回転機構により高速回転
される。
【００１２】次に、前記の如く構成されたインゴットの
搬送装置１０の作用について説明する。先ず、図２に示
したインゴット供給装置２２のフック部５２にインゴッ
ト２４を保持して、インゴット２４をインゴット搬送装
置１０の受け渡し位置まで搬送する。そして、インゴッ
ト供給装置２２の昇降ロッド５０でインゴット２４を上
昇させると共に、インゴット搬送装置１０側のシリンダ
ロッド３８を伸長させる。そして、インゴット供給装置
２２を回転させてチャック部材４２の係合部４４にワー
クブロック４６の上部係合部４８を嵌合させ、インゴッ
ト２４をインゴット搬送装置１０に保持させる。そし
て、前記シリンダロッド３８を収縮させてインゴット２
４を上昇させ、インゴット２４が搬送中にスライシング
マシン１６に衝突しないようにする。
搬送装置１０の作用について説明する。先ず、図２に示
したインゴット供給装置２２のフック部５２にインゴッ
ト２４を保持して、インゴット２４をインゴット搬送装
置１０の受け渡し位置まで搬送する。そして、インゴッ
ト供給装置２２の昇降ロッド５０でインゴット２４を上
昇させると共に、インゴット搬送装置１０側のシリンダ
ロッド３８を伸長させる。そして、インゴット供給装置
２２を回転させてチャック部材４２の係合部４４にワー
クブロック４６の上部係合部４８を嵌合させ、インゴッ
ト２４をインゴット搬送装置１０に保持させる。そし
て、前記シリンダロッド３８を収縮させてインゴット２
４を上昇させ、インゴット２４が搬送中にスライシング
マシン１６に衝突しないようにする。
【００１３】次に、インゴット搬送装置１０のローダ部
３２を操作部３４で駆動制御してスライシングマシン１
６の方向に移動させ、インゴット２４がスライシングマ
シン１６のワーク割り出し機構２６の下方に位置した時
にローダ部３２を停止させる。そして、インゴット搬送
装置１０側のシリンダロッド３８を伸長し、インゴット
２４をワーク割り出し機構（インゴット支持部）２６の
近傍まで下降させて、インゴット２４を図１に示したよ
うに前記ワーク割り出し機構（インゴット支持部）２６
に固定する。この固定方法は、図３に示したワークブロ
ック４６の各角部に形成された孔４６Ａ、４６Ａ…に図
示しないボルトを挿入して固定する。
３２を操作部３４で駆動制御してスライシングマシン１
６の方向に移動させ、インゴット２４がスライシングマ
シン１６のワーク割り出し機構２６の下方に位置した時
にローダ部３２を停止させる。そして、インゴット搬送
装置１０側のシリンダロッド３８を伸長し、インゴット
２４をワーク割り出し機構（インゴット支持部）２６の
近傍まで下降させて、インゴット２４を図１に示したよ
うに前記ワーク割り出し機構（インゴット支持部）２６
に固定する。この固定方法は、図３に示したワークブロ
ック４６の各角部に形成された孔４６Ａ、４６Ａ…に図
示しないボルトを挿入して固定する。
【００１４】これにより、本実施例では、ローダ部３２
でインゴット２４をインゴット２４の受け渡し位置から
スライシングマシン１６のワーク割り出し機構（インゴ
ット支持部）２６の位置まで搬送して、ワーク割り出し
機構（インゴット支持部）２６に固定するようにしたの
で、インゴットを持ち上げて固定する従来のインゴット
の取り付け方法と比較して、インゴット２４をスライシ
ングマシン１６に容易に固定することができる。
でインゴット２４をインゴット２４の受け渡し位置から
スライシングマシン１６のワーク割り出し機構（インゴ
ット支持部）２６の位置まで搬送して、ワーク割り出し
機構（インゴット支持部）２６に固定するようにしたの
で、インゴットを持ち上げて固定する従来のインゴット
の取り付け方法と比較して、インゴット２４をスライシ
ングマシン１６に容易に固定することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るインゴ
ットの搬送装置によれば、インゴット供給装置の昇降ロ
ッドに固着されたフック部にインゴットのワークブロッ
クを係合し、該インゴット供給装置でインゴットをポス
トの近傍まで移動し、チャック部材をインゴット供給装
置の近傍まで移動させると共に下降させ、チャック部材
の係合部にインゴット供給装置上のインゴットの上部係
合部を嵌合させ、チャック部材でインゴットを持ち上げ
てインゴットを懸架状態でスライシングマシンのインゴ
ット支持部まで搬送した後、チャック部材を下降させて
インゴットを前記インゴット支持部に受け渡すようにし
たので、インゴットをインゴット保持部に持ち上げて固
定する従来のインゴットの取り付け方法と比較して、イ
ンゴットをスライシングマシンに傷付けることなく容易
に固定することができる。
ットの搬送装置によれば、インゴット供給装置の昇降ロ
ッドに固着されたフック部にインゴットのワークブロッ
クを係合し、該インゴット供給装置でインゴットをポス
トの近傍まで移動し、チャック部材をインゴット供給装
置の近傍まで移動させると共に下降させ、チャック部材
の係合部にインゴット供給装置上のインゴットの上部係
合部を嵌合させ、チャック部材でインゴットを持ち上げ
てインゴットを懸架状態でスライシングマシンのインゴ
ット支持部まで搬送した後、チャック部材を下降させて
インゴットを前記インゴット支持部に受け渡すようにし
たので、インゴットをインゴット保持部に持ち上げて固
定する従来のインゴットの取り付け方法と比較して、イ
ンゴットをスライシングマシンに傷付けることなく容易
に固定することができる。
【図１】本発明に係るインゴット搬送装置がウェーハ製
造システムに適用された実施例を示す全体斜視図
造システムに適用された実施例を示す全体斜視図
【図２】インゴット搬送装置の実施例を示す斜視図
【図３】インゴット搬送装置にインゴットが固定された
状態を示す正面図
状態を示す正面図
１０…インゴット搬送装置 １２、１４…ポスト １６…スライシングマシン ２０…ガイドレール ２２…インゴット供給装置 ２４…インゴット ３２…ローダ部 ４２…チャック部材 ４４…係合部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/304 B23K 11/00 B28D 5/00 B28D 5/02 B28D 5/04 B24B 27/06
Claims (1)
- 【請求項１】 スライシングマシンに近接して配置され
たポストと、前記ポストに上下方向、並びにスライシン
グマシンのインゴット支持部に対して進退方向に移動可
能に設けられ、インゴットの上部係合部と嵌合可能な係
合部を持つチャック部材と、複数のインゴットを前記ポ
スト近傍まで供給するインゴット供給装置と、から成
り、前記インゴット供給装置は、インゴットのワークブ
ロックに係合してインゴットを保持するフック部を備
え、このフック部でワークブロックを保持した状態で、
ワークブロックに固着された上部係合部を前記チャック
部材の係合部に係合させ、前記チャック部材の係合部
は、前記インゴット供給装置で供給されたインゴットの
前記上部係合部に嵌合してインゴットを持ち上げ、この
インゴットを懸架状態でスライシングマシンのインゴッ
ト支持部まで移動して、インゴット支持部に受け渡すこ
とを特徴とするインゴットの搬送装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP286693A JP3119323B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | インゴットの搬送装置 |
| US08/167,025 US5427644A (en) | 1993-01-11 | 1993-12-16 | Method of manufacturing semiconductor wafer and system therefor |
| DE4400221A DE4400221C2 (de) | 1993-01-11 | 1994-01-05 | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterwafers und Anlage hierfür |
| KR1019940000301A KR100197090B1 (ko) | 1993-01-11 | 1994-01-10 | 반도체 웨이퍼의 제조방법 및 그 시스템 |
| IT94TO000006 IT1267970B1 (it) | 1993-01-11 | 1994-01-10 | Procedimento per produrre un wafer di semiconduttore e corrispondente sistema. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP286693A JP3119323B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | インゴットの搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06209037A JPH06209037A (ja) | 1994-07-26 |
| JP3119323B2 true JP3119323B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=11541292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP286693A Expired - Fee Related JP3119323B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | インゴットの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3119323B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101620935B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2016-05-13 | 주식회사 케이씨씨 | 실리콘 잉고트의 인출장치 및 방법 |
| KR101038181B1 (ko) * | 2011-01-21 | 2011-06-01 | 오성엘에스티(주) | 와이어쏘 시스템의 잉곳삽입장치 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP286693A patent/JP3119323B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06209037A (ja) | 1994-07-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |