JP3117186B2 - 水中レーザ光照射装置 - Google Patents

水中レーザ光照射装置

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JP3117186B2
JP3117186B2 JP07305905A JP30590595A JP3117186B2 JP 3117186 B2 JP3117186 B2 JP 3117186B2 JP 07305905 A JP07305905 A JP 07305905A JP 30590595 A JP30590595 A JP 30590595A JP 3117186 B2 JP3117186 B2 JP 3117186B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は水環境中で被加工材
に対してレーザ加工を行うための水中レーザ光照射装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】水環境中でレーザ光を被照射加工材表面
に照射して加熱し、溶融するレーザ熱加工方法は、その
熱エネルギー源とその伝送などで違いはあるがアーク溶
接等で用いられた水排除技術を応用することができる。
しかし、今までの水中アーク溶接では加工部分の水排除
のための流体の噴出量を制限するというような配慮はな
されていない。したがって、現状では、水排除のために
噴出される流体が多量であると、閉ざされた環境下では
水質を変化させてしまうことが十分考えられる。
【0003】また、従来の技術では大気中から水環境中
の加工位置へノズルを移動する間のノズル内への水の侵
入を防止する技術についてもほとんど開示されておら
ず、例えば加工時に水を排除したとしても、水排除用の
流体の噴出を停止すると溶接ノズル内に浸水するような
構造になっている。このことはアーク溶接に限らず、レ
ーザ溶接の分野でも同様である。
【0004】なお、水環境中での被照射材表面とレーザ
光照射ノズルとの間隙の制御技術については、特開平7
−100673号公報にノズル位置から離れた位置に磁
着した状態で転動するマグネット車輪で前記間隙を制御
することが開示されているが、この例では、被照射材料
は磁性を有するものを対象としており、非磁性材料には
適用することはできない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで、ノズル内への
浸水を防止する構造を考えると、大気中から水環境中の
加工部位にレーザ光照射ノズルを設定する過程でノズル
内部への浸水を防止すること、および被照射加工材表面
に凹凸がある場合にノズル先端を、当該加工材の照射材
表面に対して一定の距離を保持して密着させることが重
要であると考えられる。
【0006】また、仮りにノズル内への浸水が防止でき
なかった場合においてもレーザ光照射部先端のレンズ保
護ガラスなどに付着した水膜や水滴をノズルに導入する
シールドガスで除去してレーザ光を正常な状態で照射を
可能とすることも考えなければならない。さらに、ノズ
ルを浸漬した時点から水排除用の噴出流体を(特に空気
を)流すと水質を変化させるので、噴出流体として不活
性ガスを使用することが適切で好ましい。しかし、ノズ
ルを浸漬した時点から噴出させると経済的ではないの
で、使用する不活性ガスの使用量がなるべく少なくなる
ようにすることも考えなければならない。
【0007】さらに、被照射材表面に凹凸がある場合、
レーザ光の焦点位置はその表面形状に合わせて一定に制
御されて移動しなければならない。特に、小入熱で溶接
や表面改質等の熱処理を行う施工時にノズルを一定に保
持することは照射部分の品質保証において重要な課題で
ある。また、塔槽類などの容器内の閉ざされた水環境中
では水排除のための大量の噴出流体は水質を変化させる
問題が生じるので、前述のように噴出流量を最小限に抑
えることも考える必要がある。
【0008】この発明は、このような従来技術の実情に
鑑みてなされたもので、その目的は、水環境下で少量の
気体を使用するだけで高品質なレーザ加工を行うことが
できる水中レーザ光照射装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、水環境中でレーザ光を被照射材表面に照
射して被照射材表面を加工する水中レーザ光照射装置に
おいて、レーザ光照射手段を保持し、前面が密閉された
鏡筒と、当該鏡筒の前面を覆うように設けられた第1の
ノズルと、当該第1のノズルの先端に設けられ、当該第
1のノズル内への浸水を防止可能な開閉自在な閉鎖手段
と、前記第1のノズル内に気体を供給可能な第1の気体
供給手段と、前記閉鎖手段を開閉駆動する開閉駆動手段
とを一体に備え、レーザ光照射時には前記気体を前記第
1のノズル内に供給するとともに前記閉鎖手段を開放
し、レーザ光の非照射時には前記閉鎖手段を閉鎖して前
記第1のノズル内への浸水を防止するようにした。その
際、前記閉鎖手段を複数枚の羽根の連動で同心円状に開
閉する機構から構成し、当該機構はレーザ光非照射時は
羽根を閉じてノズル内のガス圧で浸水を防止し、レーザ
光照射時は照射に先立って羽根を開いて前記気体を噴出
させて水の侵入を防止するようにする。
【0010】
【0011】
【0012】
【0013】
【0014】
【0015】
【0016】また、前記閉鎖手段を弾力性を有する材料
で作られたノズルから構成し、前記駆動手段を前記ノズ
ルの先端部を挟持可能な挟持機構から構成し、前記開閉
駆動手段によってレーザ光非照射時は前記挟持機構でノ
ズル先端を挾んで水の侵入を防止し、レーザ光照射時は
供給される気体の加圧により前記挟持機構を作動させて
ノズル先端を開放し、同時に前記気体を噴出させて水の
侵入を防止するようにすることもできる。
【0017】また、前記閉鎖手段を側面から軸線に直交
するような孔が貫通し、第1のノズル先端部の長手方向
と直交する方向に設けられた丸棒から構成し、前記開閉
駆動手段を前記丸棒を中心の前記軸線に関して回転させ
る回転駆動機構から構成し、前記開閉駆動手段によって
レーザ光非照射時は前記丸棒を回転させて前記孔を閉鎖
して第1のノズル内を隔離し、レーザ光照射時は照射に
先立って前記気体の供給圧力を上げるとともに前記丸棒
を回転させて孔を開放し、第1のノズルから気体を噴出
させて水の侵入を防止するようにすることもできる。
【0018】さらに、前記閉鎖手段を第1のノズル先端
部に設けられ、当該ノズルの長手方向に対して直交する
方向にスライドする封止板から構成し、前記開閉駆動手
段をノズルの長手方向に対して直交する方向に前記封止
板をスライドさせる機構から構成し、前記開閉駆動手段
によってレーザ光非照射時は封止板を閉じて浸水を防止
し、レーザ光照射時は照射に先立って前記気体の供給圧
力を上げるとともに前記封止板を移動させて前記第1の
ノズル先端を開放し、前記第1のノズルから気体を噴出
させて水の侵入を防止するようにすることもできる。
【0019】
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
【0021】〔第1の実施形態〕まず、第1の実施形態
に係る水中レーザ光照射装置と水排除機構のシステム構
成を図1を参照して説明する。
【0022】水環境中のレーザ光照射ノズル1は昇降装
置のある走行台車2に取付られている。レーザ光照射ノ
ズル1は鏡筒3、第1のノズルとしてのシールドガスノ
ズル4、第2のノズルとしての水排除ノズル5、閉鎖手
段としてのシールドガス開閉用のシャッタ6、およびこ
れらレーザ光照射ノズル1を適当な荷重で被照射材8の
表面に押しつけて走査可能な支持手段としての定荷重支
持機構7から構成されている。シールドガス及び水排除
ガスはガス供給装置11から圧力制御装置12を通じて
シールドガス管13及び水排除ガス管14により供給さ
れる。
【0023】レーザ光照射ノズル1が大気中から水中に
浸漬される際にはシールドガスノズル4先端に取り付け
られたシャッタ6が閉じて、同時にノズル4内にシール
ドガスが満たされて水の侵入を防止する。そのガス圧は
水深に応じて高くなるように制御される。所定位置にレ
ーザ光照射ノズル1が設定されると、定荷重支持機構7
により適当な荷重で被照射材8の表面にレーザ光照射ノ
ズル1は押し付けられる。そして、水排除ノズル5から
定圧力のガスを噴出させることによってノズル先端部と
被照射材表面との距離が一定に保持され、かつ、局部気
相領域が形成されるのでシールドガス開閉用のシャッタ
6を開けて不活性ガスを流す。同時にレーザ光は発振器
9から光ファイバー10によって伝送され溶接、若しく
は表面改質処理が行われる。これらは制御盤15を介し
て遠隔操作される。
【0024】図2はノズル部分を説明するための一部を
断面した側面図である。同図から分かるように鏡筒3の
内部には集光レンズ群18が設けられ、その前面に保護
ガラス19を設置して保護ガラス19の内側は密封さ
れ、シールドガスノズル4とガスの出入は遮断されてい
る。
【0025】シールドガスノズル4の基部側面にはシー
ルドガス管13が接続され、例えば乾燥アルゴンガスを
使用したシールドガスが導入される。導入されたシール
ドガスは保護ガラス19の表面に吹き付けられ、吹き付
けられた部分の水膜、水滴、あるいは異物などを除去す
る。なお、シールドガスとしてここでは乾燥アルゴンガ
スを使用しているが、その他の不活性ガスであれば同等
に機能する。シールドガスノズル4には水深を計測する
圧力センサ21が取り付けてあり、ノズル先端にはシャ
ッタ6と金属カップ16で支持された金属ワイヤ刷毛に
よる防水カーテン17を備えたシールドガスノズル4が
設けられている。シャッタ6は開閉手段としてのレリー
ズ20によって離れたところから開閉できるようになっ
ている。
【0026】このように各部を構成すると、レーザ光照
射ノズル1を加工位置(レーザ照射位置)に移動する間
はシャッタ6は閉じておくとともに、シールドガスノズ
ル4内にシールドガス管13からシールドガスを供給
し、ガス圧を作用させて浸水を防止する。加工位置に達
したら防水カーテン17を被照射面に密着させ、シャッ
タ6をレリーズ20により開ける。同時に適切なシール
ドガス流量を流す。この適切なシールドガス量は、前記
圧力センサ21によって検出した水圧に応じて前記圧力
制御装置12によって設定される。このようにしてシー
ルドガスを供給すると、数秒間でカーテン17内の水排
除が効果的に達成された。なお、流量はカーテンの出来
具合の良否(刷毛の密度分布の良否など)と被照射面へ
の密着性にも依存する。
【0027】このような状況下でのレーザ溶接部の加工
品質は大気中と同等であった。また、水深を20センチ
メートルから30メートルまで変化させても例えば20
l/min程度のシールドガスの消費で良好な結果が得
られた。なお、防水カーテン17の材質は不燃性のフェ
ルト、織物、化学繊維布などでも同等の良好な結果が得
られた。
【0028】〔第2の実施形態〕図3は第2の実施形態
に係るレーザ光照射ノズル1の構造を示す一部を断面し
た側面図であり、この実施形態と第1の実施形態とは閉
鎖機構およびノズル先端の水排除機構が異なるのみであ
る。
【0029】すなわち、シールドガスノズル4の先端に
は開閉駆動手段としての電磁開閉器22によって作動す
る一枚板の閉鎖手段としての封止板23と水排除ノズル
5が取り付けられている。この水排除ノズル5にはさら
に羽根車24がベアリング25と支持リング26によっ
て回転自在に支持されている。また、水排除ノズル5に
は水排除用の気体を供給するための第2の気体供給手段
としての水排除ガス管14が接続され、水排除ガス管1
4からのガスの流入で高速回転するようになっている。
なお、シールドガスノズル4内に供給されるガスの流量
と水排除ノズルに供給されるガスの流量は独立して適宜
設定される。
【0030】この実施形態では、前記第1の実施形態と
同様にレーザ光照射ノズル1を加工位置に移動する間は
封止板23は閉じておき、シールドガスノズル4内部に
は適当なガス圧を作用させておく、加工位置にレーザ光
照射ノズル1が達したら、水排除ノズル5を被照射材8
の表面に接触しない程度の間隙をあけて設置する。この
実施形態では、前記間隙は1mm未満に設定されてい
る。このようにしてレーザ光照射ノズル1を設置した
後、水排除ガスを水排除ガス管14から適当量流す。こ
れによって羽根車24は高速回転し、当該部位において
水排除が行われる。その後、電磁開閉器22によって封
止板23を開放し、シールドガス管13よりシールドガ
スを流してレーザ光照射を行う。
【0031】この羽根車24を備えた水排除ノズル5で
は消費ガス量が多くなるが、水排除は容易であり、ノズ
ルと被照射材が接触しないので走行が滑らかであり、溶
接部の品質も良好であった。
【0032】なお、この実施形態では水排除ノズルの外
周部に羽根車が設けられているが、内周部に設けてもよ
い。また、前記第1の実施形態におけるカーテンの内側
あるいは外側に設けても同等の効果を奏することができ
る。
【0033】〔第3の実施形態〕図4は第3の実施形態
に係るシールドガスノズル4の側面図で、前記第1また
は第2の実施形態に係るレーザ光照射ノズル1のシール
ドガスノズル4に代えて設置されるものであり、その他
の構成は前述の実施形態と同様に構成されている。
【0034】この実施形態では、シールドガスノズル4
のノズル先端部がゴム弾性体30からなり、シールドガ
ス管13と開閉機構の作動ガス管27がそれぞれシール
ドガスノズル4とベロー型シリンダ28にそれぞれ接続
されている。シールドガスが流れると同時に作動ガス管
27にもガスが流れるように構成されているので、シー
ルドガスが流れると同時にベロー型シリンダー28がガ
ス圧により伸長してリンク機構のレバー29が作動し、
2個の拘束板31はノズル先端ゴム弾性体30から離れ
る。逆にシールドガスが停止するとベロー型シリンダー
28が収縮して2個の拘束板31はノズル先端ゴム弾性
体30を挾み水の侵入を防止する。これらの作動はレー
ザ光の出射、停止と良好なタイミングで同期させる。こ
れらの制御は、前記制御盤15の操作によって実行され
る。
【0035】なお、この実施形態では、閉鎖手段はゴム
弾性体30からなるノズルによって構成され、開閉駆動
手段はベロー型シリンダー28、レバー29、拘束板3
1および作動ガス管27によって構成されている。
【0036】〔第4の実施形態〕図5は第4の実施形態
に係るシールドガスノズル4およびその支持機構を示す
側面図で、第2の実施形態における水排除ノズルに代え
て丸棒を回転させて開閉する開閉機構、バネによってレ
ーザ光照射ノズルを支持する機構、および水排除ノズル
先端部に水排除ガス管の噴出口を設けたものである。そ
の他の構成は前述の第2の実施形態を同等に構成されて
いる。
【0037】この実施形態では、丸棒32の側面から軸
線を貫通するように図示しない孔を開設し、電磁開閉器
によって前記丸棒32を90度回転させることによって
孔の連通状態と閉鎖状態が選択できるようになってい
る。孔が閉鎖されたときには、丸棒32自体によってシ
ールドガスノズル4の開口は閉鎖され、90度回転して
孔が開放されたときには、レーザ光が通過するとともに
シールドガス管13から供給されたシールドガスが水排
除ノズル5から噴出する。したがって、シールドガス管
13と水排除ガス管14からガスを噴出させると、照射
面の局部水排除が可能になる。なお、丸棒32に設けら
れた孔は少なくともレーザ光を通過させるに足る径だけ
開口していればよいが、好適にはノズルの内径より大径
の方がよい。したがって、丸棒32の径もノズルの内径
よりも充分に大径に設定しておくことが望まれる。
【0038】また、レーザ光照射ノズル1は幾つかの要
素部品から構成されており、かなりの重量があるが、シ
ールドガス管13と水排除ガス管14から高速でガスを
噴出させるとレーザ光照射ノズル1は被照射材8の表面
から浮上しょうとする。そこで、レーザ光照射ノズル1
を支柱35、バネ調整ネジ33、荷重調整バネ34を用
いて支持板36に弾性的に支持させて定荷重支持機構7
を構成し、荷重調整バネ34のバネ荷重を調整して重量
に伴う水排除ガス圧の負担を軽減することで水排除ガス
量を少なくすることができる。
【0039】
【発明の効果】これまでの説明で明らかなように、本発
明によれば、レーザ光照射ノズル内部に水の侵入を防止
する閉鎖手段を備え、レーザ光非照射時には閉鎖手段を
閉じて気体の噴出を停止しておくことができるので、局
部気相状態を現出するための気体の消費量を少なくする
ことが可能となり、経済的であるばかりでなく、水質の
変化も最小限に抑えることができる。
【0040】また、レーザ加工時のレーザ光の照射環境
は大気中と同等に保持されるので、加工品質も大気中の
加工と同等の良好な品質が保証できる。
【0041】さらに、被加工部位の水圧やノズル先端部
の水封構造を勘案して供給圧を設定することができるの
で、最少限の気体消費量で加工することが可能となる。
【0042】加えて、ノズル先端と照射面との間隙を一
定に制御する手段を設ければ、溶接条件が一定となり、
溶接部の品質を健全で安定したものとすることができる
ばかりでなく、ノズル先端が照射面に当接することがな
くなるので、照射面が傷付くおそれもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る水環境中で使用するレ
ーザ光照射ノズルとシールドガスの水排除機構のシステ
ム構成を示す説明図である。
【図2】本発明の第1の実施形態に係るレーザ光照射ノ
ズルの構造を示す一部を断面した側面図である。
【図3】本発明の第2の実施形態に係るレーザ光照射ノ
ズルの構造を示す一部を断面した側面図である。
【図4】本発明の第3の実施形態に係るレーザ光照射ノ
ズルの構造を示す側面図である。
【図5】本発明の第4の実施形態に係るレーザ光照射ノ
ズルの構造を示す一部を断面した側面図である。
【符号の説明】
1 レーザ光照射ノズル 3 鏡筒 4 シールドガスノズル 5 水排除ノズル 6 シャッタ 7 定荷重支持機構 8 被照射材 11 ガス供給装置 12 圧力制御装置 13 シールドガス管 14 水排除ガス管 16 金属カップ 17 防水カーテン 20 レリーズ 21 圧力センサ 22 電磁開閉器 23 封止板 24 羽根車 27 開閉機構作動ガス管 28 ベロー型シリンダー 29 レバー 30 ゴム弾性体ノズル 31 拘束板 32 丸棒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 満夫 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (72)発明者 浅野 長一 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (72)発明者 玉井 康方 茨城県日立市幸町三丁目1番1号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (72)発明者 小出 宏夫 茨城県日立市幸町三丁目1番1号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (72)発明者 栗原 正之 茨城県日立市幸町三丁目1番1号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (56)参考文献 特開 平7−132373(JP,A) 特開 平3−257399(JP,A) 特開 平7−232291(JP,A) 特開 平7−256479(JP,A) 特開 平7−1171(JP,A) 特開 平7−299574(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23K 26/12 B23K 26/00 B23K 26/14

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水環境中でレーザ光を被照射材表面に照
    射して被照射材表面を加工する水中レーザ光照射装置で
    あって、レーザ光照射手段を保持し、前面が密閉された
    鏡筒と、当該鏡筒の前面を覆うように設けられた第1の
    ノズルと、当該第1のノズルの先端に設けられ、当該ノ
    ズル内への浸水を防止する閉鎖手段と、前記第1のノズ
    ル内に気体を供給する第1の気体供給手段と、前記閉鎖
    手段を開閉する開閉駆動手段とを一体に備え、レーザ光
    照射時には前記気体を前記第1のノズル内に供給すると
    ともに前記閉鎖手段を開放し、レーザ光の非照射時には
    前記閉鎖手段を閉鎖して前記第1のノズル内への浸水を
    防止するようにした水中レーザ光照射装置において、 前記閉鎖手段は複数枚の羽根の連動で同心円状に開閉す
    る機構からなり、レーザ光非照射時は前記羽根を閉じて
    前記第1のノズル内の気体圧で浸水を防止し、レーザ光
    照射時は照射に先立って前記羽根を開放して第1のノズ
    ル内の気体を噴出させて水の侵入を防止することを特徴
    とする 水中レーザ光照射装置。
  2. 【請求項2】 水環境中でレーザ光を被照射材表面に照
    射して被照射材表面を加工する水中レーザ光照射装置で
    あって、レーザ光照射手段を保持し、前面が密閉された
    鏡筒と、当該鏡筒の前面を覆うように設けられた第1の
    ノズルと、当該第1のノズルの先端に設けられ、当該ノ
    ズル内への浸水を防止する閉鎖手段と、前記第1のノズ
    ル内に気体を供給する第1の気体供給手段と、前記閉鎖
    手段を開閉する開閉駆動手段とを一体に備え、レーザ光
    照射時には前記気体を前記第1のノズル内に供給すると
    ともに前記閉鎖手段を開放し、レーザ光の非照射時には
    前記閉鎖手段を閉鎖して前記第1のノズル内への浸水を
    防止するようにした水中レーザ光照射装置において、 前記閉鎖手段は弾力性を有する材料で作られた第3のノ
    ズルからなり、 前記開閉駆動手段は前記第3のノズルの先端部を挟持し
    て前記第3のノズルを閉鎖する挟持機構からなり、 前記開閉駆動手段は、レーザ光非照射時は前記挟持機構
    によってノズル先端を挾んで水の侵入を防止し、レーザ
    光照射時は気体の加圧により前記挟持機構を作動させて
    ノズル先端を開放し、同時に気体を噴出させて水の侵入
    を防止すること を特徴とする 水中レーザ光照射装置。
  3. 【請求項3】 水環境中でレーザ光を被照射材表面に照
    射して被照射材表面を加工する水中レーザ光照射装置で
    あって、レーザ光照射手段を保持し、前面が密閉された
    鏡筒と、当該鏡筒の前面を覆うように設けられた第1の
    ノズルと、当該第1のノズルの先端に設けられ、当該ノ
    ズル内への浸水を防止する閉鎖手段と、前記第1のノズ
    ル内に気体を供給する第1の気体供給手段と、前記閉鎖
    手段を開閉する開閉駆動手段とを一体に備え、レーザ光
    照射時には前記気体を前記第1のノズル内に供給すると
    ともに前記閉鎖手段を開放し、レーザ光の非照射時には
    前記閉鎖手段を閉鎖して前記第1のノズル内への浸水を
    防止するようにした水中レーザ光照射装置において、 前記閉鎖手段は側面から軸線に直交するように貫通した
    孔を開設され、第1のノズル先端部の長手方向と直交す
    る方向に設けられた丸棒からなり、 前記開閉駆動手段は前記丸棒を中心の前記軸線に関して
    回転させる回転駆動機構からなり、 前記開閉駆動手段は、レーザ光非照射時は前記丸棒を回
    転させて前記孔を閉鎖して第1のノズル内を隔離し、レ
    ーザ光照射時は照射に先立って前記気体の供給圧力を上
    げるとともに前記丸棒を回転させて孔を開放し、第1の
    ノズルから気体を噴出させて水の侵入を防止することを
    特徴とする 水中レーザ光照射装置。
  4. 【請求項4】 水環境中でレーザ光を被照射材表面に照
    射して被照射材表面を加工する水中レーザ光照射装置で
    あって、レーザ光照射手段を保持し、前面が密閉された
    鏡筒と、当該鏡筒の前面を覆うように設けられた第1の
    ノズルと、当該第1のノズルの先端に設けられ、当該ノ
    ズル内への浸水を防止する閉鎖手段と、前記第1のノズ
    ル内に気体を供給する第1の気体供給手段と、前記閉鎖
    手段を開閉する開閉駆動手段とを一体に備え、レーザ光
    照射時には前記気体を前記第1のノズル内に供給すると
    ともに前記閉鎖手段を開放し、レーザ光の非照射時には
    前記閉鎖手段を閉鎖して前記第1のノズル内への浸水を
    防止するようにした水中レーザ光照射装置において、 前記閉鎖手段は、第1のノズル先端部に設けられ、当該
    ノズルの長手方向に対して直交する方向にスライドする
    封止板からなり、 前記開閉駆動手段は前記封止板をノズルの長手方向に対
    して直交する方向にスライドさせる機構からなり、 前記開閉駆動手段は、レーザ光非照射時は封止板を閉じ
    て浸水を防止し、レーザ光照射時は照射に先立ち前記気
    体の供給圧力を上げるとともに前記封止板を移動させて
    前記第1のノズル先端を開放し、前記第1のノズルから
    気体を噴出させて水の侵入を防止することを特徴とする
    水中レーザ光照射装置。
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