JP3112053B2 - 固体撮像素子用カバーガラス - Google Patents
固体撮像素子用カバーガラスInfo
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- JP3112053B2 JP3112053B2 JP06026010A JP2601094A JP3112053B2 JP 3112053 B2 JP3112053 B2 JP 3112053B2 JP 06026010 A JP06026010 A JP 06026010A JP 2601094 A JP2601094 A JP 2601094A JP 3112053 B2 JP3112053 B2 JP 3112053B2
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- Japan
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- glass
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- cover glass
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＣＤと呼ばれる固体
撮像素子を収容するアルミナなどのセラミックパッケー
ジの窓ガラスとして使用される固体撮像素子用カバーガ
ラスに関し、特に固体撮像素子の機能低下を抑えること
が可能なカバーガラスに関するものである。
撮像素子を収容するアルミナなどのセラミックパッケー
ジの窓ガラスとして使用される固体撮像素子用カバーガ
ラスに関し、特に固体撮像素子の機能低下を抑えること
が可能なカバーガラスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より固体撮像装置の一種として、ア
ルミナなどのセラミックパッケージ内にＣＣＤなどの固
体撮像素子を搭載し、窓ガラスとしての機能をもつカバ
ーガラスをセラミックパッケージの外表面に封着するこ
とによって、固体撮像素子を収納した電子部品が広く使
用されている。
ルミナなどのセラミックパッケージ内にＣＣＤなどの固
体撮像素子を搭載し、窓ガラスとしての機能をもつカバ
ーガラスをセラミックパッケージの外表面に封着するこ
とによって、固体撮像素子を収納した電子部品が広く使
用されている。
【０００３】固体撮像素子は、半導体ＩＣと同様に、シ
リコンの基板上に微細な受光素子を多数集積したもので
あり、光信号を素子に取り込む必要があるため、固体撮
像装置のカバーガラスには、高い光透過特性を有し、固
体撮像素子の機能を損なわせないことが要求される。
リコンの基板上に微細な受光素子を多数集積したもので
あり、光信号を素子に取り込む必要があるため、固体撮
像装置のカバーガラスには、高い光透過特性を有し、固
体撮像素子の機能を損なわせないことが要求される。
【０００４】一般にこの種のカバーガラスの材質として
は、ホウケイ酸ガラスや無アルカリガラスが用いられて
いるが、これらのホウケイ酸ガラスや無アルカリガラス
は、α線放射量が大きく、しかもカバーガラスは、素子
に対面するように取り付けられるため、そこから放射さ
れるα線は、素子に対して大きな悪影響を与える。
は、ホウケイ酸ガラスや無アルカリガラスが用いられて
いるが、これらのホウケイ酸ガラスや無アルカリガラス
は、α線放射量が大きく、しかもカバーガラスは、素子
に対面するように取り付けられるため、そこから放射さ
れるα線は、素子に対して大きな悪影響を与える。
【０００５】すなわちカバーガラスからα線が放射さ
れ、これが固体撮像素子に入射すると、α線のエネルギ
ーによって正孔・電子対が誘起され、これが原因となっ
て瞬間的に画像に輝点や白点を生じさせる、所謂ソフト
エラーと呼ばれる現象が発生する。
れ、これが固体撮像素子に入射すると、α線のエネルギ
ーによって正孔・電子対が誘起され、これが原因となっ
て瞬間的に画像に輝点や白点を生じさせる、所謂ソフト
エラーと呼ばれる現象が発生する。
【０００６】特に近年、単位面積当りの画素数の増大に
よる高精度化が進められるに従い、素子がますます微細
になり、そのためα線の影響が一層顕著に現れるように
なってきている。
よる高精度化が進められるに従い、素子がますます微細
になり、そのためα線の影響が一層顕著に現れるように
なってきている。
【０００７】上記の事情から、カバーガラスから発生す
るα線対策が各種試みられており、例えば特開平１−１
７３６３９号公報には、カバーガラスとしてα線の放射
量の少ない高純度石英ガラスを使用することが提案さ
れ、また特開平３−７４８７４号公報には、素子上に鉛
を含むシリケートガラス薄膜を形成することによってα
線を遮蔽することが提案されている。
るα線対策が各種試みられており、例えば特開平１−１
７３６３９号公報には、カバーガラスとしてα線の放射
量の少ない高純度石英ガラスを使用することが提案さ
れ、また特開平３−７４８７４号公報には、素子上に鉛
を含むシリケートガラス薄膜を形成することによってα
線を遮蔽することが提案されている。
【０００８】さらに特開平５−２７９０７４号公報に
は、α線の放射量が少ないホウケイ酸ガラスからなる固
体撮像素子用カバーガラスが提案されている。
は、α線の放射量が少ないホウケイ酸ガラスからなる固
体撮像素子用カバーガラスが提案されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】特開平１−１７３６３
９号公報では、カバーガラスとして高純度石英ガラスを
用い、セラミックパッケージの熱膨張係数を高純度石英
ガラスの熱膨張係数と、固体撮像素子の熱膨張係数の中
間の値にすることが提案されているが、高純度石英ガラ
スは、非常に高価であり、且つ、線膨張係数が、アルミ
ナセラミックの線膨張係数（約７０×１０-7／℃）に比
べてかなり大きいため、アルミナ以外の材料からなる特
殊なパッケージを使用する必要があり、固体撮像素子の
低コスト化が困難となる。
９号公報では、カバーガラスとして高純度石英ガラスを
用い、セラミックパッケージの熱膨張係数を高純度石英
ガラスの熱膨張係数と、固体撮像素子の熱膨張係数の中
間の値にすることが提案されているが、高純度石英ガラ
スは、非常に高価であり、且つ、線膨張係数が、アルミ
ナセラミックの線膨張係数（約７０×１０-7／℃）に比
べてかなり大きいため、アルミナ以外の材料からなる特
殊なパッケージを使用する必要があり、固体撮像素子の
低コスト化が困難となる。
【００１０】また特開平３−７４８７４号公報では、膜
付けのためのプロセスが必要となり、しかもα線を遮蔽
するためには、かなりの厚みをもつ膜が必要となるた
め、膜付け工程に長時間を要する。
付けのためのプロセスが必要となり、しかもα線を遮蔽
するためには、かなりの厚みをもつ膜が必要となるた
め、膜付け工程に長時間を要する。
【００１１】特開平５−２７９０７４号公報のカバーガ
ラスは、安価な材料から作製され、しかもウラン
（Ｕ）、トリウム（Ｔｈ）などの放射性同位元素が少な
いため、α線の放射量が少ない。しかしながらこのガラ
スは、Ａｌ2 Ｏ3 を５．０％以下しか含まないため、ガ
ラスの耐候性が悪いという欠点がある。すなわちガラス
の耐候性が悪いと、長期に亙って使用している間に、ガ
ラス表面からアルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が
析出し、透明性が損なわれるという問題が発生する。
ラスは、安価な材料から作製され、しかもウラン
（Ｕ）、トリウム（Ｔｈ）などの放射性同位元素が少な
いため、α線の放射量が少ない。しかしながらこのガラ
スは、Ａｌ2 Ｏ3 を５．０％以下しか含まないため、ガ
ラスの耐候性が悪いという欠点がある。すなわちガラス
の耐候性が悪いと、長期に亙って使用している間に、ガ
ラス表面からアルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶が
析出し、透明性が損なわれるという問題が発生する。
【００１２】さらにこのカバーガラスは、溶融を促進す
る目的でＫ2 Ｏを含有しているが、そのためβ線の放射
量が多くなる。β線は、α線に比べて透過性が強いた
め、撮像素子への影響は微弱ではあるが、これによって
も素子の機能が損なわれる可能性があり、この種のガラ
スは、できるだけβ線の放射量についても少ないことが
望ましい。β線の放射量を少なくするためには、ガラス
の構成成分としてβ崩壊する同位体を有するような成分
を避ける必要があるが、カリウムはこの成分に該当す
る。
る目的でＫ2 Ｏを含有しているが、そのためβ線の放射
量が多くなる。β線は、α線に比べて透過性が強いた
め、撮像素子への影響は微弱ではあるが、これによって
も素子の機能が損なわれる可能性があり、この種のガラ
スは、できるだけβ線の放射量についても少ないことが
望ましい。β線の放射量を少なくするためには、ガラス
の構成成分としてβ崩壊する同位体を有するような成分
を避ける必要があるが、カリウムはこの成分に該当す
る。
【００１３】本発明は、安価で、α線及びβ線の放射量
が少なく、優れた耐候性を有し、しかも平均線膨張係数
が６０〜７５×１０-7／℃であるため、アルミナパッケ
ージに封着可能な固体撮像素子用カバーガラスを提供す
ることを目的とするものである。
が少なく、優れた耐候性を有し、しかも平均線膨張係数
が６０〜７５×１０-7／℃であるため、アルミナパッケ
ージに封着可能な固体撮像素子用カバーガラスを提供す
ることを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像素子用
カバーガラスは、重量百分率で、ＳｉＯ2 ６５．０〜
７５．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ７．０〜１１．０％、Ｂ2 Ｏ
3 ８．０〜１２．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９
％、Ｎａ2 Ｏ ４．５〜７．５％の組成を有し、本質的
にＫ2 Ｏを含有せず、ガラス中に含有されるウラン
（Ｕ）、トリウム（Ｔｈ）の量が、各々５０ｐｐｂ以下
であることを特徴とする。
カバーガラスは、重量百分率で、ＳｉＯ2 ６５．０〜
７５．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ７．０〜１１．０％、Ｂ2 Ｏ
3 ８．０〜１２．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９
％、Ｎａ2 Ｏ ４．５〜７．５％の組成を有し、本質的
にＫ2 Ｏを含有せず、ガラス中に含有されるウラン
（Ｕ）、トリウム（Ｔｈ）の量が、各々５０ｐｐｂ以下
であることを特徴とする。
【００１５】また本発明の固体撮像素子用カバーガラス
は、好ましくは、重量百分率で、ＳｉＯ2 ６７．０〜
７３．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ８．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ
3 ９．０〜１１．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９％、
Ｎａ2 Ｏ ４．９〜６．９％の組成を有し、本質的にＫ
2 Ｏを含有しないすることを特徴とする。
は、好ましくは、重量百分率で、ＳｉＯ2 ６７．０〜
７３．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ８．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ
3 ９．０〜１１．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９％、
Ｎａ2 Ｏ ４．９〜６．９％の組成を有し、本質的にＫ
2 Ｏを含有しないすることを特徴とする。
【００１６】
【作用】ガラスのα線発生の主因は、ガラスに不純物と
して含まれるＵとＴｈであり、これらの量を一定値以下
に抑えれば、α線の放射量を少なくすることが可能であ
り、具体的には、各々の量を５０ｐｐｂ以下にすればα
線による固体撮像素子のソフトエラーを防ぐことができ
る。
して含まれるＵとＴｈであり、これらの量を一定値以下
に抑えれば、α線の放射量を少なくすることが可能であ
り、具体的には、各々の量を５０ｐｐｂ以下にすればα
線による固体撮像素子のソフトエラーを防ぐことができ
る。
【００１７】以前よりＵやＴｈが、ジルコニア原料に多
く含まれていることは広く知られているが、バリウム原
料にもＵやＴｈが多く含まれている。従ってＵとＴｈの
量を各々５０ｐｐｂ以下にするためには、ＢａＯを極力
含有しないようにし、例え含有させる場合でも原料とし
て高純度品を使用することが必要である。
く含まれていることは広く知られているが、バリウム原
料にもＵやＴｈが多く含まれている。従ってＵとＴｈの
量を各々５０ｐｐｂ以下にするためには、ＢａＯを極力
含有しないようにし、例え含有させる場合でも原料とし
て高純度品を使用することが必要である。
【００１８】また本発明においては、バリウム以外に
も、他の全ての成分について原料を選定することが要求
され、さらに溶融時及び加工時のＵやＴｈの混入も極力
避けなければならない。
も、他の全ての成分について原料を選定することが要求
され、さらに溶融時及び加工時のＵやＴｈの混入も極力
避けなければならない。
【００１９】さらにカリウムの原料は、Ｋの放射性同位
元素40Ｋを有しており、これがβ線放射の原因となるた
め、Ｋ2 Ｏの含有も避ける必要がある。
元素40Ｋを有しており、これがβ線放射の原因となるた
め、Ｋ2 Ｏの含有も避ける必要がある。
【００２０】本発明の固体撮像素子用カバーガラスは、
α線やβ線の放射量以外にも、耐候性、線膨張係数、製
造のしやすさを考慮した上で組成を決定しており、その
組成を上記のように限定した理由は、以下のとおりであ
る。
α線やβ線の放射量以外にも、耐候性、線膨張係数、製
造のしやすさを考慮した上で組成を決定しており、その
組成を上記のように限定した理由は、以下のとおりであ
る。
【００２１】まずＳｉＯ2 は、ガラスの耐候性を向上さ
せる作用を有するが、その含有量が６５．０％以下にな
ると、このような作用が得られ難くなり、７５．０％以
上になると、ガラスの溶融及び成形が困難となる。
せる作用を有するが、その含有量が６５．０％以下にな
ると、このような作用が得られ難くなり、７５．０％以
上になると、ガラスの溶融及び成形が困難となる。
【００２２】Ａｌ2 Ｏ3 もガラスの耐候性を向上させる
作用を有するが、その含有量が７．０％以下になると、
耐候性が悪くなって実用性に乏しくなり、１１．０％以
上になると、ガラスの溶融が困難となる。
作用を有するが、その含有量が７．０％以下になると、
耐候性が悪くなって実用性に乏しくなり、１１．０％以
上になると、ガラスの溶融が困難となる。
【００２３】Ｂ2 Ｏ3 は、ガラスの溶融性と耐失透性を
向上させる作用を有するが、その含有量が８．０％以下
になると、成形温度の上昇に伴って作業性が悪くなり、
１２．０％以上になると、ガラスの化学的耐久性が悪く
なる。
向上させる作用を有するが、その含有量が８．０％以下
になると、成形温度の上昇に伴って作業性が悪くなり、
１２．０％以上になると、ガラスの化学的耐久性が悪く
なる。
【００２４】Ｌｉ2 Ｏは、線膨張係数を調整すると共
に、ガラスの溶融性を向上する作用を有するが、その含
有量が３．１％以下になると、ガラスの溶融性が悪くな
ると共に、平均線膨張係数が６０×１０-7／℃以下にな
りやすく、一方、６．９％以上になると、耐候性が悪く
なると共に、ガラス溶融時のガラス表面からの蒸着が著
しくなり、脈理不良の原因となるため好ましくない。
に、ガラスの溶融性を向上する作用を有するが、その含
有量が３．１％以下になると、ガラスの溶融性が悪くな
ると共に、平均線膨張係数が６０×１０-7／℃以下にな
りやすく、一方、６．９％以上になると、耐候性が悪く
なると共に、ガラス溶融時のガラス表面からの蒸着が著
しくなり、脈理不良の原因となるため好ましくない。
【００２５】Ｎａ2 Ｏも、線膨張係数を調整すると共
に、ガラスの溶融性を向上する作用を有するが、その含
有量が４．５％以下になると、ガラスの溶融性が悪くな
ると共に、平均線膨張係数が６０×１０-7／℃以下にな
りやすく、一方、７．５％以上になると、耐水性が著し
く悪くなると共に平均線膨張係数が７５×１０-7／℃以
上になりやすい。
に、ガラスの溶融性を向上する作用を有するが、その含
有量が４．５％以下になると、ガラスの溶融性が悪くな
ると共に、平均線膨張係数が６０×１０-7／℃以下にな
りやすく、一方、７．５％以上になると、耐水性が著し
く悪くなると共に平均線膨張係数が７５×１０-7／℃以
上になりやすい。
【００２６】尚、本発明においては、上記の成分以外に
も、清澄剤として、Ａｓ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 、塩化物、
コーンスターチ、カーボン、サッカロース、金属粉、弗
化物を含有させることが可能である。また弗化物あるい
は塩化物の添加により、ガラス中にＦ、Ｃｌを含有させ
ることも可能である。さらに膨張係数や粘度の微調整を
図るため、必要に応じてアルカリ土類元素であるＭｇ、
Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを炭酸塩原料により添加することも可
能である。また必要に応じてガラスを着色するための添
加物として、遷移金属元素のイオンを炭酸塩等の塩とし
て微量添加することも可能である。
も、清澄剤として、Ａｓ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 、塩化物、
コーンスターチ、カーボン、サッカロース、金属粉、弗
化物を含有させることが可能である。また弗化物あるい
は塩化物の添加により、ガラス中にＦ、Ｃｌを含有させ
ることも可能である。さらに膨張係数や粘度の微調整を
図るため、必要に応じてアルカリ土類元素であるＭｇ、
Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを炭酸塩原料により添加することも可
能である。また必要に応じてガラスを着色するための添
加物として、遷移金属元素のイオンを炭酸塩等の塩とし
て微量添加することも可能である。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の固体撮像素子用カバーガラス
を実施例に基づき詳細に説明する。
を実施例に基づき詳細に説明する。
【００２８】表１、２は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．
１〜８）と、比較例（試料Ｎｏ．９〜１３）のガラスを
示すものである。
１〜８）と、比較例（試料Ｎｏ．９〜１３）のガラスを
示すものである。
【００２９】
【表１】
【００３０】
【表２】
【００３１】表のＮｏ．１〜１３の各試料は、次のよう
にして調製した。
にして調製した。
【００３２】まず表に示す組成のガラスとなるように調
合したガラス原料を白金ルツボに入れ、電気炉内で１５
００℃、５時間の条件で溶融した後、この溶融ガラスを
グラファイト上に流し出し、次いで徐冷炉内で除歪し
た。
合したガラス原料を白金ルツボに入れ、電気炉内で１５
００℃、５時間の条件で溶融した後、この溶融ガラスを
グラファイト上に流し出し、次いで徐冷炉内で除歪し
た。
【００３３】こうして作製した各試料について、不純物
量、α線とβ線の放射量、平均線膨張係数及びアルカリ
溶出量を測定し、その結果を表に示した。また各試料の
アルカリ溶出量を求めた後、高温高湿試験に供し、その
結果も表に示した。
量、α線とβ線の放射量、平均線膨張係数及びアルカリ
溶出量を測定し、その結果を表に示した。また各試料の
アルカリ溶出量を求めた後、高温高湿試験に供し、その
結果も表に示した。
【００３４】表から明らかなように実施例であるＮｏ．
１〜８の各試料は、不純物であるＵとＴｈの量が、各々
５０ｐｐｂ以下であるため、α線放射量が、０．００９
Ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒ．以下、β線放射量が、４×１０-6μ
Ｃｉ／ｃｍ2 以下と少なかった。また平均線膨張係数
が、６０．０〜７０．０×１０-7／℃とアルミナセラミ
ックのそれに近似しており、さらにアルカリ溶出量が、
０．０６ｍｇ以下と少なく、高温高湿試験に供しても、
表面に異常は認められず、優れた耐候性を有していた。
１〜８の各試料は、不純物であるＵとＴｈの量が、各々
５０ｐｐｂ以下であるため、α線放射量が、０．００９
Ｃ／ｃｍ2 ・ｈｒ．以下、β線放射量が、４×１０-6μ
Ｃｉ／ｃｍ2 以下と少なかった。また平均線膨張係数
が、６０．０〜７０．０×１０-7／℃とアルミナセラミ
ックのそれに近似しており、さらにアルカリ溶出量が、
０．０６ｍｇ以下と少なく、高温高湿試験に供しても、
表面に異常は認められず、優れた耐候性を有していた。
【００３５】それに対して比較例であるＮｏ．９の試料
は、不純物であるＵの量が、２００ｐｐｂ、Ｔｈの量が
１５０ｐｐｂと多いため、α線の放射量が、０．０６Ｃ
／ｃｍ2 ・ｈｒ．と多かった。またＮｏ．１０の試料
は、Ｋ2 Ｏを０．５％含有しているため、β線の放射量
が、６×１０-6μＣｉ／ｃｍ2 と多かった。さらにＮ
ｏ．１１の試料は、Ｌｉ2 Ｏの含有量が３．０％と少な
いため、平均線膨張係数が５８×１０-7／℃と低かっ
た。またＮｏ．１２の試料は、Ａｌ2 Ｏ3 の含有量が
５．０％と少ないため、アルカリ溶出量が０．１２ｍｇ
と多く、高温高湿試験によって表面に結晶の析出が認め
られた。さらにＮｏ．１３の試料は、Ｎａ2 Ｏを７．６
％も含有するため、平均線膨張係数が７７×１０-7／℃
と高く、しかもアルカリ溶出量が０．１５ｍｇと多く、
高温高湿試験によって表面に結晶の析出が認められた。
は、不純物であるＵの量が、２００ｐｐｂ、Ｔｈの量が
１５０ｐｐｂと多いため、α線の放射量が、０．０６Ｃ
／ｃｍ2 ・ｈｒ．と多かった。またＮｏ．１０の試料
は、Ｋ2 Ｏを０．５％含有しているため、β線の放射量
が、６×１０-6μＣｉ／ｃｍ2 と多かった。さらにＮ
ｏ．１１の試料は、Ｌｉ2 Ｏの含有量が３．０％と少な
いため、平均線膨張係数が５８×１０-7／℃と低かっ
た。またＮｏ．１２の試料は、Ａｌ2 Ｏ3 の含有量が
５．０％と少ないため、アルカリ溶出量が０．１２ｍｇ
と多く、高温高湿試験によって表面に結晶の析出が認め
られた。さらにＮｏ．１３の試料は、Ｎａ2 Ｏを７．６
％も含有するため、平均線膨張係数が７７×１０-7／℃
と高く、しかもアルカリ溶出量が０．１５ｍｇと多く、
高温高湿試験によって表面に結晶の析出が認められた。
【００３６】尚、表中の不純物であるＵとＴｈの量は、
ＩＣＰ（誘導結合高周波プラズマ）分析によって求めた
ものである。またα線放射量とβ線放射量は、ガスフロ
ー比例計数管測定装置を用いて測定し、平均線膨張係数
は、石英管式膨張計を用いて、３０〜３８０℃における
平均値を求めたものである。さらにアルカリ溶出量は、
ＪＩＳ Ｒ３５０２の規定に基づいて求めたものであ
る。
ＩＣＰ（誘導結合高周波プラズマ）分析によって求めた
ものである。またα線放射量とβ線放射量は、ガスフロ
ー比例計数管測定装置を用いて測定し、平均線膨張係数
は、石英管式膨張計を用いて、３０〜３８０℃における
平均値を求めたものである。さらにアルカリ溶出量は、
ＪＩＳ Ｒ３５０２の規定に基づいて求めたものであ
る。
【００３７】また高温高湿試験は、各試料をアルカリ溶
出試験に供した後、酸化セリウムによって鏡面ポリッシ
ュして、２０×２０×１ｍｍの寸法の板状に加工し、次
いでこれを８５℃−８５％、５００時間の条件下に放置
した後の表面状態を電子顕微鏡によって観察したもので
あり、表面に変化の認められなかったものを異常無と
し、アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶の析出が認
められたものを結晶析出とした。
出試験に供した後、酸化セリウムによって鏡面ポリッシ
ュして、２０×２０×１ｍｍの寸法の板状に加工し、次
いでこれを８５℃−８５％、５００時間の条件下に放置
した後の表面状態を電子顕微鏡によって観察したもので
あり、表面に変化の認められなかったものを異常無と
し、アルカリ金属やアルカリ土類金属の結晶の析出が認
められたものを結晶析出とした。
【００３８】
【発明の効果】以上のように本発明の固体撮像素子用カ
バーガラスは、α線及びβ線の放射量が少ないため、素
子にソフトエラーを発生させることがなく、優れた耐候
性を有し、しかも線膨張係数がアルミナセラミックのそ
れに近似しているため、アルミナパッケージに封着可能
である。
バーガラスは、α線及びβ線の放射量が少ないため、素
子にソフトエラーを発生させることがなく、優れた耐候
性を有し、しかも線膨張係数がアルミナセラミックのそ
れに近似しているため、アルミナパッケージに封着可能
である。
Claims (2)
- 【請求項１】 重量百分率で、ＳｉＯ2 ６５．０〜７
５．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ７．０〜１１．０％、Ｂ2 Ｏ3
８．０〜１２．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９％、
Ｎａ2 Ｏ ４．５〜７．５％の組成を有し、本質的にＫ
2 Ｏを含有せず、ガラス中に含有されるウラン（Ｕ）、
トリウム（Ｔｈ）の量が、各々５０ｐｐｂ以下であるこ
とを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。 - 【請求項２】 重量百分率で、ＳｉＯ2 ６７．０〜７
３．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ８．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3
９．０〜１１．０％、Ｌｉ2 Ｏ ３．１〜６．９％、
Ｎａ2 Ｏ ４．９〜６．９％の組成を有し、本質的にＫ
2 Ｏを含有しないことを特徴とする請求項１の固体撮像
素子用カバーガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06026010A JP3112053B2 (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 固体撮像素子用カバーガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06026010A JP3112053B2 (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 固体撮像素子用カバーガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07215733A JPH07215733A (ja) | 1995-08-15 |
| JP3112053B2 true JP3112053B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=12181736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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