JP5467538B2 - 半導体素子用ガラス基板およびそれを用いたチップスケールパッケージ - Google Patents
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- 表面に金属膜からなる配線を配設した半導体素子用ガラス基板であって、質量%表示で、SiO2 58〜75%、Al2O3 0.5〜15%、B2O3 5〜20%、アルカリ金属酸化物 1〜20%、Li2O 0〜0.5%、アルカリ土類金属酸化物 0.5〜20%、CaO 0.5〜10%、ZnO 0〜10%を含有し、ハロゲン元素の含有量が0.1%以下であることを特徴とする半導体素子用ガラス基板。
- α線の放出量が0.05c/cm2・hr以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子用ガラス基板。
- 30〜380℃の温度範囲における平均熱膨張係数が、25〜60×10−7/℃であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子用ガラス基板。
- 金属膜がAl膜であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の半導体素子用ガラス基板。
- 2枚のガラス基板の間に半導体素子が配設され、少なくとも一方のガラス基板が請求項1に記載の半導体素子用ガラス基板であることを特徴とするチップスケールパッケージ。
- 半導体素子が固体撮像素子であることを特徴とする請求項5に記載のチップスケールパッケージ。
- 固体撮像素子がCCDまたはCMOSであることを特徴とする請求項6に記載のチップスケールパッケージ。
- 半導体素子用ガラス基板の製造方法であって、質量%表示で、SiO2 58〜75%、Al2O3 0.5〜15%、B2O3 5〜20%、アルカリ金属酸化物 1〜20%、Li2O 0〜0.5%、アルカリ土類金属酸化物 0.5〜20%、CaO 0.5〜10%、ZnO 0〜10%を含有し、ハロゲン元素の含有量が0.1%以下のガラスとなるようにガラス原料を調製することを特徴とする半導体素子用ガラス基板の製造方法。
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