JP2660891B2 - 固体撮像素子パッケージ用窓ガラス - Google Patents
固体撮像素子パッケージ用窓ガラスInfo
- Publication number
- JP2660891B2 JP2660891B2 JP4322753A JP32275392A JP2660891B2 JP 2660891 B2 JP2660891 B2 JP 2660891B2 JP 4322753 A JP4322753 A JP 4322753A JP 32275392 A JP32275392 A JP 32275392A JP 2660891 B2 JP2660891 B2 JP 2660891B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- solid
- image sensor
- state image
- window glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオカメラ等に使用
される固体撮像素子のパッケージ窓用として用いられる
ガラスに関し、特に固体撮像素子のノイズ発生を低減さ
せた固体撮像素子パッケージ用窓ガラスに関する。
される固体撮像素子のパッケージ窓用として用いられる
ガラスに関し、特に固体撮像素子のノイズ発生を低減さ
せた固体撮像素子パッケージ用窓ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子は、受光素子であるＬＳＩ
チップをアルミナセラミックパッケージ内に納め、その
受光面に色分解モザイクフィルターを重ねてワイヤボン
ディングし、さらにその上にカバーガラスをエポキシ樹
脂または、ガラスフリットを用いて封着した構造となっ
ている。ここで用いられるカバーガラスは、アルミナセ
ラミックパッケージとの気密封着によりＬＳＩチップを
保護するだけではなく受光面へ効率的に光を導入するた
め、内部欠陥の少ない光学的に均質な材料特性、高い透
過率特性が要求される。また、このような用途に使用さ
れるガラスは、アルミナセラミックパッケージと封着さ
れた時に割れや歪みが発生してはならない。すなわち、
ガラスとアルミナセラミックパッケージの熱膨張係数を
適合させる必要がある。このため従来、この種のガラス
には、硼珪酸系のガラスが使用されてきた。
チップをアルミナセラミックパッケージ内に納め、その
受光面に色分解モザイクフィルターを重ねてワイヤボン
ディングし、さらにその上にカバーガラスをエポキシ樹
脂または、ガラスフリットを用いて封着した構造となっ
ている。ここで用いられるカバーガラスは、アルミナセ
ラミックパッケージとの気密封着によりＬＳＩチップを
保護するだけではなく受光面へ効率的に光を導入するた
め、内部欠陥の少ない光学的に均質な材料特性、高い透
過率特性が要求される。また、このような用途に使用さ
れるガラスは、アルミナセラミックパッケージと封着さ
れた時に割れや歪みが発生してはならない。すなわち、
ガラスとアルミナセラミックパッケージの熱膨張係数を
適合させる必要がある。このため従来、この種のガラス
には、硼珪酸系のガラスが使用されてきた。
【０００３】一方、通常のＩＣはもちろん、大容量メモ
リー素子など各種超ＬＳＩチップ半導体装置において、
アッセンブリに使用される気密封着用低融点ガラスある
いはその充填剤（フィラー）がα線粒子を放出し、ソフ
トエラーを発生することが知られている。これは、主と
して低融点ガラスの線膨脹係数の調整および強度向上を
目的として使用される充填剤（例えば、ジルコン Ｚｒ
ＳｉＯ4 など）が原因であり、放射性元素の分離が困難
である封着物質が使用された結果、α線放射率が著しく
増大し、高集積ＩＣの封止材料として用いることは適当
でないことが判明している。
リー素子など各種超ＬＳＩチップ半導体装置において、
アッセンブリに使用される気密封着用低融点ガラスある
いはその充填剤（フィラー）がα線粒子を放出し、ソフ
トエラーを発生することが知られている。これは、主と
して低融点ガラスの線膨脹係数の調整および強度向上を
目的として使用される充填剤（例えば、ジルコン Ｚｒ
ＳｉＯ4 など）が原因であり、放射性元素の分離が困難
である封着物質が使用された結果、α線放射率が著しく
増大し、高集積ＩＣの封止材料として用いることは適当
でないことが判明している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】テレビカメラなどに応
用されるイメージセンサとしての固体撮像素子は、高解
像度化の要請からしだいに画素数を増加させる方向にあ
る。同時にカメラ一体型ＶＴＲの小型，軽量化の進展と
ともに、光学系は、１／２インチ系から１／３インチ系
への縮小化が進んでいる。したがって画素面積が全体的
に縮小化され更に画素数が増加するため、一画素当たり
の信号レベルは相対的に低下し、従来問題にならなかっ
た微小ノイズが画質向上の大きな妨げとなってきてい
る。固体撮像素子の高解像度化を達成するためには、一
画素当りの感度を上げるとともにできるだけノイズを減
らす必要がある。
用されるイメージセンサとしての固体撮像素子は、高解
像度化の要請からしだいに画素数を増加させる方向にあ
る。同時にカメラ一体型ＶＴＲの小型，軽量化の進展と
ともに、光学系は、１／２インチ系から１／３インチ系
への縮小化が進んでいる。したがって画素面積が全体的
に縮小化され更に画素数が増加するため、一画素当たり
の信号レベルは相対的に低下し、従来問題にならなかっ
た微小ノイズが画質向上の大きな妨げとなってきてい
る。固体撮像素子の高解像度化を達成するためには、一
画素当りの感度を上げるとともにできるだけノイズを減
らす必要がある。
【０００５】本発明者らは、ＣＣＤなど固体撮像素子の
窓ガラスがα線放出性元素を大量に含有しα線粒子を放
出する場合、固体撮像素子に一過性の誤動作を引き起こ
しノイズとなることを見出した。α線粒子は、天然に存
在するウラン（Ｕ），トリウム（Ｔｈ），ラジウム（Ｒ
ａ）など放射性同位元素がα崩壊する際に放出される荷
電粒子である。α線粒子に起因するノイズをなくすため
には、ガラス中に不純物として含まれる放射性同位元素
を除去すればよい。このためにはできるだけ高純度に精
製された原料を使用し、溶融工程における不純物の混入
を防止してガラスを製造する必要がある。原料精製には
物理的・化学的各種方法があるが、技術的・経済的に限
界があり、特に放射性同位元素の分離が容易な原料と困
難な原料が存在するため、α線源となる放射性同位元素
を含まないガラスを容易に得ることは難しかった。
窓ガラスがα線放出性元素を大量に含有しα線粒子を放
出する場合、固体撮像素子に一過性の誤動作を引き起こ
しノイズとなることを見出した。α線粒子は、天然に存
在するウラン（Ｕ），トリウム（Ｔｈ），ラジウム（Ｒ
ａ）など放射性同位元素がα崩壊する際に放出される荷
電粒子である。α線粒子に起因するノイズをなくすため
には、ガラス中に不純物として含まれる放射性同位元素
を除去すればよい。このためにはできるだけ高純度に精
製された原料を使用し、溶融工程における不純物の混入
を防止してガラスを製造する必要がある。原料精製には
物理的・化学的各種方法があるが、技術的・経済的に限
界があり、特に放射性同位元素の分離が容易な原料と困
難な原料が存在するため、α線源となる放射性同位元素
を含まないガラスを容易に得ることは難しかった。
【０００６】本発明は、これらの事情を考慮してなされ
たもので、実質的にガラス、特にガラス中のα線放出性
元素に起因する固体撮像素子のノイズ発生がなく、アル
ミナセラミックと近似の熱膨脹係数を有する固体撮像素
子パッケージ用窓ガラスを提供することを目的とする。
たもので、実質的にガラス、特にガラス中のα線放出性
元素に起因する固体撮像素子のノイズ発生がなく、アル
ミナセラミックと近似の熱膨脹係数を有する固体撮像素
子パッケージ用窓ガラスを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、硼珪酸系ガラスをベースとして、パッケ
ージとの封着性に優れかつ固体撮像素子のノイズ発生を
低減させることに成功したものである。
成するために、硼珪酸系ガラスをベースとして、パッケ
ージとの封着性に優れかつ固体撮像素子のノイズ発生を
低減させることに成功したものである。
【０００８】すなわち本発明は、熱膨脹係数４８〜７５
×１０ -7 Ｋ -1 の硼珪酸系ガラスからなり、ガラス中の放
射性同位元素の含有量の合計が１００ｐｐｂ以下であ
り、ガラスからのα線放出量が０．０５ｃ／ｃｍ 2 ・ｈ
以下であることを特徴とする固体撮像素子パッケージ用
窓ガラスである。
×１０ -7 Ｋ -1 の硼珪酸系ガラスからなり、ガラス中の放
射性同位元素の含有量の合計が１００ｐｐｂ以下であ
り、ガラスからのα線放出量が０．０５ｃ／ｃｍ 2 ・ｈ
以下であることを特徴とする固体撮像素子パッケージ用
窓ガラスである。
【０００９】
【作用】本発明のガラスにおいて、平均熱膨張係数（０
〜３００℃）を４８〜７５×１０-7℃-1に限定した理由
は、パッケージ材料が主としてアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
セラミックとなるため、エポキシ系樹脂封着あるいはフ
リットガラス封着いずれの場合も、熱膨張係数をアルミ
ナと同一、または低めに保持し封着強度の向上、そりな
どの変形を防止するためである。
〜３００℃）を４８〜７５×１０-7℃-1に限定した理由
は、パッケージ材料が主としてアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
セラミックとなるため、エポキシ系樹脂封着あるいはフ
リットガラス封着いずれの場合も、熱膨張係数をアルミ
ナと同一、または低めに保持し封着強度の向上、そりな
どの変形を防止するためである。
【００１０】また、硼珪酸系ガラスは、光学的、熱的特
性にも優れているため、アルミナセラミックパッケージ
と封着した際に歪みの発生がなく、固体撮像素子上の結
像に歪みを生じない。
性にも優れているため、アルミナセラミックパッケージ
と封着した際に歪みの発生がなく、固体撮像素子上の結
像に歪みを生じない。
【００１１】本発明のガラス中に含まれる放射性同位元
素（Ｕ，Ｔｈ，Ｒａなど）の含有量の合計は１００ｐｐ
ｂ以下であることが望ましい。これらα放射性元素の濃
度が１００ｐｐｂを越えると、α線放出量が０．０５ｃ
／ｃｍ2 ・ｈ以上に増大し、固体撮像素子のノイズ発生
の原因となる。したがって同時に固体撮像素子パッケー
ジ用窓ガラスからのα線放出率を０．０５ｃ／ｃｍ2 ・
ｈ以下に抑えることが好ましい。
素（Ｕ，Ｔｈ，Ｒａなど）の含有量の合計は１００ｐｐ
ｂ以下であることが望ましい。これらα放射性元素の濃
度が１００ｐｐｂを越えると、α線放出量が０．０５ｃ
／ｃｍ2 ・ｈ以上に増大し、固体撮像素子のノイズ発生
の原因となる。したがって同時に固体撮像素子パッケー
ジ用窓ガラスからのα線放出率を０．０５ｃ／ｃｍ2 ・
ｈ以下に抑えることが好ましい。
【００１２】また、α放射性元素の精製分離が困難なＦ
ｅ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＰｂＯ，ＺｒＯ2 等については、
原料や溶融工程からの混入を防止する必要がある。たと
えガラス中にこれらが混入した場合でも、各々１００ｐ
ｐｍ以下に抑えることが望ましい。これらの成分が各々
１００ｐｐｍを越えて含有されるとα放射性元素の濃度
が１００ｐｐｂを越え、α線放出量が急激に増大するか
らである。
ｅ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＰｂＯ，ＺｒＯ2 等については、
原料や溶融工程からの混入を防止する必要がある。たと
えガラス中にこれらが混入した場合でも、各々１００ｐ
ｐｍ以下に抑えることが望ましい。これらの成分が各々
１００ｐｐｍを越えて含有されるとα放射性元素の濃度
が１００ｐｐｂを越え、α線放出量が急激に増大するか
らである。
【００１３】さらに、これらの要件を満足し、本発明の
用途に適合するガラス組成としては、重量百分率でＳｉ
Ｏ2 ５０〜７５％，Ａｌ2 Ｏ3 ０．２〜５．０％，
Ｂ2Ｏ3 ５〜２０％，Ｌｉ2 Ｏ ０〜１％，Ｎａ2 Ｏ
０．５〜９．５％，Ｋ2 Ｏ０．２〜６％，Ｌｉ2 Ｏ＋
Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１２％，ＭｇＯ ０〜３％，Ｃ
ａＯ ０〜５％，ＢａＯ ０〜６％，ＺｎＯ ０〜５
％，ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯ ０〜１２％，Ａ
ｓ2 Ｏ3 ０〜１％，Ｓｂ2 Ｏ3 ０〜１％，Ｃｌ- ０
〜０．２％，Ｆ- ０〜０．５％，Ａｓ2 Ｏ3 ＋Ｓｂ2 Ｏ
3 ＋Ｃｌ- ＋Ｆ- ０．０２〜１．５％の基本組成を有
するものが好適する。
用途に適合するガラス組成としては、重量百分率でＳｉ
Ｏ2 ５０〜７５％，Ａｌ2 Ｏ3 ０．２〜５．０％，
Ｂ2Ｏ3 ５〜２０％，Ｌｉ2 Ｏ ０〜１％，Ｎａ2 Ｏ
０．５〜９．５％，Ｋ2 Ｏ０．２〜６％，Ｌｉ2 Ｏ＋
Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ５〜１２％，ＭｇＯ ０〜３％，Ｃ
ａＯ ０〜５％，ＢａＯ ０〜６％，ＺｎＯ ０〜５
％，ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯ ０〜１２％，Ａ
ｓ2 Ｏ3 ０〜１％，Ｓｂ2 Ｏ3 ０〜１％，Ｃｌ- ０
〜０．２％，Ｆ- ０〜０．５％，Ａｓ2 Ｏ3 ＋Ｓｂ2 Ｏ
3 ＋Ｃｌ- ＋Ｆ- ０．０２〜１．５％の基本組成を有
するものが好適する。
【００１４】上記ガラスは、その有効組成を形成するた
め原料を精製することができ、含有されるα放射性元素
（Ｕ，Ｔｈ，Ｒａなど）を１００ｐｐｂ以内に抑えるこ
とが可能である。上記ガラス組成において、ＳｉＯ2 が
５０％未満では、熱膨脹係数が大きくなりアルミナセラ
ミックパッケージとの気密封着に支障をきたし、７５％
を越えるとガラスの溶融性が悪化する。Ｂ2 Ｏ3 は、５
％未満では溶融性が悪くなり、２０％を越えると化学耐
久性が悪化し長期間使用時に表面にウェザリングを生じ
画像を不鮮明にする。Ａｌ2 Ｏ3 は０．２％未満では、
ガラスの分相が生じ成形が困難になり、５％を越えると
脈理が発生して均質なガラスが得られなくなる。Ｌｉ2
Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏは、融剤として作用しガラスの溶
融性を改良するが、同時にガラスの熱膨脹係数を調整す
る効果があり、その合量が５％以下では粘度が高くなり
溶融性が悪化すると共に熱膨脹係数も低くなり過ぎる。
また、１２％を越える場合は耐風化性が悪くなるととも
に、熱膨脹係数が高くなり過ぎるため不適となる。Ｚｎ
Ｏは、Ｂ2 Ｏ3 やアルカリ成分の溶融時の揮発を抑える
効果があるが、５％を越えると失透性が増す。ＢａＯや
ＭｇＯ，ＣａＯは、５〜６％以下の使用で化学耐久性を
向上させる効果がある。ＺｎＯも同様な効果をもつが、
その合量が１２％をこえると失透性が増大する。また、
上記ガラスの清澄剤としては、Ａｓ2 Ｏ3 ，Ｓｂ
2 Ｏ3 ，Ｆ- ，Ｃｌ- が各々１％未満で使用されるが、
その合量が０．０２％未満では十分な清澄効果が得られ
ず、１．５％以上では再発泡を生ずるため望ましくな
い。
め原料を精製することができ、含有されるα放射性元素
（Ｕ，Ｔｈ，Ｒａなど）を１００ｐｐｂ以内に抑えるこ
とが可能である。上記ガラス組成において、ＳｉＯ2 が
５０％未満では、熱膨脹係数が大きくなりアルミナセラ
ミックパッケージとの気密封着に支障をきたし、７５％
を越えるとガラスの溶融性が悪化する。Ｂ2 Ｏ3 は、５
％未満では溶融性が悪くなり、２０％を越えると化学耐
久性が悪化し長期間使用時に表面にウェザリングを生じ
画像を不鮮明にする。Ａｌ2 Ｏ3 は０．２％未満では、
ガラスの分相が生じ成形が困難になり、５％を越えると
脈理が発生して均質なガラスが得られなくなる。Ｌｉ2
Ｏ＋Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏは、融剤として作用しガラスの溶
融性を改良するが、同時にガラスの熱膨脹係数を調整す
る効果があり、その合量が５％以下では粘度が高くなり
溶融性が悪化すると共に熱膨脹係数も低くなり過ぎる。
また、１２％を越える場合は耐風化性が悪くなるととも
に、熱膨脹係数が高くなり過ぎるため不適となる。Ｚｎ
Ｏは、Ｂ2 Ｏ3 やアルカリ成分の溶融時の揮発を抑える
効果があるが、５％を越えると失透性が増す。ＢａＯや
ＭｇＯ，ＣａＯは、５〜６％以下の使用で化学耐久性を
向上させる効果がある。ＺｎＯも同様な効果をもつが、
その合量が１２％をこえると失透性が増大する。また、
上記ガラスの清澄剤としては、Ａｓ2 Ｏ3 ，Ｓｂ
2 Ｏ3 ，Ｆ- ，Ｃｌ- が各々１％未満で使用されるが、
その合量が０．０２％未満では十分な清澄効果が得られ
ず、１．５％以上では再発泡を生ずるため望ましくな
い。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。本
発明の実施例を表１に示す。表１中試料No.1ないしNo.6
は本発明の実施例を示し、No.7は従来例である。また表
中の組成は重量比で示してある。
発明の実施例を表１に示す。表１中試料No.1ないしNo.6
は本発明の実施例を示し、No.7は従来例である。また表
中の組成は重量比で示してある。
【００１６】表１に示した組成に従い、各種高純度に精
製された原料を使用し最終ガラス組成として１０００ｇ
となるよう調合し混合した後、１４８０℃の電気炉中で
５時間白金ルツボを使用して溶融した。その後炉内より
取り出し、鉄板上に成形したブロックを６００℃の温度
の電気炉に移し室温まで徐冷し、得られたガラスを所定
の寸法に光学研磨加工した。これらガラス板より放出さ
れるα線量の測定は、２πガスフロー式比例計数管を用
いた超低レベルα線測定装置で行ない、同時に遷移元素
とα線放射元素の化学分析をＩＣＰ−ＭＡＳＳにより測
定し、ＴＭＡ分析装置により平均熱膨張係数を測定し
た。そして、これらのガラスを実際に有効画素数３８万
画素のＣＣＤチップを内臓したアルミナパッケージに封
着して、固体撮像素子に使用した場合のノイズの有無を
調査した。また比較例としてα線放射元素を含有したガ
ラスを調整し、同様の試験に供した。
製された原料を使用し最終ガラス組成として１０００ｇ
となるよう調合し混合した後、１４８０℃の電気炉中で
５時間白金ルツボを使用して溶融した。その後炉内より
取り出し、鉄板上に成形したブロックを６００℃の温度
の電気炉に移し室温まで徐冷し、得られたガラスを所定
の寸法に光学研磨加工した。これらガラス板より放出さ
れるα線量の測定は、２πガスフロー式比例計数管を用
いた超低レベルα線測定装置で行ない、同時に遷移元素
とα線放射元素の化学分析をＩＣＰ−ＭＡＳＳにより測
定し、ＴＭＡ分析装置により平均熱膨張係数を測定し
た。そして、これらのガラスを実際に有効画素数３８万
画素のＣＣＤチップを内臓したアルミナパッケージに封
着して、固体撮像素子に使用した場合のノイズの有無を
調査した。また比較例としてα線放射元素を含有したガ
ラスを調整し、同様の試験に供した。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１の結果より、Ｕ，Ｔｈ，Ｒａのα放射
性元素の含有量の合量が１００ｐｐｂ以下である１〜６
のサンプルでは、α線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
以下であって固体撮像素子におけるノイズもみられな
い。これに対して、上記含有量が本発明の範囲より外れ
ている従来例では、α線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・
ｈ以上に高くなり固体撮像素子におけるノイズが発生し
ている。
性元素の含有量の合量が１００ｐｐｂ以下である１〜６
のサンプルでは、α線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
以下であって固体撮像素子におけるノイズもみられな
い。これに対して、上記含有量が本発明の範囲より外れ
ている従来例では、α線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・
ｈ以上に高くなり固体撮像素子におけるノイズが発生し
ている。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明のガラスは、α線放
出量が低く、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとし
て使用した場合、ガラスからのα線に起因するノイズの
発生を著しく低減することができる。また光学的、熱的
特性にも優れているため、アルミナセラミックパッケー
ジと封着した際に歪みの発生がなく、固体撮像素子上の
結像に歪みを生じない。したがって、本発明のガラス
は、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとして極めて
好適し、固体撮像素子の高解像度化に貢献することがで
きる。
出量が低く、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとし
て使用した場合、ガラスからのα線に起因するノイズの
発生を著しく低減することができる。また光学的、熱的
特性にも優れているため、アルミナセラミックパッケー
ジと封着した際に歪みの発生がなく、固体撮像素子上の
結像に歪みを生じない。したがって、本発明のガラス
は、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとして極めて
好適し、固体撮像素子の高解像度化に貢献することがで
きる。
Claims (1)
- 【請求項１】 熱膨脹係数４８〜７５×１０ -7 Ｋ -1 の硼
珪酸系ガラスからなり、ガラス中の放射性同位元素の含
有量の合計が１００ｐｐｂ以下であり、ガラスからのα
線放出量が０．０５ｃ／ｃｍ 2 ・ｈ以下であることを特
徴とする固体撮像素子パッケージ用窓ガラス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-19524 | 1992-01-08 | ||
| JP1952492 | 1992-01-08 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06548497A Division JP3206804B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | 固体撮像素子パッケージ用窓ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05279074A JPH05279074A (ja) | 1993-10-26 |
| JP2660891B2 true JP2660891B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=12001732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4322753A Expired - Lifetime JP2660891B2 (ja) | 1992-01-08 | 1992-11-06 | 固体撮像素子パッケージ用窓ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2660891B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013032280A (ja) * | 2003-02-19 | 2013-02-14 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 半導体パッケージ用カバーガラス |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5467538B2 (ja) * | 2005-05-10 | 2014-04-09 | 日本電気硝子株式会社 | 半導体素子用ガラス基板およびそれを用いたチップスケールパッケージ |
| JP5659499B2 (ja) * | 2010-02-19 | 2015-01-28 | 旭硝子株式会社 | 近赤外線カットフィルタガラス |
| JP5721370B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2015-05-20 | キヤノン株式会社 | 光センサの製造方法、光センサ及びカメラ |
| JP6056186B2 (ja) * | 2012-05-08 | 2017-01-11 | 株式会社ニコン | 撮像素子 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398660U (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-25 | ||
| JPS62176940A (ja) * | 1987-01-24 | 1987-08-03 | Mitsubishi Metal Corp | 半導体装置封着用低融点ガラス用ホウ酸鉛およびその製造方法 |
| JP2666310B2 (ja) * | 1987-12-26 | 1997-10-22 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
-
1992
- 1992-11-06 JP JP4322753A patent/JP2660891B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013032280A (ja) * | 2003-02-19 | 2013-02-14 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 半導体パッケージ用カバーガラス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05279074A (ja) | 1993-10-26 |
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