JP3109211B2 - 基板の位置決め装置 - Google Patents
基板の位置決め装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板の位置決め装置に係
り、詳しくは、基板の前端基準または後端基準に応じ
て、基板をＸＹ方向から位置決めするための手段に関す
る。
り、詳しくは、基板の前端基準または後端基準に応じ
て、基板をＸＹ方向から位置決めするための手段に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えばマウンターによりＩＣやＬＳＩな
どのチップを実装する場合、基板は位置決め装置に位置
決めされる。この位置決めに際して、基板は前端部を基
準にして位置決めする前端基準の位置決めと、後端部を
基準にして位置決めする後端基準の位置決めのいずれか
を選択して位置決めされる。
どのチップを実装する場合、基板は位置決め装置に位置
決めされる。この位置決めに際して、基板は前端部を基
準にして位置決めする前端基準の位置決めと、後端部を
基準にして位置決めする後端基準の位置決めのいずれか
を選択して位置決めされる。
【０００３】図５は従来手段に係る基板のＹ方向のクラ
ンプ状態の説明図である。１０１は基板Ｓを搬送する第
１のコンベア、１０２は基板Ｓの位置決め部に設けられ
た第２のコンベアである。基板Ｓのクランプ手段は、固
定クランパ１０４と、シリンダ１０５のロッド１０６に
連結された可動クランパ１０７とから構成され、シリン
ダ１０５の駆動により、ロッド１０６を突没させて可動
クランパ１０７をＹ方向に前進後退させることにより、
基板Ｓを固定クランパ１０４と可動クランパ１０７でク
ランプし、またクランプ解除する。
ンプ状態の説明図である。１０１は基板Ｓを搬送する第
１のコンベア、１０２は基板Ｓの位置決め部に設けられ
た第２のコンベアである。基板Ｓのクランプ手段は、固
定クランパ１０４と、シリンダ１０５のロッド１０６に
連結された可動クランパ１０７とから構成され、シリン
ダ１０５の駆動により、ロッド１０６を突没させて可動
クランパ１０７をＹ方向に前進後退させることにより、
基板Ｓを固定クランパ１０４と可動クランパ１０７でク
ランプし、またクランプ解除する。
【０００４】図６において、ＸＹテーブル１０８は、Ｘ
テーブル１０８ａ、Ｙテーブル１０８ｂから構成され、
且つその上部にＺテーブル１０８ｃが載置されており、
上記クランパ１０４、１０７はこのＸＹテーブル１０８
上に設けられている。１０９は台板であって、支柱１１
０を介してＸＹテーブル１０８上に横架されている。１
１１は台板１０９上に立設されて、基板Ｓの下面を支持
する多数本の下受ピンである。１１２は搬送されてきた
基板Ｓを前端基準位置ａで停止させるためのシリンダで
あり、１１４は基板Ｓを後端基準位置ｂで停止させるた
めのシリンダである。１１６はチップＰを基板Ｓに搭載
するための移載ヘッドであり、チップＰを吸着するノズ
ル１１７が装着されている。
テーブル１０８ａ、Ｙテーブル１０８ｂから構成され、
且つその上部にＺテーブル１０８ｃが載置されており、
上記クランパ１０４、１０７はこのＸＹテーブル１０８
上に設けられている。１０９は台板であって、支柱１１
０を介してＸＹテーブル１０８上に横架されている。１
１１は台板１０９上に立設されて、基板Ｓの下面を支持
する多数本の下受ピンである。１１２は搬送されてきた
基板Ｓを前端基準位置ａで停止させるためのシリンダで
あり、１１４は基板Ｓを後端基準位置ｂで停止させるた
めのシリンダである。１１６はチップＰを基板Ｓに搭載
するための移載ヘッドであり、チップＰを吸着するノズ
ル１１７が装着されている。
【０００５】次にこの従来の基板の位置決め装置の動作
を説明する。基板Ｓの位置決めが前端基準の場合は、図
６に示すように、基板ＳがＸＹテーブル１０８上に矢印
Ｎ１方向に搬送されてくると、シリンダ１１２のロッド
１１３が突出して、基板Ｓの前端部がこのロッド１１３
に当接することにより、基板Ｓは前端基準位置ａで停止
する。次いで、図示しない手段によりコンベヤ１０２と
ともに基板Ｓは下降して、下受ピン１１１上に着地す
る。次に図５鎖線に示すように、シリンダ１０５が駆動
してクランパ１０７が前進し、基板Ｓはクランパ１０
４，１０７にクランプされて位置決めされる。次いで、
図６鎖線に示すようにシリンダ１１２のロッド１１３を
引き込ませる。上記動作中、後方のシリンダ１１４のロ
ッド１１５は引き込んだままである。このようにして基
板Ｓを位置決めしたならば、次にＸテーブル１０８ａお
よびＹテーブル１０８ｂを駆動して基板ＳをＸＹ方向に
移動させながら、移載ヘッド１１６のノズル１１７を昇
降させてチップＰを基板Ｓにボンディングする。
を説明する。基板Ｓの位置決めが前端基準の場合は、図
６に示すように、基板ＳがＸＹテーブル１０８上に矢印
Ｎ１方向に搬送されてくると、シリンダ１１２のロッド
１１３が突出して、基板Ｓの前端部がこのロッド１１３
に当接することにより、基板Ｓは前端基準位置ａで停止
する。次いで、図示しない手段によりコンベヤ１０２と
ともに基板Ｓは下降して、下受ピン１１１上に着地す
る。次に図５鎖線に示すように、シリンダ１０５が駆動
してクランパ１０７が前進し、基板Ｓはクランパ１０
４，１０７にクランプされて位置決めされる。次いで、
図６鎖線に示すようにシリンダ１１２のロッド１１３を
引き込ませる。上記動作中、後方のシリンダ１１４のロ
ッド１１５は引き込んだままである。このようにして基
板Ｓを位置決めしたならば、次にＸテーブル１０８ａお
よびＹテーブル１０８ｂを駆動して基板ＳをＸＹ方向に
移動させながら、移載ヘッド１１６のノズル１１７を昇
降させてチップＰを基板Ｓにボンディングする。
【０００６】基板Ｓの位置決めが後端基準の場合には、
図５実線に示すようにまず基板Ｓをロッド１１３により
前端基準位置ａで停止させ、次いでロッド１１３を引き
込ませ、またロッド１１５を突出させるとともに、コン
ベア１０２を逆方向に駆動して、同図矢印Ｎ２方向に基
板Ｓを後退させることにより、この基板Ｓの後端部を同
図鎖線に示すようにロッド１１５に当接し、基板Ｓを後
端基準位置ｂで停止させる。次いで上述した前端基準の
場合と同様に、基板Ｓをクランパ１０４、１０７により
クランプしてチップＰを基板Ｓにボンディングする。
図５実線に示すようにまず基板Ｓをロッド１１３により
前端基準位置ａで停止させ、次いでロッド１１３を引き
込ませ、またロッド１１５を突出させるとともに、コン
ベア１０２を逆方向に駆動して、同図矢印Ｎ２方向に基
板Ｓを後退させることにより、この基板Ｓの後端部を同
図鎖線に示すようにロッド１１５に当接し、基板Ｓを後
端基準位置ｂで停止させる。次いで上述した前端基準の
場合と同様に、基板Ｓをクランパ１０４、１０７により
クランプしてチップＰを基板Ｓにボンディングする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記従来手段
では、前端基準および後端基準のどちらの場合でも、基
板ＳはＹ方向のクランパ１０４，１０７によりクランプ
されているだけであり、Ｘ方向のクランプはなされてい
ない。このため、ＸＹテーブル１０８を駆動して基板Ｓ
を高速度でＸＹ方向に移動させながらチップＰのボンデ
ィングを行う場合、基板ＳはＸ方向に位置ずれしやす
く、その結果チップＰのボンディング位置に狂いを生じ
やすい問題点があった。
では、前端基準および後端基準のどちらの場合でも、基
板ＳはＹ方向のクランパ１０４，１０７によりクランプ
されているだけであり、Ｘ方向のクランプはなされてい
ない。このため、ＸＹテーブル１０８を駆動して基板Ｓ
を高速度でＸＹ方向に移動させながらチップＰのボンデ
ィングを行う場合、基板ＳはＸ方向に位置ずれしやす
く、その結果チップＰのボンディング位置に狂いを生じ
やすい問題点があった。
【０００８】そこで本発明は、基板の前端基準または後
端基準のいずれの場合でも、基板のＸＹ方向からの位置
決めができる基板の位置決め装置を提供することを目的
とする。
端基準のいずれの場合でも、基板のＸＹ方向からの位置
決めができる基板の位置決め装置を提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の基板の位置決め
装置は、基板をＸ方向からクランプする第１のクランプ
手段と、Ｙ方向からクランプする第２のクランプ手段
と、これらの第１のクランプ手段と第２のクランプ手段
が設置されたＸＹテーブルとを設けている。そして第１
のクランプ手段が、ピンを中心に揺動して上記基板の両
側部をクランプする一対のクランパと、これらのクラン
パを揺動させる一対のシリンダから構成され、これらの
シリンダに空気を圧送する空気圧装置を設け、且つこれ
らのシリンダと空気圧装置の間に、上記基板の前端基準
および後端基準の切替えに応じて、基準側のシリンダの
空気圧を非基準側のシリンダの空気圧よりも大きくする
べく、各々のシリンダに圧送する空気圧の大きさを切り
替える空気圧切替手段を設け、且つ上記一対のクランパ
のうち、少なくとも空気圧の大きい方のクランパを前端
基準位置または後端基準位置で位置決めする位置決め用
ストッパを設けたものである。
装置は、基板をＸ方向からクランプする第１のクランプ
手段と、Ｙ方向からクランプする第２のクランプ手段
と、これらの第１のクランプ手段と第２のクランプ手段
が設置されたＸＹテーブルとを設けている。そして第１
のクランプ手段が、ピンを中心に揺動して上記基板の両
側部をクランプする一対のクランパと、これらのクラン
パを揺動させる一対のシリンダから構成され、これらの
シリンダに空気を圧送する空気圧装置を設け、且つこれ
らのシリンダと空気圧装置の間に、上記基板の前端基準
および後端基準の切替えに応じて、基準側のシリンダの
空気圧を非基準側のシリンダの空気圧よりも大きくする
べく、各々のシリンダに圧送する空気圧の大きさを切り
替える空気圧切替手段を設け、且つ上記一対のクランパ
のうち、少なくとも空気圧の大きい方のクランパを前端
基準位置または後端基準位置で位置決めする位置決め用
ストッパを設けたものである。
【００１０】
【作用】上記構成において、予め基板の前端基準および
後端基準に応じ、空気圧切替手段を操作して、空気圧装
置から圧送される基準側のシリンダの空気圧を非基準側
のシリンダの空気圧よりも大きくする。
後端基準に応じ、空気圧切替手段を操作して、空気圧装
置から圧送される基準側のシリンダの空気圧を非基準側
のシリンダの空気圧よりも大きくする。
【００１１】基板がＸＹテーブル上に搬送されてきた
ら、一方のシリンダを駆動して、一方のクランパにより
基板をクランプし、次いで他方のシリンダを駆動して、
他方のクランパにより基板をクランプする。この場合、
基準側のシリンダの空気圧を、非基準側のシリンダの空
気圧よりも大きくし、且つ少なくとも空気圧の大きい方
のクランパが位置決め用ストッパにより前端基準位置ま
たは後端基準位置で位置決めされているので、基板を基
準位置にしっかり位置決めできる。またこのようにし
て、基板をＸ方向とＹ方向からクランプして位置決めす
ることにより、ＸＹテーブルを駆動して基板を高速度で
ＸＹ方向に移動させる際に、基板がＸＹ方向に位置ずれ
するのを確実に阻止できる。
ら、一方のシリンダを駆動して、一方のクランパにより
基板をクランプし、次いで他方のシリンダを駆動して、
他方のクランパにより基板をクランプする。この場合、
基準側のシリンダの空気圧を、非基準側のシリンダの空
気圧よりも大きくし、且つ少なくとも空気圧の大きい方
のクランパが位置決め用ストッパにより前端基準位置ま
たは後端基準位置で位置決めされているので、基板を基
準位置にしっかり位置決めできる。またこのようにし
て、基板をＸ方向とＹ方向からクランプして位置決めす
ることにより、ＸＹテーブルを駆動して基板を高速度で
ＸＹ方向に移動させる際に、基板がＸＹ方向に位置ずれ
するのを確実に阻止できる。
【００１２】
【実施例】次に図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。図１は本発明に係る基板の位置決め装置の側面
図である。１は基板Ｓを搬送する第１のコンベア、２は
基板Ｓの位置決め部に設けられた第２のコンベア、３は
このコンベア２を下方から支持するシャフト、４はコン
ベア２を昇降させるシリンダである。シリンダ４のロッ
ド５を突没させると、コンベア２は昇降する。
明する。図１は本発明に係る基板の位置決め装置の側面
図である。１は基板Ｓを搬送する第１のコンベア、２は
基板Ｓの位置決め部に設けられた第２のコンベア、３は
このコンベア２を下方から支持するシャフト、４はコン
ベア２を昇降させるシリンダである。シリンダ４のロッ
ド５を突没させると、コンベア２は昇降する。
【００１３】図２において、６ａ，６ｂは基板Ｓの両端
部をＹ方向からクランプするクランパであり、一方のク
ランパ６ａは固定クランパ、他方のクランパ６ｂはシリ
ンダ７によりＹ方向へ前進後退自在な可動クランパであ
る。このクランパ６ａ，６ｂは、上記従来手段と同様
に、ＸＹテーブル９上に設けられている。シリンダ７を
駆動してロッド８を突没させることにより、可動クラン
パ６ｂがＹ方向へ前進後退して、基板ＳをＹ方向からク
ランプし、あるいはクランプ解除する。これらのクラン
パ６ａ，６ｂ、シリンダ７およびロッド８により、基板
ＳをＹ方向からクランプする第２のクランプ手段が構成
されている。
部をＹ方向からクランプするクランパであり、一方のク
ランパ６ａは固定クランパ、他方のクランパ６ｂはシリ
ンダ７によりＹ方向へ前進後退自在な可動クランパであ
る。このクランパ６ａ，６ｂは、上記従来手段と同様
に、ＸＹテーブル９上に設けられている。シリンダ７を
駆動してロッド８を突没させることにより、可動クラン
パ６ｂがＹ方向へ前進後退して、基板ＳをＹ方向からク
ランプし、あるいはクランプ解除する。これらのクラン
パ６ａ，６ｂ、シリンダ７およびロッド８により、基板
ＳをＹ方向からクランプする第２のクランプ手段が構成
されている。
【００１４】次に図１を参照しながら、ＸＹテーブル９
を詳細に説明する。１０は台部１１上に設けられたＹ方
向のレール、１２はレール１０上を摺動するスライダ、
１３はスライダ１２上に設けられたＸ方向のレール、１
４はレール１３に設けられたナット、１５はナット１４
に螺着されたボールねじである。Ｙ方向モータＭＹを駆
動すると、ボールねじ１５が回転して、レール１０に沿
ってレール１３がＹ方向に移動する。１６はレール１３
上を摺動するスライダ、１７はスライダ１６上に設けら
れた台板、１８は台板１７に設けられたナット、１９は
ナット１８に螺着されたボールねじである。Ｘ方向モー
タＭＸを駆動すると、ボールねじ１９が回転して、レー
ル１３に沿って台板１７がＸ方向に移動する。２１は台
板１７上に立設されて基板Ｓを下方から支持する複数本
の下受ピンである。
を詳細に説明する。１０は台部１１上に設けられたＹ方
向のレール、１２はレール１０上を摺動するスライダ、
１３はスライダ１２上に設けられたＸ方向のレール、１
４はレール１３に設けられたナット、１５はナット１４
に螺着されたボールねじである。Ｙ方向モータＭＹを駆
動すると、ボールねじ１５が回転して、レール１０に沿
ってレール１３がＹ方向に移動する。１６はレール１３
上を摺動するスライダ、１７はスライダ１６上に設けら
れた台板、１８は台板１７に設けられたナット、１９は
ナット１８に螺着されたボールねじである。Ｘ方向モー
タＭＸを駆動すると、ボールねじ１９が回転して、レー
ル１３に沿って台板１７がＸ方向に移動する。２１は台
板１７上に立設されて基板Ｓを下方から支持する複数本
の下受ピンである。
【００１５】図１において、３０ａ，３０ｂは基板Ｓの
両端部をＸ方向からクランプする一対のクランパであ
る。３１はクランパ３０ａ，３０ｂが軸着されたピン、
３２ａ，３２ｂは台板１７上に基台５５ａ，５５ｂを介
して配設されて、クランパ３０ａ，３０ｂを揺動させる
一対のシリンダである。３３ａ，３３ｂはシリンダ３２
ａ，３２ｂのロッドであり、その先端部にクランパ３０
ａ，３０ｂの基端部が結合されている。３４ａはクラン
パ３０ａを前端基準位置ａに位置決めするための位置決
め用ストッパであり、上記基台５５ａに立設されたブラ
ケット５６ａに取り付けられている。なお、基板Ｓの後
端基準の場合には、このストッパ３４ａを除去して、ク
ランパ３０ｂを後端基準位置ｂに位置決めするための位
置決め用ストッパ３４ｂ（同図鎖線参照）が配設され
る。このストッパ３４ｂは、基台５５ｂに立設されたブ
ラケット５６ｂに取り付けられている。勿論、ストッパ
３４ａ，３４ｂを位置調整自在に設けておき、前端基準
や後端基準に応じて、ストッパ３４ａ，３４ｂの位置を
変えてもよい。
両端部をＸ方向からクランプする一対のクランパであ
る。３１はクランパ３０ａ，３０ｂが軸着されたピン、
３２ａ，３２ｂは台板１７上に基台５５ａ，５５ｂを介
して配設されて、クランパ３０ａ，３０ｂを揺動させる
一対のシリンダである。３３ａ，３３ｂはシリンダ３２
ａ，３２ｂのロッドであり、その先端部にクランパ３０
ａ，３０ｂの基端部が結合されている。３４ａはクラン
パ３０ａを前端基準位置ａに位置決めするための位置決
め用ストッパであり、上記基台５５ａに立設されたブラ
ケット５６ａに取り付けられている。なお、基板Ｓの後
端基準の場合には、このストッパ３４ａを除去して、ク
ランパ３０ｂを後端基準位置ｂに位置決めするための位
置決め用ストッパ３４ｂ（同図鎖線参照）が配設され
る。このストッパ３４ｂは、基台５５ｂに立設されたブ
ラケット５６ｂに取り付けられている。勿論、ストッパ
３４ａ，３４ｂを位置調整自在に設けておき、前端基準
や後端基準に応じて、ストッパ３４ａ，３４ｂの位置を
変えてもよい。
【００１６】図１において、シリンダ３２ａ，３２ｂの
ロッド３３ａ，３３ｂを突没させると、クランパ３０
ａ，３０ｂは、ピン３１を中心に回転し、基板ＳのＸ方
向のクランプおよびクランプ解除を行う。この際、一方
のクランパ３０ａはストッパ３４ａに当接して、前端基
準位置ａに位置決めされる。これらのクランパ３０ａ，
３０ｂ、ピン３１、シリンダ３２ａ，３２ｂ、ロッド３
３ａ，３３ｂにより、基板ＳをＸ方向からクランプする
第１のクランプ手段が構成される。
ロッド３３ａ，３３ｂを突没させると、クランパ３０
ａ，３０ｂは、ピン３１を中心に回転し、基板ＳのＸ方
向のクランプおよびクランプ解除を行う。この際、一方
のクランパ３０ａはストッパ３４ａに当接して、前端基
準位置ａに位置決めされる。これらのクランパ３０ａ，
３０ｂ、ピン３１、シリンダ３２ａ，３２ｂ、ロッド３
３ａ，３３ｂにより、基板ＳをＸ方向からクランプする
第１のクランプ手段が構成される。
【００１７】図１において、５０はコンベア１により搬
送されてきた基板Ｓを、前端基準位置ａで停止させるた
めのシリンダ、５２は基板Ｓを後端基準位置ｂで停止さ
せるためのシリンダである。前端基準の場合には、シリ
ンダ５０のロッド５１を突出させ、且つシリンダ５２の
ロッド５３を引き込ませておき、その状態で基板Ｓを矢
印Ｎ１方向に搬送してくると、このロッド５１に基板Ｓ
の前端部が当接することにより、基板Ｓは前端基準位置
ａで停止する。また後端基準の場合は、上述のように基
板Ｓをロッド５１に当接させて一旦停止させたうえで、
他方のシリンダ５２のロッド５３を突出させ、コンベア
２を逆回転させて基板Ｓを矢印Ｎ２方向に後退させ、ロ
ッド５３に基板Ｓの後端部を当接させることにより、基
板Ｓは後端基準位置ｂで停止する。
送されてきた基板Ｓを、前端基準位置ａで停止させるた
めのシリンダ、５２は基板Ｓを後端基準位置ｂで停止さ
せるためのシリンダである。前端基準の場合には、シリ
ンダ５０のロッド５１を突出させ、且つシリンダ５２の
ロッド５３を引き込ませておき、その状態で基板Ｓを矢
印Ｎ１方向に搬送してくると、このロッド５１に基板Ｓ
の前端部が当接することにより、基板Ｓは前端基準位置
ａで停止する。また後端基準の場合は、上述のように基
板Ｓをロッド５１に当接させて一旦停止させたうえで、
他方のシリンダ５２のロッド５３を突出させ、コンベア
２を逆回転させて基板Ｓを矢印Ｎ２方向に後退させ、ロ
ッド５３に基板Ｓの後端部を当接させることにより、基
板Ｓは後端基準位置ｂで停止する。
【００１８】図１において、３７はシリンダ３２ａ，３
２ｂに空気を圧送する空気圧装置である。３８はこれら
のシリンダ３２ａ，３２ｂと空気圧装置３７の間に介在
された空気圧切替手段であり、基板Ｓの前端基準および
後端基準の切替えに応じて、基準側のシリンダ３２ａま
たは３２ｂの空気圧を非基準側のシリンダ３２ｂまたは
３２ａの空気圧よりも大きくするべく、各々のシリンダ
３２ａ，３２ｂに圧送する空気圧の大きさを切り替える
ものである。３９は空気圧装置３７と空気圧切替手段３
８を連結するチューブ、４０はシリンダ３２ａと空気圧
切替手段３８を連結するチューブ、４１はシリンダ３２
ｂと空気圧切替手段３８を連結するチューブである。次
に、この空気圧切替手段３８を詳細に説明する。
２ｂに空気を圧送する空気圧装置である。３８はこれら
のシリンダ３２ａ，３２ｂと空気圧装置３７の間に介在
された空気圧切替手段であり、基板Ｓの前端基準および
後端基準の切替えに応じて、基準側のシリンダ３２ａま
たは３２ｂの空気圧を非基準側のシリンダ３２ｂまたは
３２ａの空気圧よりも大きくするべく、各々のシリンダ
３２ａ，３２ｂに圧送する空気圧の大きさを切り替える
ものである。３９は空気圧装置３７と空気圧切替手段３
８を連結するチューブ、４０はシリンダ３２ａと空気圧
切替手段３８を連結するチューブ、４１はシリンダ３２
ｂと空気圧切替手段３８を連結するチューブである。次
に、この空気圧切替手段３８を詳細に説明する。
【００１９】図４は空気圧切替手段の配管図である。４
２はＯＮ，ＯＦＦ用電磁弁、４３は流路切替用電磁弁で
あり、４４は空気圧を調整するレギュレータである。こ
のレギュレータ４４は、基準側のシリンダ（例えば前方
のシリンダ３２ａ）の空気圧が７kg／cm2 、非基準側の
シリンダ（例えば後方のシリンダ３２ｂ）の空気圧が３
kg／cm2 になるように、空気圧装置３７からの空気の圧
力を調整する。基板Ｓの前端基準および後端基準の切替
えに応じて、電磁弁４３のソレノイド４３ａをＯＮ、Ｏ
ＦＦすることにより、各々のシリンダ３２ａ，３２ｂに
加えられる空気圧の大きさを切り替える。
２はＯＮ，ＯＦＦ用電磁弁、４３は流路切替用電磁弁で
あり、４４は空気圧を調整するレギュレータである。こ
のレギュレータ４４は、基準側のシリンダ（例えば前方
のシリンダ３２ａ）の空気圧が７kg／cm2 、非基準側の
シリンダ（例えば後方のシリンダ３２ｂ）の空気圧が３
kg／cm2 になるように、空気圧装置３７からの空気の圧
力を調整する。基板Ｓの前端基準および後端基準の切替
えに応じて、電磁弁４３のソレノイド４３ａをＯＮ、Ｏ
ＦＦすることにより、各々のシリンダ３２ａ，３２ｂに
加えられる空気圧の大きさを切り替える。
【００２０】本装置は上記のような構成より成り、次に
動作の説明をする。まず基板Ｓの位置決めが前端基準の
場合を説明する。図１に示すように、基板ＳがＸＹテー
ブル９上に搬送されてくると、シリンダ５０のロッド５
１が突出して、基板Ｓが前端基準位置ａで停止する。次
いで、図２に示すようにシリンダ７を駆動して、クラン
パ６ａ，６ｂにより基板ＳをＹ方向からクランプした
後、図１実線に示すように、シリンダ５０のロッド５１
を引き込ませる。次に、図３に示すようにシリンダ４の
ロッド５を引き込ませて、コンベア２を下受ピン２１ま
で下降させ、基板Ｓの下面をこの下受ピン２１により支
持する。
動作の説明をする。まず基板Ｓの位置決めが前端基準の
場合を説明する。図１に示すように、基板ＳがＸＹテー
ブル９上に搬送されてくると、シリンダ５０のロッド５
１が突出して、基板Ｓが前端基準位置ａで停止する。次
いで、図２に示すようにシリンダ７を駆動して、クラン
パ６ａ，６ｂにより基板ＳをＹ方向からクランプした
後、図１実線に示すように、シリンダ５０のロッド５１
を引き込ませる。次に、図３に示すようにシリンダ４の
ロッド５を引き込ませて、コンベア２を下受ピン２１ま
で下降させ、基板Ｓの下面をこの下受ピン２１により支
持する。
【００２１】次いで、図３に示すように、シリンダ３２
ａ，３２ｂを駆動して、クランパ３０ａ，３０ｂによ
り、基板ＳをＸ方向からクランプする。このとき、クラ
ンパ３０ａはストッパ３４ａに当接して前端基準位置ａ
で位置決めされる。また、図４に示すように空気圧装置
３７からは、空気がシリンダ３２ａ，３２ｂに圧送され
るが、途中の空気圧切替手段３８によって、基準側のシ
リンダ３２ａの空気圧が７kg／cm2 、非基準側のシリン
ダ３２ｂの空気圧が３kg／cm2 になるように圧力が調整
される。
ａ，３２ｂを駆動して、クランパ３０ａ，３０ｂによ
り、基板ＳをＸ方向からクランプする。このとき、クラ
ンパ３０ａはストッパ３４ａに当接して前端基準位置ａ
で位置決めされる。また、図４に示すように空気圧装置
３７からは、空気がシリンダ３２ａ，３２ｂに圧送され
るが、途中の空気圧切替手段３８によって、基準側のシ
リンダ３２ａの空気圧が７kg／cm2 、非基準側のシリン
ダ３２ｂの空気圧が３kg／cm2 になるように圧力が調整
される。
【００２２】すなわち、図３において、基板ＳをＸ方向
からクランプする場合、クランパ３０ａにより、基板Ｓ
の前端部に加えられる押圧力は、クランパ３０ｂにより
基板Ｓの後端部に加えられる押圧力よりも大きいので、
基板ＳはＮ２方向へ後退しようとする。しかし、クラン
パ３０ａはストッパ３４ａにより前端基準位置ａで位置
決めされているため、基板Ｓはその前端部がクランパ３
０ａに当接することにより前端基準位置ａに位置決めさ
れる。すなわち本手段は、強い力（７kg／cm2 ）で前端
基準位置ａにしっかり固定されたクランパ３０ａに、比
較的弱い力（３kg／cm2 ）のクランパ３０ｂで基板Ｓを
押し付けてＸ方向の位置決めがなされる。
からクランプする場合、クランパ３０ａにより、基板Ｓ
の前端部に加えられる押圧力は、クランパ３０ｂにより
基板Ｓの後端部に加えられる押圧力よりも大きいので、
基板ＳはＮ２方向へ後退しようとする。しかし、クラン
パ３０ａはストッパ３４ａにより前端基準位置ａで位置
決めされているため、基板Ｓはその前端部がクランパ３
０ａに当接することにより前端基準位置ａに位置決めさ
れる。すなわち本手段は、強い力（７kg／cm2 ）で前端
基準位置ａにしっかり固定されたクランパ３０ａに、比
較的弱い力（３kg／cm2 ）のクランパ３０ｂで基板Ｓを
押し付けてＸ方向の位置決めがなされる。
【００２３】このようにして基板Ｓをクランプしたなら
ば、次に図３において、モータＭＸ，ＭＹを駆動して、
基板ＳをＸＹ方向に移動させながら、移載ヘッド６０の
ノズル６１に吸着されたチップＰを基板Ｓの所定位置に
搭載する。この場合、基板ＳはＸ方向のクランパ３０
ａ，３０ｂとＹ方向のクランパ６ａ，６ｂによりしっか
りクランプされているので、基板ＳをＸ方向に高速度で
移動させても、基板Ｓが位置ずれするようなことはな
く、基板Ｓの所定位置にチップＰをボンディングするこ
とができる。作業が終了すると、コンベア２を上昇さ
せ、すべてのクランパ６ａ，６ｂ，３０ａ，３０ｂのク
ランプ状態を解除し、コンベヤ１により基板Ｓを次の工
程へ搬出する。
ば、次に図３において、モータＭＸ，ＭＹを駆動して、
基板ＳをＸＹ方向に移動させながら、移載ヘッド６０の
ノズル６１に吸着されたチップＰを基板Ｓの所定位置に
搭載する。この場合、基板ＳはＸ方向のクランパ３０
ａ，３０ｂとＹ方向のクランパ６ａ，６ｂによりしっか
りクランプされているので、基板ＳをＸ方向に高速度で
移動させても、基板Ｓが位置ずれするようなことはな
く、基板Ｓの所定位置にチップＰをボンディングするこ
とができる。作業が終了すると、コンベア２を上昇さ
せ、すべてのクランパ６ａ，６ｂ，３０ａ，３０ｂのク
ランプ状態を解除し、コンベヤ１により基板Ｓを次の工
程へ搬出する。
【００２４】後端基準の場合には、図１において、前側
のストッパ３４ａを除去し、後側のストッパ３４ｂを配
設する。図２に示すようにコンベア１により搬送されて
きた基板Ｓを、ロッド５１により前端基準位置ａで一旦
停止させ、次いでロッド５１を引き込ませ、且つ他方の
シリンダ５２のロッド５３を突出させるとともに、コン
ベア２をＮ２方向に駆動して、基板Ｓを後退させること
により、基板Ｓを同図鎖線に示すようにロッド５３に当
接させて、後端基準位置ｂに停止させる。次いで、上述
した前端基準の場合と同様にして、クランパ６ａ，６
ｂ，３０ａ，３０ｂにより基板ＳをＸＹ方向からクラン
プしたうえで、チップＰをボンディングする。
のストッパ３４ａを除去し、後側のストッパ３４ｂを配
設する。図２に示すようにコンベア１により搬送されて
きた基板Ｓを、ロッド５１により前端基準位置ａで一旦
停止させ、次いでロッド５１を引き込ませ、且つ他方の
シリンダ５２のロッド５３を突出させるとともに、コン
ベア２をＮ２方向に駆動して、基板Ｓを後退させること
により、基板Ｓを同図鎖線に示すようにロッド５３に当
接させて、後端基準位置ｂに停止させる。次いで、上述
した前端基準の場合と同様にして、クランパ６ａ，６
ｂ，３０ａ，３０ｂにより基板ＳをＸＹ方向からクラン
プしたうえで、チップＰをボンディングする。
【００２５】この場合、図４において、ソレノイド４３
ａのＯＮ，ＯＦＦを切り替えて、シリンダ３２ｂの空気
圧を７kg／cm2 、シリンダ３２ａの空気圧を３kg／cm2
とすることにより、強い力で後端基準位置ｂに固定され
たクランパ３０ｂに、比較的弱い力のクランパ３０ａで
基板Ｓを押し付けてＸ方向の位置決めがなされる。
ａのＯＮ，ＯＦＦを切り替えて、シリンダ３２ｂの空気
圧を７kg／cm2 、シリンダ３２ａの空気圧を３kg／cm2
とすることにより、強い力で後端基準位置ｂに固定され
たクランパ３０ｂに、比較的弱い力のクランパ３０ａで
基板Ｓを押し付けてＸ方向の位置決めがなされる。
【００２６】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、例えばストッパ３４ａ，３４ｂは、予めブラケッ
ト５６ａ，５６ｂに取り付けておいてもよい。この場
合、クランパ３０ａ，３０ｂは、ストッパ３４ａ，３４
ｂによって回動が規正され、基板Ｓのクランプができな
いので、基台５５ａ，５５ｂにＸ方向の移動手段を設け
て、基板Ｓのクランプ時に、非基準側の基台５５ａまた
は５５ｂを基板Ｓ側へ移動させて、クランプするように
する。
って、例えばストッパ３４ａ，３４ｂは、予めブラケッ
ト５６ａ，５６ｂに取り付けておいてもよい。この場
合、クランパ３０ａ，３０ｂは、ストッパ３４ａ，３４
ｂによって回動が規正され、基板Ｓのクランプができな
いので、基台５５ａ，５５ｂにＸ方向の移動手段を設け
て、基板Ｓのクランプ時に、非基準側の基台５５ａまた
は５５ｂを基板Ｓ側へ移動させて、クランプするように
する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、基板をＸ
方向からクランプする第１のクランプ手段と、Ｙ方向か
らクランプする第２のクランプ手段と、これらの第１の
クランプ手段と第２のクランプ手段が設置されたＸＹテ
ーブルとを備え、上記第１のクランプ手段が、ピンを中
心に揺動して上記基板の両側部をクランプする一対のク
ランパと、これらのクランパを揺動させる一対のシリン
ダとから成り、これらのシリンダに空気を圧送する空気
圧装置を設け、且つこれらのシリンダと空気圧装置の間
に、上記基板の前端基準および後端基準の切替えに応じ
て、基準側のシリンダの空気圧を非基準側のシリンダの
空気圧よりも大きくするべく、各々のシリンダに圧送す
る空気圧の大きさを切り替える空気圧切替手段を設け、
且つ上記一対のクランパのうち、少なくとも空気圧の大
きい方のクランパを前端基準位置または後端基準位置で
位置決めする位置決め用ストッパを設けたので、従来手
段のように基板をＹ方向からのみ位置決めするのでな
く、Ｘ方向とＹ方向から位置決めすることができ、基板
を高速度でＸＹ方向に移動させながらチップをボンディ
ングをする際に、基板がＸＹ方向に位置ずれするのを確
実に阻止できる。
方向からクランプする第１のクランプ手段と、Ｙ方向か
らクランプする第２のクランプ手段と、これらの第１の
クランプ手段と第２のクランプ手段が設置されたＸＹテ
ーブルとを備え、上記第１のクランプ手段が、ピンを中
心に揺動して上記基板の両側部をクランプする一対のク
ランパと、これらのクランパを揺動させる一対のシリン
ダとから成り、これらのシリンダに空気を圧送する空気
圧装置を設け、且つこれらのシリンダと空気圧装置の間
に、上記基板の前端基準および後端基準の切替えに応じ
て、基準側のシリンダの空気圧を非基準側のシリンダの
空気圧よりも大きくするべく、各々のシリンダに圧送す
る空気圧の大きさを切り替える空気圧切替手段を設け、
且つ上記一対のクランパのうち、少なくとも空気圧の大
きい方のクランパを前端基準位置または後端基準位置で
位置決めする位置決め用ストッパを設けたので、従来手
段のように基板をＹ方向からのみ位置決めするのでな
く、Ｘ方向とＹ方向から位置決めすることができ、基板
を高速度でＸＹ方向に移動させながらチップをボンディ
ングをする際に、基板がＸＹ方向に位置ずれするのを確
実に阻止できる。
【００２８】しかも、この基板をＸ方向からクランプす
る際に、空気圧切替手段の操作により、基準側のシリン
ダの空気圧を非基準側のシリンダの空気圧よりも大きく
して、強い力で前端基準位置または後端基準位置に固定
された空気圧の大きいクランパに、空気圧が小さくて比
較的弱い力のクランパによって基板を押し付けてＸ方向
の位置決めがなされるので、基板の前端基準または後端
基準が確保され、この基準を維持して基板にチップをボ
ンディングできる。
る際に、空気圧切替手段の操作により、基準側のシリン
ダの空気圧を非基準側のシリンダの空気圧よりも大きく
して、強い力で前端基準位置または後端基準位置に固定
された空気圧の大きいクランパに、空気圧が小さくて比
較的弱い力のクランパによって基板を押し付けてＸ方向
の位置決めがなされるので、基板の前端基準または後端
基準が確保され、この基準を維持して基板にチップをボ
ンディングできる。
【図１】本発明に係る基板の位置決め装置の側面図
【図２】同基板のＹ方向のクランプ状態の説明図
【図３】同基板のＸ方向のクランプ状態の説明図
【図４】同空気圧切替手段の空気経路図
【図５】従来手段に係る基板のＹ方向のクランプ状態の
説明図
説明図
【図６】従来手段の基板の位置決め装置の側面図
【符号の説明】 ６ａ 第２のクランプ手段 ６ｂ 第２のクランプ手段 ９ ＸＹテーブル ３０ａ クランパ（第１のクランプ手段） ３０ｂ クランパ（第１のクランプ手段） ３１ ピン（第１のクランプ手段） ３２ａ シリンダ（第１のクランプ手段） ３２ｂ シリンダ（第１のクランプ手段） ３４ａ 位置決め用ストッパ ３４ｂ 位置決め用ストッパ ３７ 空気圧装置 ３８ 空気圧切替手段 Ｓ 基板 ａ 前端基準位置 ｂ 後端基準位置
Claims (1)
- 【請求項１】基板をＸ方向からクランプする第１のクラ
ンプ手段と、Ｙ方向からクランプする第２のクランプ手
段と、これらの第１のクランプ手段と第２のクランプ手
段が設置されたＸＹテーブルとを備え、上記第１のクラ
ンプ手段が、ピンを中心に揺動して上記基板の両側部を
クランプする一対のクランパと、これらのクランパを揺
動させる一対のシリンダとから成り、これらのシリンダ
に空気を圧送する空気圧装置を設け、且つこれらのシリ
ンダと空気圧装置の間に、上記基板の前端基準および後
端基準の切替えに応じて、基準側のシリンダの空気圧を
非基準側のシリンダの空気圧よりも大きくするべく、各
々のシリンダに圧送する空気圧の大きさを切り替える空
気圧切替手段を設け、且つ上記一対のクランパのうち、
少なくとも空気圧の大きい方のクランパを前端基準位置
または後端基準位置で位置決めする位置決め用ストッパ
を設けたことを特徴とする基板の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04013802A JP3109211B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 基板の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04013802A JP3109211B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 基板の位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05206696A JPH05206696A (ja) | 1993-08-13 |
| JP3109211B2 true JP3109211B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=11843392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04013802A Expired - Fee Related JP3109211B2 (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 基板の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3109211B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014214777A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | 三菱電機ビルテクノサービス株式会社 | 給油装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3167848B2 (ja) * | 1993-11-19 | 2001-05-21 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装機の基板位置決め装置 |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP04013802A patent/JP3109211B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014214777A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | 三菱電機ビルテクノサービス株式会社 | 給油装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05206696A (ja) | 1993-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |