JP3105207B2 - 被処理材の塗装装置 - Google Patents

被処理材の塗装装置

Info

Publication number
JP3105207B2
JP3105207B2 JP7965399A JP7965399A JP3105207B2 JP 3105207 B2 JP3105207 B2 JP 3105207B2 JP 7965399 A JP7965399 A JP 7965399A JP 7965399 A JP7965399 A JP 7965399A JP 3105207 B2 JP3105207 B2 JP 3105207B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pallet
processed
opening
coating
metal foil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7965399A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000271526A (ja
Inventor
文年 有方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chugai Ro Co Ltd
Original Assignee
Chugai Ro Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chugai Ro Co Ltd filed Critical Chugai Ro Co Ltd
Priority to JP7965399A priority Critical patent/JP3105207B2/ja
Publication of JP2000271526A publication Critical patent/JP2000271526A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3105207B2 publication Critical patent/JP3105207B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板、金属箔
等基板状の被処理材の塗装装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、所
定の塗布膜を有する所定形状の被処理材、例えば金属箔
を製造する場合、連続搬送される金属箔に一旦塗布液を
所定膜厚で塗装して乾燥した後、この塗装を施した金属
箔を所望の形状に加工するようにしていた。しかしなが
ら、この方法では、切断の際に発生した端材には既に塗
布液が塗装されているのでこの端材を再利用できないう
え、端材に塗装されている塗料も無駄になり、金属箔お
よび塗布液の歩留まりが悪くなるという問題があった。
しかも、連続搬送される金属箔に塗装を施すので、金属
箔の蛇行や幅方向での張力の不均一等の発生により金属
箔への均一塗布が非常に困難であった。
【0003】そこで、金属箔の端材を再利用できるよう
にし、塗布液の歩留まりを向上させ、かつ、塗布状態を
良好に保持するために、予め、金属箔を所望の形状に加
工し、この金属箔を所定の平面度を有するテーブルに吸
引・保持して、ダイコータ等により塗装を施すことが考
えられるが、一般に、金属箔は吸引自在な保持手段で金
属箔の上面を吸引保持して搬送・供給されるため、受け
渡しの際の位置ずれを防止することができず、塗装装置
の所定位置(塗布位置)へ金属箔を供給すること、すな
わち、位置決めすることが困難であるという問題があっ
た。しかも、たとえ、金属箔を塗装装置の所定位置(塗
布位置)へ正確に搬送、位置決めし、この金属箔に所定
膜厚の塗装を行なったとしても、金属箔の塗布面と金属
箔の供給手段による吸引保持面とが同一面であるため、
塗布面を損傷することなく金属箔を次工程へ搬送するこ
とができないという課題を有していた。
【0004】したがって、本発明は、所定形状に加工し
た金属箔等の被処理材を容易にダイコータのテーブルの
所定位置に搬送し、所定精度の塗布膜を形成した後、被
処理材を容易に次工程へと搬出することのできる被処理
材の塗装装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、減圧手段に連通する複数の吸引孔を設け
た平坦なテーブルに対して昇降自在で、かつ、進退自在
なダイ本体を設けたダイコータの前記テーブルに被処理
材を供給する搬送装置を設けた被処理材の塗装装置にお
いて、被処理材と同形状での開口部を少なくとも1つ有
し、かつ、この開口部内に被処理材の縁部を支持する支
持部を設けたパレットと、昇降自在で、かつ、進退自在
な蓋体に設けた前記パレットの端面を保持するパレット
把持機構とで前記搬送装置を構成するとともに、前記テ
ーブルに前記パレットを載置した際、前記テーブルの上
面が前記パレットの開口部内を介してパレットの上面よ
り上方に突出するように前記テーブルを凸状に構成する
ようにしたものである。
【0006】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を図
にしたがって説明する。図1は、本発明の被処理材の塗
装装置の全体構成を示し、被処理材の塗装装置Aは、大
略、テーブル1とダイ本体6とからなるダイコータ5
と、搬送装置10とで構成される。
【0007】前記ダイコータ5は、図1に示すように、
テーブル1と、このテーブル1に敷設したレール9上に
進退自在に設けた支持部材8に昇降自在に設置したダイ
本体6とからなる。そして、前記テーブル1には、図2
ないし図3に示すように、所定間隔で凸状部2を形成し
てあり、この各凸状部2には図示しない減圧手段に連通
する複数の吸引孔3を備えている。なお、凸状部2の上
面は、所定の平面度(例えば2μm以下)を有するとと
もに、被処理材Wと同一の形状で、ほぼ同じ大きさに形
成してある。これにより、凸状部2の上面に吸引保持さ
れた被処理材Wは、そり等を矯正された状態で保持され
る。
【0008】また、図2に示すように、前記ダイ本体6
にはマニホールド7aが設けられ、図示しない塗布液供
給ポンプにて前記マニホールド7aに供給された塗布液
がスリット7bを介してリップ部7cからテーブル1の
凸状部2の上面に載置した被処理材W上に供給され、ダ
イ本体6の水平方向への移動により被処理材W上に塗布
膜を形成するものである。
【0009】前記搬送装置10は、図1に示すように、
前記テーブル1の側方に配設したもので、基台11の上
面に設けたレール12上に進退自在に載置した台車13
と、この台車13上に立設し、図示しない旋回機構を内
部に備えた支持台14と、この支持台14の旋回機構に
取り付けられたアーム15と、このアーム15の先端部
に設けたシリンダ17のロッド17aの進退により昇降
自在なパレット把持機構16とからなる。
【0010】そして、前記パレット把持機構16は、図
3ないし図5に示すように、前記ロッド17aの下端に
取り付けた蓋体18と、この蓋体18の縁部に対向配置
した少なくとも一対のシリンダ19と、このシリンダ1
9のロッド19aに一端部を取り付けられ、他端部に下
記するパレット23の側部を保持する爪22を有する把
持部材21とからなる。なお、前記把持部材21はパレ
ット23の側部を把持するものであれば前述のものに限
られるものでない。
【0011】一方、パレット23は、図3ないし図4に
示すように、その外周部に前記把持部材21の爪22に
より保持される切欠部24を有するとともに、被処理材
Wと同一の形状で、かつ、前記テーブル1の凸状部2が
通過できる大きさの開口部25を前記テーブル1の凸状
部2に対応して配設されている。
【0012】また、図3あるいは図6に示すように、前
記開口部25の内周面には前記テーブル1の凸状部2が
通過するのを妨げることなく、かつ、被処理材Wの縁部
を支持する支持部26が設けてある。なお、この支持部
26は図6に示すように前記開口部25の内周面全域に
設ける必要はなく、たとえば、開口部25を形成する各
面に1ヵ所ずつ計4ヵ所凸状に設けるようにしてもよ
い。
【0013】なお、本実施の形態においては、図5、図
6から明らかなように、前記テーブル1の凸状部2は6
基、パレット23には6個の開口部25を備え、パレッ
ト把持機構16の蓋体18には三対の把持部材21を備
え、一度に6枚の被処理材Wを搬送できるように構成し
てある。
【0014】つぎに、前記塗装装置Aの操業方法を説明
する。まず、たとえば、厚み25μmの金属箔を所定の
大きさ(たとえば150mm×150mm)に切断し、
この被処理材Wを適宜手段、たとえば吸引保持手段で吸
引保持して前記パレット23の各開口部25内に供給
し、この開口部25内に設けてある支持部26で支持さ
せ、図示しない搬送手段でこのパレット23を載置台3
0に搬送する。
【0015】そして、前記台車13の移動およびアーム
15の旋回によりパレット把持機構16の蓋体18を載
置台30上の前記パレット23の上方に位置させ、シリ
ンダ17の駆動により蓋体18を下降させる。
【0016】その後、シリンダ19の駆動により把持手
段21を移動させ、爪22を前記パレット23の切欠部
24に位置させてパレット23を把持する。
【0017】ついで、シリンダ17により蓋体18を上
昇させるとともに台車13を移動させつつアーム15を
旋回させ、パレット23の各開口部25を前記各テーブ
ル1の凸状部2に対応させる。その後、前記シリンダ1
7によりパレット23を下降させるが、パレット23の
下降によりテーブル1の各凸状部2が各開口部25から
上方に突出し、パレット23はテーブル1に設けた載置
台4に載置され(図2および図3参照)、シリンダ17
は停止する。
【0018】前記テーブル1の凸状部2がパレット23
の開口部25内を通過すると、被処理材Wは凸状部2の
上面に載置されるとともに貫通孔3からの吸引により凸
状部2の上面に保持される。このとき、テーブル1の凸
状部2とパレット23の開口部25とは被処理材Wと同
一形状で、かつ、ほぼ同じ大きさに形成してあり、しか
も、前記凸状部2と開口部25とが対向するように形成
してあるので、前述のようにパレット23の開口部25
内をテーブル1の凸状部2が通過するだけで被処理材W
の位置決めをすることができる。
【0019】一方、前述のようにシリンダ17が停止す
ると、各シリンダ19を駆動して爪22をパレット23
の切欠部24から後退させ、その後、シリンダ17によ
り蓋体18を上昇させるとともに、台車13の移動とア
ーム15の旋回とにより塗装作業に支障を与えない位置
に退避させる。
【0020】前述のようにして、蓋体18が所定位置に
退避すると、前記ダイコータ5のダイ本体6を所定位置
まで下降させて所定のギャップを形成したのち、このギ
ャップを保持したままダイ本体6を水平移動させて各被
処理材Wの上面に所定厚みに塗布液を塗布する。
【0021】このとき、本実施例のようにダイ本体6の
幅方向に2列の凸状部2が形成されている場合、ダイ本
体6内に形成したマニホールド7aおよびスリット7b
をこの凸状部2の幅に合わせてシム等で2つに区画し、
この区画したそれぞれのマニホールド7aに塗布液供給
ポンプ(図示なし)を設け、1つのダイ本体6に2系列
の塗布液供給系を形成することにより、凸状部2に対向
するそれぞれのスリット7bから別々に塗布液を供給し
て各列の被処理材Wに同時に塗装を施す。
【0022】なお、本実施例のように、凸状部2の表面
が所定の平面度を有していて、被処理材Wが前述の金属
箔のようにごく薄いもので、これを吸引保持するだけで
被処理材Wの表面を所定の平面度に矯正できるものであ
れば、ダイ本体6と被処理材Wとの間のギャップを一定
に保持したまま塗装を施しても問題ない。しかし、たと
えば、被処理材Wがガラス基板のように所定の厚みを有
するものであれば、ガラス基板を凸状部2に吸着保持し
て基板の反りを矯正してもその厚みむらのためにギャッ
プが変化するので、このような場合には、ダイ本体6に
ギャップを測定するセンサを設け、このセンサで予め厚
みむらに起因するギャップの変化を検知しておき、この
ギャップの変化に合わせてダイ本体6を昇降させなが
ら、ギャップを一定に保持して塗装を施すようにしても
よい。
【0023】前述のようにして塗装工程が終了すると、
再度、前記蓋体18をテーブル1の凸状部2の上方に位
置させ、下降するとともにパレット把持機構16の爪2
2によりパレット23を把持して上昇する。この上昇に
際し、前記吸引孔3からの吸引を一時停止し、パレット
23を上昇させることにより被処理材Wを支持部26で
支持し、開口部25内に保持する。なお、パレット23
は、載置台4によりテーブル1から所定間隔を持って載
置されているので、把持機構16の爪22はパレット2
3の切欠部24を容易に把持することができる。
【0024】その後、パレット23は台車13の移動、
アーム15の旋回により所定位置、たとえば次工程の焼
付炉へ搬送するための搬送装置上に載置され、被処理材
Wはパレット23内に保持された状態で焼付炉に搬送さ
れて被処理材Wの塗布膜を焼付ける。その後、適宜手
段、例えば前記吸引保持手段で被処理材Wはパレット2
3から取り出され、その後、パレット23および被処理
材Wはそれぞれ所定場所に搬送される。
【0025】ところで、被処理材Wはパレット23の開
口部25内に載置され、しかも、パレット搬送時はパレ
ット把持機構16の蓋体18がパレット23の上方に近
接(たとえば、10mm以下)した状態で配設されてい
るため、パレット23の開口部25を通過した空気は前
記蓋体18に衝突してから四方に分散する。このとき、
開口部25の開口面積に対するパレット23と蓋体18
との間隔が充分に小さいので、この通過面積の差が抵抗
となって開口部25からの空気の吹き抜けを防止する。
このため、パレット23の搬送時(特に下降時)に空気
の吹き抜けによる被処理材Wの浮き上がりを抑制できる
うえ、開口部25の大きさは被処理材Wとほぼ同じ大き
さに形成してあるので、たとえばパレット23の下降時
に開口部25内で被処理材Wが浮き上がっても開口部2
5の内周面により位置ずれを規制できるので、搬送中の
被処理材Wの位置ずれを防止することができる。したが
って、テーブル1の凸状部2への搬送も正確に、かつ、
迅速に行なうことができる。
【0026】なお、前述の実施例は薄板状の被処理材に
ついて説明したが、本発明は薄板状のものに限定するも
のではなく、板状の被処理部材であれば薄板状の被処理
材と同様に適用でき、パレットを介してテーブル上に被
処理材を載置するだけで位置決めができたり、複数枚の
被処理材を同時に処理したりする効果は同様に得られ
る。
【0027】さらに、前記実施形態において搬送装置1
0は、一端にパレット把持機構16を有する1本のアー
ム15で構成したが、前記旋回アーム15を複数本、た
とえば、直交する4本のアーム15で構成することによ
り、テーブル1へのパレット23の搬入と搬出とを連続
的に行なうようにしてもよい。すなわち、前記4本のア
ーム15のうち対向する2本のアーム15で載置台30
上のパレット23を予め保持しておき、塗装終了後、テ
ーブル1からパレット23を搬出する際には、パレット
23を保持していない所定のアーム15でテーブル1上
のパレット23を保持し、その後、このアーム15を9
0度回転させてテーブル1からこのパレット23を搬出
する。このとき、隣接するアーム15も同時に回転する
ので、この隣接するアーム15に予め保持されていた前
記パレット23が自動的にテーブル1上に搬入できると
いうものである。
【0028】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、金属箔等の取扱いが非常に難しい薄板状被処理
材であっても、予めパレットの開口部に載置した状態で
搬送を行なうため塗装位置へ容易に搬送することがで
き、しかも前記開口部をテーブルに嵌合することにより
テーブル上の所定位置に被処理材を容易に、かつ、正確
に載置することができる。また、塗装終了後、パレット
を上昇させれば自動的に被処理材が開口部に正確に位置
するため、塗料が未乾燥状態であっても塗布面に接触す
ることなくパレットとともに搬送することができる。さ
らに、被処理材は予め必要形状に加工したものに塗装を
施すため、塗布液が無駄にならないばかりか、端材も再
利用することができる。さらにまた、パレット搬送時、
特に、下降時には、パレットの開口部上方には蓋体が位
置し、前記開口部と蓋体との間隙が狭いため、この間隔
が抵抗となって、開口部下方からの空気の吹き抜けが防
止され、搬送中の被処理材の位置ずれ等が生じず、前記
搬送を迅速に行なうことができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかる薄板状被処理材の塗装設備の
概略図。
【図2】 図1の要部拡大左側面図。
【図3】 被処理材、パレット、搬送装置の関係を示す
断面図。
【図4】 塗装テーブル上に被処理材を載置した状態の
断面図。
【図5】 パレット把持機構の蓋体の平面図。
【図6】 パレットの平面図。
【符号の説明】
1…テーブル、2…凸状部、5…ダイコータ、10…搬
送装置、13…台車、14…支持台、15…アーム、1
6…パレット把持機構、18…蓋体、19…シリンダ、
21…把持部材、22…爪、23…パレット、24…保
持部、25…開口部、26…支持部、W…被処理材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−61958(JP,A) 特開 昭58−115829(JP,A) 特開 平4−118073(JP,A) 特開 平5−67640(JP,A) 特開 平8−264621(JP,A) 実開 平2−96737(JP,U) 実開 昭63−172131(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B05C 13/00 - 13/02 B05C 5/00 - 5/02 H01L 21/68

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 減圧手段に連通する複数の吸引孔を設け
    た平坦なテーブルに対して昇降自在で、かつ、進退自在
    なダイ本体を設けたダイコータの前記テーブルに被処理
    材を供給する搬送装置を設けた被処理材の塗装装置にお
    いて、 被処理材と同形状の開口部を少なくとも1つ有し、か
    つ、この開口部内に被処理材の縁部を支持する支持部を
    設けたパレットと、昇降自在で、かつ、進退自在な蓋体
    に設けた前記パレットの端面を保持するパレット把持機
    構とで前記搬送装置を構成するとともに、前記テーブル
    に前記パレットを載置した際、前記テーブルの上面が前
    記パレットの開口部内を介してパレットの上面より上方
    に突出するように前記テーブルを凸状に構成したことを
    特徴とする被処理材の塗装装置。
JP7965399A 1999-03-24 1999-03-24 被処理材の塗装装置 Expired - Fee Related JP3105207B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7965399A JP3105207B2 (ja) 1999-03-24 1999-03-24 被処理材の塗装装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7965399A JP3105207B2 (ja) 1999-03-24 1999-03-24 被処理材の塗装装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000271526A JP2000271526A (ja) 2000-10-03
JP3105207B2 true JP3105207B2 (ja) 2000-10-30

Family

ID=13696104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7965399A Expired - Fee Related JP3105207B2 (ja) 1999-03-24 1999-03-24 被処理材の塗装装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3105207B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002239446A (ja) * 2001-02-14 2002-08-27 Chugai Ro Co Ltd 基板塗布装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002239446A (ja) * 2001-02-14 2002-08-27 Chugai Ro Co Ltd 基板塗布装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000271526A (ja) 2000-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4312787B2 (ja) 減圧乾燥装置
KR930018700A (ko) 웨이퍼형상 기판의 처리장치
KR940010504B1 (ko) 반도체 기판 에칭 처리 장치
JP5771432B2 (ja) 塗布装置
KR20070058978A (ko) 기판 반송 시스템, 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치
JP3105207B2 (ja) 被処理材の塗装装置
JPH11254374A (ja) 基板搬送用ハンドおよび基板の搬送方法並びにカラーフィルターの製造装置および製造方法
JP2007176631A (ja) 基板搬送システム
JP2006289162A (ja) 塗布装置
JP2014036171A (ja) 基板製造方法及び薄膜形成装置
KR20110066864A (ko) 기판처리장치, 기판처리방법 및 이 기판처리방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 기록매체
JP2002153801A (ja) テーブル式塗装設備
JP3563851B2 (ja) 基板搬送装置
JP2002368060A (ja) 基板支持部材、基板処理装置、基板処理方法および基板処理システム
JP6322527B2 (ja) 印刷装置、印刷方法および該印刷装置で用いる担持体
JP2000271825A (ja) 物品搬送組立装置及び物品搬送組立方法
JPH1080737A (ja) 板材加工機械のワーク搬入出ローラ装置
KR101431146B1 (ko) 약액도포장치
JP2015195276A (ja) 基板処理装置および基板処理システム
JPH11123643A (ja) 板材の加工装置
JP2005222996A (ja) 処理装置および処理方法
JP2013176873A (ja) 印刷装置および印刷方法
JP2003322715A (ja) パターン部材の製造方法及び製造装置
KR101138314B1 (ko) 부상 방식의 필름 코팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 부상 방식의 필름 코팅 시스템
CN210116749U (zh) 基板装载设备及基板承载框体

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130901

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees