JP3103575B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3103575B2
JP3103575B2 JP02077865A JP7786590A JP3103575B2 JP 3103575 B2 JP3103575 B2 JP 3103575B2 JP 02077865 A JP02077865 A JP 02077865A JP 7786590 A JP7786590 A JP 7786590A JP 3103575 B2 JP3103575 B2 JP 3103575B2
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強 白ヶ澤
順子 松嶋
久和 小谷
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体記憶装置に関するものである。
従来の技術 第5図は従来技術による半導体記憶装置の構成図であ
る。第5図に於てビット線対b1-n,1-nはセンスアンプ
SA1-nにそれぞれ接続されている。ここで複数のワード
線のうち例えばW1が選択されハイレベルになると、この
ワード線W1により選択されたメモリセルMCのデータがビ
ット線b1-nに読み出される。この後センスアンプSA1-n
の電源線VL、グランド線CLがセンスアンプ電源制御回路
PLCによってアクティブとなり、SA1-nはセンス動作を開
始する。これらのセンスアンプにより選択メモリセルの
記憶データが充分増幅されたのち、ラッチ回路LAT1-n
転送されスイッチ素子SW1-n,W1-nの制御線SWC1-nが順
番にコラムデコーダCOにより選択されてハイレベルとな
り、データ線対D,に転送さwれる。データ線対D,に
転送された記憶データは、メインアンプMAによって更に
増幅され出力回路に転送されデータは順次読み出されて
いく。以上のような半導体記憶装置はIshimoto.S etal
1985アイエスエスシーシー ダイジェスト オブ テク
ニカル ペイパーズ(ISSCC Digest of Technial Paper
s)PP38−39に記載されている。第5図に示した半導体
記憶装置の動作タイミングを第6図に示す。第5図に示
す様にセンスアンプSA1-nにおいて増幅されたデータ
は、ラッチ回路LA1-nによってラッチされ、それによ
り、メモリセルMCからセンスアンプSA1-nは、データの
読み出し動作を終了し、次の読み出しの準備を行なう事
ができる為、間断なくデータを転送する事が可能であ
る。しかしセンスアンプSA1-nは、ラッチ回路LAT1-n
対して同時にデータを転送するが、nの値が1K〜4K程度
であるので、転送時の過渡電流は、非常に大きなものと
なるという欠点をもっている。第7図にデータ線D,を
4つに分割し、データ線の先にパラレルシリアル変換回
路P/Sを設けた半導体記憶装置を示す。センスアンプSA
1-nにおいて増幅されたデータは、4つずつの組でデー
タ線D1-4,1-4に転送され、パラレルシリアル変換回路
に送られる。以上のような半導体記憶装置はOhta.K eta
l A 1Mb DRAM with 33MHz Senal I/OPorts,1986アイエ
スエスシーシー ダイジェスト オブ テクニカル ペ
イパー(ISSCC Digest of Technical Papers.)PP.274
−275に記載されている。パラレルシリアル変換された
後、データは、出力回路に送られ出力される。第8図に
第7図に示したシリアルパラレル変換回路の構成図を示
す。第8図において、データ線D1-4,1-4に転送されて
きたデータは、メインアンプMA1-4において増幅された
後、ラッチ回路制御線LACがハイレベルになり、ラッチ
回路LA1-nにラッチされ、スイッチ素子PSW1-4を通って
順に出力回路に転送される。以上に示した半導体記憶装
置の動作タイミングを第9図に示す。同図を見てわかる
様に間断なくデータを出力しており、また、同時動作さ
せる回路数も少ない為、情報転送時の過渡電流も少な
い。しかしながら、あるワード線のデータを読み出した
後、ワード線を立ち下げ、次のワード線を立ち上げるま
で、わずかな時間しかなく、データの読み出す速度が早
くなると、間断なく出力する事が難しくなってしまうと
いう欠点がある。
発明が解決しようとする課題 以上に示してきた様に従来の例に示す半導体記憶装置
においては、記憶しているデータを順次、間断なく読み
出しを行なう場合、動作時の過渡電流が大きいとか、高
速になると間断なくデータの出力も行なう事が難しくな
るといった様な欠点がある為、現状の構成では、満足の
いく高性能な半導体記憶装置が得られない。本発明は、
上述の課題に鑑みなされたもので、動作時の過渡電流の
大きくする事なく、かつ間断のないデータを高速で読み
出し、書き込みができる半導体記憶装置を提供すること
を目的とする。
課題を解決するための手段 本発明の半導体記憶装置は(1)データを記憶する複
数の第1メモリセルを含み、第1メモリブロック選択信
号によって選択的に制御される第1メモリブロックと、
データを記憶する複数の第2メモリセルを含み、該第1
メモリブロック選択信号とは異なる第2メモリブロック
選択信号によって選択的に制御される第2メモリブロッ
クと、該第1メモリブロック選択信号と該第2メモリブ
ロック選択信号とを生成する回路とを備えており、該第
1メモリブロック選択信号と該第2メモリブロック選択
信号のそれぞれは、活性状態と非活性状態のうちいずれ
か一方の状態をとり、第1期間において、該第1メモリ
ブロック選択信号が該活性状態をとり、該第2メモリブ
ロック選択信号が該非活性状態をとる場合において、該
第1期間に続く第2期間において、該第1メモリブロッ
ク選択信号が該活性状態から該非活性状態に変化する前
に、該第2メモリブロック選択信号が該非活性状態から
該活性状態に変化し、第3期間において、該第1メモリ
ブロック選択信号が該非活性状態をとり、該第2メモリ
ブロック選択信号が該活性状態をとる場合において、該
第3期間に続く第4期間において、該第2メモリブロッ
ク選択信号が該活性状態から該非活性状態に変化する前
に、該第1メモリブロック選択信号が該非活性状態から
該活性状態に変化する。また、(2)前記第1メモリブ
ロックは、複数の第1ワード線をさらに含んでおり、前
記第2メモリブロックは、複数の第2ワード線をさらに
含んでおり、前記半導体記憶装置は、前記複数の第1ワ
ード線のうち1つの第1ワード線に接続される複数の第
1メモリセルから出力されるデータと、前記複数の第2
ワード線のうち1つの第2ワード線に接続される複数の
第2メモリセルから出力されるデータとのうち少なくと
も一方をパラレルシリアル変換する回路をさらに備えて
いてもよい。
作用 本発明は上述の構成(1)により、同時に動作する回
路を減らし、かつワード線の立ち上げや立ち下げの時間
に関係なくデータの入出力が可能になるので、本発明に
よる半導体記憶装置は、動作時の過渡電流を大きくする
事なく、間断のないデータ入出力を高速で行なう事が可
能である。また、上述の構成(2)により、許容の過渡
電流の範囲内で同時動作する回路数を増やし、上述の構
成(1)よりも高速にデータの入出力が可能になる。
実施例 (実施例1) 本発明の半導体記憶装置の一実施例を第1図、第2図
を用いて説明する。第1図は本発明の第1の実施例にお
ける半導体記憶装置の構成図である。第1図においてビ
ット線b1-n,1-nはセンスアンプSA1-nと接続され、セ
ンスアンプSA1-nの相補出力は、スイッチ素子SW1-nを介
してメインアンプに接続したデータ線D,に接続されて
いる。スイッチ素子Sw1-nはコラムデコーダCOA,COBの出
力であるスイッチ素子開閉制御信号線SWC1-nによって開
閉制御される。ここでセンスアンプSA1-nは、S
A1−n/2,SAn/2+1−nまでの2つのグループに分けら
れ、ビット線、スイッチ素子、スイッチ開閉制御信号線
も同様に分けられており、1−n/2をAブロック、
n/2+1−nをBブロックとしている。各ブロックは、
センスアンプ電源制御回路PLC、ロウデコーダROW、コラ
ムデコーダCOを別々にもっており、ワード線Wも2つに
分割された形になっている。以上の様な構成において、
分割されたワード線をある時間差を持って制御し、ワー
ド線の動きにあわせてセンスアンプ電源制御回路PLCを
動作させる事により間断のないデータの出力を得る事が
可能となる。すなわち、本実施例ではある時間差を持っ
た信号であるブロック選択信号BSLA,BSLABによって各ブ
ロックのセンスアンプ電源制御回路PLC、ロウデコーダR
OWを制御している。ブロック選択信号BSLA,BSLBを発生
させる回路の一実施例を第10図に示す。第10図において
入力端子INPから入力された入力信号▲▼はINV1
、NAND1からなる立ち下がりエッジ検出回路において
立ち下がりを検出され、NAND2,3からなるRSフリップフ
ロップ回路1にセット信号として入力され、出力端子OU
TP2の出力信号BSLAはHiの状態になる。同様に入力信号
▲▼はINV711、NAND4からなる立ち上がりエッジ
検出回路において立つ上がりを検出され、NAND5,6から
なるRSフリップフロップ回路2にセット信号として入力
され、出力端子のOUTP2の出力信号BSLBはHi状態とな
る。また、立ち上がりエッジ検出回路の出力は遅延素子
DELAY 2を通って一定時間遅延した後、RSフリップフ
ロップ回路1のリセット信号として入力され、出力信号
BSLAはLo状態となる。同様に立ち下がりエッジ検出回路
の出力は遅延素子DELAY1を通って一定時間遅延した後、
RSフリップフロップ回路2のリセット信号として入力さ
れ、出力信号BSLBはLo状態となる。以上に述べた入力信
号▲▼と出力信号BSLA,BSLBの関係を第11図に示
す。第1図に示す半導体記憶装置においてデータを順次
読み出していく場合の動作タイミングを第2図に示す。
以下その動作タイミングについて説明する。まず、ブロ
ック選択信号BSLAにより制御されるブロックAのワード
線WA1を立ち上げ、メモリセルMCに記憶されていたデー
タをビット線b1−n/21−n/2に読みだし、次にセ
ンスアンプ電源制御回路PLCAを動作させ、センスアンプ
電源線VLAをハイレベル、センスアンプグランド線GLA
ロウレベルにし、センスアンプを活性化させ、データを
センスし、増幅させる。センス増幅されたデータは、SW
1−n/2を通って順次データ線D,に転送されメインア
ンプに送られる。本実施例では、ワード線WA1のデータ
を全て読み出す前にブロック選択信号BSLBにより制御さ
れるブロックBのワード線WB1を立ち上げ、センスアン
プSAn/2+1−nを活性化させ、データをいつでもデー
タ線D,に転送できる様にしておき、ワード線WA1のデ
ータを全て読み出した後、すぐにワード線WLB1のデータ
の読み出しを行なっている。その後、ワード線WLB1のデ
ータの読み出しの間、ワード線WA2を立ち上げておくと
いう様に次々とワード線を立ち上げていけば、ワード線
の立ち上げ、立ち下げや、データのセンス増幅の時間に
関係なくデータの出力を間断なく行なう事ができ、動作
時の過渡電流も大きくなる事はない。また、ロウアドレ
スの一部をブロック選択信号として用いることにより、
上記したように半導体記憶装置内部で第10図に示すブロ
ック選択信号発生回路を用いてブロック選択信号BSLA,B
SLBを作る必要が無くなり半導体記憶装置内部の制御が
楽になる。なお、本実施例においては、データの読み出
し動作について説明したが、書き込みの場合は、データ
線D,に入力データを転送し、読み出しと同様の動作を
行なえば良い。
(実施例2) 第1図に示す半導体記憶装置は、間断のないデータを
出力する事が可能であるが、データ線D,の容量が大き
い為、データをある程度以上高速で転送する事が難しく
なる。そこで、高速化の為に第1図に示す半導体記憶装
置のデータ線を4つに分割し、分割したデータ線にパラ
レルシリアル変換回路を設けたのが第3図に示す半導体
記憶装置である。第3図に示す半導体記憶装置において
D1-4,1-4はデータ線であり、MCAA,MCABはメモリセル
アレイであり、第1図におけるセンスアンプ、ワード
線、メモリセル、ロウデコーダ、センスアンプ電源制御
回路等から構成され、第1図に示す半導体記憶装置と同
様の動作を行なう。本実施例においてもブロック選択信
号BSLA,BSLBを第10図に示す回路で発生させている。ま
たP/Sはパラレルシリアル変換回路であり、第7図に示
したものと同様の動作を行ない、その回路図は第8図に
示したものと同一である。第8図に示すパラレルシリア
ル変換回路は、次の様な動作を行なう。すなわちデータ
線D1-D4,1- によって送られてきたデータはメイン
アンプMA1-4によって増幅され、ラッチ回路LA1-4に転送
される。ラッチ回路LAの制御は信号線LACによって行な
われ、ラッチ回路LA1-4は同時にデータをラッチする。
次に転送ゲートPSW1-4がPSW1から順番にONして、順次デ
ータを出力回路に送くる。以上の動作をくり返してパラ
レルシリアル変換を行なう。第3図に示す半導体記憶装
置のスイッチ素子SW1-nからパラレルシリアル変換回路
までの動作タイミングを第4図に示す。第4図に示す様
にスイッチ素子SW1-nの制御信号SWC1-nに比べ、パラレ
ルシリアル変換回路の出力は4倍速くなっている事がわ
かる。本実施例においては、パラレルシリアル変換回路
を設けて高速化を行なっているが、同時に動作する回路
の数は少ないので動作時の過渡電流も大きなものになら
ない。以上の様な構成をとる事により、間断のない出力
を高速で得る事が可能となり、動作時の過渡電流も大き
なものにならず、また、より以上の高速化を行なう場合
にもデータ線の分割をさらに増やしてパラレルシリアル
変換を行なえば可能となる。すなわち、データ線の分割
は速度と動作時の過渡電流の大きさにより最適な分割数
を決定すればよい。なお、本実施例は、データの読み出
しについてしか述べていないが、書き込みの場合は、パ
ラレルシリアル変換回路と逆の動作を行なうシリアルパ
ラレル変換回路を設ける事により、書き込みも読み出し
と同様に高速で間断なく行なう事ができる。読み出しと
書き込みの両方において高速に間断なく行うため、パラ
レルシリアル変換回路とシリアルパラレル変換回路の両
方を用いることが望ましい。
発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明の半導体記憶
装置は、動作時の過渡電流を大きくする事なく間断のな
いデータ入出力を高速に行なう事ができる為、大容量の
半導体記憶装置、特に画像メモリーの様なものを実現す
る際に、設計が楽になり、設計期間も短縮できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1の実施例における本発明半導体記憶装置の
構成図、第2図は第1図の半導体記憶装置の動作タイミ
ング図、第3図は第1図の半導体記憶装置のデータ線を
4つに分割しパラレルシリアル変換回路を設けた半導体
記憶装置の構成図、第4図は第3図の半導体記憶装置の
動作タイミング図、第5図はセンスアンプとスイッチ素
子の間にラッチ回路を設けた従来の半導体記憶装置の構
成図、第6図は第5図の半導体記憶装置の動作タイミン
グ図、第7図はデータ線を4つに分割しパラレルシリア
ル変換回路を設けた従来半導体記憶装置の構成図、第8
図はパラレルシリアル変換回路の構成図、第9図は第7
図の半導体記憶装置の動作タイミング図、第10図は第1
図、第2図に示した制御信号BSLA,BSLBの発生回路の回
路図、第11図は第10図の回路の動作タイミング図であ
る。 SA1〜SAn……センスアンプ,CA,CB……コラムデコ
ーダ,PLCA,PLCB……センスアンプ電源制御回路,RWA,R
WB……ロウデコーダ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松嶋 順子 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 小谷 久和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−157798(JP,A) 特開 昭64−14795(JP,A) 特開 昭61−126693(JP,A) 特開 昭61−144795(JP,A)

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】データを記憶する複数の第1メモリセル
    と、複数の第1センスアンプと、これら複数の第1セン
    スアンプを制御する第1センスアンプ制御回路を含み、
    第1メモリブロック選択信号によって選択的に制御され
    る第1メモリブロックと、 データを記憶する複数の第2メモリセルと、複数の第2
    センスアンプと、これら複数の第2センスアンプを制御
    する第2センスアンプ制御回路を含み、該第1メモリブ
    ロック選択信号とは異なる第2メモリブロック選択信号
    によって選択的に制御される第2メモリブロックと、 該第1メモリブロック選択信号と該第2メモリブロック
    選択信号とを生成する回路とを備えた半導体記憶装置で
    あって、 該第1メモリブロック選択信号と該第2メモリブロック
    選択信号のそれぞれは、活性状態と非活性状態のうちい
    ずれか一方の状態をとり、 第1期間において、該第1メモリブロック選択信号が該
    活性状態をとり、該第2メモリブロック選択信号が該非
    活性状態をとる場合において、該第1期間に続く第2期
    間において、該第1メモリブロック選択信号が該活性状
    態から該非活性状態に変化する前に、該第2メモリブロ
    ック選択信号が該非活性状態から該活性状態に変化し、 該第2期間に続く第3期間において、該第1メモリブロ
    ック選択信号が該非活性状態をとり、該第2メモリブロ
    ック選択信号が該活性状態をとり、該第3期間に続く第
    4期間において、該第2メモリブロック選択信号が該活
    性状態から該非活性状態に変化する前に、該第1メモリ
    ブロック選択信号が該非活性状態から該活性状態に変化
    し、 該第1センスアンプ制御回路は、該第1メモリブロック
    選択信号が入力され、該第1メモリブロック選択信号が
    該非活性状態から該活性状態に変化したことに応答し
    て、該複数の第1センスアンプを活性化し、 該第2センスアンプ制御回路は、該第2メモリブロック
    選択信号が入力され、該第2メモリブロック選択信号が
    該非活性状態から該活性状態に変化したことに応答し
    て、該複数の第2センスアンプを活性化する半導体記憶
    装置。
  2. 【請求項2】前記第1メモリブロック選択信号と前記第
    2メモリブロック選択信号のそれぞれは、前記回路に入
    力される入力信号に基づいて生成される請求項1に記載
    の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】前記第3期間の長さは、前記第2期間の長
    さより大きく、かつ、前記第4期間の長さより大きい、
    請求項1に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】前記第1メモリブロックは、前記第1メモ
    リブロック選択信号が前記非活性状態から前記活性状態
    に変化したことに応答して、外部から入力されるロウア
    ドレスとカラムアドレスとによって特定される位置にあ
    る第1メモリセルにアクセスし、 前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロック選
    択信号が前記非活性状態から前記活性状態に変化したこ
    とに応答して、外部から入力されるロウアドレスとカラ
    ムアドレスとによって特定される位置にある第2メモリ
    セルにアクセスする、請求項1に記載の半導体記憶装
    置。
  5. 【請求項5】前記第1メモリブロックは、複数の第1ワ
    ード線をさらに含んでおり、前記第2メモリブロック
    は、該複数の第1ワード線とは異なる複数の第2ワード
    線をさらに含んでおり、 前記第1メモリブロックは、前記第1メモリブロック選
    択信号が前記非活性状態から前記活性状態に変化したこ
    とに応答して、該複数の第1ワード線のうち1つの第1
    ワード線を立ち上げ、 前記第2メモリブロックは、前記第2メモリブロック選
    択信号が前記非活性状態から前記活性状態に変化したこ
    とに応答して、該複数の第2ワード線のうち1つの第2
    ワード線を立ち上げる、請求項1に記載の半導体記憶装
    置。
  6. 【請求項6】前記第1メモリブロックは、複数の第1ワ
    ード線をさらに含んでおり、前記第2メモリブロック
    は、該複数の第1ワード線とは異なる複数の第2ワード
    線をさらに含んでおり、 前記半導体記憶装置は、 前記複数の第1ワード線のうち1つの第1ワード線に接
    続される複数の第1メモリセルから出力されるデータ
    と、前記複数の第2ワード線のうち1つの第2ワード線
    に接続される複数の第2メモリセルから出力されるデー
    タとのうち少なくとも一方をパラレルシリアル変換する
    回路をさらに備えている、請求項1に記載の半導体記憶
    装置。
  7. 【請求項7】前記半導体記憶装置は、外部から入力され
    るデータをシリアルパラレル変換する回路をさらに備え
    ている、請求項1または6のいずれかに記載の半導体記
    憶装置。
  8. 【請求項8】データを記憶する複数のメモリセルと、複
    数のセンスアンプと、これら複数のセンスアンプを制御
    するセンスアンプ制御回路をそれぞれ含み、複数のメモ
    リブロック選択信号によってそれぞれ選択的に制御され
    る複数のメモリブロックと、 該複数のメモリブロック選択信号を生成する回路とを備
    えた半導体記憶装置であって、 該複数のメモリブロック選択信号のそれぞれは、活性状
    態と非活性状態のうちいずれか一方の状態をとり、 第1期間において、該複数のメモリブロック選択信号の
    うちの1つが該活性状態をとり、該複数のメモリブロッ
    ク選択信号のうちの他の1つが該非活性状態をとる場合
    において、該第1期間に続く第2期間において、該複数
    のメモリブロック選択信号のうちの該1つが該活性状態
    から該非活性状態に変化する前に、該複数のメモリブロ
    ック選択信号のうちの該他の1つが該非活性状態から該
    活性状態に変化し、 該第2期間に続く第3期間において、該複数のメモリブ
    ロック選択信号のうちの該1つが該非活性状態をとり、
    該複数のメモリブロック選択信号のうちの該他の1つが
    該活性状態をとり、該第3期間に続く第4期間におい
    て、該複数のメモリブロック選択信号のうちの該他の1
    つが該活性状態から該非活性状態に変化する前に、該複
    数のメモリブロック選択信号のうちの該1つが該非活性
    状態から該活性状態に変化し、 該複数のメモリブロックのそれぞれに含まれるセンスア
    ンプ制御回路は、該複数のメモリブロック選択信号のう
    ち対応する1つのメモリブロック選択信号が該非活性状
    態から該活性状態に変化したことに応答して、該複数の
    センスアンプを活性化する半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】該複数のメモリブロック選択信号のそれぞ
    れは、該回路に入力される入力信号に基づいて生成され
    る請求項8に記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】前記第3期間の長さは、前記第2期間の
    長さより大きく、かつ、前記第4期間の長さより大き
    い、請求項8に記載の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】前記複数のメモリブロックのそれぞれ
    は、前記複数のメモリブロック選択信号のうち対応する
    1つのメモリブロック選択信号が前記非活性状態から前
    記活性状態に変化したことに応答して、外部から入力さ
    れるロウアドレスとカラムアドレスとによって特定され
    る位置にあるメモリセルにアクセスする、請求項8に記
    載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】前記複数のメモリブロックのそれぞれ
    は、互いに独立した複数のワード線をさらに含んでお
    り、 前記複数のメモリブロックのそれぞれは、前記複数のメ
    モリブロック選択信号のうち対応する1つのメモリブロ
    ック選択信号が前記非活性状態から前記活性状態に変化
    したことに応答して、該複数のワード線のうち1つのワ
    ード線を立ち上げる、請求項8に記載の半導体記憶装
    置。
  13. 【請求項13】前記複数のメモリブロックのそれぞれ
    は、互いに独立した複数のワード線をさらに含んでお
    り、 前記半導体記憶装置は、 前記複数のメモリブロックのうちの1つのメモリブロッ
    クに含まれる該複数のワード線のうち1つのワード線に
    接続される複数のメモリセルから出力されるデータと、
    前記複数のメモリブロックのうちの他の1つのメモリブ
    ロックに含まれる該複数のワード線のうちの1つのワー
    ド線に接続される複数のメモリセルから出力されるデー
    タとのうち少なくとも一方をパラレルシリアル変換する
    回路をさらに備えている、請求項8に記載の半導体記憶
    装置。
  14. 【請求項14】前記半導体記憶装置は、外部から入力さ
    れるデータをシリアルパラレル変換する回路をさらに備
    えている、請求項8または13のいずれかに記載の半導体
    記憶装置。
  15. 【請求項15】データを記憶する複数の第1メモリセル
    と、該複数の第1メモリセルのうち少なくとも1つに接
    続される複数の第1ワード線と、複数の第1センスアン
    プと、これら複数の第1センスアンプを制御する第1セ
    ンスアンプ制御回路とを含み、第1メモリブロック選択
    信号によって選択的に制御される第1メモリブロック
    と、 データを記憶する複数の第2メモリセルと、該複数の第
    2メモリセルのうち少なくとも1つに接続される、該複
    数の第1ワード線とは異なる複数の第2ワード線と、複
    数の第2センスアンプと、これら複数の第2センスアン
    プを制御する第2センスアンプ制御回路とを含み、該第
    1メモリブロック選択信号とは異なる第2メモリブロッ
    ク選択信号によって選択的に制御される第2メモリブロ
    ックと、 該第1メモリブロック選択信号と該第2メモリブロック
    選択信号とを生成する回路とを備えた半導体記憶装置で
    あって、 該複数の第1ワード線のそれぞれは、該第1メモリブロ
    ック選択信号に応じて活性状態と非活性状態とのうちい
    ずれか一方の状態をとり、該複数の第2ワード線のそれ
    ぞれは、該第2メモリブロック選択信号に応じて活性状
    態と非活性状態のうちいずれか一方の状態をとり、 第1期間において、該複数の第1ワード線のうちの1つ
    が該活性状態をとり、該複数の第2ワード線のうちの1
    つが該非活性状態をとる場合において、該第1期間に続
    く第2期間において、該複数の第1ワード線のうちの該
    1つが該活性状態から該非活性状態に変化する前に、該
    複数の第2ワード線のうちの該1つが該非活性状態から
    該活性状態に変化し、 該第2期間に続く第3期間において、該複数の第1ワー
    ド線のうちの該1つが該非活性状態をとり、該複数の第
    2ワード線のうちの該1つが該活性状態をとり、該第3
    期間に続く第4期間において、該複数の第2ワード線の
    うちの該1つが該活性状態から該非活性状態に変化する
    前に、該複数の第1ワード線のうちの該1つが該非活性
    状態から該活性状態に変化し、 該第1センスアンプ制御回路は、該第1メモリブロック
    選択信号が入力され、該第1メモリブロック選択信号が
    該非活性状態から該活性状態に変化したことに応答し
    て、該複数の第1センスアンプを活性化し、 該第2センスアンプ制御回路は、該第2メモリブロック
    選択信号が入力され、該第2メモリブロック選択信号が
    該非活性状態から該活性状態に変化したことに応答し
    て、該複数の第2センスアンプを活性化する半導体記憶
    装置。
  16. 【請求項16】該第1メモリブロック選択信号と該第2
    メモリブロック選択信号のそれぞれは、該回路に入力さ
    れる入力信号に基づいて生成される請求項15に記載の半
    導体記憶装置。
  17. 【請求項17】データを記憶する複数のメモリセルと該
    複数のメモリセルのうち少なくとも1つに接続される、
    互いに独立した複数のワード線と、複数のセンスアンプ
    と、これら複数のセンスアンプを制御するセンスアンプ
    制御回路とをそれぞれ含み、複数のメモリブロック選択
    信号によって選択的に制御される複数のメモリブロック
    と、 該複数のメモリブロック選択信号を生成する回路とを備
    えた半導体記憶装置であって、 該複数のワード線のそれぞれは、該複数のメモリブロッ
    ク選択信号のうち対応する1つのメモリブロック選択信
    号に応じて活性状態と非活性状態のうちいずれか一方の
    状態をとり、 第1期間において、該複数のメモリブロックのうちの1
    つのメモリブロックに含まれる該複数のワード線のうち
    の1つが該活性状態をとり、該複数のメモリブロックの
    うちの他の1つのメモリブロックに含まれる該複数のワ
    ード線のうちの1つが該非活性状態をとる場合におい
    て、該第1期間に続く第2期間において、該複数のメモ
    リブロックのうちの該1つのメモリブロックに含まれる
    該複数のワード線のうちの該1つが該活性状態から該非
    活性状態に変化する前に、該複数のメモリブロックのう
    ちの該他の1つのメモリブロックに含まれる該複数のワ
    ード線のうちの該1つが該非活性状態から該活性状態に
    変化し、 該第2期間に続く第3期間において、該複数のメモリブ
    ロックのうちの該1つのメモリブロックに含まれる該複
    数のワード線のうちの1つが該非活性状態をとり、該複
    数のメモリブロックのうちの該他の1つのメモリブロッ
    クに含まれる該複数のワード線のうちの1つが該活性状
    態をとり、該第3期間に続く第4期間において、該複数
    のメモリブロックのうち該他の1つのメモリブロックに
    含まれる該複数のワード線のうちの該1つが該活性状態
    から該非活性状態に変化する前に、該複数のメモリブロ
    ックのうちの該1つのメモリブロックに含まれる該複数
    のワード線のうちの該1つが該非活性状態から該活性状
    態に変化し、 該複数のメモリブロックのそれぞれに含まれるセンスア
    ンプ制御回路は、該複数のメモリブロック選択信号のう
    ち対応する1つのメモリブロック選択信号が該非活性状
    態から該活性状態に変化したことに応答して、該複数の
    センスアンプを活性化する半導体記憶装置。
  18. 【請求項18】該複数のメモリブロック選択信号のそれ
    ぞれは、該回路に入力される入力信号に基づいて生成さ
    れる請求項17記載の半導体記憶装置。
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