JP3102157B2

JP3102157B2 - 拡大機構を有する圧電・電磁アクチュエータ

Info

Publication number: JP3102157B2
Application number: JP04256637A
Authority: JP
Inventors: 太助木村; 重雄三浦; 雄二押目
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-09-25
Filing date: 1992-09-25
Publication date: 2000-10-23
Anticipated expiration: 2015-10-23
Also published as: JPH06112038A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子の変位、電磁
コイルの引き付けによるアーマチュアの変位を拡大する
機構を有する圧電・電磁アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】複数本のワイヤの先端をプラテン上の媒
体にリボンを介して打ち付け、媒体上に印字するインパ
クトプリンタ装置が広く採用されている。この装置は複
数枚の複写シートより構成された伝票などの場合、各複
写シートに一度に印刷できるので便利である。このイン
パクトプリンタ装置のワイヤを駆動する方法として電磁
方式が用いられてきたが、高速化に伴い、電磁方式では
高速化対応に限界が生じてきた。このため圧電アクチュ
ータを用いた印字ヘッドが見直されてきている。

【０００３】図７は圧電または電磁印字ヘッドを有する
プリンタを示す図である。プリンタ50には、プラテン52
の上面に配置された印刷用紙である媒体54にリボン53を
介して圧電又は電磁印字ヘッド51が対向して配置されて
いる。圧電または電磁印字ヘッド51は図で左右に移動し
ながら印字してゆき、プラテン52が回転して媒体54を圧
電または電磁印字ヘッド51の動きと直角方向へ移動させ
ることにより媒体54に印字されてゆく。

【０００４】図８は印字ヘッド51とプラテン52、リボン
53、および媒体54の関係を示す図である。圧電印字ヘッ
ド51よりワイヤ９が、プラテン52上に配置された媒体54
にリボン53を介して打ち出され、リボン53のインキを媒
体54上に付着される。

【０００５】図９は電磁印字ヘッドの構成を示す図であ
る。コイル31を巻かれたコア30に対向してアーマチュア
32が板バネ33で支持され、アーマチュア32の板バネ33と
反対側にはビーム35が取り付けられ、ビーム35の先端に
はワイヤ38が取り付けられている。ワイヤ38は３段に設
けられたガイド42により案内され、ガイド42はガイドフ
レーム43で支持されている。コイル31にはコネクタ45よ
り電力がプリント板44を介して供給される。

【０００６】図10は圧電印字ヘッド51内のワイヤ９と、
このワイヤ９を駆動する圧電アクチュエータセンブリ55
の配置を示す図である。圧電アクチュエータアセンブリ
55が複数個圧電印字ヘッド51内に配置され、各圧電アク
チュエータアセンブリ55には１本のワイヤ９が設けられ
ている。各圧電アクチュエータアセンブリ55は図８に示
すようにリング状に配置されたベース２に取付けられて
いる。なお、電磁印字ヘッドの場合も同様な配置となっ
ている。

【０００７】図11は従来の圧電アクチュエータアセンブ
リ55の構成を示す図である。圧電素子１は矢印の方向に
伸張し、縮少する。ベース２は図８で示したように印字
ヘッド51内にリング状に配置され圧電素子１の基部を固
着すると共に横振止部15により圧電素子１の伸長方向と
直角方向の横振れを防止する。可動ブロック３は圧電素
子１の頂部に固着され圧電素子１の伸縮により図11で上
下方向に移動する。可動バネ４はその長さ方向が圧電素
子１の伸縮方向と一致するよう可動ブロック３に固着さ
れ、可動ブロック３と共に移動する。支持バネ５はその
長さ方向が可動バネ４の長さ方向と平行になるようベー
ス２に固着されている。支持・可動バネ接合ブロック６
ａは可動バネ４と支持バネ５の頂部を接続する。ビーム
取付ブロック６ａはビーム８と支持・可動バネ接合ブロ
ック６ａを接合する。支持・可動バネ接合ブロック６ａ
は支持バネ５と可動バネ４の動きにより図11の紙面に直
角方向にモーメント軸を持つ回転モーメントを受ける
が、ビーム８はこの回転モーメント軸に直角に取付けら
れる。ビーム８の先端にはワイヤ９が可動バネ４の長さ
方向にやや傾いた状態で取付けられている。

【０００８】図12は圧電素子１の構成の１例を示す図で
ある。圧電セラミック20を積層し、積層面を内部電極21
とし、この内部電極21の交互に電圧を印加する。つまり
１つの圧電セラミックス20の両端の内部電極21の一方に
は（＋）の電圧が、他方には（−）の電圧が印加され
る。圧電セラミックス20を積層しその積層面に形成され
た内部電極21には、例えば、図12においてこの内部電極
21を下から上に向って順番に付番をした場合、奇数番目
の内部電極21には（＋）の電圧、偶数番目の内部電極21
には（−）の電圧が印加される。この（＋），（−）は
逆にしてもよい。リード線17より電圧を印加される外部
電極19は２個設けられ、一方が奇数番目の内部電極21に
（＋）の電圧を、他方が偶数番目の内部電極21に（−）
の電圧を印加する。リード線17と外部電極19はハンダ18
で接続される。外部電極19は圧電セラミックス20の内部
電極21に１つおきに電圧を印加するため、電圧を印加し
ない内部電極21には電気絶縁層22が設けられ電圧が印加
されないようにする。各リード線17には図11に示す印加
端子16より電圧が印加される。

【０００９】図13は圧電アクチュエータアセンブリ55の
動作を説明する図である。印加端子16には短周期のパル
ス電圧（例えば４ｋＨｚ）が加わり、これにより圧電素
子１は直線矢印方向に伸び、その後縮む動作を繰り返
す。この伸縮量は可動ブロック３を介して可動バネ４を
直線矢印方向に伸縮させる。一方、支持バネ５はベース
２に固着されているが頂部で支持・可動バネ接合ブロッ
ク６ａにより接合されているので、回転矢印で示すよう
なモーメントが発生する。この回転モーメントの軸は図
面に垂直方向である。ビーム８はビーム取付ブロック６
ａにより支持・可動バネ接合ブロック６ａに、回転モー
メント軸に直角方向に取付けられている。故に圧電素子
１の伸縮により回転モーメントが生じると、ビーム８先
端のワイヤ９は次式で示されるように移動する。ｎ＝Ｌ１／Ｌ２……（１）Ｌ１：可動バネ４の軸心と支持バネ５の軸心間距離Ｌ２：支持バネ５の軸心とワイヤ９のビーム８への取付
位置間距離ｎ：拡大率ワイヤ９の移動量Ｌ４Ｌ４＝ｎ・Ｌ３……（２）Ｌ３は圧電素子１の伸縮量である。ワイヤ９の移動量Ｌ４を静的ストロークと言う。なお、
このように圧電素子１の伸縮量を拡大する部分を拡大機
構と言う。

【００１０】図14はワイヤ９のオーバシュート、アンダ
ーシュートを説明する図である。拡大機構の構成要素で
ある可動ブロック３、可動バネ４、支持バネ５、支持・
可動バネ接合ブロック６ａ、ビーム取付ブロック６ａ、
ビーム８の慣性モーメントと、ワイヤ９の慣性モーメン
トによりワイヤ９は、静的動作量を越えてオーバシュー
トとなり、また静止位置を越えてアンダーシュートとな
る。ここでオーバーシュートとは拡大機構により生じる
静的動作量と圧電素子１への短周期のパルス電圧を印加
することによる振動によって生じる動的動作量との図８
におけるプラテン52側（インパクト側）への差を言い、
アンダーシュートとは動的動作によって静止点よりイン
パクト側と反対方向に動作した量を言う。圧電素子１に
短周期のパルス電圧を印加するとオーバシュートとアン
ダーシュートが生じる。

【００１１】図15は電磁印字ヘッドを構成する電磁アク
チュエータの動作と拡大機構を説明する図である。電磁
印字ヘッドには釈放型と吸引型の２種類のものがある。
釈放型は、パルス電圧が印加しない状態ではコア30にア
ーマチュア32を引き付けておき、パルス電圧を印加する
ことにより、この引き付けておく磁力を釈放して板バネ
33の力でインパクトするものであり、吸引型はパルス電
圧を印加することによりコア30にアーマチュア32を吸引
し、パルス電圧が印加されないとき、板バネ33により元
に戻るものである。以下、釈放型として説明してゆく。

【００１２】図15において、パルス電圧が加わらない状
態ではアーマチュア32はコア30に引き付けられ、このた
め板バネ33は、ｄだけ撓んだ状態となっている。パルス
電圧が加わるとコア30の引き付け力は打ち消され、アー
マチュア32は板バネ33により釈放される。これによりワ
イヤ38は矢印方向に移動する。コア30とアーマチュア32
の撓み量ｄは板バネ33、アーマチュア32、アーム35によ
って構成される拡大機構によって、拡大率ｎは次式とな
る。ｎ＝Ｌ２／Ｌ１……（３）板バネ33の撓み量ｄはｎｄ倍に拡大される。なお、撓み
量ｄは、圧電素子の伸縮量に比べて大きいのでｎは
（１）式に比べて１桁程度小さい。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】このようなプリンタ50
を高速で稼働させるためには圧電または電磁印字ヘッド
51のワイヤ９を高速で往復動させる必要がある。このた
め拡大機構を高速で動作させるが、圧電印字ヘッドの場
合、オーバシュートやアンダーシュートにより可動バネ
４と支持・可動バネ接合ブロック６ａとの取合部などに
応力が集中し、この取合部などに疲労破壊が生じてい
た。このため拡大機構の構成部材の慣性モーメントを減
らすなどの対策も行なわれているが、所定の強度を有す
る必要があるため、所定量以上減少することはできな
い。このような現像は圧電印字ヘッドに限らず、拡大機
構を有する圧電または電磁アクチュエータにも生じる。
なお、電磁アクチュエータはコア30とアクチュエータ32
間の変位量が大きいので、拡大機構の拡大率は小さく、
疲労破壊の発生も圧電アクチュエータよりは少ない。

【００１４】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、防振部材により拡大機構のオーバシュートやア
ンダーシュートを押える圧電または電磁アクチュエータ
を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、圧電素子１の一方の端部と接続するベース２と、前
記圧電素子１の他方の端部に接続する可動支持ブロック
３と、この可動支持ブロック３に一端を固定し前記圧電
素子１の伸張方向に設けられた可動バネ４と、前記ベー
ス２の他方の端部に一端を固定し前記可動バネ４と平行
に配置された支持バネ５と、この支持バネ５と前記可動
バネ４の頂部を接続するブロック６とを備えた拡大機構
を有する圧電アクチュエータにおいて、前記ブロック６
と前記ベース２の間に設けられた第１防振部材10と、前
記可動支持ブロック３と前記ブロック６の間に設けた第
２防振部材11とを備えたものである。

【００１６】また、前記第２防振部材11の硬さを前記第
１防振部材10の硬さより硬くしたものである。

【００１７】また、前記第２防振部材11は、前記可動支
持ブロック３と前記ブロック６に接する面に設けられた
耐摩耗シート13と、この耐摩耗シート13の間に設けられ
た防振部材14よりなるものである。

【００１８】また、外周にコイル31を巻かれたコア30
と、板バネ33により支持され、このコア30と対向するア
ーマチュア32と、この板バネ33を支持する支持部34とを
備えた拡大機構を有する電磁アクチュエータにおいて、
前記板バネ33の前記コア30と反対側を第１防振部材36で
覆い、前記板バネ33の前記コア30側を第２防振部材37で
覆ったものである。

【００１９】また、前記第２防振部材37の硬さを前記第
１防振部材36の硬さより硬くしたものである。

【００２０】

【作用】圧電素子１の伸縮によって可動バネ４も往復動
する。支持バネ５と可動バネ４は頂部をブロック６で接
合されており、支持バネ５の他端はベース２に固着され
ているので、ブロック６には回転モーメントが生じ、こ
の回転モーメントによってブロック６に取り付けられた
ビーム８の先端は移動する。この静的動作量は支持バネ
５の軸心と可動バネ４の軸心との距離Ｌ１と支持バネ５
の軸心とビーム８の先端との距離Ｌ２との比ｎ＝Ｌ２／
Ｌ１を可動バネ４の移動量に乗じた値となる。しかし圧
電素子１は短周期で往復動するため、この静的動作量を
越えたオーバシュート、静止位置をオーバシュートと反
対側に越えるアンダーシュートを生じる。第１防振部材
10はブロック６に接して充填された防振部材によって構
成され、ブロック６の回転モーメントによる回転運動を
制動することにより主としてオーバシュートを押えるよ
うに働く。第２防振部材11は可動支持ブロック３とブロ
ック６の対向面の間に充填された防振部材により構成さ
れ、アンダーシュートを制動するように働く。

【００２１】第２防振部材11の硬さを第１防振部材10の
硬さより硬くする。これはアンダーシュートは第２防振
部11によって制動しなければならないので防振部材を硬
くする必要があるが、第１防振部材10をあまり硬くする
とブロック６の回転を押え圧電素子１の伸縮を回転モー
メントに変換する回転機能を押えてしまうので、これを
防止するため第２防振材11の硬さより第１防振材10の硬
さを軟かくしておく。

【００２２】第２防振部材11を、可動支持ブロック３と
ブロック６に接する面には耐摩耗シート13を設け、この
両耐摩耗シート13間に第１防振部材10より硬い防振部材
を充填することにより構成し、第２防振部材11の対摩耗
性を向上させ破労に対する抵抗力を強化する。

【００２３】コイル31にパルス電圧が印加されると今迄
コア30に引き付けられていたアーマチュア32は釈放さ
れ、板バネ33の復元力により板バネ33が直線となる位置
に戻るが、慣性によりこの位置を飛び越してワイヤ38は
オーバシュートとなる。このとき、第１防振部材36によ
りこの動きは制動される。またパルス電圧を印加しなく
なるとアーマチュア32はコア30に引き付けられ、コア30
に激突し、アーム35は振動するが、第２防振部材37によ
り、この動きは制動される。

【００２４】第２防振部材37の硬さを第１防振部材36の
硬さより硬くする。第１防振部材36はオーバシュートを
制動するが、あまり硬くすると板バネ33の復元力を弱め
てしまうのであまり硬くできない。第２防振部材37はア
ーマチュア32がコア30に激突するのを和らげるものであ
り、硬くして制動力を増した方がよい。

【００２５】

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１実施例である。本図に用いられ
ている符号で図11に記載された符号と同一符号は同一の
機能を有する部材を示す。図１において図11と相違する
点について説明する。可動支持ブロック３の頂部に頂部
アゴ部25を設けビーム取付ブロック６ｂと対向面を形成
し第２防振部11の取付けおよび保持を容易としている。
ベース２の頂部で支持バネ５と平行して防振部材押え26
を設け、第１防振部材10の充填および保持を容易にす
る。ビーム取付ブロック６ｂの下部にも下部アゴ部27を
設け、頂部アゴ部25と対向面を形成し第２防振部材11取
付けおよび保持を容易とする。なお、24で示す範囲には
従来より防振部材が充填されている。

【００２６】第１防振部材10は、ベース２の頂部、防振
部材押え26および支持・可動バネ接合ブロック６ａの下
面で囲まれる範囲、および支持・可動バネ接合ブロック
６ａの上面、可動バネ４と支持バネ５の間、可動バネ４
と支持バネ５の下部とベース２、横振止部15の上部で囲
まれる部分に防振部材が充填される。第２防振部材11は
第１防振部材10と同一硬度の防振部材を頂部アゴ部26と
下部アゴ部27に充填したものである。

【００２７】次に防振部材について説明する。防振部材
としてシリコーンゲルが用いられる。シリコーンゲルは
液状のシリコーンオイルをハイドロサイレーション（付
加）反応により、従来のシリコーンエラストマーの１／
５〜１／10の架橋密度で硬化させたシリコーンの寒天状
の材料である。このシリコーンゲルは防振−衝撃吸収能
力にすぐれているので防振材として用いられる。シリコ
ーンゲルは基本構造として架橋点を大幅に減らすことに
よりその硬さを下げ、また表面に粘着性を持たせること
を特徴としている。この硬さの表示方法としてＪＩＳに
は針入度が規定されている。

【００２８】図６は針入度とヤング率の関係を示す図で
ある。シリコーンゲルはヤング率（圧縮弾性率）が10³
〜10⁵dyne／cm²位のため、一般のゴム硬さ計では測定
することができず、針入度で硬さを表わす。

【００２９】次に動作について説明する。パルス電圧を
印加されると圧電素子１は直線矢印方向に伸び、その後
縮む振動を行う。この動きは可動支持ブロック３を介し
て可動バネ４に伝えられ可動バネ４を矢印方向に振動さ
せる。支持バネ５は下部をベース２に固定され、上部を
支持・可動バネ接合ブロック６ａで可動バネ４の頂部と
接合されているので、支持・可動バネ接合ブロック６ａ
には回転矢印で示すように回転運動が生じ、この回転モ
ーメント軸（紙面に垂直方向）に直角に取付けられてい
るビーム８も図13，図14に示す振動が起り、ビーム８の
先端に設けられたワイヤ９も振動し、図８に示すよう
に、ワイヤ９の先端はプラテン52に向って往復動を行
う。振動する圧電素子１，可動支持ブロック３，可動バ
ネ４，支持バネ５，支持・可動バネ接合ブロック６ａ，
ビーム取付ブロック６ａ，ビーム８，ワイヤ９の慣性に
より、ワイヤ９には図14に示したオーバシュートとアン
ダーシュートが生じる。支持・可動バネ接合ブロック６
ａは図１で示したように第１防振部材10でほぼ覆われて
いるので、防振部材の防振−衝撃吸収特性により回転運
動に制動がかかりオーバシュートとアンダーシュートを
押えるように働く。また第２防振部材11は頂部アゴ部25
と下部アゴ部27の対向面の間に充填されているので、ア
ンダーシュートを制動するように働く。これによりオー
バシュート、アンダーシュートが減少する。

【００３０】図２は本発明の第２実施例を示す図であ
る。本図の符号で図１に示す符号と同一符号は同一機能
を有する部材を表わす。但し第１防振部材10と第２防振
部材11とでは防振部材の硬さが変っており、第２防振部
材11の方を硬くする。これは第１防振部材10は主にオー
バシュートを制動するために設けられているが、オーバ
シュートは、図８に示すようにプラテン52によってある
程度押えられること、あまり硬くすると支持・可動バネ
接合ブロック６ａの回転運動を押えてしまいワイヤ９先
端での移動量が少くなりすぎるので軟らかくしている。
一方第２防振部材11はアンダーシュートを押えるための
ものであり、アンダーシュートを頂部アゴ部25で押える
ためには硬い方がよい。例えば針入度で第１防振部材10
を100 〜160 程度とし、第２防振部材11を20〜60程度と
するとよい。

【００３１】図３は本発明の第３実施例を示す図であ
る。本図の符号で第１実施例を示す図１と同一符号は同
一機能を有する部材を示す。本実施例は第１実施例に対
し、第２防振部材をより硬いシート状の防振部材を用い
たものである。シート状であり単独に加工できるので、
一定の硬さを有する防振部材を容易に得られる。また耐
摩耗性も向上する。第１実施例の場合は充填しなければ
ならず、一定の硬さを得ることが困難な場合がある。

【００３２】図４は本発明の第４実施例を示す。本図の
符号で図１と同一符号は、同一機能を有する部材を表わ
す。本実施例は、第２実施例の第２防振部材11の内、頂
部アゴ部25と下部アゴ部27に接する面にそれぞれ耐摩耗
シートを設けたもので、第２防振部材の耐摩耗性を向上
させる。耐摩耗シートとしてポリミドフィルム (商品名
ユーピレックスＳ）など用いてもよい。機械的強度が大
きく、高温になってもかなりの強度を有する。

【００３３】図５は本発明の第５実施例を示す。本図は
図９で示した電磁印字ヘッドを構成する電磁アクチュエ
ータを示す。コア30、アーマチュア32、ヨーク34、継鉄
39、永久磁石40、ベース41は磁束が通る磁路を形成し、
この磁束によってアーマチュア32を板バネ33の反発力に
抗してコア30に引き付けている。コイル31にパルス電圧
が印加されると、この磁束を打ち消すように作用し、板
バネ33の反発力によってアーマチュア32は、コア30を離
れるが、アーマチュア32、アーム35、ワイヤ38の慣性に
より板バネ33が図５において水平となる位置を越えてコ
ア30と反対側へオーバーシュートしてゆく。このとき第
１防振部材36による制動が働き、オーバーシュートを抑
えるように作用する。また、パルス電圧がなくなると永
久磁石40による磁束が現れ、アーマチュア32をコア30に
引き付けるため、アーマチュア32はコアに激突し、ビー
ム35、ワイヤ38は振動をする。このとき第２防振部材37
の制動が働き、この激突と振動を押さえるように作用す
る。

【００３４】第１防振部材36より第２防振部材37の硬さ
を硬くしてあるが、これは第１防振部材36をあまり硬く
すると板バネ33の反発力が弱まってしまうのでこれを避
けるためであり、また、第２防振部材37はアーマチュア
32とコア30の激突を和らげるために設けられているの
で、この目的のためには硬い方が効果的である。

【００３５】以上の実施例は圧電印字ヘッドや電磁印字
ヘッドを例として説明したが、圧電アクチュエータや電
磁アクチュエータに拡大機構を設けた装置であれば、本
発明を適用することができる。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、第１防振部材と第２防振部材を設けることにより、
拡大機構のオーバシュート、アンダーシュートを制動す
るので、拡大機構を有する圧電アクチュエータや電磁ア
クチュエータを高速駆動したとき、圧電または電磁アク
チュエータアセンブリの可動部分の変位と応力を減少さ
せ破壊の生じる可能性を減少させ、圧電アクチュエータ
や電磁アクチュエータの信頼性を向上させる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成を示す図である。

【図２】本発明の第２実施例の構成を示す図である。

【図３】本発明の第３実施例の構成を示す図である。

【図４】本発明の第４実施例の構成を示す図である。

【図５】本発明の第５実施例の構成を示す図である。

【図６】針入度とヤング率の関係を示す図である。

【図７】圧電または電磁印字ヘッドを用いたプリンタの
構成を示す図である。

【図８】印字ヘッド、プラテン、被印刷用媒体、リボン
の関係を示す図である。

【図９】電磁印字ヘッドの構成を示す図である。

【図１０】圧電印字ヘッドの内部構造を示す図である。

【図１１】圧電アクチュエータアセンブリの構成を示す
図である。

【図１２】圧電素子の構成を示す図である。

【図１３】圧電アクチュエータアセンブリの拡大機構を
説明する図である。

【図１４】オーバシュート、アンダーシュートを説明す
る図である。

【図１５】電磁アクチュエータの拡大機構を説明する図
である。

【符号の説明】１圧電素子２ベース３可動支持ブロック４可動バネ５支持バネ６ａ支持・可動バネ接合ブロック６ｂビーム取付ブロック８，35 ビーム９, 38 ワイヤー 10, 36 第１防振部材 11, 37 第２防振部材 12 シート状の防振部材 13 防振部材 14 耐摩耗シート 25 頂部アゴ部 27 下部アゴ部 30 コア 31 コイル 32 アーマチュア 33 板バネ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01F 7/08

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子（１）の一方の端部と接続する
ベース（２）と、前記圧電素子（１）の他方の端部に接
続する可動支持ブロック（３）と、この可動支持ブロッ
ク（３）に一端を固定し前記圧電素子（１）の伸張方向
に設けられた可動バネ（４）と、前記ベース（２）の他
方の端部に一端を固定し前記可動バネ（４）と平行に配
置された支持バネ（５）と、この支持バネ（５）と前記
可動バネ（４）の頂部を接続するブロック（６）とを備
えた拡大機構を有する圧電アクチュエータにおいて、前
記ブロック（６）と前記ベース（２）の間に設けられた
第１防振部材（10）と、前記可動支持ブロック（３）と
前記ブロック（６）の間に設けた第２防振部材（11）と
を備えたことを特徴とする拡大機構を有する圧電アクチ
ュエータ。
【請求項２】前記第２防振部材（11）の硬さを前記第
１防振部材（10）の硬さより硬くしたことを特徴とする
請求項１記載の拡大機構を有する圧電アクチュエータ。
【請求項３】前記第２防振部材（11）は、前記可動支
持ブロック（３）と前記ブロック（６）に接する面に設
けられた耐摩耗シート（13）と、この耐摩耗シート（1
3）の間に設けられた防振部材（14）よりなることを特
徴とする請求項２記載の拡大機構を有する圧電アクチュ
エータ。
【請求項４】外周にコイル（31) を巻かれたコア (3
0) と、板バネ (33)により支持され、このコア（30) と
対向するアーマチュア (32) と、この板バネ(33) を支
持する支持部 (34) とを備えた拡大機構を有する電磁ア
クチュエータにおいて、前記板バネ (33) の前記コア
(30) と反対側を第１防振部材（36) で覆い、前記板バ
ネ (33) の前記コア (30) 側を第２防振部材（37) で覆
ったことを特徴とする拡大機構を有する電磁アクチュエ
ータ。
【請求項５】前記第２防振部材（37) の硬度を前記第
１防振部材（36) の硬度より硬くしたことを特徴とする
請求項４記載の拡大機構を有する電磁アクチュエータ。