JP3088532U - アクチュエータ装置 - Google Patents

アクチュエータ装置

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JP3088532U
JP3088532U JP2002001288U JP2002001288U JP3088532U JP 3088532 U JP3088532 U JP 3088532U JP 2002001288 U JP2002001288 U JP 2002001288U JP 2002001288 U JP2002001288 U JP 2002001288U JP 3088532 U JP3088532 U JP 3088532U
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宣行 木村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 起動時にオフセット電流を印加することな
く、駆動制御を開始することができるアクチュエータ装
置を提供すること。 【解決手段】 支持基体1に設けられた摺動軸2と、こ
の摺動軸2に摺動自在に支持され、コイル3aが摺動軸
2と直交するようにして設けられた可動部3と、支持基
体1に可動部3を挟むようにして設けられた一対の永久
磁石4とを備えたアクチュエータ装置10において、永
久磁石4は、摺動軸2の軸方向における一端部と他端部
とに互いに異なる磁極をそれぞれ有し、両永久磁石4
は、摺動軸2と直交する方向において、それぞれ同磁極
が対向するようにして配置されており、コイル3aの両
端面には、それぞれ磁性体5、5が設けられることを特
徴とするアクチュエータ装置を用いて上記課題を解決し
た。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【考案の属する技術分野】
本考案は、可動部を所定の位置で駆動制御するアクチュエータ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えばコンパクトディスク(CD)やデジタルバーサタイルディスク(DVD )などのディスク型の媒体に記録されている情報を光学的に読み出して電気信号 として出力する光学ピックアップには、ディスクの動きに追従して作動するアク チュエータ装置が設けられている。
【0003】 このアクチュエータ装置の一例としては、対物レンズがレンズホルダに保持さ れ、レンズホルダの側面にフォーカスコイルが設けられたものが知られている。 光ピックアップの基体には対物レンズの光軸方向に延びる摺動軸が固定されてお り、レンズホルダがこの摺動軸に摺動自在に挿通されている。そして、フォーカ スコイルに電流を印加することにより、レンズホルダを駆動して対物レンズのフ ォーカス制御を行うようになっている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、従来のアクチュエータ装置では、停止時においてレンズホルダはそ の自重により降下して光ピックアップの基体に当接した状態で静止している。こ のため、起動時には、対物レンズの駆動制御を開始するために、所定のオフセッ ト電流をフォーカスコイルに印加して、レンズホルダを光ピックアップの基体か ら所定の位置まで浮上させる必要があった。なお、特開2001−34955号 公報には、CDおよびDVDに兼用して使用可能な光ピックアップのアクチュエ ータ装置が記載されているが、起動時にオフセット電流を印加することなくレン ズホルダ(可動部)を所定の位置で保持するための技術については開示されてな い。
【0005】 この考案は、上記問題点を解決すべく案出されたものであり、起動時にオフセ ット電流を印加することなく、可動部を所定の位置に保持して、可動部の駆動制 御を開始することができるアクチュエータ装置を提供することを目的としている 。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本考案は、支持基体(1)に立設された摺動軸( 2)と、この摺動軸(2)に摺動自在に支持された可動部(3)と、前記支持基 体(1)に前記可動部(3)を挟むようにして設けられた一対の永久磁石(4) とを備えたアクチュエータ装置(10)において、前記永久磁石(4)は、摺動 軸(2)の軸方向における一端部(上端部)と他端部(下端部)とに互いに異な る磁極をそれぞれ有し、両永久磁石(4)は、摺動軸(2)と直交する方向にお いて、それぞれ同磁極が対向するようにして配置されており、前記可動部(3) には、前記摺動軸(2)と直交するようにしてコイル(3a)が巻き付けられた ボビン(36)が、その軸を前記摺動軸(2)と平行にして突出形成されており 、前記ボビン(36)の少なくとも先端部の外周部には凹部(36a)が形成さ れており、 前記コイル(3a)の両端面には、それぞれリング状の磁性体(5、50)が 前記ボビン(36)に外挿されるようにして設けられており、 前記両磁性体(5、50)のうち、ボビン(36)の先端部に位置する磁性体 (5)の内周部には凸部(5a)が形成されており、この凸部(5a)が前記凹 部(36a)に係合するようにした。
【0007】 前記永久磁石としては、コバルト磁石、ネオジム磁石、フェライト磁石、アル ニコ磁石、プラスチック磁石などを用いればよい。特に、プラスチック磁石を使 用すると、アクチュエータ装置の全体を軽く構成することができる。
【0008】 本考案によれば、永久磁石は、摺動軸の軸方向における一端部と他端部とに互 いに異なる磁極をそれぞれ有し、両永久磁石は、摺動軸と直交する方向において 、それぞれ同磁極が対向するようにして配置されているので、両永久磁石間にお いて、それぞれの永久磁石による磁力線はその向きがほぼ等しく、かつ、対称的 になる。そして、一対の永久磁石のそれぞれの一端部にある磁極と、コイルの一 端面に設けられた磁性体との間に吸引力が働き、これによってコイルの一端面側 が前記磁極に吸引され、一方、一対の永久磁石のそれぞれの他端部にある磁極と 、コイルの他端面に設けられた磁性体との間に吸引力が働き、これによってコイ ルの他端面側が前記磁極に吸引される。
【0009】 したがって、コイルが設けられた可動部は、永久磁石の一端部の磁極から作用 する吸引力と、永久磁石の他端部の磁極から作用する吸引力とが釣り合い、しか も、上述したように、それぞれの永久磁石による磁力線はその向きがほぼ等しく 、かつ、対称的になるので、永久磁石の一端部と他端部との間の中間位置で支持 基体から浮上した状態で安定的に保持されるようになる。したがって、起動時に オフセット電流を印加することなく、可動部の駆動制御を開始することができる 。
【0010】 また、ボビンの先端部に位置する磁性体の内周部に形成された凸部が、ボビン の凹部に係合しているので、ボビンの先端部に位置する磁性体を、コイルの端面 に接着することなく、ボビンに固定した状態でコイルの端面に設けることができ る。さらに、ボビンが可動部に突出形成されているので、ボビンの基端部に位置 する磁性体はボビンに巻き付けられたコイルと可動部とに挟まれた状態となる。 したがって、ボビンの基端部に位置する磁性体を、コイルの端面に接着すること なく、コイルと可動部とに挟まれた状態でコイルの端面に設けることができる。
【0011】 また、本考案では、前記磁性体(5、50)は、薄板であることとした。 これにより、磁性体自体が軽量となるので、可動部が摺動軸に沿って摺動する 際に、磁性体の重さが可動部の負担になるのを軽減できる。
【0012】 また、本考案では、前記磁性体(5、50)の前記摺動軸(2)に垂直な方向 の断面形状が、前記コイル(3a)の前記摺動軸(2)に垂直な方向の断面形状 とほぼ等しいこととした。 したがって、コイルの両端面にそれぞれ磁性体を、コイルの側面と磁性体の側 面とがほぼ面一になるように、かつ、コイルの内径部分と磁性体の内径部分とが 軸方向においてほぼ面一となるようにして、設けることができる。よって、可動 部が摺動軸に沿って摺動する際に、磁性体がコイルの周囲や内側にある部材に干 渉することがないので、可動部は摺動軸に沿ってスムーズに摺動できる。 また、コイルの両端面にそれぞれ磁性体を、コイルの側面と磁性体の側面とが ほぼ面一になるように、かつ、コイルの内径部分と磁性体の内径部分とが軸方向 においてほぼ面一となるようにして、設けることができるので、磁性体のコイル への位置決めが容易である。
【0013】 さらに、本考案では、前記可動部(3)は、情報が光学的に読み取り可能に記 録されたディスク型媒体に、光点を照射する対物レンズ(6)を保持した対物レ ンズホルダであることとした。 したがって、本考案のアクチュエータ装置を、DVD装置やCD装置の光ピッ クアップの駆動機構に容易に適用できる。
【0014】
【考案の実施の形態】
以下、図1〜図6を参照して、本考案にかかわるアクチュエータ装置10をD VD装置の光ピックアップの駆動制御に適用した実施の形態について説明する。 (第1の実施の形態) アクチュエータ装置10は、図1〜図3に示すように、対物レンズ6を保持し た対物レンズホルダ3(可動部)を電磁的に駆動して、対物レンズ6のフォーカ ス制御やトラッキング制御等の駆動制御を行うものであって、摺動軸2と、対物 レンズホルダ3と、フォーカスコイル(コイル)3aと、永久磁石4、4とを備 えている。対物レンズ6は、情報を光学的に読み取り可能に記録されたディスク 媒体(図示しない)に光点を照射するために使用されるものである。なお、トラ ッキング制御に係るトラッキングコイル40、40は、対物レンズホルダ3の対 向する側面(図1(a)中上下方向の側面)に、それぞれ取付けられている。
【0015】 摺動軸2は、図1および図3に示すように、円柱状の部材であって、支持基体 1の上面に立設されている。この支持基体1の上面には、摺動軸2を挟む位置に 、一対のヨーク21、21が摺動軸2から離間して設けられている。この一対の ヨーク21、21を挟む位置には、支持基体1に設けられた一対の永久磁石4、 4がそれぞれ配置されている。この永久磁石4、4は、摺動軸2の軸方向におけ る上端部(一端部)と下端部(他端部)とに互いに異なる磁極をそれぞれ有して いる。そして、両永久磁石4、4は、摺動軸2と直交する方向において、それぞ れ同磁極が対向するようにして配置されている。
【0016】 ここで、永久磁石4、4の上端部のそれぞれの磁極、つまり、支持基体1に遠 い方の磁極は、S極に設定されている。また、永久磁石4、4の下端部のそれぞ れの磁極、つまり、支持基体1に近い方の磁極は、N極に設定されている。
【0017】 対物レンズホルダ3は、先端部31が略円弧状に形成されており(図1中右側 )、この先端部31に対物レンズ6が保持されている。また、対物レンズホルダ 3の略中央部には、円筒状の筒部35が、その軸を摺動軸2と平行にして突出形 成されており、この筒部35の内部が軸孔32とされている。そして、この軸孔 32に摺動軸2を摺動自在に挿通することによって、摺動軸2に対物レンズホル ダ3が上下方向および周方向に摺動自在に支持されている。また、対物レンズホ ルダ3に設けられた筒部35の外側には、摺動軸2と直交するようにしてフォー カスコイル3aが巻き付けられた矩形筒状のボビン36が、その軸を摺動軸2と 平行にして突出形成されている。そして、このボビン36の先端部の長辺側の外 周部には、凹部36a、36aがそれぞれ形成されている。このボビン36は、 その上下方向の長さがフォーカスコイル3aの軸方向の長さより長く、かつ、筒 部35の軸方向の長さと同程度になっている。そして、ボビン36の内側には、 筒部35を挟むようにして(図1(a)において上下方向)、一対の貫通孔33 、33が設けられており、この貫通孔33、33には、一対のヨーク21、21 がそれぞれ挿入されている。
【0018】 フォーカスコイル3aの両端面には、それぞれ薄板である磁性体5、50がボ ビン36の外周部に外挿されるようにして設けられている。両磁性体5、50は 、図2に示すように、矩形リング状のものであって、その内径はフォーカスコイ ル3aの内径とほぼ等しく、外径はフォーカスコイル3aの外径より若干大きく なっている。つまり、磁性体5、50の摺動軸2に垂直な方向の断面形状が、フ ォーカスコイル3aの摺動軸2に垂直な方向の断面形状とほぼ等しくなっている 。なお、両磁性体5、50のうち、ボビン36の先端部に位置する磁性体5の内 周部には、凸部5a、5aが形成されている。これら凸部5a、5aは、磁性体 5の長辺側の内周部の略中央部からそれぞれ摺動軸2の軸方向と直交するように して突出形成されており、これら凸部5a、5aがボビン36の凹部36a、3 6aにそれぞれ係合している。また、磁性体5、50は、フォーカスコイル3a の両端面に、磁性体5、50の側面がフォーカスコイル3aの側面より外側に配 置されるように、かつ、フォーカスコイル3aの内周の4つの隅部と磁性体5、 5の内周の4つの隅部とが軸方向において一致するようにして、設けられており 、これによって両磁性体5、50がフォーカスコイル3aに対して位置決めされ て保持されている。
【0019】 次に、第1の実施の形態にかかわるアクチュエータ装置10の作用効果につい て説明する。 対物レンズホルダ3の軸孔32に摺動軸2を挿入して、対物レンズホルダ3を 一対の永久磁石4,4間に、フォーカスコイル3aが永久磁石4、4の上端部と 下端部との間の中間位置になるようにして配置する。一対の永久磁石4、4間で は、それぞれの永久磁石4,4による磁力線がその向きがほぼ等しく、かつ、対 称的になっている。そして、一対の永久磁石4,4のそれぞれのS極と、フォー カスコイル3aの上端面に設けられた磁性体5との間に吸引力が働き、これによ ってフォーカスコイル3aの上端面側がS極に吸引され、一方、一対の永久磁石 4、4のそれぞれのN極と、フォーカスコイル3aの下端面に設けられた磁性体 5との間に吸引力が働き、これによってフォーカスコイル3aの下端面側がN極 に吸引される。
【0020】 したがって、フォーカスコイル3aが設けられた対物レンズホルダ3は、永久 磁石4、4のS極から作用する吸引力と、永久磁石4、4のN極から作用する吸 引力とが釣り合い、しかも、上述したように、それぞれの永久磁石4,4による 磁力線はその向きがほぼ等しく、かつ、対称的になるので、永久磁石4、4の上 端部と下端部との間の中間位置で支持基体1から浮上した状態で安定的に保持さ れるようになる。 よって、起動時にオフセット電流を印加することなく、対物レンズホルダ3の フォーカス方向の駆動制御を開始することができる。 また、ボビン36の先端部に位置する磁性体5の長辺側の内周部に形成された それぞれの凸部5a、5aが、ボビン36の凹部36a、36aにそれぞれ係合 しているので、ボビン36の先端部に位置する磁性体5を、コイル3aの端面に 接着することなく、ボビン36に固定した状態でコイル3aの端面に設けること ができる。さらに、ボビン36が対物レンズホルダ3に突出形成されているので 、ボビン36の基端部に位置する磁性体50はボビン36に巻き付けられたコイ ル3aと対物レンズホルダ3の下面とに挟まれた状態となる。したがって、ボビ ン36の基端部に位置する磁性体50を、コイル3aの端面に接着することなく 、コイル3aと対物レンズホルダ3とに挟まれた状態でコイル3aの端面に設け ることができる。
【0021】 さらに、磁性体5、50は、薄板であるので、磁性体5、50自体は軽量とな り、よって、対物レンズホルダ3が摺動軸2に沿って摺動する際に、磁性体5、 50の重さが対物レンズホルダ3の負担になるのを軽減できる。
【0022】 また、磁性体5、50は、その内径がフォーカスコイル3aの内径とほぼ等し く、外径がフォーカスコイル3aの外径より若干大きくなっているので、フォー カスコイル3aの両端面にそれぞれ磁性体5、50を、磁性体5、50の側面が フォーカスコイル3aの側面より若干外側に配置されるように、かつ、フォーカ スコイル3aの内周面と磁性体5、50の内周面とが軸方向においてほぼ面一と なるようにして、設けることができる。したがって、対物レンズホルダ3が摺動 軸2に沿って摺動する際に、磁性体5、50がフォーカスコイル3aの周囲や内 側にある部材に干渉することがないので、対物レンズホルダ3は摺動軸2に沿っ てスムーズに摺動できる。
【0023】 また、ボビン36の外周部に巻き付けられたフォーカスコイル3aの両端面に は、それぞれ磁性体5、50が、ボビン36の外周部に外挿されることにより、 フォーカスコイル3aの内周の4つの隅部と磁性体5、50の内周の4つの隅部 とが一致するようにして設けられているので、磁性体5、50をフォーカスコイ ル3aに対して容易に位置決めできる。
【0024】 (第2の実施の形態) 第2の実施の形態のアクチュエータ装置100が第1の実施の形態と異なる点 は、図4および図5に示すように、ボビン46および磁性体5、5の形状であっ て、その他の構成要素については、第1の実施の形態と同様である。したがって 、第2の実施の形態において、第1の実施の形態と同一構成要素には同一符号を 付して、その説明を省略する。
【0025】 対物レンズホルダ3に設けられた筒部35の外側には、第1の実施の形態と同 様にして、フォーカスコイル3aが巻き付けられた矩形筒状のボビン46が突出 形成されている。そして、このボビン46の先端部および基端部の長辺側の外周 部には、凹部46a、46aがそれぞれ形成されている。
【0026】 フォーカスコイル3aの両端面には、第1の実施の形態でボビン36の先端部 側の外周部に外挿された磁性体5、5が、それぞれボビン46の外周部に外挿さ れるようにして設けられている。そして、これら磁性体5、5の凸部5a、5a がボビン46の先端部および基端部に形成された凹部46a、46aにそれぞれ 係合している。また、これら磁性体5、5は、フォーカスコイル3aの両端面に 第1の実施の形態と同様にして、設けられており、これによって両磁性体5、5 がフォーカスコイル3aに対して位置決めされて保持されている。
【0027】 第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の作用効果の他に、フォ ーカスコイル3aの両端面にそれぞれ同一の磁性体5、5が、それぞれの凸部5 a、5aをボビン46の形成された凹部46a、46aに係合した状態で設けら れているので、磁性体5が1種類ですむという利点がある。
【0028】 (第3の実施の形態) 第3の実施の形態のアクチュエータ装置150が第1および第2の実施の形態 と異なる点は、図6に示すように、ボビン56の形状であって、その他の構成要 素については、第1の実施の形態と同様である。したがって、第3の実施の形態 において、第1および第2の実施の形態と同一構成要素には同一符号を付して、 その説明を省略する。
【0029】 対物レンズホルダ3に設けられた筒部35の外側には、第1の実施の形態と同 様にして、フォーカスコイル3aが巻き付けられた矩形筒状のボビン56が突出 形成されている。そして、このボビン56の長辺側の外周部には、それぞれその 先端部から基端部まで凹部56a、56aが延在するようにして形成されている 。また、これら凹部56a、56aの上下方向の略中央部には、フォーカスコイ ル3aの内周面に当接する当接部56b、56bが凹部56a、56aから突出 するようにして設けられている。よって、フォーカスコイル3aの内周面と凹部 56a、56aの底面との間には、隙間が形成されるようになっている。ここで 、凹部56a、56aの上下方向の長さは、2つの磁性体5、5の厚さ分とフォ ーカスコイル3aの軸方向の長さ分とを足した合計と等しくなっている。
【0030】 フォーカスコイル3aの両端面には、第2の実施の形態の磁性体5、5が、そ れぞれボビン56の凹部56a、56aの底面に外装されるようにして設けられ ている。そして、両磁性体5、5の凸部5a、5aは、ボビン56の凹部56a 、56aの底面にそれぞれ当接している。また、両磁性体5、5は、フォーカス コイル3aの両端面に第1の実施の形態と同様にして、設けられており、これに よって両磁性体5、5がフォーカスコイル3aに対して位置決めされて保持され ている。
【0031】 第3の実施の形態によれば、第1および第2の実施の形態と同様の作用効果の 他に、凹部56a、56aの上下方向の長さが、2つの磁性体5、5の厚さ分と フォーカスコイル3aの軸方向の長さ分とを足した合計と等しくなっている。よ って、磁性体5、5によってフォーカスコイル3aの両端面を挟むようにしてボ ビン56の凹部56a、56aにフォーカスコイル3aと磁性体5、5を嵌め込 むことができ、対物レンズホルダ3にフォーカスコイル3aと磁性体5、5とを 容易に取付けることができる。また、当接部56b、56bがフォーカスコイル 3aの内周面に当接しているので、フォーカスコイル3aが水平方向にずれるこ とはない。
【0032】 なお、本実施の形態では、アクチュエータ装置をDVD装置の光ピックアップ の駆動制御に適用する例について説明したが、これに限定することなく、可動部 を支持基体から所定の位置まで浮上させた状態で、可動部の駆動制御を開始する ものであれば、どのようなアクチュエータ装置にも適用できる。
【0033】
【考案の効果】
本考案によれば、コイルが設けられた可動部は、永久磁石の一端部の磁極から 作用する吸引力と、永久磁石の他端部の磁極から作用する吸引力とが釣り合い、 しかも、それぞれの永久磁石による磁力線はその向きがほぼ等しく、かつ、対称 的になるので、永久磁石の一端部と他端部との間の中間位置で支持基体から浮上 した状態で安定的に保持されるようになる。したがって、起動時のオフセット電 流を印加することなく、可動部の駆動制御を開始できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の第1の実施の形態の一例を示すもの
で、(a)はアクチュエータ装置の平面図であり、
(b)は図1(a)におけるB―B線断面図である。
【図2】同、コイルと磁性体との取付構造を示した分解
斜視図である。
【図3】同、図1(a)におけるA―A線断面図であ
る。
【図4】本考案の第2の実施の形態の一例を示すもの
で、(a)はアクチュエータ装置の平面図であり、
(b)は図4(a)におけるB―B線断面図である。
【図5】同、コイルと磁性体との取付構造を示した分解
斜視図である。
【図6】本考案の第3の実施の形態の一例を示すもの
で、(a)はアクチュエータ装置の平面図であり、
(b)は図6(a)におけるB―B線断面図である。
【符号の説明】
1 支持基体 2 摺動軸 3 可動部(対物レンズホルダ) 3a コイル(フォーカスコイル) 4 永久磁石 5 磁性体 10 アクチュエータ装置

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持基体に立設された摺動軸と、この摺
    動軸に摺動自在に支持された可動部と、前記支持基体に
    前記可動部を挟むようにして設けられた一対の永久磁石
    とを備えたアクチュエータ装置において、 前記永久磁石は、摺動軸の軸方向における一端部と他端
    部とに互いに異なる磁極をそれぞれ有し、 両永久磁石は、摺動軸と直交する方向において、それぞ
    れ同磁極が対向するようにして配置されており、 前記可動部は、情報が光学的に読み取り可能に記録され
    たディスク型媒体に、光点を照射する対物レンズを保持
    した対物レンズホルダであり、 前記可動部には、前記摺動軸と直交するようにしてコイ
    ルが巻き付けられたボビンが、その軸を前記摺動軸と平
    行にして突出形成されており、 前記ボビンの少なくとも先端部の外周部には凹部が形成
    されており、 前記コイルの両端面には、それぞれリング状の薄板であ
    る磁性体が前記ボビンに外挿されるようにして設けられ
    ており、 前記両磁性体のうち、ボビンの先端部に位置する磁性体
    の内周部には凸部が形成されており、この凸部が前記凹
    部に係合しており、 前記磁性体の前記摺動軸に垂直な方向の断面形状が、前
    記コイルの前記摺動軸に垂直な方向の断面形状とほぼ等
    しいことを特徴とするアクチュエータ装置。
  2. 【請求項2】 支持基体に立設された摺動軸と、この摺
    動軸に摺動自在に支持された可動部と、前記支持基体に
    前記可動部を挟むようにして設けられた一対の永久磁石
    とを備えたアクチュエータ装置において、 前記永久磁石は、摺動軸の軸方向における一端部と他端
    部とに互いに異なる磁極をそれぞれ有し、 両永久磁石は、摺動軸と直交する方向において、それぞ
    れ同磁極が対向するようにして配置されており、 前記可動部には、前記摺動軸と直交するようにしてコイ
    ルが巻き付けられたボビンが、その軸を前記摺動軸と平
    行にして突出形成されており、 前記ボビンの少なくとも先端部の外周部には凹部が形成
    されており、 前記コイルの両端面には、それぞれリング状の磁性体が
    前記ボビンに外挿されるようにして設けられており、 前記両磁性体のうち、ボビンの先端部に位置する磁性体
    の内周部には凸部が形成されており、この凸部が前記凹
    部に係合していることを特徴とするアクチュエータ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記磁性体は、薄板であることを特徴と
    する請求項2記載のアクチュエータ装置。
  4. 【請求項4】 前記磁性体の前記摺動軸に垂直な方向の
    断面形状が、前記コイルの前記摺動軸に垂直な方向の断
    面形状とほぼ等しいことを特徴とする請求項2または3
    記載のアクチュエータ装置。
  5. 【請求項5】 前記可動部は、情報が光学的に読み取り
    可能に記録されたディスク型媒体に、光点を照射する対
    物レンズを保持した対物レンズホルダであることを特徴
    とする請求項2〜4のいずれかに記載のアクチュエータ
    装置。
JP2002001288U 2002-03-12 2002-03-12 アクチュエータ装置 Expired - Lifetime JP3088532U (ja)

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