JP3085624B2 - フッ素含有排水の処理方法および処理装置 - Google Patents
フッ素含有排水の処理方法および処理装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子産業、発電所排水等
の各種産業排水等に含有されるフッ素を除去する方法お
よび装置に関するものである。
の各種産業排水等に含有されるフッ素を除去する方法お
よび装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カルシウム化合物によるフッ素除去技術
は従来より排水中のフッ素を除去する方法として広く使
われている。カルシウム化合物によるフッ素の除去反応
は式により示されるように、難溶性のフッ化カルシウ
ムを生成し固液分離を行うことによりなされる。 Ｃａ2+ ＋ ２Ｆ- → ＣａＦ2 ↓ ……
は従来より排水中のフッ素を除去する方法として広く使
われている。カルシウム化合物によるフッ素の除去反応
は式により示されるように、難溶性のフッ化カルシウ
ムを生成し固液分離を行うことによりなされる。 Ｃａ2+ ＋ ２Ｆ- → ＣａＦ2 ↓ ……
【０００３】また、カルシウム化合物としては水酸化カ
ルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）や塩化カルシウム（ＣａＣ
ｌ2 ）を使用する場合が多く、なかでもコストが安価で
あることから水酸化カルシウム（特にコストが安価な粉
末のケースが多い）が使用されることが多かった。しか
しながら、水酸化カルシウムは、粉末として使用する場
合搬入時や溶解時に水酸化カルシウムの微細粉末が飛散
し作業環境として好ましくないこと、溶解度が低いため
に通常、未溶解の水酸化カルシウムを含むスラリー状で
添加するが、スラリーとした後も常時攪拌しなければ固
液分離してしまうこと、配管中やポンプでのスケール発
生・詰まりの問題が生じやすいこと、固液分離しやすい
ことやスケール発生等に起因する注入量制御が困難であ
ること等が問題視されている。また、注入量制御が難し
いことから過剰注入となることが多く、このことは発生
汚泥量の増大につながる等の問題となっていた。このよ
うなことから、最近は塩化カルシウムをカルシウム化合
物として使用するケースが増えている。
ルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）や塩化カルシウム（ＣａＣ
ｌ2 ）を使用する場合が多く、なかでもコストが安価で
あることから水酸化カルシウム（特にコストが安価な粉
末のケースが多い）が使用されることが多かった。しか
しながら、水酸化カルシウムは、粉末として使用する場
合搬入時や溶解時に水酸化カルシウムの微細粉末が飛散
し作業環境として好ましくないこと、溶解度が低いため
に通常、未溶解の水酸化カルシウムを含むスラリー状で
添加するが、スラリーとした後も常時攪拌しなければ固
液分離してしまうこと、配管中やポンプでのスケール発
生・詰まりの問題が生じやすいこと、固液分離しやすい
ことやスケール発生等に起因する注入量制御が困難であ
ること等が問題視されている。また、注入量制御が難し
いことから過剰注入となることが多く、このことは発生
汚泥量の増大につながる等の問題となっていた。このよ
うなことから、最近は塩化カルシウムをカルシウム化合
物として使用するケースが増えている。
【０００４】塩化カルシウムを使用する場合のＣａ−Ｆ
系の基本的なフローを図３に示す。すなわち、フッ素含
有排水をｐＨ調整槽に送給し、酸やアルカリ等のｐＨ調
整剤を添加してｐＨを所定値に調整した後（排水の特性
すなわち共存イオンの種類等によりｐＨの設定値は異な
るが、一般にはｐＨ５〜11の範囲で制御される）、反応
槽に送給しここで塩化カルシウムを添加しＣａ−Ｆ系の
反応を生じさせる。この反応槽とｐＨ調整槽は分割され
ずに同一槽内で行われることもある。しかる後に反応液
は凝集槽に送給し、凝集剤や凝集助剤を添加しフッ化カ
ルシウムの微粒子を凝集し、その後の沈殿槽で固液分離
を行い、汚泥を分離除去して処理水を得る。塩化カルシ
ウムとしては一般に10〜40％（重量）の濃厚な塩化カル
シウム溶液が使用される場合が多い。また、塩化カルシ
ウムの添加量は定量注入する場合や原水のフッ素濃度に
応じて注入する場合等がある。
系の基本的なフローを図３に示す。すなわち、フッ素含
有排水をｐＨ調整槽に送給し、酸やアルカリ等のｐＨ調
整剤を添加してｐＨを所定値に調整した後（排水の特性
すなわち共存イオンの種類等によりｐＨの設定値は異な
るが、一般にはｐＨ５〜11の範囲で制御される）、反応
槽に送給しここで塩化カルシウムを添加しＣａ−Ｆ系の
反応を生じさせる。この反応槽とｐＨ調整槽は分割され
ずに同一槽内で行われることもある。しかる後に反応液
は凝集槽に送給し、凝集剤や凝集助剤を添加しフッ化カ
ルシウムの微粒子を凝集し、その後の沈殿槽で固液分離
を行い、汚泥を分離除去して処理水を得る。塩化カルシ
ウムとしては一般に10〜40％（重量）の濃厚な塩化カル
シウム溶液が使用される場合が多い。また、塩化カルシ
ウムの添加量は定量注入する場合や原水のフッ素濃度に
応じて注入する場合等がある。
【０００５】一般的に電子産業等から排出されるフッ素
含有排水は酸性排水であることが多いため、ｐＨ調整に
はＮａＯＨ等のアルカリが使用されることが多い。
含有排水は酸性排水であることが多いため、ｐＨ調整に
はＮａＯＨ等のアルカリが使用されることが多い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】塩化カルシウムをカル
シウム塩として使用する場合、図３に示したような従来
の方法では、水酸化カルシウムを使用する場合と同等の
カルシウム添加量（ asＣａとして）では、良好な処理
がなされないことが多い。このことは特に 100mgＦ／リ
ットル以下のフッ素を含有する低濃度フッ素含有排水の
場合に顕著である。式に示した反応式からは同一ｐＨ
・同一カルシウム濃度で反応を行えば、水酸化カルシウ
ムと塩化カルシウムの使用による処理水質の差はないは
ずである。
シウム塩として使用する場合、図３に示したような従来
の方法では、水酸化カルシウムを使用する場合と同等の
カルシウム添加量（ asＣａとして）では、良好な処理
がなされないことが多い。このことは特に 100mgＦ／リ
ットル以下のフッ素を含有する低濃度フッ素含有排水の
場合に顕著である。式に示した反応式からは同一ｐＨ
・同一カルシウム濃度で反応を行えば、水酸化カルシウ
ムと塩化カルシウムの使用による処理水質の差はないは
ずである。
【０００７】発明者等がＣａ−Ｆ系のフッ素除去反応に
ついて検討した結果、ＣａＦ2 生成反応は２段階からな
り、その第１段目はＣａＦ2 の種晶の生成反応で、第２
段目はその種晶に対するＣａＦ2 の析出反応であること
がわかった。この第１段目の種晶生成反応は、排水中の
カルシウムイオン濃度と排水に添加したフッ素イオン濃
度の２乗、すなわち［Ｃａ］・［Ｆ］2 （ここで、［Ｃ
ａ］，［Ｆ］はカルシウムおよびフッ素のイオン濃度）
に比例して起こり安く、フッ素濃度が決まっている排水
に対しては反応槽に添加するカルシウム濃度を上昇させ
ることが、本種晶生成反応を速やかに行わせるポイント
となる。
ついて検討した結果、ＣａＦ2 生成反応は２段階からな
り、その第１段目はＣａＦ2 の種晶の生成反応で、第２
段目はその種晶に対するＣａＦ2 の析出反応であること
がわかった。この第１段目の種晶生成反応は、排水中の
カルシウムイオン濃度と排水に添加したフッ素イオン濃
度の２乗、すなわち［Ｃａ］・［Ｆ］2 （ここで、［Ｃ
ａ］，［Ｆ］はカルシウムおよびフッ素のイオン濃度）
に比例して起こり安く、フッ素濃度が決まっている排水
に対しては反応槽に添加するカルシウム濃度を上昇させ
ることが、本種晶生成反応を速やかに行わせるポイント
となる。
【０００８】水酸化カルシウムが塩化カルシウムに比較
してフッ素除去に有効であるのは、塩化カルシウムに比
較して溶解度の低い水酸化カルシウムの微粒子を含むス
ラリーが反応槽内に添加されてスラリー中の水酸化カル
シウム微粒子が溶解する際、局部的にカルシウムイオン
濃度の高い領域が、比較的緩かに溶け出す水酸化カルシ
ウム粒子の周囲で形成され、ＣａＦ2 種晶の生成に好ま
しいためであることが、以上のことから明らかとなっ
た。
してフッ素除去に有効であるのは、塩化カルシウムに比
較して溶解度の低い水酸化カルシウムの微粒子を含むス
ラリーが反応槽内に添加されてスラリー中の水酸化カル
シウム微粒子が溶解する際、局部的にカルシウムイオン
濃度の高い領域が、比較的緩かに溶け出す水酸化カルシ
ウム粒子の周囲で形成され、ＣａＦ2 種晶の生成に好ま
しいためであることが、以上のことから明らかとなっ
た。
【０００９】逆に塩化カルシウム溶液や塩化カルシウム
粉末でのフッ素除去が好ましくない理由は、溶解度の高
い塩化カルシウム粉末は反応槽内で速やかに溶解し局部
的な高濃度カルシウム域を生成しにくいこと（当然のこ
とながら、塩化カルシウム溶液を使用した場合は混合に
より直ちにカルシウム濃度は排水量に対する添加濃度と
同等の低さとなる）による。
粉末でのフッ素除去が好ましくない理由は、溶解度の高
い塩化カルシウム粉末は反応槽内で速やかに溶解し局部
的な高濃度カルシウム域を生成しにくいこと（当然のこ
とながら、塩化カルシウム溶液を使用した場合は混合に
より直ちにカルシウム濃度は排水量に対する添加濃度と
同等の低さとなる）による。
【００１０】
【課題を解決するための手段】塩化カルシウムを使用す
る場合、塩化カルシウムのままでの使用では上述のよう
に高濃度のカルシウム濃度域を形成することが困難なた
めこの困難を解消すべく検討の結果、以下の本発明に至
った。
る場合、塩化カルシウムのままでの使用では上述のよう
に高濃度のカルシウム濃度域を形成することが困難なた
めこの困難を解消すべく検討の結果、以下の本発明に至
った。
【００１１】すなわち、添加する塩化カルシウム溶液の
一部あるいは全量にＮａＯＨ等のアルカリを添加するこ
とにより塩化カルシウム溶液のｐＨを11.5以上に上昇さ
せて一旦水酸化カルシウムの微粒子を析出させた後に反
応に供することにより、析出した水酸化カルシウムが反
応槽内で溶解する際に局部的な高カルシウムイオン濃度
域が形成され、塩化カルシウム使用時においても水酸化
カルシウム使用時と同等の効果を得られることとなる。
塩化カルシウムを敢えて一旦水酸化カルシウムに変換す
ることは一件無駄なようにもみえるが、水酸化カルシウ
ムを使用する場合の問題点、すなわち、水酸化カルシウ
ム粉末の飛散による作業環境の悪化、注入量制御の困難
さ、スケールの起こり易さ等の問題点は解決可能とな
る。
一部あるいは全量にＮａＯＨ等のアルカリを添加するこ
とにより塩化カルシウム溶液のｐＨを11.5以上に上昇さ
せて一旦水酸化カルシウムの微粒子を析出させた後に反
応に供することにより、析出した水酸化カルシウムが反
応槽内で溶解する際に局部的な高カルシウムイオン濃度
域が形成され、塩化カルシウム使用時においても水酸化
カルシウム使用時と同等の効果を得られることとなる。
塩化カルシウムを敢えて一旦水酸化カルシウムに変換す
ることは一件無駄なようにもみえるが、水酸化カルシウ
ムを使用する場合の問題点、すなわち、水酸化カルシウ
ム粉末の飛散による作業環境の悪化、注入量制御の困難
さ、スケールの起こり易さ等の問題点は解決可能とな
る。
【００１２】また、既に述べたようにフッ素含有排水は
酸性排水であることも多く、フッ素除去反応の至適ｐＨ
とするためにアルカリ剤を添加することが多く、このア
ルカリ剤の一部を塩化カルシウム含有液のｐＨ上昇に使
用すれば、コスト的にも不利とならない。当然のことな
がら、排水が酸性排水でない場合でも本発明は使用可能
であり、また、排水が強アルカリである場合には排水自
体をｐＨ上昇用に使用することも可能である。
酸性排水であることも多く、フッ素除去反応の至適ｐＨ
とするためにアルカリ剤を添加することが多く、このア
ルカリ剤の一部を塩化カルシウム含有液のｐＨ上昇に使
用すれば、コスト的にも不利とならない。当然のことな
がら、排水が酸性排水でない場合でも本発明は使用可能
であり、また、排水が強アルカリである場合には排水自
体をｐＨ上昇用に使用することも可能である。
【００１３】本発明の実施態様の一例を図１に示す。本
発明を図１に従って再度以下に説明する。排水に添加す
る塩化カルシウム溶液の全量あるいは一部をｐＨ上昇槽
に導き、アルカリ剤を添加してｐＨを11.5以上、望まし
くは12以上（透視度が１cm以下の強い白濁（水酸化カル
シウム微粒子の析出による白濁）が添加するアルカリ量
の目安となる）とし、それを排水が流入する反応槽に添
加し、更に必要に応じて酸、アルカリ等のｐＨ調整剤を
添加して所定ｐＨ（排水の特性すなわち共存イオンの種
類等により反応槽ｐＨの設定値は異なるが、一般にはｐ
Ｈ５〜11の範囲で制御される。より好ましくは、ｐＨ上
昇槽で生成した水酸化カルシウム微粒子の溶解を緩やか
に行うためｐＨ７以上が好ましい）で反応させる。しか
る後に反応液を凝集槽に導き、凝集剤あるいは凝集助剤
の添加により凝集反応を行わせ、固液分離を行えばよ
い。ｐＨ上昇槽に送給する塩化カルシウム量は添加量の
全量が一般的であるが、添加量の10％以上であればよ
く、より好ましくは30％以上である。また、本発明の必
要要件は反応槽までであり、凝集槽以降は膜分離装置等
の固液分離装置（例えば精密濾過膜装置、限外濾過膜装
置、浮上分離装置等）でもよい。なお、塩化カルシウム
溶液の一部をｐＨ上昇槽に送給する場合は、添加すべき
塩化カルシウム溶液の残部を、図１に点線で示したごと
く反応槽に送給する。
発明を図１に従って再度以下に説明する。排水に添加す
る塩化カルシウム溶液の全量あるいは一部をｐＨ上昇槽
に導き、アルカリ剤を添加してｐＨを11.5以上、望まし
くは12以上（透視度が１cm以下の強い白濁（水酸化カル
シウム微粒子の析出による白濁）が添加するアルカリ量
の目安となる）とし、それを排水が流入する反応槽に添
加し、更に必要に応じて酸、アルカリ等のｐＨ調整剤を
添加して所定ｐＨ（排水の特性すなわち共存イオンの種
類等により反応槽ｐＨの設定値は異なるが、一般にはｐ
Ｈ５〜11の範囲で制御される。より好ましくは、ｐＨ上
昇槽で生成した水酸化カルシウム微粒子の溶解を緩やか
に行うためｐＨ７以上が好ましい）で反応させる。しか
る後に反応液を凝集槽に導き、凝集剤あるいは凝集助剤
の添加により凝集反応を行わせ、固液分離を行えばよ
い。ｐＨ上昇槽に送給する塩化カルシウム量は添加量の
全量が一般的であるが、添加量の10％以上であればよ
く、より好ましくは30％以上である。また、本発明の必
要要件は反応槽までであり、凝集槽以降は膜分離装置等
の固液分離装置（例えば精密濾過膜装置、限外濾過膜装
置、浮上分離装置等）でもよい。なお、塩化カルシウム
溶液の一部をｐＨ上昇槽に送給する場合は、添加すべき
塩化カルシウム溶液の残部を、図１に点線で示したごと
く反応槽に送給する。
【００１４】また、本発明の実施態様の他の一例を図２
に示す。図２では、排水の一部をｐＨ上昇槽に導き、残
部を反応槽に導いており、例えば排水量の30％以下の量
をｐＨ上昇槽に導くことにより、ｐＨ上昇槽での攪拌が
容易となり、また、排水中に含まれるフッ素がこのｐＨ
上昇槽内でもＣａＦ2 の種晶生成反応を行うため、より
好ましい場合もある。
に示す。図２では、排水の一部をｐＨ上昇槽に導き、残
部を反応槽に導いており、例えば排水量の30％以下の量
をｐＨ上昇槽に導くことにより、ｐＨ上昇槽での攪拌が
容易となり、また、排水中に含まれるフッ素がこのｐＨ
上昇槽内でもＣａＦ2 の種晶生成反応を行うため、より
好ましい場合もある。
【００１５】
【発明の効果】本発明による効果を再度示す。添加する
塩化カルシウムの一部あるいは全量にＮａＯＨ等のアル
カリを添加することにより、塩化カルシウムの一部ある
いは全部を一旦水酸化カルシウム化して析出させた後に
反応に供することにより、析出した水酸化カルシウムが
反応槽内で溶解する際に局部的な高カルシウムイオン濃
度域が形成され、塩化カルシウム使用時においても水酸
化カルシウム使用時と同等の効果を得られることとな
る。この結果、従来法での塩化カルシウム使用時には同
等の処理水質を得るために多量の塩化カルシウムを使用
するか、あるいは、その後の凝集工程においてＡｌ系凝
集剤（硫酸バンド、ＰＡＣ等）を多量に使用しフッ素を
吸着除去せねばならなかったことに比較し、低添加量の
塩化カルシウムで良好なフッ素除去が可能となる。
塩化カルシウムの一部あるいは全量にＮａＯＨ等のアル
カリを添加することにより、塩化カルシウムの一部ある
いは全部を一旦水酸化カルシウム化して析出させた後に
反応に供することにより、析出した水酸化カルシウムが
反応槽内で溶解する際に局部的な高カルシウムイオン濃
度域が形成され、塩化カルシウム使用時においても水酸
化カルシウム使用時と同等の効果を得られることとな
る。この結果、従来法での塩化カルシウム使用時には同
等の処理水質を得るために多量の塩化カルシウムを使用
するか、あるいは、その後の凝集工程においてＡｌ系凝
集剤（硫酸バンド、ＰＡＣ等）を多量に使用しフッ素を
吸着除去せねばならなかったことに比較し、低添加量の
塩化カルシウムで良好なフッ素除去が可能となる。
【００１６】
【実施例】半導体製造工場のフッ素含有実排水を用いて
以下の実験を行った。供試した排水の水質は、ｐＨ 2.
2、フッ素濃度60mgＦ／リットル、ＳｉＯ2 濃度 35mgＳｉＯ2 ／リットルであった。実験はビーカーテス
トにより実施した。
以下の実験を行った。供試した排水の水質は、ｐＨ 2.
2、フッ素濃度60mgＦ／リットル、ＳｉＯ2 濃度 35mgＳｉＯ2 ／リットルであった。実験はビーカーテス
トにより実施した。
【００１７】（比較例１）排水をビーカーに 500ml採取
し、塩化カルシウム1320mg／リットル添加した後、Ｎａ
ＯＨ添加によりｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
し、塩化カルシウム1320mg／リットル添加した後、Ｎａ
ＯＨ添加によりｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
【００１８】（比較例２）塩化カルシウム10％溶液 6.6
ml(500mlにメスアップすると比較例と同様の1320mg／リ
ットルとなる）にＮａＯＨをｐＨ11.0となるように添加
しビーカーで１分間攪拌した後、排水を 500mlビーカー
に加え、その後ｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
ml(500mlにメスアップすると比較例と同様の1320mg／リ
ットルとなる）にＮａＯＨをｐＨ11.0となるように添加
しビーカーで１分間攪拌した後、排水を 500mlビーカー
に加え、その後ｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
【００１９】（実施例１）塩化カルシウム10％溶液 6.6
ml(500mlにメスアップすると比較例と同様の1320mg／リ
ットルとなる）にＮａＯＨをｐＨ12.0となるように添加
しビーカーで１分間攪拌した後、排水の 500mlをビーカ
ーに加え、その後ｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
ml(500mlにメスアップすると比較例と同様の1320mg／リ
ットルとなる）にＮａＯＨをｐＨ12.0となるように添加
しビーカーで１分間攪拌した後、排水の 500mlをビーカ
ーに加え、その後ｐＨを 8.0に調整し反応を10分間行っ
た。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ過したものを処理水と
して評価した。
【００２０】（実施例２）排水50mlと塩化カルシウム10
％溶液 6.6mlに比較例１で使用した量と同量のＮａＯＨ
を添加しビーカーで１分間攪拌（この時の溶液のｐＨは
12.3であった）した後、排水の 450mlをビーカーに加
え、反応を10分間行った。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ
過したものを処理水として評価した。
％溶液 6.6mlに比較例１で使用した量と同量のＮａＯＨ
を添加しビーカーで１分間攪拌（この時の溶液のｐＨは
12.3であった）した後、排水の 450mlをビーカーに加
え、反応を10分間行った。反応後の液をＮo.２ろ紙でろ
過したものを処理水として評価した。
【００２１】（結果）処理水フッ素濃度は、比較例１で
52mgＦ／リットル、比較例２で50mgＦ／リットル、実施
例１で11.9mgＦ／リットル、実施例２で 7.3mgＦ／リッ
トルとなり、本発明の有効性が示された。
52mgＦ／リットル、比較例２で50mgＦ／リットル、実施
例１で11.9mgＦ／リットル、実施例２で 7.3mgＦ／リッ
トルとなり、本発明の有効性が示された。
【図１】本発明の方法および装置の１例を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】本発明の方法および装置の他の１例を示す説明
図である。
図である。
【図３】従来法の一例を示す説明図である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−142864（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−97091（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 1/58
Claims (5)
- 【請求項１】 フッ素含有排水からフッ素を塩化カルシ
ウムを用いてＣａ−Ｆ系反応で除去する方法において、
排水に添加する塩化カルシウムの溶液の全量、あるい
は、一部のｐＨを予め11.5以上に上昇させた後、排水と
反応させることを特徴とするフッ素含有排水からのフッ
素除去方法。 - 【請求項２】 塩化カルシウムの溶液の全量、あるい
は、一部をｐＨ上昇槽で一旦ｐＨ11.5以上に上昇させた
後、反応槽に送給し排水と反応させる請求項１記載の方
法。 - 【請求項３】 排水の一部をｐＨ上昇槽に分注し、排水
の残部を反応槽に送給する請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 フッ素含有排水の原水槽と、該フッ素含
有排水からフッ素を塩化カルシウムを用いてＣａ−Ｆ系
反応で除去するための反応槽と、該塩化カルシウムの溶
液の全量あるいは一部のｐＨを予め11.5以上に上昇させ
るためのｐＨ上昇槽とを備え、該ｐＨ上昇槽でｐＨを上
昇調整した塩化カルシウム溶液を前記反応槽に供給する
ように構成したフッ素含有排水の処理装置。 - 【請求項５】 原水槽のフッ素含有排水の一部をｐＨ上
昇槽に分注し、残部を反応槽に供給するように構成した
請求項４記載のフッ素含有排水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06031917A JP3085624B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | フッ素含有排水の処理方法および処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06031917A JP3085624B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | フッ素含有排水の処理方法および処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07214072A JPH07214072A (ja) | 1995-08-15 |
| JP3085624B2 true JP3085624B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=12344335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06031917A Expired - Lifetime JP3085624B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | フッ素含有排水の処理方法および処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3085624B2 (ja) |
-
1994
- 1994-02-03 JP JP06031917A patent/JP3085624B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07214072A (ja) | 1995-08-15 |
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