JP3068472B2 - 保護テープ剥し装置及びその剥し方法 - Google Patents
保護テープ剥し装置及びその剥し方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は保護テープ剥し装置
及びその剥し方法に関し、特にウェーハを保護している
保護テープの剥し装置及びその剥し方法に関する。
及びその剥し方法に関し、特にウェーハを保護している
保護テープの剥し装置及びその剥し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このようなウェーハの表面に貼ら
れる保護テープは、ウェーハの裏面研磨から保護するた
めに設けられており、裏面研磨が終了すると、この保護
テープを剥離しなければならない。この保護テープは、
使用済みの段階で１つ１つのウェーハから自動的に除去
することが必要になり、またそれ専用のテープ剥離装置
も用いられている。
れる保護テープは、ウェーハの裏面研磨から保護するた
めに設けられており、裏面研磨が終了すると、この保護
テープを剥離しなければならない。この保護テープは、
使用済みの段階で１つ１つのウェーハから自動的に除去
することが必要になり、またそれ専用のテープ剥離装置
も用いられている。
【０００３】例えば、この保護テープ剥し装置及びその
剥し方法に関しては、特開昭６３−１４７３２５号公報
や特開平４−１５４１０９号公報などがあり、それぞれ
の機能を発揮している。
剥し方法に関しては、特開昭６３−１４７３２５号公報
や特開平４−１５４１０９号公報などがあり、それぞれ
の機能を発揮している。
【０００４】図４はかかる従来の一例を説明するための
保護テープ剥し装置の断面図である。図４に示すよう
に、この保護テープ剥し装置は、ウェーハ７を供給する
ローダ１１と、搬送アーム９と、真空チャック８と、剥
離テープ１２およびその駆動機構とを備えている。
保護テープ剥し装置の断面図である。図４に示すよう
に、この保護テープ剥し装置は、ウェーハ７を供給する
ローダ１１と、搬送アーム９と、真空チャック８と、剥
離テープ１２およびその駆動機構とを備えている。
【０００５】このローダ１１のウェーハキャリア１０内
には、保護テープ６を貼付したウェーハ７が収納されて
おり、このウェーハ７は搬送アーム９により真空チャッ
ク８上に搬送される。
には、保護テープ６を貼付したウェーハ７が収納されて
おり、このウェーハ７は搬送アーム９により真空チャッ
ク８上に搬送される。
【０００６】一方、剥離テープ１２の駆動機構は、巻戻
しドラム１，送りローラ２，巻取りドラム３，巻取りロ
ーラ４，加圧ローラ５および剥離ローラ１３を有し、巻
戻しドラム１から巻戻される剥離テープ１２は、送りロ
ーラ２と加圧ローラ５の下を通り、巻取りローラ４間を
通って巻取りドラム３で巻取られる。
しドラム１，送りローラ２，巻取りドラム３，巻取りロ
ーラ４，加圧ローラ５および剥離ローラ１３を有し、巻
戻しドラム１から巻戻される剥離テープ１２は、送りロ
ーラ２と加圧ローラ５の下を通り、巻取りローラ４間を
通って巻取りドラム３で巻取られる。
【０００７】上述した駆動機構により、剥離ローラ１３
を用いて剥離テープ１２をウェーハ７上に移動させる
と、その保護テープ６が剥離テープ１２側に付くことに
より、剥離される。
を用いて剥離テープ１２をウェーハ７上に移動させる
と、その保護テープ６が剥離テープ１２側に付くことに
より、剥離される。
【０００８】さらに、真空チャック８上で保護テープ６
を剥離されたウェーハ７は、再び搬送アーム９によりロ
ーダ１１のウェーハキャリア１０内に戻される。
を剥離されたウェーハ７は、再び搬送アーム９によりロ
ーダ１１のウェーハキャリア１０内に戻される。
【０００９】図５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図４におけ
る保護テープ剥し方法を説明するための工程順に示した
保護テープ剥し装置の断面図であり、ここでは搬送キャ
リア，ローダなどを省略している。まず、図５（ａ）に
示すように、保護テープ６をその素子形成面に貼付した
ウェーハ７を上述したキャリアによって移動させ、しか
る後真空チャック８の上に吸着させる。
る保護テープ剥し方法を説明するための工程順に示した
保護テープ剥し装置の断面図であり、ここでは搬送キャ
リア，ローダなどを省略している。まず、図５（ａ）に
示すように、保護テープ６をその素子形成面に貼付した
ウェーハ７を上述したキャリアによって移動させ、しか
る後真空チャック８の上に吸着させる。
【００１０】ついで、図５（ｂ）に示すように、加圧ロ
ーラ５が剥離テープ１２を引き出しながら右方向へ進
み、剥離テープ１２を保護テープ６に密着させて行く。
ーラ５が剥離テープ１２を引き出しながら右方向へ進
み、剥離テープ１２を保護テープ６に密着させて行く。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】その後、図５（ｃ）に示すように、剥離ロ
ーラ１３が左方向へ進むのと連動して、巻取りドラム３
を矢印方向に回転させると、剥離テープ１２に保護テー
プ６が付着してくるので、ウェーハ７の表面から剥離す
ることができる。
ーラ１３が左方向へ進むのと連動して、巻取りドラム３
を矢印方向に回転させると、剥離テープ１２に保護テー
プ６が付着してくるので、ウェーハ７の表面から剥離す
ることができる。
【００１６】このように、従来の保護テープ６の剥離方
法は、ウェーハ７と保護テープ６の接着力よりも、保護
テープ６と剥離テープ１２の接着力の方が強いことを利
用したものである。
法は、ウェーハ７と保護テープ６の接着力よりも、保護
テープ６と剥離テープ１２の接着力の方が強いことを利
用したものである。
【００１７】
【００１８】
【００１９】しかし、上述したテープの剥離方法及び剥
離装置において、裏面研磨工程によっては、保護テープ
６とウェーハ７の接着力が強化されていることがある。
このため、従来の装置及び方法では、保護テープ６をウ
ェーハ７から剥離することができない場合が生じ、無理
に用いてもテープ剥離装置としての処理能力を低下させ
てしまう。
離装置において、裏面研磨工程によっては、保護テープ
６とウェーハ７の接着力が強化されていることがある。
このため、従来の装置及び方法では、保護テープ６をウ
ェーハ７から剥離することができない場合が生じ、無理
に用いてもテープ剥離装置としての処理能力を低下させ
てしまう。
【００２０】このような問題を解決し、テープを剥離し
易くするために、例えば、特開昭６１−２３３３６号公
報などに記載されているような方法も用いられている。
すなわち、保護テープを貼付したウェーハを吸着する真
空チャックに冷却機構を接続し、ウェーハそのものを所
定の温度に冷却して保護テープの接着力を低下させた
後、吸着手段を用いてテープを剥すことが考えられてい
る。
易くするために、例えば、特開昭６１−２３３３６号公
報などに記載されているような方法も用いられている。
すなわち、保護テープを貼付したウェーハを吸着する真
空チャックに冷却機構を接続し、ウェーハそのものを所
定の温度に冷却して保護テープの接着力を低下させた
後、吸着手段を用いてテープを剥すことが考えられてい
る。
【００２１】また、前述した特開昭６３−１４７３２５
号公報などに見られるように、ウェーハキャリアと真空
チャック間に保護テープ冷却部を設け、フレオンガス等
をウェーハ上に噴霧したり、あるいはフレオンガス等を
充満させた冷却室を通過させることにより、保護テープ
の接着力を低下させ、しかる後テープを剥す方法もあ
る。
号公報などに見られるように、ウェーハキャリアと真空
チャック間に保護テープ冷却部を設け、フレオンガス等
をウェーハ上に噴霧したり、あるいはフレオンガス等を
充満させた冷却室を通過させることにより、保護テープ
の接着力を低下させ、しかる後テープを剥す方法もあ
る。
【００２２】また、前述した特開平４−１５４１０９号
公報では、保護テープを貼付したウェーハを吸着する真
空チャックにヒータを内蔵させたものがある。この場合
は、ウェーハを所定の温度に加熱して保護テープの接着
力を低下させてから、テープを剥すものである。
公報では、保護テープを貼付したウェーハを吸着する真
空チャックにヒータを内蔵させたものがある。この場合
は、ウェーハを所定の温度に加熱して保護テープの接着
力を低下させてから、テープを剥すものである。
【００２３】さらに、特開平７−２２３５８号公報など
に見られるように、保護テープの表面に紫外線を照射す
ることにより、保護テープの接着力を低下させてから、
テープを剥すものもある。
に見られるように、保護テープの表面に紫外線を照射す
ることにより、保護テープの接着力を低下させてから、
テープを剥すものもある。
【００２４】ただし、上述した各種の技術において、保
護テープの接着剤の性質が水溶性のものについては、有
効とはならない。例えば、上述した特開平７−２２３５
８号公報においては、保護テープの接着剤の接着力が紫
外線によって反応するものにしか適用することができな
い。
護テープの接着剤の性質が水溶性のものについては、有
効とはならない。例えば、上述した特開平７−２２３５
８号公報においては、保護テープの接着剤の接着力が紫
外線によって反応するものにしか適用することができな
い。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】上述した保護テープ剥
し装置及びその剥し方法においては、保護テープの剥離
の原理がウェーハと保護テープの接着力よりも、保護テ
ープと剥離テープの接着力の方が強いことだけを利用し
たものである。このため、裏面研磨工程によっては、い
ずれの場合も、保護テープとウェーハとの接着力が強化
されているため、保護テープをウェーハ表面より容易に
剥離することが困難であるという場合が生じ、この結果
テープ剥離装置の処理能力を低下させるという欠点があ
る。
し装置及びその剥し方法においては、保護テープの剥離
の原理がウェーハと保護テープの接着力よりも、保護テ
ープと剥離テープの接着力の方が強いことだけを利用し
たものである。このため、裏面研磨工程によっては、い
ずれの場合も、保護テープとウェーハとの接着力が強化
されているため、保護テープをウェーハ表面より容易に
剥離することが困難であるという場合が生じ、この結果
テープ剥離装置の処理能力を低下させるという欠点があ
る。
【００２６】本発明の目的は、かかるウェーハ表面に貼
付される保護テープを容易に剥離し、処理能力を向上さ
せることのできる保護テープ剥し装置及びその剥し方法
を提供することにある。
付される保護テープを容易に剥離し、処理能力を向上さ
せることのできる保護テープ剥し装置及びその剥し方法
を提供することにある。
【００２７】
【課題を解決するための手段】本発明の保護テープ剥し
装置は、保護テープが貼付されたウェーハおよび前記保
護テープを剥離された前記ウェーハを搬送するための搬
送アームと、前記搬送アームにより移送された前記保護
テープの貼付された前記ウェーハを固定するテープ剥し
部と、前記テープ剥し部に固定された前記ウェーハの前
記保護テープ上に駆動され剥離テープを密着させる剥離
テープの駆動機構と、前記保護テープおよび前記ウェー
ハの界面に所定時間だけ純水を供給する純水ノズルと、
前記テープ剥し部で前記保護テープを剥離された前記ウ
ェーハを乾燥させるウェーハ乾燥部とを有して構成され
る。
装置は、保護テープが貼付されたウェーハおよび前記保
護テープを剥離された前記ウェーハを搬送するための搬
送アームと、前記搬送アームにより移送された前記保護
テープの貼付された前記ウェーハを固定するテープ剥し
部と、前記テープ剥し部に固定された前記ウェーハの前
記保護テープ上に駆動され剥離テープを密着させる剥離
テープの駆動機構と、前記保護テープおよび前記ウェー
ハの界面に所定時間だけ純水を供給する純水ノズルと、
前記テープ剥し部で前記保護テープを剥離された前記ウ
ェーハを乾燥させるウェーハ乾燥部とを有して構成され
る。
【００２８】その保護テープ剥し装置におけるテープ剥
し部は、前記保護テープの貼付された前記ウェーハを固
定する真空チャックと、前記真空チャックを囲むカップ
部とを備え、前記ウェーハの斜め上方に前記純水ノズル
を位置させて形成される。
し部は、前記保護テープの貼付された前記ウェーハを固
定する真空チャックと、前記真空チャックを囲むカップ
部とを備え、前記ウェーハの斜め上方に前記純水ノズル
を位置させて形成される。
【００２９】また、その保護テープ剥し装置におけるウ
ェーハ乾燥部は、前記保護テープを剥離された前記ウェ
ーハを固定して回転させるスピンチャックと、前記スピ
ンチャックを囲むカップ部とを備えて形成される。
ェーハ乾燥部は、前記保護テープを剥離された前記ウェ
ーハを固定して回転させるスピンチャックと、前記スピ
ンチャックを囲むカップ部とを備えて形成される。
【００３０】一方、本発明の保護テープ剥し方法は、保
護テープが貼付されたウェーハを搬送アームにより取出
してテープ剥し部に供給するウェーハ供給工程と、剥離
テープを加圧ローラを用いて前記保護テープ上に密着さ
せる密着工程と、前記保護テープを前記ウェーハから剥
離しながら剥離する界面に純水を所定時間だけ吐出する
純水供給工程と、前記保護テープを剥離された前記ウェ
ーハをウェーハ乾燥部に移送させた後、高速回転を与え
て乾燥させるウェーハ乾燥工程と、前記ウェーハ乾燥部
より前記搬送アームを用いて収納する収納工程とを含ん
で構成される。
護テープが貼付されたウェーハを搬送アームにより取出
してテープ剥し部に供給するウェーハ供給工程と、剥離
テープを加圧ローラを用いて前記保護テープ上に密着さ
せる密着工程と、前記保護テープを前記ウェーハから剥
離しながら剥離する界面に純水を所定時間だけ吐出する
純水供給工程と、前記保護テープを剥離された前記ウェ
ーハをウェーハ乾燥部に移送させた後、高速回転を与え
て乾燥させるウェーハ乾燥工程と、前記ウェーハ乾燥部
より前記搬送アームを用いて収納する収納工程とを含ん
で構成される。
【００３１】その保護テープ剥し方法における純水供給
工程で吐出する純水は、前記剥離テープが前記保護テー
プに密着された後、巻取りドラムで巻取られる時間だ
け、前記界面に供給されるように形成される。
工程で吐出する純水は、前記剥離テープが前記保護テー
プに密着された後、巻取りドラムで巻取られる時間だ
け、前記界面に供給されるように形成される。
【００３２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態ついて
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００３３】図１は本発明の一実施の形態を説明するた
めの保護テープ剥し装置の断面図である。図１に示すよ
うに、本実施の形態における保護テープ剥し装置は、前
述した従来例と同様、ウェーハ７を供給するウェーハキ
ャリア１０を備えたローダ１１と、搬送アーム９と、真
空チャック８と、剥離テープ１２およびその駆動機構と
を備えている。このローダ１１のウェーハキャリア１０
内には、保護テープ６を貼付したウェーハ７が収納され
ており、このウェーハ７は搬送アーム９により真空チャ
ック８上に搬送されたり、戻したりする。さらに、剥離
テープ１２の駆動機構も、巻戻しドラム１，送りローラ
２，巻取りドラム３，巻取りローラ４，加圧ローラ５お
よび剥離ローラ１３を有し、巻戻しドラム１から巻戻さ
れる剥離テープ１２は、送りローラ２と加圧ローラ５の
下を通り、巻取りローラ４間を通って巻取りドラム３で
巻取られる。
めの保護テープ剥し装置の断面図である。図１に示すよ
うに、本実施の形態における保護テープ剥し装置は、前
述した従来例と同様、ウェーハ７を供給するウェーハキ
ャリア１０を備えたローダ１１と、搬送アーム９と、真
空チャック８と、剥離テープ１２およびその駆動機構と
を備えている。このローダ１１のウェーハキャリア１０
内には、保護テープ６を貼付したウェーハ７が収納され
ており、このウェーハ７は搬送アーム９により真空チャ
ック８上に搬送されたり、戻したりする。さらに、剥離
テープ１２の駆動機構も、巻戻しドラム１，送りローラ
２，巻取りドラム３，巻取りローラ４，加圧ローラ５お
よび剥離ローラ１３を有し、巻戻しドラム１から巻戻さ
れる剥離テープ１２は、送りローラ２と加圧ローラ５の
下を通り、巻取りローラ４間を通って巻取りドラム３で
巻取られる。
【００３４】本実施の形態が前述した従来例と比較して
異なる点は、主として以下の３点にある。まず第１に、
真空チャック８に対して、これを取囲むように形成する
とともに、排水口を設けたカップ部１５を備え、これに
よってテープ剥し部１８を形成している。また第２に、
テープ剥し部１８の内のウェーハ７に対し純水を供給す
る純水ノズル１４，エアバルブ２０，流量計２１，圧力
調整器２２を設けた純水供給機構を備えている。さらに
第３に、スピンモータ１７に接続され、これによって回
転されるスピンチャック１６と、カップ部１５とを備
え、テープ剥し部１８から移送された剥し済みウェーハ
７を乾燥させるウェーハ乾燥部１９を形成している。
異なる点は、主として以下の３点にある。まず第１に、
真空チャック８に対して、これを取囲むように形成する
とともに、排水口を設けたカップ部１５を備え、これに
よってテープ剥し部１８を形成している。また第２に、
テープ剥し部１８の内のウェーハ７に対し純水を供給す
る純水ノズル１４，エアバルブ２０，流量計２１，圧力
調整器２２を設けた純水供給機構を備えている。さらに
第３に、スピンモータ１７に接続され、これによって回
転されるスピンチャック１６と、カップ部１５とを備
え、テープ剥し部１８から移送された剥し済みウェーハ
７を乾燥させるウェーハ乾燥部１９を形成している。
【００３５】かかる保護テープ剥し装置の具体的動作
は、以下のとおりである。
は、以下のとおりである。
【００３６】まず、前述したように、搬送アーム９は、
ローダ１１からテープ剥し部１８の真空チャック８に保
護テープ６の付いたウェーハ７を搬送し、またテープ剥
し部１８からウェーハ乾燥部１９への搬送と、ウェーハ
乾燥部１９からローダ１１への搬送とを実行する。
ローダ１１からテープ剥し部１８の真空チャック８に保
護テープ６の付いたウェーハ７を搬送し、またテープ剥
し部１８からウェーハ乾燥部１９への搬送と、ウェーハ
乾燥部１９からローダ１１への搬送とを実行する。
【００３７】また、巻戻しドラム１から巻き戻される剥
離テープ１２は、送りローラ２と加圧ローラ５の下を通
り、巻取りローラ４を介して巻取りドラム３で巻き取ら
れる。このとき、加圧ローラ５と剥離ローラ１３によ
り、剥離テープ１２はウェーハ７の保護テープ６上に密
着される。
離テープ１２は、送りローラ２と加圧ローラ５の下を通
り、巻取りローラ４を介して巻取りドラム３で巻き取ら
れる。このとき、加圧ローラ５と剥離ローラ１３によ
り、剥離テープ１２はウェーハ７の保護テープ６上に密
着される。
【００３８】一方、純水供給機構を形成する純水ノズル
１４は、エアーバルブ２０，流量計２１，圧力調整器２
２に接続されて純水の量などを制御されるとともに、テ
ープ剥し部１８におけるカップ部１５の斜め上方に設置
され、ウェーハ７と保護テープ６の界面に純水を吹付け
る。このカップ部１５は軸方向に上下するとともに、保
護テープ６を剥離する際に純水ノズル１４から吐出され
る純水が周囲へ飛び散るのを防止し且つ排水する機能を
有している。
１４は、エアーバルブ２０，流量計２１，圧力調整器２
２に接続されて純水の量などを制御されるとともに、テ
ープ剥し部１８におけるカップ部１５の斜め上方に設置
され、ウェーハ７と保護テープ６の界面に純水を吹付け
る。このカップ部１５は軸方向に上下するとともに、保
護テープ６を剥離する際に純水ノズル１４から吐出され
る純水が周囲へ飛び散るのを防止し且つ排水する機能を
有している。
【００３９】さらに、スピンチャック１６は、スピンモ
ータ１７に連結して高速回転を行い、ウェーハ７の乾燥
を行う。なお、この場合のカップ部１５は、軸方向に上
下移動する必要はないが、乾燥の際の純水の周囲への飛
散防止と排水とを行う。
ータ１７に連結して高速回転を行い、ウェーハ７の乾燥
を行う。なお、この場合のカップ部１５は、軸方向に上
下移動する必要はないが、乾燥の際の純水の周囲への飛
散防止と排水とを行う。
【００４０】図２（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の保
護テープ剥し方法の一実施の形態を説明するための剥離
直前までを工程順に示した剥し装置の断面図である。ま
ず、図２（ａ）に示すように、搬送アーム９は、ローダ
１１のウェーハキャリア１０から保護テープ６を素子形
成面に貼付したウェーハ７を１つ取り出し、テープ剥し
部１８の真空チャック８の上に搬送する。しかる後、真
空チャック８はこのウェーハ７を吸着し固定する。な
お、図面上では、ウェーハ乾燥部１９が直線上で配置さ
れているが、搬送アーム９は自在に迂回し、直接ウェー
ハ７をテープ剥し部１８の真空チャック８上に搬送する
ことができる。
護テープ剥し方法の一実施の形態を説明するための剥離
直前までを工程順に示した剥し装置の断面図である。ま
ず、図２（ａ）に示すように、搬送アーム９は、ローダ
１１のウェーハキャリア１０から保護テープ６を素子形
成面に貼付したウェーハ７を１つ取り出し、テープ剥し
部１８の真空チャック８の上に搬送する。しかる後、真
空チャック８はこのウェーハ７を吸着し固定する。な
お、図面上では、ウェーハ乾燥部１９が直線上で配置さ
れているが、搬送アーム９は自在に迂回し、直接ウェー
ハ７をテープ剥し部１８の真空チャック８上に搬送する
ことができる。
【００４１】ついで、図２（ｂ）に示すように、加圧ロ
ーラ５が剥離テープ１２を引き出しながら右方向に進
み、その剥離テープ１２を保護テープ６に密着させて行
く。このとき、剥離ローラ１３は加圧ローラ５とともに
右方向に進むが、剥離テープ１２には接触していない。
すなわち、この段階では、剥離ローラ１３は移動する
が、まだ機能していない。ここまでが、保護テープ６の
剥離直前の工程である。
ーラ５が剥離テープ１２を引き出しながら右方向に進
み、その剥離テープ１２を保護テープ６に密着させて行
く。このとき、剥離ローラ１３は加圧ローラ５とともに
右方向に進むが、剥離テープ１２には接触していない。
すなわち、この段階では、剥離ローラ１３は移動する
が、まだ機能していない。ここまでが、保護テープ６の
剥離直前の工程である。
【００４２】図３（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の保
護テープ剥し方法の一実施の形態を説明するための剥離
直後以降を工程順に示した剥し装置の断面図である。ま
ず、図３（ａ）に示すように、剥離ローラ１３が左方向
に進むのと連動して巻取りドラム３を矢印の方向に回転
させる。この巻取りドラム３の回転により、剥離テープ
１２に付着した保護テープ６は、ウェーハ７の表面から
湾曲し、その端部で剥れた状態となる。
護テープ剥し方法の一実施の形態を説明するための剥離
直後以降を工程順に示した剥し装置の断面図である。ま
ず、図３（ａ）に示すように、剥離ローラ１３が左方向
に進むのと連動して巻取りドラム３を矢印の方向に回転
させる。この巻取りドラム３の回転により、剥離テープ
１２に付着した保護テープ６は、ウェーハ７の表面から
湾曲し、その端部で剥れた状態となる。
【００４３】一方、純水ノズル１４からは、巻取りドラ
ム３の矢印の方向への回転からあらかじめ設定された時
間が経過すると、保護テープ６とウェーハ７の密着して
いる界面に向けて純水を吐出する。その後、純水を吐出
し続けながら、巻取りドラム３を回転させて行き、剥離
テープ１２に付着した保護テープ６を巻取る。このウェ
ーハ７の保護テープ６が剥離テープ１２にすべて付着し
剥離が完了すると、純水ノズル１４からの純水の供給を
停止する。
ム３の矢印の方向への回転からあらかじめ設定された時
間が経過すると、保護テープ６とウェーハ７の密着して
いる界面に向けて純水を吐出する。その後、純水を吐出
し続けながら、巻取りドラム３を回転させて行き、剥離
テープ１２に付着した保護テープ６を巻取る。このウェ
ーハ７の保護テープ６が剥離テープ１２にすべて付着し
剥離が完了すると、純水ノズル１４からの純水の供給を
停止する。
【００４４】ついで、図３（ｂ）に示すように、テープ
剥し部１８での剥離が終わると、再度搬送アーム９によ
り、真空チャック８の上のウェーハ７はウェーハ乾燥部
１９のスピンチャック１６の上に搬送される。このウェ
ーハ７は、真空チャック８と同様に、スピンチャック１
６に真空吸着される。さらに、スピンモータ１７に連結
しているこのスピンチャック１６によってウェーハ７が
高速回転するので、その表面上に残留している水分は飛
散され、ウェーハ７を乾燥させる。
剥し部１８での剥離が終わると、再度搬送アーム９によ
り、真空チャック８の上のウェーハ７はウェーハ乾燥部
１９のスピンチャック１６の上に搬送される。このウェ
ーハ７は、真空チャック８と同様に、スピンチャック１
６に真空吸着される。さらに、スピンモータ１７に連結
しているこのスピンチャック１６によってウェーハ７が
高速回転するので、その表面上に残留している水分は飛
散され、ウェーハ７を乾燥させる。
【００４５】このようにして、乾燥したウェーハ７は、
搬送アーム９によりローダ１１のウェーハキャリア１０
に収納される。
搬送アーム９によりローダ１１のウェーハキャリア１０
に収納される。
【００４６】以下、同様の動作を繰り返し、ウェーハキ
ャリア１０内のウェーハ７すべてについて、保護テープ
６の剥離を行う。
ャリア１０内のウェーハ７すべてについて、保護テープ
６の剥離を行う。
【００４７】上述した実施の形態によれば、テープ剥離
の原理は、ウェーハと保護テープの接着力よりも、保護
テープと剥離テープの接着力の方が強いことを利用する
だけでなく、保護テープの接着剤が水溶性である性質を
利用するものであるので、ウェーハの裏面研磨工程によ
り保護テープとウェーハの接着力が強化されているもの
であっても、純水吐出によって強制的に接着力を下げる
ことができる。したがって、保護テープをウェーハ表面
から容易に剥離することができ、テープ剥離装置の処理
能力を向上させることができる。
の原理は、ウェーハと保護テープの接着力よりも、保護
テープと剥離テープの接着力の方が強いことを利用する
だけでなく、保護テープの接着剤が水溶性である性質を
利用するものであるので、ウェーハの裏面研磨工程によ
り保護テープとウェーハの接着力が強化されているもの
であっても、純水吐出によって強制的に接着力を下げる
ことができる。したがって、保護テープをウェーハ表面
から容易に剥離することができ、テープ剥離装置の処理
能力を向上させることができる。
【００４８】以下、具体的な実施例について説明する
が、上述した説明と重複する点は省略する。
が、上述した説明と重複する点は省略する。
【００４９】まず、純水ノズル１４はストレートパイプ
形状とし、吐出する純粋の温度は常温２０〜２５°Ｃ程
度とする。この理由は、ウェーハのボンディングパッド
にアルミ（Ａｌ）を使用しているとき、加熱した純水を
用いると、アルミの腐食が起きるためである。また、こ
の純水の圧力は、例えば１〜２ｋｇ／ｃｍ2 程度であ
り、流量は５００ｃｃ／分程度とする。この吐出純水の
圧力は圧力調整器２２で、また流量は流量計２１で各々
調整する。
形状とし、吐出する純粋の温度は常温２０〜２５°Ｃ程
度とする。この理由は、ウェーハのボンディングパッド
にアルミ（Ａｌ）を使用しているとき、加熱した純水を
用いると、アルミの腐食が起きるためである。また、こ
の純水の圧力は、例えば１〜２ｋｇ／ｃｍ2 程度であ
り、流量は５００ｃｃ／分程度とする。この吐出純水の
圧力は圧力調整器２２で、また流量は流量計２１で各々
調整する。
【００５０】一方、ウェーハ乾燥部１９において、ウェ
ーハ７を回転させるスピンチャック１６は、例えば４０
００ｒｐｍの高速回転を行わせる。
ーハ７を回転させるスピンチャック１６は、例えば４０
００ｒｐｍの高速回転を行わせる。
【００５１】このような条件で保護テープ６の剥離を実
行すると、従来例の場合と比較して、例えば、８インチ
ウェーハ１枚あたりの剥離時間でみたとき、約２０秒程
度かかっていたものが、約５秒程度に短縮される。
行すると、従来例の場合と比較して、例えば、８インチ
ウェーハ１枚あたりの剥離時間でみたとき、約２０秒程
度かかっていたものが、約５秒程度に短縮される。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の保護テー
プ剥し装置及びその剥し方法は、保護テープとウェーハ
の接着している界面に純水を吐出する純水ノズルを設
け、剥離テープによる剥離とともに、純水を吐出するこ
とにより、保護テープとウェーハ表面の接着力を強制的
に弱めることができるので、保護テープを容易に剥離す
ることができ、装置の処理能力を向上させることができ
るという効果がある。
プ剥し装置及びその剥し方法は、保護テープとウェーハ
の接着している界面に純水を吐出する純水ノズルを設
け、剥離テープによる剥離とともに、純水を吐出するこ
とにより、保護テープとウェーハ表面の接着力を強制的
に弱めることができるので、保護テープを容易に剥離す
ることができ、装置の処理能力を向上させることができ
るという効果がある。
【００５３】また、本発明の保護テープ剥し装置及びそ
の剥し方法は、上述した純水ノズルの他に、テープ剥し
部，ウェーハ乾燥部を設けることにより、全自動化する
ことができ、処理能力をさらに向上させることができる
という効果がある。
の剥し方法は、上述した純水ノズルの他に、テープ剥し
部，ウェーハ乾燥部を設けることにより、全自動化する
ことができ、処理能力をさらに向上させることができる
という効果がある。
【図１】本発明の保護テープ剥し装置の一実施の形態を
説明するための装置断面図である。
説明するための装置断面図である。
【図２】本発明の保護テープ剥し方法の一実施の形態を
説明するための剥離直前までを工程順に示した剥し装置
の断面図である。
説明するための剥離直前までを工程順に示した剥し装置
の断面図である。
【図３】本発明の保護テープ剥し方法の一実施の形態を
説明するための剥離直後以降を工程順に示した剥し装置
の断面図である。
説明するための剥離直後以降を工程順に示した剥し装置
の断面図である。
【図４】従来の一例を説明するための保護テープ剥し装
置の断面図である。
置の断面図である。
【図５】図４における保護テープ剥し方法を説明するた
めの工程順に示した剥し装置の断面図である。
めの工程順に示した剥し装置の断面図である。
１ 巻戻しドラム ２ 送りローラ ３ 巻取りドラム ４ 巻取りローラ ５ 加圧ローラ ６ 保護テープ ７ ウェーハ ８ 真空チャック ９ 搬送アーム １０ ウェーハキャリア １１ ローダ １２ 剥離テープ １３ 剥離ローラ １４ 純水ノズル １５ カップ部 １６ スピンチャック １７ スピンモータ １８ テープ剥し部 １９ ウェーハ乾燥部 ２０ エアーバルブ ２１ 流量計 ２２ 圧力調整器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−195004（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−257633（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−271356（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−45309（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−349799（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−222535（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−187541（ＪＰ，Ｕ) 特公 平３−19149（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/304 H01L 21/301 B65H 29/54 - 29/56 B65H 41/00
Claims (5)
- 【請求項１】 保護テープが貼付されたウェーハおよび
前記保護テープを剥離された前記ウェーハを搬送するた
めの搬送アームと、前記搬送アームにより移送された前
記保護テープの貼付された前記ウェーハを固定するテー
プ剥し部と、前記テープ剥し部に固定された前記ウェー
ハの前記保護テープ上に駆動され剥離テープを密着させ
る剥離テープの駆動機構と、前記保護テープおよび前記
ウェーハの界面に所定時間だけ純水を供給する純水ノズ
ルと、前記テープ剥し部で前記保護テープを剥離された
前記ウェーハを乾燥させるウェーハ乾燥部とを有するこ
とを特徴とする保護テープ剥し装置。 - 【請求項２】 前記テープ剥し部は、前記保護テープの
貼付された前記ウェーハを固定する真空チャックと、前
記真空チャックを囲むカップ部とを備え、前記ウェーハ
の斜め上方に前記純水ノズルを位置させた請求項１記載
の保護テープ剥し装置。 - 【請求項３】 前記ウェーハ乾燥部は、前記保護テープ
を剥離された前記ウェーハを固定して回転させるスピン
チャックと、前記スピンチャックを囲むカップ部とを備
えた請求項１記載の保護テープ剥し装置。 - 【請求項４】 保護テープが貼付されたウェーハを搬送
アームにより取出してテープ剥し部に供給するウェーハ
供給工程と、剥離テープを加圧ローラを用いて前記保護
テープ上に密着させる密着工程と、前記保護テープを前
記ウェーハから剥離しながら剥離する界面に純水を所定
時間だけ吐出する純水供給工程と、前記保護テープを剥
離された前記ウェーハをウェーハ乾燥部に移送させた
後、高速回転を与えて乾燥させるウェーハ乾燥工程と、
前記ウェーハ乾燥部より前記搬送アームを用いて収納す
る収納工程とを含むことを特徴とする保護テープ剥し方
法。 - 【請求項５】 前記純水供給工程で吐出する純水は、前
記剥離テープが前記保護テープに密着された後、巻取り
ドラムで巻取られる時間だけ、前記界面に供給される請
求項４記載の保護テープ剥し方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27775896A JP3068472B2 (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 保護テープ剥し装置及びその剥し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27775896A JP3068472B2 (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 保護テープ剥し装置及びその剥し方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10125768A JPH10125768A (ja) | 1998-05-15 |
| JP3068472B2 true JP3068472B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=17587931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27775896A Expired - Fee Related JP3068472B2 (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 保護テープ剥し装置及びその剥し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3068472B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020066851A (ko) * | 2001-02-14 | 2002-08-21 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 웨이퍼 전면 보호용 테이프 제거방법 |
| US6939741B2 (en) | 2002-01-15 | 2005-09-06 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | IC chip manufacturing method |
| KR100670762B1 (ko) * | 2005-10-27 | 2007-01-17 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 후면 연마 및 테이프 부착 장치 및 방법 |
| JP2012238707A (ja) * | 2011-05-11 | 2012-12-06 | Azbil Corp | 半導体チップの製造方法及びウェハのダイシング方法 |
| JP2018195770A (ja) * | 2017-05-22 | 2018-12-06 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
| JP7283867B2 (ja) | 2018-02-05 | 2023-05-30 | 日東電工株式会社 | 粘着シート剥離方法 |
| KR102500919B1 (ko) * | 2018-02-05 | 2023-02-16 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 점착 시트 및 점착 시트 박리 방법 |
| JP7283472B2 (ja) * | 2018-06-08 | 2023-05-30 | 株式会社レゾナック | 粘着シートの製造方法、ダイシング・ダイボンディング一体型テープの製造方法、半導体装置の製造方法、粘着剤の処理方法、被着体の固定化方法、及び被着体の剥離方法 |
| JP7461118B2 (ja) * | 2019-08-19 | 2024-04-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
| JP7374657B2 (ja) * | 2019-08-21 | 2023-11-07 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
-
1996
- 1996-10-21 JP JP27775896A patent/JP3068472B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10125768A (ja) | 1998-05-15 |
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