JP3057538B2 - LSI tester - Google Patents

LSI tester

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JP3057538B2
JP3057538B2 JP4157976A JP15797692A JP3057538B2 JP 3057538 B2 JP3057538 B2 JP 3057538B2 JP 4157976 A JP4157976 A JP 4157976A JP 15797692 A JP15797692 A JP 15797692A JP 3057538 B2 JP3057538 B2 JP 3057538B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSI(被測定対象物:以下、DUT
という)を測定するLSIテスタに関し、更に詳しく
は、デジタルパターンを出力するモジュールと同期して
デジタル信号及びアナログ信号を出力する各モジュール
のパターンメモリの有効利用を図ったLSIテスタに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LSI in which an analog circuit and a digital circuit are mixed (a device under test: a DUT).
More specifically, the present invention relates to an LSI tester that measures the effective use of a pattern memory of each module that outputs a digital signal and an analog signal in synchronization with a module that outputs a digital pattern.

【0002】[0002]

【従来の技術】アナログ回路とデジタル回路の混載した
DUTのテストは、そのDUTの実動作状態、即ち、ア
ナログ部とデジタル部とを統合して、全体をシステムと
して取り扱った状態でのテストが必要である。このため
には、DUTにデジタルパターンを出力するデジタルフ
ァンクションモジュール(以下、DFCモジュールと省
略)とデジタル信号及びアナログ信号を出力するミック
スドシグナルユニット(以下、MSユニットと省略)と
を同期した状態で制御する必要がある。一般のLSIテ
スタは、DUTのテストを高速に行えるよう、異なった
コントローラによって各モジュールを分散制御している
ため、DFCモジュールとMSユニットとはコード信号
に基づいて同期するようになっている。
2. Description of the Related Art A test of a DUT in which an analog circuit and a digital circuit are mixed is required to be performed in an actual operation state of the DUT, that is, a test in which an analog unit and a digital unit are integrated and the whole is handled as a system. It is. For this purpose, a digital function module (hereinafter abbreviated as DFC module) for outputting a digital pattern to the DUT and a mixed signal unit (hereinafter abbreviated as MS unit) for outputting a digital signal and an analog signal are synchronized. You need to control. In a general LSI tester, since different modules are distributedly controlled by different controllers so that a DUT test can be performed at a high speed, the DFC module and the MS unit are synchronized based on a code signal.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、同期して動作する各モジュールをテストレ
ート毎に関係づけて制御することができないため、例え
ば、デジタルパターンとアナログ信号を交互に出力する
ような場合でも、各モジュールのパターンメモリは常に
使用された状態になっていて、パターンメモリに大きな
記憶容量のものが必要となり、メモリの有効利用が図ら
れていなかった。
SUMMARY OF THE INVENTION Such a conventional LS
Since the I tester cannot control the modules operating synchronously in association with each test rate, for example, even if the digital pattern and the analog signal are output alternately, the pattern memory of each module is always In the used state, a large storage capacity is required for the pattern memory, and the effective use of the memory has not been attempted.

【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、コード信号によって同期の取られた各モジュー
ルをテストレート毎に関係付けて制御できるようにした
もので、パターンメモリの消費の低減を図り、記憶容量
の小さなメモリで各種の検査波形を任意に得ることがで
きるLSIテスタを提供することを目的としている。
[0004] The present invention has been made in view of the above points, and is intended to control each module synchronized by a code signal in association with each test rate, thereby reducing the consumption of pattern memory. It is an object of the present invention to provide an LSI tester capable of reducing the number of test waveforms arbitrarily by using a memory having a small storage capacity.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、被測定対象物に出力するアナログ
信号とデジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測
定対象物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解
析をモジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを
備えると共に、被測定対象物との間でデジタルパターン
信号を授受するデジタルファンックションモジュールと
を備え、アナログ回路とデジタル回路が混在する被測定
対象物を検査するLSIテスタにおいて、前記デジタル
ファンクションモジュールのアドレス発生シーケンサの
出力するアドレスに基づき、前記ミックスドシグナルユ
ニットの信号発生側と同期を取るコード信号を前記ミッ
クスドシグナルユニットのシーケンス発生回路に出力す
るコードメモリと、前記コード信号に基づいて前記シー
ケンス発生回路がアドレスカウンタに出力したアドレス
のカウント制御を行うと共に、このアドレスカウンタの
指定するアドレスに基づいてパターンメモリが出力する
データの制御を行うステータス信号を出力するステート
メモリと、を設け、前記コード信号によって各モジュー
ル間の同期を取ると共に、前記ステータス信号によって
前記デジタルファンクションモジュールと前記ミックス
ドシグナルユニットをテストレート毎に関係づけて制御
することを特徴としている。
According to the present invention, an analog signal and a digital signal to be output to an object to be measured are generated for each module and input from the object to be measured. It has a mixed signal unit that analyzes analog and digital signals for each module, and a digital function module that sends and receives digital pattern signals to and from the device under test. In the LSI tester for inspecting an object to be measured, a code signal synchronized with a signal generation side of the mixed signal unit is sequenced based on an address output from an address generation sequencer of the digital function module. Code memory to output to the generator A state in which the sequence generation circuit performs count control of an address output to an address counter based on the code signal, and outputs a status signal for controlling data output from a pattern memory based on an address specified by the address counter. A memory is provided to synchronize the modules by the code signal, and controls the digital function module and the mixed signal unit in association with each other at each test rate by the status signal.

【0006】[0006]

【作用】本発明の各構成要素は次に示すような作用をす
る。コードメモリは、DFCモジュールのアドレス発生
シーケンサが指定するアドレスに基づき、同期の為のコ
ードをMSユニットのシーケンス発生回路に出力する。
ステートメモリは、MSユニットのシーケンス発生回路
がアドレスカウンタに出力したアドレスのカウント制御
を行うと共に、アドレスカウンタの指定するアドレスに
基づいてパターンメモリが出力するデータの制御を行
う。
The components of the present invention have the following functions. The code memory outputs a code for synchronization to the sequence generation circuit of the MS unit based on the address specified by the address generation sequencer of the DFC module.
The state memory controls the count of the address output to the address counter by the sequence generation circuit of the MS unit, and controls the data output from the pattern memory based on the address specified by the address counter.

【0007】[0007]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテ
スタの構成ブロック図である。尚、MSユニットにおい
てアナログ信号を出力するモジュールは、デジタル信号
を出力するデジタルシグナルソース・モジュール(以
下、DSSモジュールと省略)にDA変換器が付加され
るだけの構成なので、以下の説明ではDSSモジュール
を代表して説明することにする。図中、1はシステム全
体の制御を司るテストシステムコントローラ、2はデジ
タルファンクションモジュール20(以下DFCモジュ
ール20)を制御するモジュールコントローラ、3はD
SSモジュール30を制御するモジュールコントローラ
である。
An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration block diagram of an LSI tester showing one embodiment of the present invention. Note that the module that outputs an analog signal in the MS unit is configured by simply adding a DA converter to a digital signal source module (hereinafter abbreviated as a DSS module) that outputs a digital signal. Will be described as a representative. In the figure, 1 is a test system controller that controls the entire system, 2 is a module controller that controls a digital function module 20 (hereinafter, DFC module 20), and 3 is a D
A module controller that controls the SS module 30.

【0008】テストシステムコントローラ1は、テスト
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルをモ
ジュールコントローラ2、3にロードした後、ロードし
たオブジェクトファイルをシーケンスナンバーに従って
指定し、モジュールコントローラ2、3を介してDFC
モジュール20とDSSモジュール30を制御する。
The test system controller 1 loads the object file obtained by compiling the test program into the module controllers 2 and 3, specifies the loaded object file in accordance with the sequence number, and sets the DFC through the module controllers 2 and 3.
The module 20 and the DSS module 30 are controlled.

【0009】DFCモジュール20において、21はマ
イクロコードメモリで、例えば、ノーオペレーション
(以下、NOP)、ジャンプ(以下、JUMP)等の動
作プロセスの命令であるマイクロコードが記憶されてい
る。22はデジタルパターンメモリで、DUT40を試
験するデジタルパターンが記憶されていて、アドレス発
生シーケンサ23が指定したアドレスに基づいてデジタ
ルパターンDi(i=1〜n)をDUT40に出力す
る。
In the DFC module 20, a microcode memory 21 stores, for example, microcodes which are instructions for operation processes such as no operation (hereinafter, NOP) and jump (hereinafter, JUMP). 22 is a digital pattern memory, be stored digital patterns for testing the DUT 40, and outputs a digital pattern D i a (i = 1 to n) in the DUT 40 based on the address of the address generation sequencer 23 has specified.

【0010】24はコードメモリで、アドレス発生シー
ケンサ23の出力したアドレスに基づき、DFCモジュ
ール20と同期を取るコード信号S1をDSSモジュー
ル30に出力する。25はステートメモリで、アドレス
発生シーケンサ23の出力したアドレスに基づき、DF
Cモジュール20のテストレート毎の動作を制御するス
テータス信号S2をDSSモジュール30に出力する。
Reference numeral 24 denotes a code memory which outputs a code signal S 1 synchronized with the DFC module 20 to the DSS module 30 based on the address output from the address generation sequencer 23. Reference numeral 25 denotes a state memory, which has a DF based on the address output from the address generation sequencer 23.
The status signal S 2 for controlling the operation of the C module 20 for each test rate is output to the DSS module 30.

【0011】DSSモジュール30において、31はシ
ーケンス発生回路で、コードメモリ24の出力するコー
ド信号S1に基づいてスタートアドレスをアドレス発生
カウンタ32に出力する。アドレス発生カウンタ32
は、シーケンス発生回路31から入力したスタートアド
レスをANDゲート321から入力されるクロックCK2
に基づいてカウントアップし、パターンメモリ33に出
力する。
In the DSS module 30, reference numeral 31 denotes a sequence generation circuit which outputs a start address to an address generation counter 32 based on a code signal S 1 output from a code memory 24. Address generation counter 32
Is the clock CK 2 input from the AND gate 32 1 and the start address input from the sequence generation circuit 31.
And outputs it to the pattern memory 33.

【0012】ANDゲート321は、一方の入力端子に
クロックCK1が入力され、他方の入力端子にステート
メモリからステータスST0が入力されていて、ステー
タスST0がハイレベルになるとゲートが開かれる。
The AND gate 32 1 has one input terminal to which the clock CK 1 is input and the other input terminal to which the status ST 0 is input from the state memory, and opens the gate when the status ST 0 becomes high level. .

【0013】パターンメモリ33は、アドレス発生カウ
ンタ32によって指定されるアドレスに基づき、記憶し
ているデジタルデータDAi(i=1〜n)をD型フリ
ップフロップ34に出力する。D型フリップフロップ3
4は、D端子に入力されるデジタルデータDAiをクロ
ック端子に入力されるクロック信号CK3に基づいて保
持し、Q端子よりデジタル信号DAiとしてDUT40
に出力する。
The pattern memory 33 outputs the stored digital data DA i (i = 1 to n) to the D-type flip-flop 34 based on the address specified by the address generation counter 32. D-type flip-flop 3
4 holds based on the clock signal CK 3 inputted digital data DA i to be inputted to the D terminal to the clock terminal, from the Q terminal as a digital signal DA i DUT 40
Output to

【0014】341はANDゲートで、一方の入力端子
にクロックCK3が入力され、他方の入力端子にステー
トメモリ25からステータスST1が入力されていて、
ステータスST1がハイレベルになるとゲートが開かれ
る。ANDゲート341からのリセット信号S3が入力さ
れると、Dフリップフロップ34は、リセットされ、D
型フリップフロップ34のデータは、DUT40に出力
されなくなる。
Reference numeral 34 1 denotes an AND gate. The clock CK 3 is input to one input terminal, and the status ST 1 is input from the state memory 25 to the other input terminal.
Status ST 1 the gate is opened and becomes a high level. When the reset signal S 3 from the AND gate 34 1 is input, D flip-flop 34 is reset, D
The data of the type flip-flop 34 is not output to the DUT 40.

【0015】尚、クロック信号CK1、3は、クロック信
号CK0を遅延して得た信号で、マイクロコードの出力
からアドレス発生カウンタ32及びD型フリップフロッ
プが動作するまでの時間を考慮して設定される。
The clock signals CK 1 and CK 3 are signals obtained by delaying the clock signal CK 0 and taking into account the time from the output of the microcode to the operation of the address generation counter 32 and the D-type flip-flop. Is set.

【0016】図2は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャートで、(A)はマイクロコードメモ
リの出力するマイクロコード、(B)はアドレス発生シ
ーケンサが出力するアドレス、(C)はコードメモリが
出力するコード信号S1、(D)はステートメモリが出
力するステータスST0、(E)はステートメモリが出
力するステータスST1、(F)はデジタルパターンメ
モリが出力するデジタルパターンDi、(G)はDFC
モジュールの同期を取るクロックCK0、(H)はAN
Dゲートに入力されるクロックCK1、(I)はアドレ
ス発生カウンタに入力されるクロックCK2、(J)は
アドレスカウンタが出力するアドレス、(K)はDSS
のパターンメモリの出力するデジタルデータDAi
(L)はクロックCK3、(M)はD型フリップフロッ
プに入力されるリセット信号S3、(N)はD型フリッ
プフロップより出力されるデジタル信号DAiである。
FIGS. 2A and 2B are time charts for explaining the operation of the LSI tester of the present invention. FIG. 2A shows the microcode output from the microcode memory, FIG. 2B shows the address output from the address generation sequencer, and FIG. code signals S 1 code memory is output, (D) the status ST 0 the state memory is output, (E) the status ST 1 the state memory is output, (F) is a digital pattern D i to the digital pattern memory outputs , (G) is DFC
Clocks CK 0 and (H) for synchronizing modules are AN
The clock CK 1 input to the D gate, (I) is the clock CK 2 input to the address generation counter, (J) is the address output from the address counter, and (K) is DSS.
Digital data DA i output from the pattern memory of
(L) is a clock CK 3, (M) is a reset signal S 3 which is input to the D-type flip-flop, (N) is a digital signal DA i outputted from the D-type flip-flop.

【0017】(1)マイクロコードメモリ21は、クロッ
ク信号CK0の最初の立ち上がりでNOP命令をアドレ
ス発生シーケンサ23に出力する。 (2)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力すると共に、コードメ
モリ24とステートメモリ25に出力する。 (3)デジタルパターンメモリ22は、アドレス発生シー
ケンサ23によって指定されたアドレス“1”に基づ
き、デジタルパターンD1をDUT40に出力する。一
方、コードメモリ24は、アドレス“1”では同期信号
であるコード信号S 1をDSSモジュールに出力しない
ため、DSSモジュール20は同期しない状態にある。
(1) The microcode memory 21
CK signal0NOP instruction at the first rising edge of
Output to the sequence generator 23. (2) The address generation sequencer 23
The address “1” is decoded based on the NOP instruction of the memory 21.
Output to the digital pattern memory 22 and code
Output to the memory 24 and the state memory 25. (3) The digital pattern memory 22 stores the address generation sequence.
Based on the address “1” specified by the
, Digital pattern D1Is output to the DUT 40. one
On the other hand, the code memory 24 stores a synchronization signal at address "1".
Is a code signal S 1Not output to DSS module
Therefore, the DSS module 20 is not synchronized.

【0018】(4)マイクロコードメモリ21は、クロッ
ク信号CK0の2回目の立ち上がりで、再びNOP命令
をアドレス発生シーケンサ23に出力する。 (5)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力すると共に、コードメ
モリ24とステートメモリ25に出力する。 (6)デジタルパターンメモリ22は、アドレス発生シー
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパターンD2をDUT40に出力し、コードメモリ2
4は、アドレス発生シーケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコード#1をDSSモジュール30のシーケ
ンス発生回路31に出力する。そして、ステートメモリ
25は、アドレス発生シーケンサ23の指定したアドレ
スに基づいたステータス信号S2を出力する。この場合
は、ステータスST0“1”がANDゲート321に出力
され、ステータスST1“0”がANDゲート341に出
力される。
[0018] (4) microcode memory 21, in the second rising edge of the clock signal CK 0, and outputs a NOP instruction address generation sequencer 23 again. (5) The address generation sequencer 23 outputs the address “2” to the digital pattern memory 22 and the code memory 24 and the state memory 25 based on the NOP instruction of the microcode memory 21. (6) The digital pattern memory 22 outputs the digital pattern D 2 based on the address “2” specified by the address generation sequencer 23 to the DUT 40, and
4 outputs the code # 1 based on the address specified by the address generation sequencer 23 to the sequence generation circuit 31 of the DSS module 30. The state memory 25 outputs a status signal S 2 based on the specified address of the address generation sequencer 23. In this case, the status ST 0 “1” is output to the AND gate 32 1 , and the status ST 1 “0” is output to the AND gate 34 1 .

【0019】(7)ステータスST0“1”がANDゲート
321に出力されると、ANDゲート321は、ゲートが
開かれ、アドレス発生カウンタ32のクロック端子にク
ロックCK2を出力する。 (8)アドレス発生カウンタ32は、ANDゲート321
ら入力したクロックCK 2により、シーケンサ発生回路
31がコード#1に基づいて出力したスタートアドレス
をパターンメモリ33に出力する。この場合は、スター
トアドレス“10”が出力される。 (9)パターンメモリ33は、アドレス発生カウンタ32
によってアドレス“10”が指定されとデジタルデータ
DA1をD型フリップフロップ34に出力する。 (10)D型フリップフロップ34は、続いてクロック端子
に入力されるクロックCK3に基づき、デジタル信号D
1をDUT40に出力する。
(7) Status ST0"1" is an AND gate
321Is output to the AND gate 321Is the gate
Is opened and the clock terminal of the address generation counter 32 is closed.
Lock CKTwoIs output. (8) The address generation counter 32 is an AND gate 321Or
Clock CK input from TwoThe sequencer generation circuit
31 is the start address output based on code # 1
Is output to the pattern memory 33. In this case, the star
The address "10" is output. (9) The pattern memory 33 stores the address generation counter 32
When the address "10" is specified by
DA1To the D-type flip-flop 34. (10) The D-type flip-flop 34 is connected to the clock terminal
Clock CK input toThreeBased on the digital signal D
A1Is output to the DUT 40.

【0020】(11)次に、マイクロコード21は、クロッ
クCK0の3回目の立ち上がりでNOP命令をアドレス
発生シーケンサ23に出力し、次のサイクルを開始す
る。 (12)アドレス発生シーケンサ23は、マイクロコードメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“3”をデ
ジタルパターンメモリ22に出力し、デジタルパターン
メモリ22はデジタルパターンD3をDUT40に出力
する。 (13)一方、アドレス発生カウンタ32は、ANDゲート
321のクロックによってカウントアップしたアドレス
“11”をパターンメモリ33に出力する。
[0020] (11) Next, the microcode 21 outputs a NOP instruction to the address generation sequencer 23 in the third rising edge of the clock CK 0, to start the next cycle. (12) Address generation sequencer 23, based on the NOP instructions in microcode memory 21, and outputs an address "3" in the digital pattern memory 22, a digital pattern memory 22 outputs a digital pattern D 3 to DUT 40. (13) On the other hand, the address generation counter 32 outputs the address “11” counted up by the clock of the AND gate 32 1 to the pattern memory 33.

【0021】(14)パターンメモリ33は、アドレス発生
カウンタ32によって指定されたアドレス“11”のデ
ジタルデータDA2をD型フリップフロップ34に出力
する。 (15)D型フリップフロップ34は、パターンメモリ33
から入力したデジタルデータDA2をクロック端子に入
力されるクロックCK3に基づきDUT40に出力す
る。 (16)アドレス発生シーケンサ23の出力するアドレスが
“4”になり、ステータスST0が“0”となると、ア
ドレス発生カウンタ32はカウントアップを停止し、パ
ターンメモリ34は、アドレス“11”のままで、イン
クリメントされなくなる。
(14) The pattern memory 33 outputs the digital data DA 2 at the address “11” designated by the address generation counter 32 to the D flip-flop 34. (15) The D-type flip-flop 34 is
The digital data DA 2 input and output to the DUT40 based on the clock CK 3 inputted to the clock terminal from. (16) Output address of the address generation sequencer 23 becomes "4", the status ST 0 is "0", the address generating counter 32 stops counting up, the pattern memory 34 while the address "11" Is no longer incremented.

【0022】(17)アドレス発生シーケンサ23の出力す
るアドレスが“5”になり、ステータスがST1
“1”となると、D型フリップフロップ34は、AND
ゲート341のリセット信号S3によってリセットされ、
DUT40にデータは出力されなくなる。 (18)このように、DSSモジュール30は、ステートメ
モリ25のステータス信号Sによってテストレート毎に
DFCモジュール20と関係をもって制御され、D型フ
リップフロップ34からデジタル信号をDUT40に出
力する。図3は、図2で説明した動作を行う場合のパタ
ーンメモリ33の内容を示した図である。従来のLSI
テスタでは、テストレート毎にデータが必要で、図4に
示すようなアドレスの順番にデジタルデータをパターン
メモリに書き込む必要がある。
[0022] (17) output address of the address generation sequencer 23 becomes "5", when the status ST 1 becomes "1", D-type flip-flop 34, the AND
Reset by the reset signal S 3 of the gate 34 1 ,
Data is no longer output to the DUT 40. (18) As described above, the DSS module 30 is controlled by the status signal S of the state memory 25 in relation to the DFC module 20 for each test rate, and outputs a digital signal from the D-type flip-flop 34 to the DUT 40. FIG. 3 is a diagram showing the contents of the pattern memory 33 when the operation described in FIG. 2 is performed. Conventional LSI
The tester needs data for each test rate, and needs to write digital data to the pattern memory in the order of addresses as shown in FIG.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明のLS
Iテスタは、コード信号で同期の取られたDSSモジュ
ールをステータス信号によってテストレート毎に制御す
るようにしたため、パターンメモリの消費の低減を図る
ことができ、記憶容量の小さなメモリで各種の検査波形
を任意に得ることができる。
As described in detail above, the LS of the present invention
The I tester controls the DSS module synchronized with the code signal at each test rate by the status signal, so that the consumption of the pattern memory can be reduced. Can be obtained arbitrarily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
FIG. 1 is a configuration block diagram of an LSI tester showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャートである。
FIG. 2 is a time chart for explaining the operation of the LSI tester of the present invention.

【図3】図2で説明した動作を行う場合のパターンメモ
リの内容を示した図である。
FIG. 3 is a diagram showing the contents of a pattern memory when the operation described in FIG. 2 is performed.

【図4】従来のLSIテスタのパターンメモリの内容を
示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing the contents of a pattern memory of a conventional LSI tester.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 DFCモジュール 24 コードメモリ 25 ステートメモリ 321、341 ANDゲート20 DFC module 24 Code memory 25 State memory 32 1 , 34 1 AND gate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 - 31/3193 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/28-31/3193

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被測定対象物に出力するアナログ信号と
デジタル信号の発生をモジュール毎に行い、被測定対象
物から入力するアナログ信号とデジタル信号の解析をモ
ジュール毎に行うミックスドシグナルユニットを備える
と共に、被測定対象物との間でデジタルパターン信号を
授受するデジタルファンックションモジュールとを備
え、アナログ回路とデジタル回路が混在する被測定対象
物を検査するLSIテスタにおいて、 前記デジタルファンクションモジュールのアドレス発生
シーケンサの出力するアドレスに基づき、前記ミックス
ドシグナルユニットの信号発生側と同期を取るコード信
号を前記ミックスドシグナルユニットのシーケンス発生
回路に出力するコードメモリと、 前記コード信号に基づいて前記シーケンス発生回路がア
ドレスカウンタに出力したアドレスのカウント制御を行
うと共に、このアドレスカウンタの指定するアドレスに
基づいてパターンメモリが出力するデータの制御を行う
ステータス信号を出力するステートメモリと、 を設け、前記コード信号によって各モジュール間の同期
を取ると共に、前記ステータス信号によって前記デジタ
ルファンクションモジュールと前記ミックスドシグナル
ユニットをテストレート毎に関係づけて制御することを
特徴としたLSIテスタ。
1. A mixed signal unit for generating an analog signal and a digital signal to be output to an object to be measured for each module and analyzing an analog signal and a digital signal input from the object to be measured for each module. A digital function module for transmitting and receiving a digital pattern signal to and from the object to be measured; and A code memory for outputting a code signal synchronized with a signal generation side of the mixed signal unit to a sequence generation circuit of the mixed signal unit based on an address output from the generation sequencer; and generating the sequence based on the code signal. Circuit is address A state memory for controlling the count of the address output to the counter and outputting a status signal for controlling data output from the pattern memory based on the address specified by the address counter; and An LSI tester which synchronizes the digital function module and the mixed signal unit with each other at each test rate according to the status signal.
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