JPH05107307A - Lsi tester - Google Patents

Lsi tester

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JPH05107307A
JPH05107307A JP3271246A JP27124691A JPH05107307A JP H05107307 A JPH05107307 A JP H05107307A JP 3271246 A JP3271246 A JP 3271246A JP 27124691 A JP27124691 A JP 27124691A JP H05107307 A JPH05107307 A JP H05107307A
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JP
Japan
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analog
digital
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code
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Takeshi Mihara
猛 見原
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To accurately measure an LSI on which analog circuits are mingled with digital circuits by synchronously controlling a digital module and an analog module at high speed and accurately. CONSTITUTION:In an LSI tester in which a digital module and an analog module are controlled by separate controllers, a high rank test system controller 1 for loading a test program in the controller, a module controller 2 for controlling the digital module 20, and a module controller 3 for controlling the analog module 30 are provided. Furthermore, a code memory 24 for outputting code which synchronizes the analog module 30 based on the address of an address generator in the digital module 20 and a sequence generating circuit 31 for specifying an address to an address generator in the analog module 30 on the basis of the code in a code memory 24 are provided. The digital module 20 is designed to be synchronized with the analog module 30.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSIを測定するLSIテスタに関
し、更に詳しくは、デジタルモジュ−ルとアナログモジ
ュ−ルとを高速にかつ正確に同期して制御し、アナログ
回路とデジタル回路の混載したLSIを精度良く測定す
ることができるLSIテスタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LSI tester for measuring an LSI in which an analog circuit and a digital circuit are mounted together, and more specifically, it synchronizes a digital module and an analog module at high speed and accurately. The present invention relates to an LSI tester capable of controlling and accurately measuring an LSI in which an analog circuit and a digital circuit are mounted together.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のLSIテスタは、共通のシ−ケン
スアドレスバスを介して接続されたデジタルモジュ−ル
とアナログモジュ−ルとを一台のコントロ−ラによって
制御し、アナログ回路とデジタル回路が混載したLSI
を測定するようになっている。
2. Description of the Related Art A conventional LSI tester controls a digital module and an analog module, which are connected via a common sequence address bus, by a single controller, and controls the analog circuit and the digital circuit. LSI mixed with
Is designed to measure.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、一台のコントロ−ラによってデジタルモジ
ュ−ルとアナログモジュ−ルとを制御しているために、
高速に処理をすることができないという欠点を有してい
た。
SUMMARY OF THE INVENTION Such a conventional LS
Since the I tester controls the digital module and the analog module by one controller,
It has a drawback that it cannot be processed at high speed.

【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、2台のコントロ−ラによって別々にデジタルモ
ジュ−ルとアナログモジュ−ルとの制御を可能にしたも
ので、デジタルパタ−ンのアドレス発生器のシ−ケンス
の変更を、デジタルモジュ−ルに設けたコ−ドメモリに
よってアナログモジュ−ルに伝達し、短時間でデジタル
モジュ−ルとアナログモジュ−ルの同期をとって検査を
行うことができるLSIテスタを提供することを目的と
している。
The present invention has been made in view of the above points, and it is possible to separately control a digital module and an analog module by two controllers, and a digital pattern is provided. The change of the address generator sequence is transmitted to the analog module by the code memory provided in the digital module, and the digital module and the analog module are synchronized in a short time for inspection. The object is to provide an LSI tester capable of performing the above.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、異なったコントロ−ラによってデ
ジタルモジュ−ルとアナログモジュ−ルが制御されるL
SIテスタにおいて、前記コントロ−ラにテストプログ
ラムをロ−ドする上位のテストシステムコントロ−ラ
と、前記デジタルモジュ−ルのアドレス発生器のアドレ
スに基づき、前記アナログモジュ−ルと同期をとるコ−
ドを出力するコ−ドメモリと、このコ−ドメモリのコ−
ドに基づいて前記アナログモジュ−ルのアドレス発生器
にアドレスを指定するシ−ケンス発生回路と、を設け、
前記デジタルモジュ−ルと前記アナログモジュ−ルとが
同期するようにしたことを特徴としている。
In order to achieve such an object, the present invention provides an L in which a digital module and an analog module are controlled by different controllers.
In the SI tester, a higher-level test system controller that loads a test program to the controller and a caller that synchronizes with the analog module based on the address of the address generator of the digital module.
The code memory that outputs the code and the code of this code memory
A sequence generation circuit for designating an address to the address generator of the analog module based on the
It is characterized in that the digital module and the analog module are synchronized with each other.

【0006】[0006]

【作用】本発明のLSIテスタは、デジタルモジュ−ル
側に設けたコ−ドメモリがアナログモジュ−ルに出力す
るコ−ドによって、二つの異なるコントロ−ラで制御さ
れるアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ルの同期を
取るようにしている。
In the LSI tester of the present invention, the code memory provided on the digital module side outputs the analog module to the analog module, and the analog module and the digital module are controlled by two different controllers. I am trying to synchronize the modules.

【0007】[0007]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明
する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテスタの
構成ブロック図である。図中、1は装置全体の制御を司
どるテストシステムコントロ−ラ、2はデジタルモジュ
−ル20を制御するモジュ−ルコントロ−ラ、3はアナ
ログモジュ−ル30を制御するモジュ−ルコントロ−ラ
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration block diagram of an LSI tester showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a test system controller for controlling the entire apparatus, 2 is a module controller for controlling a digital module 20, and 3 is a module controller for controlling an analog module 30. is there.

【0008】テストシステムコントロ−ラ1は、テスト
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルを各
モジュ−ルコントロ−ラ2,3にロ−ドし、各モジュ−
ルコントロ−ラ2,3は、ロ−ドされたオブジェクトフ
ァイルからテストシステムコントロ−ラ1の指定するシ
−ケンスナンバ−に従ってコントロ−ルデ−タをデジタ
ルモジュ−ル20とアナログモジュ−ル30に出力す
る。
The test system controller 1 loads an object file obtained by compiling a test program to each of the module controllers 2 and 3 and then loads each module.
The controller 2 or 3 outputs the control data from the loaded object file to the digital module 20 and the analog module 30 according to the sequence number specified by the test system controller 1. .

【0009】デジタルモジュ−ル20において、21は
マイクロコ−ドメモリで、例えばノ−オペレ−ション
(以下、NOPという)、ジヤンプ(以下、JUMPと
いう)等のマイクロコ−ドが記憶される。22はDUT
40を試験するデジタルパタ−ンが記憶されているデジ
タルパタ−ンメモリで、アドレス発生シ−ケンサ23が
指定したアドレスに基づいて検査信号をDUT40に出
力する。24はコ−ドメモリで、アドレス発生シ−ケン
サ23の出力したアドレスに基づき、デジタルモジュ−
ル20と同期をとるコ−ドをアナログモジュ−ル30に
出力する。
In the digital module 20, a microcode memory 21 stores microcodes such as no operation (hereinafter referred to as NOP) and jump (hereinafter referred to as JUMP). 22 is a DUT
A digital pattern memory in which a digital pattern for testing 40 is stored, and a test signal is output to the DUT 40 based on the address designated by the address generation sequencer 23. The code memory 24 is a digital module based on the address output from the address generation sequencer 23.
A code synchronized with the module 20 is output to the analog module 30.

【0010】アナログモジュ−ル30において、31、
32はシ−ケンス発生回路で、コ−ドメモリ24の出力
するコ−ドに応じ、記憶していたスタ−トアドレスとス
トップアドレスをアドレス発生カウンタ33、34に出
力する。アドレス発生カウンタ33、34は、シ−ケン
ス発生回路が指定するスタ−トアドレスからストップア
ドレスまでアドレスをワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。ア
ナログパタ−ンメモリ35、36は、アドレス発生カウ
ンタ33、34によって指定されたアドレスに基づいて
記憶しているパタ−ンデ−タを出力する。
In the analog module 30, 31,
A sequence generation circuit 32 outputs the stored start address and stop address to the address generation counters 33 and 34 in accordance with the code output from the code memory 24. The address generation counters 33 and 34 count up the address from the start address designated by the sequence generation circuit to the stop address one count at a time and output it to the analog pattern memories 35 and 36. The analog pattern memories 35 and 36 output the pattern data stored based on the addresses designated by the address generation counters 33 and 34.

【0011】尚、アナログパタ−ンメモリ35のパタ−
ンデ−タは、そのままDUT40に出力され、アナログ
パタ−ンメモリ36のパタ−ンデ−タは、DA変換器3
7を介してDUT40に出力される。
Incidentally, the pattern of the analog pattern memory 35.
The data is output to the DUT 40 as it is, and the pattern data of the analog pattern memory 36 is the DA converter 3.
It is output to the DUT 40 via 7.

【0012】図2は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャ−トで、(A)はマイクロコ−ドメモ
リ21の出力するマイクロコ−ド、(B)はアドレス発
生シ−ケンサ23が出力するアドレス、(C)はコ−ド
メモリ24が出力するコ−ド、(D)はデジタルモジュ
−ル20の同期をとるクロック信号CLK、(E)はデ
ジタルパタ−ンメモリ22の出力するデジタルパタ−
ン、(F)はアナログパタ−ンメモリ35、36の出力
するアナログパタ−ンである。
2A and 2B are time charts for explaining the operation of the LSI tester of the present invention. FIG. 2A shows the microcode output from the microcode memory 21, and FIG. 2B shows the address generation sequencer 23. The address to be output, (C) is the code output from the code memory 24, (D) is the clock signal CLK for synchronizing the digital module 20, and (E) is the digital pattern output from the digital pattern memory 22. −
And (F) are analog patterns output from the analog pattern memories 35 and 36.

【0013】(1) マイクロコ−ドメモリ21は、クロッ
ク信号CLKの入力によって、NOP命令をアドレス発
生シ−ケンサ23に出力する。 (2) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (3) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“1”に基づいてデジタ
ルパタ−ンD1 をDUT40に出力する。
(1) The microcode memory 21 outputs a NOP instruction to the address generation sequencer 23 in response to the input of the clock signal CLK. (2) The address generation sequencer 23 outputs the address "1" to the digital pattern memory 22 and the code memory 24 based on the NOP instruction of the microcode memory 21. (3) The digital pattern memory 22 has an address generation
The digital pattern D1 is output to the DUT 40 based on the address "1" designated by the counter 23.

【0014】(4) マイクロコ−ドメモリ21は、次のク
ロック信号CLKで再びNOP命令をアドレス発生シ−
ケンサ23に出力する。 (5) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (6) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパタ−ンD2 をDUT40に出力し、コ−ドメモリ2
4は、アドレス発生シ−ケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコ−ド#1をアナログモジュ−ル30のシ−
ケンサ発生回路31、32に出力する。 (7) アナログモジュ−ル30は、シ−ケンサ発生回路3
1、32のデ−タに基づいてアナログパタ−ンをアナロ
グパタ−ンメモリ35から出力する。 (8) 以後、それぞれのNOP命令、JUMP命令につい
て(1) 〜(7) のプロセスが繰り返される。
(4) The microcode memory 21 again generates the NOP instruction with the next clock signal CLK.
It outputs to the Kensa 23. (5) The address generation sequencer 23 outputs the address "2" to the digital pattern memory 22 and the code memory 24 based on the NOP instruction of the microcode memory 21. (6) The digital pattern memory 22 uses the address generation
The digital pattern D2 based on the address "2" designated by the counter 23 is output to the DUT 40, and the code memory 2
Reference numeral 4 designates the code # 1 based on the address designated by the address generation sequencer 23 as the sequence of the analog module 30.
It outputs to the frequency generation circuits 31 and 32. (7) The analog module 30 is a sequencer generation circuit 3
An analog pattern is output from the analog pattern memory 35 based on the data 1 and 32. (8) After that, the processes of (1) to (7) are repeated for each NOP instruction and JUMP instruction.

【0015】図3は、アナログモジュ−ル側の動作説明
図で、アナログパタ−ンメモリの構成とアドレスとの関
係を示したものである。尚、図中の番号は、図1で示し
た構成に対応したものである。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation on the analog module side, and shows the relationship between the structure of the analog pattern memory and the address. The numbers in the figure correspond to the configuration shown in FIG.

【0016】シ−ケンサ発生回路31、32は、コ−ド
メモリ24によってコ−ド#1が指定されると、アドレ
ス発生カウンタ33、34にスタ−トアドレスn1 とス
トップアドレスn2 を指定する。アドレス発生カウンタ
33、34は、アドレスをシ−ケンス発生回路31、3
2によって指定されたスタ−トアドレスn1 からストッ
プアドレスn2 までワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。
When the code memory 24 designates the code # 1, the sequencer generation circuits 31 and 32 designate the start address n1 and the stop address n2 to the address generation counters 33 and 34, respectively. The address generation counters 33 and 34 generate the address sequence generation circuits 31 and 3, respectively.
It counts up by one count from the start address n1 designated by 2 to the stop address n2 and outputs it to the analog pattern memories 35 and 36.

【0017】アナログパタ−ンメモリ35、36は、ア
ドレス発生カウンタ33、34のアドレスに基づいて、
パタ−ンデ−タをDUT40に出力する。このように、
コ−ド#2においても同様なプロセスが繰り返される。
The analog pattern memories 35 and 36, based on the addresses of the address generation counters 33 and 34,
The pattern data is output to the DUT 40. in this way,
A similar process is repeated for code # 2.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明のL
SIテスタは、デジタルモジュ−ル側に設けられたコ−
ドメモリのコ−ドによってアナログモジュ−ルとデジタ
ルモジュ−ルの同期を取っているので、二つのコントロ
−ラによってアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ル
を制御する場合であっても、精度良く、かつ高速に同期
を取ることができる。このため、LSIの測定を高速に
高精度で行うことができる。
As described above in detail, the L of the present invention
The SI tester is a cord provided on the digital module side.
Since the analog module and the digital module are synchronized by the code of the memory, even when the analog module and the digital module are controlled by the two controllers, the accuracy is high. And it can synchronize at high speed. Therefore, LSI measurement can be performed at high speed and with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
FIG. 1 is a configuration block diagram of an LSI tester showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャ−トである。
FIG. 2 is a time chart explaining the operation of the LSI tester of the present invention.

【図3】アナログモジュ−ル側の動作の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of an operation on the analog module side.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 テストシステムコントロ−ラ 2、3 モジュ−ルコントロ−ラ 20 デジタルモジュ−ル 24 コ−ドメモリ 30 アナログモジュ−ル 31,32 シ−ケンス発生回路 40 DUT 1 Test System Controller 2, 3 Module Controller 20 Digital Module 24 Code Memory 30 Analog Module 31, 32 Sequence Generation Circuit 40 DUT

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 異なったコントロ−ラによってデジタル
モジュ−ルとアナログモジュ−ルが制御されるLSIテ
スタにおいて、 前記コントロ−ラにテストプログラムをロ−ドする上位
のテストシステムコントロ−ラと、 前記デジタルモジュ−ルのアドレス発生器のアドレスに
基づき、前記アナログモジュ−ルと同期をとるコ−ドを
出力するコ−ドメモリと、 このコ−ドメモリのコ−ドに基づいて前記アナログモジ
ュ−ルのアドレス発生器にアドレスを指定するシ−ケン
ス発生回路と、 を設け、前記デジタルモジュ−ルと前記アナログモジュ
−ルとが同期するようにしたことを特徴としたLSIテ
スタに関する。
1. An LSI tester in which a digital module and an analog module are controlled by different controllers, an upper test system controller which loads a test program to the controller, and A code memory for outputting a code synchronized with the analog module based on the address of the address generator of the digital module, and a code memory for the analog module based on the code of the code memory. A sequence test circuit for designating an address in an address generator is provided so that the digital module and the analog module are synchronized with each other.
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