JPS61234377A - Analog lsi tester - Google Patents

Analog lsi tester

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JPS61234377A
JPS61234377A JP60075957A JP7595785A JPS61234377A JP S61234377 A JPS61234377 A JP S61234377A JP 60075957 A JP60075957 A JP 60075957A JP 7595785 A JP7595785 A JP 7595785A JP S61234377 A JPS61234377 A JP S61234377A
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latch
delay
memory
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Yokogawa Electric Corp
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31903Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
    • G01R31/31908Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
    • G01R31/3191Calibration

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Abstract

PURPOSE:To enable the adjustment of a system delay, by correcting the system delay with the adjustment of multi-phase clocks to bring the results of the comparison between data to be measured and an expected value into a memory along with a pattern data and an address data. CONSTITUTION:A multi-phase clock generation circuit 61 receives a system base clock CLK to generate a multi-phase clock by delaying the base clock properly. A group 62 of delay latches with the delay value adjustable is made up of a group of multi-stage delay latches, for instance, to latch address data and pattern data at the timing of a clock C1, shifted to the latching at the next stage by a clock C2 and finally, it is latched by a clock C3. Thus, address data and pattern data can be sent from the time of the clock C1 to the time of the clock C3 to output. The latch data at the final stage is taken into a latch 63 at the timing of the clock C4. The results of comparison are inputted into a latch 66 from a timing module of the clock C4.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はアナログLSI試験装置に関し、特にアナログ
LSIの機能試験において、被測定デバイスから出力さ
れるデータを期待値データと比較しその比較結果に基づ
き被測定デバイスの良否を判別すると共に比較結果に応
じて新たに次の試験用のパターンデータを選択して出力
する機能を有するフェイルメモリ装置の改良に関するも
のである。
Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to an analog LSI test device, and in particular, in a functional test of an analog LSI, data output from a device under test is compared with expected value data, and the results of the comparison are used. The present invention relates to an improvement of a fail memory device having a function of determining the quality of a device under test based on the comparison result, and selecting and outputting new pattern data for the next test according to the comparison result.

(従来の技術) 従来より、コンピュータを援用し、アナログLSIの動
作異常を検査するアナログLSI試験装置がある。第4
図はこの種のアナログLSI試験装置の一例を示す概念
的構成図である。図において、コンピュータを含む主制
御装置1は複数の副制御装置2+ + 22 + + 
+ 2nを制御する。各副制御装置は各種のモジュール
41 + 42 + + r 4mと接続される(副制
御装置2I以外の副制m装置に接続されるモジュールに
ついては図示を省略しである。)。このモジュールには
、被測定デバイスが搭載されるテストヘッド5が接続さ
れる。
(Prior Art) Conventionally, there has been an analog LSI testing device that utilizes a computer to test abnormalities in the operation of an analog LSI. Fourth
The figure is a conceptual configuration diagram showing an example of this type of analog LSI testing device. In the figure, a main control device 1 including a computer has a plurality of sub-control devices 2 + + 22 + +
+2n control. Each sub-control device is connected to various modules 41 + 42 + + r 4m (modules connected to sub-control devices other than the sub-control device 2I are not shown). A test head 5 on which a device under test is mounted is connected to this module.

副制御装置には操作者が必要な指令を入力するためのオ
ペレータ・ターミナル3が接続される。
An operator terminal 3 through which an operator inputs necessary commands is connected to the sub-control device.

この様な構成においては、主制御装置1にて所望の試験
プログラムを走行させ、副制御装置及びモジュール経由
で被測定デバイスへ所定のパターンデータを与え、その
後に生じたデータを取込むことができるようになってお
り、試験結果等は表示装置7に適宜表示できるようにな
っている。
In such a configuration, it is possible to run a desired test program in the main controller 1, give predetermined pattern data to the device under test via the sub-control device and module, and then import the data generated thereafter. The test results and the like can be displayed on the display device 7 as appropriate.

′ 副制御装置21は、次のような機能を有するフェイ
ルメモリ装置を有している。づなわち、主制御装置1で
実行されるプログラムに従って、モジュールを介して被
測定デバイスへ所定のパターンデータを出力し、その後
モジュールを介して被測定デバイスから入力されるデー
タを取込み、そのデータを期待値と比較し、比較結果を
前記パターンデータ及びそのパターンデータが格納され
ているアドレスと共にメモリに記憶する。また同時に、
比較結果に応じて次に出力するパターンデータを決定す
る。
' The sub-control device 21 has a fail memory device having the following functions. That is, according to the program executed by the main controller 1, predetermined pattern data is output to the device under test via the module, and then data input from the device under test is imported via the module. It is compared with an expected value, and the comparison result is stored in a memory together with the pattern data and the address where the pattern data is stored. At the same time,
The pattern data to be output next is determined according to the comparison result.

(発明が解決しようとする問題点) この場合、被測定デバイスに対してパターンデータを与
えてから出力データを受取るまでには無視できない遅れ
時間がある。測定対象の応答時間の遅れの分については
実行するプログラム側でデータの入出力の時間間隔を合
せておくことができるが、試験装置側での遅れの時間(
システムディレィという)は装置内で調整する必要があ
った。
(Problems to be Solved by the Invention) In this case, there is a non-negligible delay time between when pattern data is given to the device under test and when output data is received. Regarding the delay in response time of the measurement target, the data input/output time interval can be adjusted on the executing program side, but the delay time on the test equipment side (
system delay) had to be adjusted within the device.

しかしながら、この様なシステムディレィの調整は一般
に困難であり、また副制御装置の種類が異なる都度微妙
で煩雑な調整が必要であるという欠点があった。
However, it is generally difficult to adjust the system delay as described above, and there is a drawback that delicate and complicated adjustments are required each time the type of sub-control device changes.

本発明の目的は、この様な欠点を解消するもので、シス
テムディレィを簡単で安価な構成によって簡単に調整す
ることができるフェイルメモリ装置を備えたアナログL
SI試験装置を提供することにある。
The object of the present invention is to eliminate such drawbacks, and to provide an analog L with a fail memory device that allows system delay to be easily adjusted with a simple and inexpensive configuration.
Our purpose is to provide SI test equipment.

この様な目的を達成するために本発明では、装置に設け
られた基本クロックに時間遅延(可変)をか(プて、多
相のクロックを生成する手段と、パターンデータとその
データ格納アドレスをラッチする多段のディレィラッチ
手段と、測定データと期待値データとの比較結果(良否
データ)並びに前記ディレィラッチ手段を経由して与え
られるパターンデータ及びそのデータ格納アドレスとを
蓄えるメモリとを具備し、前記多相のクロックをrlI
整してシステムディレィを補正し、前記比較結果、パタ
ーンデータ及びアドレスを同相でラッチしメモリに取込
むことができるようにしたことを特徴とする。
In order to achieve such an object, the present invention provides a means for generating a multi-phase clock by applying a time delay (variable) to the basic clock provided in the device, and a means for generating a multi-phase clock, and a means for generating a multi-phase clock, and pattern data and its data storage address. comprising a multistage delay latch means for latching, and a memory for storing comparison results (pass/fail data) between measured data and expected value data, pattern data given via the delay latch means, and the data storage address; The multiphase clock is rlI
The present invention is characterized in that the comparison result, pattern data, and address can be latched in the same phase and taken into the memory by correcting the system delay.

(実施例) 以下図面を用いて本発明の詳細な説明する。第1図は本
発明に係るアナログLSI試験装置の7工イルメモリ装
置部分の一実施例を示す構成図である。同図において、
21はパターンメモリで、予めパターンデータが設定さ
れており、バス20を介して図示しないCPUから指定
されるアドレスのパターンデータを出力する。22はフ
ォーマツタ回路で、パターンメモリ21の出力データを
モジュール41に適したデータ型式に変換するものであ
る。フォーマツタ回路22の出力はドライバ23を介し
てモジュール41に加えられる。
(Example) The present invention will be described in detail below using the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a 7-ile memory device portion of an analog LSI testing apparatus according to the present invention. In the same figure,
A pattern memory 21 has pattern data set in advance, and outputs pattern data at an address designated by a CPU (not shown) via the bus 20. A formatter circuit 22 converts the output data of the pattern memory 21 into a data format suitable for the module 41. The output of formatter circuit 22 is applied to module 41 via driver 23.

24は入出力切替用データを格納したメモリで、このメ
モリから出力されるデータをドライバ23に与え、その
出力を制御している。
A memory 24 stores input/output switching data, and provides data output from this memory to the driver 23 to control its output.

25は期待値メモリで、測定データに対する期待値を記
憶したメモリである。26は比較器で、モジュール41
をから得られる測定データと期待値メモリ25のデータ
を比較し、期待値内に納まれば良、期待値を越える場合
は不良という良否結果を得るものである。
Reference numeral 25 denotes an expected value memory, which stores expected values for measured data. 26 is a comparator, module 41
The measured data obtained from the above are compared with the data in the expected value memory 25, and a pass/fail result is obtained: if it falls within the expected value, it is acceptable, and if it exceeds the expected value, it is defective.

27はディレィ調整回路で、比較器26の比較結果、パ
ターンアドレス、パターンデータ等をメモリに格納する
際に必要なシステムディレィの補正を行うものである。
27 is a delay adjustment circuit that corrects the system delay necessary when storing the comparison result of the comparator 26, pattern address, pattern data, etc. in the memory.

更に詳しくは、後述する。More details will be described later.

28はパターンアドレス及びパターンデータを記憶する
メモリ、29は上述した比較結果を記憶しておくメモリ
である。これらのメモリはバス20に接続されていて、
CPtJがアクセスできるようになっている。
28 is a memory for storing pattern addresses and pattern data, and 29 is a memory for storing the above-mentioned comparison results. These memories are connected to bus 20,
CPtJ can access it.

第2図にディレィ調整回路27の一実施例とその周辺回
路の一部を示す。同図において、61は多相タロツク生
成回路で、本装置のシステム基本クロックCLKを受け
、このクロックを適宜遅延して多相のクロックを生成す
る。ここでは4相(C+ 、C2、C3、C4)の場合
を例示する。
FIG. 2 shows an embodiment of the delay adjustment circuit 27 and part of its peripheral circuits. In the figure, 61 is a multiphase tarlock generation circuit which receives the system basic clock CLK of this device, delays this clock as appropriate, and generates a multiphase clock. Here, a case of four phases (C+, C2, C3, C4) is illustrated.

62はディレィ量が調整可能なディレィラッチ群で、例
えば多段ディレィラッチ群で構成され、アドレスデータ
及びパターンデータをクロックC1のタイミングでラッ
チし、クロックC2で次段のラッチに移し、クロックC
3で最終段にラッチする。このようにしてアドレスデー
タ及びパターンデータをクロックC1の時点からクロッ
クC3の時点まで送らせて出力することができる。この
最終段のラッチデータは、クロックC4のタイミングで
ラッチ63に取込まれる。またラッチ66にはクロック
C4のタイミングでモジュールからの比較結果が取込ま
れる。
Reference numeral 62 denotes a delay latch group whose delay amount can be adjusted, for example, a multi-stage delay latch group, which latches address data and pattern data at the timing of clock C1, transfers them to the next stage latch at clock C2, and latches them at clock C2.
3 to latch to the final stage. In this way, address data and pattern data can be sent and output from the time of clock C1 to the time of clock C3. This final stage latch data is taken into the latch 63 at the timing of clock C4. Furthermore, the comparison result from the module is taken into the latch 66 at the timing of the clock C4.

64はクロックC4あるいはストローブST’RBによ
って動作するカウンタである。65はクロックC4を受
けてメモリ書込み用のストローブ5TRBを作るストロ
ーブ生成回路である。このストローブ生成回路のストロ
ーブ発生の起動、停止は、カウンタ64の出力により制
御される。このストローブ5TRBにより、メモリ28
にはレジスタ63のデータが、またメモリ29にはレジ
スタ66のデータが書込まれるようになっている。
64 is a counter operated by clock C4 or strobe ST'RB. 65 is a strobe generation circuit that receives the clock C4 and generates a strobe 5TRB for memory writing. Starting and stopping of strobe generation by this strobe generating circuit is controlled by the output of the counter 64. This strobe 5TRB allows the memory 28
The data in the register 63 is written into the memory 29, and the data in the register 66 is written into the memory 29.

この様な構成における動作を第3図のタイムチャートを
参照して次に説明する。なお、ここでは本発明が特徴と
するディレーに係わる部分の動作についてのみ述べる。
The operation in such a configuration will be explained next with reference to the time chart of FIG. Note that only the operation related to the delay, which is a feature of the present invention, will be described here.

多相クロック発生器61は第3図の(イ)に示す基本ク
ロックCLKを受けて同図(ロ)ないしくホ)に示す4
相のクロックを生成する。ディレィ時間DL+ 、DL
2 、DLi、DLiは装置に合せて調整することがで
きる。
The multiphase clock generator 61 receives the basic clock CLK shown in (a) of FIG.
Generate phase clocks. Delay time DL+, DL
2, DLi, DLi can be adjusted according to the device.

ディレィラッチ群62はバス20経出で与えられるパタ
ーンアドレスとパターンデータ(第3図の(へ))をク
ロックC1のタイミングで初段のラッチにラッチする。
The delay latch group 62 latches the pattern address and pattern data ((f) in FIG. 3) given via the bus 20 into the first stage latch at the timing of the clock C1.

次のクロックC2で次段のラッチに移り、クロックC3
で最終段のラッチに送られる。
At the next clock C2, it moves to the next stage latch, and clock C3
is sent to the final stage latch.

次のクロックC4の立上がりのタイミングで、ディレィ
ラッチ群62の出力がラッチ63に、また比較結果がラ
ッチ66に取込まれる。一方、カウンタ64は、クロッ
クC4を受けてストローブ生成回路65にストローブ発
生を起動する制御信号を送る。ストローブ生成回路65
はこの制御信号を受けた後クロックCLKに同期したタ
イミングで出力を゛′Lパレベルに落す。この出力によ
り、カウンタ64の出力は、ストローブ生成回路65の
ストローブ発生を停止させる制御信号に変る。
At the timing of the next rise of clock C4, the output of delay latch group 62 is taken into latch 63, and the comparison result is taken into latch 66. On the other hand, counter 64 receives clock C4 and sends a control signal to start strobe generation to strobe generation circuit 65. Strobe generation circuit 65
After receiving this control signal, it drops its output to the 'L' level at a timing synchronized with the clock CLK. This output changes the output of the counter 64 into a control signal that causes the strobe generation circuit 65 to stop strobe generation.

このようにして第3図(チ)のようなストローブ5TR
Bが発生し、この5TRBによりメモリ28及び29に
各ラッチ63及び66のデータが格納される。すなわち
、メモリ28には、クロックC7の立上がりのタイミン
グでラッチしたパターンアドレスとパターンデータ(第
3図(へ))が書込まれ、メモリ2つにはクロックC4
の立上がりのタイミングでラッチした比較結果(第3図
(ト))が書込まれる。
In this way, the strobe 5TR as shown in FIG.
B is generated, and the data of each latch 63 and 66 is stored in the memories 28 and 29 by this 5TRB. That is, the pattern address and pattern data (see FIG. 3) latched at the rising timing of the clock C7 are written into the memory 28, and the memory 28 is written with the clock C4.
The latched comparison result (FIG. 3(G)) is written at the rising edge of .

このようなディレィ手法により、第3図に示されるよう
に、パターンデータ発生後から比較結果を取込むまでの
間のシステムディレィD L sが補′正される。
With such a delay method, as shown in FIG. 3, the system delay D L s from generation of pattern data to acquisition of comparison results is corrected.

この様な構成のフェイルメモリ装置を使用すれば、こと
なる装置でシステムディレィが変った場合でも、このフ
ェイルメモリ装置内の多相夕ロッり生成回路のディレィ
量を調節するのみで、容易にシステムディレィを補正す
ることができる。
If you use a fail memory device with such a configuration, even if the system delay changes with different devices, you can easily adjust the system by simply adjusting the delay amount of the multiphase delay generation circuit in the fail memory device. Delay can be corrected.

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、一つの基本クロ
ックから多相のクロックを作り、各クロックの位相を調
節することにより、システムディレィを補正して、被測
定データと期待値との比較結果を、当該パターンを発生
した時のパターンアドレス及びパターンデータと共にフ
ェイルメモリに取込むことができる。本発明の構成によ
れば、システムディレィの調整が簡単である他、ディレ
ィ調整手段が安価に構成できるという利点がある。
(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, a multi-phase clock is created from one basic clock and the phase of each clock is adjusted, thereby correcting the system delay and matching the data under measurement. The result of the comparison with the expected value can be taken into the fail memory together with the pattern address and pattern data when the pattern was generated. According to the configuration of the present invention, there are advantages in that the system delay can be easily adjusted and the delay adjustment means can be constructed at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係るアナログLSI試験装置の7工イ
ルメモリ装置部分の一実施例を示す構成図、第2図はデ
ィレィ調整回路の一実施例を説明するための図、第3図
は動作を説明するためのタイムチャート、第4図は従来
のアナログLSI試験装置の一例を示す概念的構成図で
ある。 1・・・主制御装置、21〜2n・・・副制御装置、4
1〜4m・・・モジュール、5・・・テストヘッド、6
・・・被測定デバイス、20・・・バス、21・・・パ
ターンメモリ、22・・・フォーマツタ、23・・・ド
ライバ、24.28.29・・・メモリ、25・・・期
待値メモリ、26・・・比較器、27・・・ディレィ調
整回路、61・・・多相クロック発生器、62・・・デ
ィレィラッチ群、63.66・・・ラッチ、64・・・
カウンタ、65・・・ストローブ生成回路。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a 7-way memory device portion of an analog LSI testing device according to the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining an embodiment of a delay adjustment circuit, and FIG. 3 is an operation diagram. FIG. 4 is a conceptual block diagram showing an example of a conventional analog LSI test device. 1... Main control device, 21-2n... Sub-control device, 4
1~4m...Module, 5...Test head, 6
...Device under test, 20...Bus, 21...Pattern memory, 22...Formatter, 23...Driver, 24.28.29...Memory, 25...Expected value memory, 26... Comparator, 27... Delay adjustment circuit, 61... Multiphase clock generator, 62... Delay latch group, 63. 66... Latch, 64...
Counter, 65... Strobe generation circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 コンピュータを援用し、試験結果に応じて内部状態を切
換えながら被測定デバイスを試験するための所定のプロ
グラムを実行し、被測定デバイスの機能の良否を判定す
ることのできるアナログLSI試験装置において、 被測定デバイスに与えるデータパターンが蓄えられてい
るパターンメモリと、 測定データに対応する期待値が予め蓄えられている期待
値メモリと、 被測定データからの測定データを受け、前記期待値メモ
リからの当該期待値とを比較し、良否結果を出力する比
較器と、 基本クロックからそれぞれ位相の異なる多相のクロック
を生成すると共にその各位相が調整可能に構成された多
相クロック発生器と、 前記多相のクロックにより入力データをシフトする多段
のラッチを有し、パターンデータ及びその格納アドレス
を多相クロックに従つて時間遅延して出力するディレイ
ラッチ手段と、 前記ディレイラッチ手段を経由して出力されるデータパ
ターン及びその格納アドレスを前記多相クロックに同期
して取込むラッチと、 前記比較器からの比較結果を前記多相クロックに同期し
て取込むラッチと、 前記各ラッチの内容を記憶するメモリと、 を具備し、システムディレイを前記多相クロックの位相
を調整することにより補正できるようにしたことを特徴
とするアナログLSI試験装置。
[Claims] An analog device that uses a computer to execute a predetermined program for testing a device under test while switching its internal state according to the test results, and determines whether the device under test is functioning properly. The LSI test equipment includes: a pattern memory in which data patterns to be applied to the device under test are stored; an expected value memory in which expected values corresponding to the measured data are stored in advance; A comparator that compares the expected value from the expected value memory and outputs a pass/fail result, and a multiphase clock that generates multiphase clocks with different phases from the basic clock and is configured so that each phase can be adjusted. a generator; a delay latch means having a multistage latch that shifts input data using the multiphase clock, and outputting pattern data and its storage address with a time delay according to the multiphase clock; and the delay latch means. a latch that captures the data pattern and its storage address output via the multiphase clock in synchronization with the multiphase clock; a latch that captures the comparison result from the comparator in synchronization with the multiphase clock; An analog LSI testing device comprising: a memory for storing the contents of a latch, and capable of correcting a system delay by adjusting the phase of the multiphase clock.
JP60075957A 1985-04-10 1985-04-10 Analog lsi tester Granted JPS61234377A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458168A (en) * 1990-06-27 1992-02-25 Fujitsu Ltd Circuit simulation testing device and testing method for semiconductor integrated circuit of same device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0458168A (en) * 1990-06-27 1992-02-25 Fujitsu Ltd Circuit simulation testing device and testing method for semiconductor integrated circuit of same device

Also Published As

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JPH0585875B2 (en) 1993-12-09

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