JP2546066Y2 - Waveform generator - Google Patents

Waveform generator

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JP2546066Y2
JP2546066Y2 JP1864291U JP1864291U JP2546066Y2 JP 2546066 Y2 JP2546066 Y2 JP 2546066Y2 JP 1864291 U JP1864291 U JP 1864291U JP 1864291 U JP1864291 U JP 1864291U JP 2546066 Y2 JP2546066 Y2 JP 2546066Y2
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JP
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data
delay
output
delay circuit
flop
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永樹 荒沢
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、例えばLSIテスタの
波形発生装置に関し、更に詳しくは、フォ−マットの切
り替えに対してもタイミング精度良く、デジタルパルス
波形をDUT(被検査対象デバイス)に出力することが
できる波形発生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waveform generator for, for example, an LSI tester, and more specifically, outputs a digital pulse waveform to a DUT (device under test) with high timing accuracy even when a format is switched. The present invention relates to a waveform generator capable of performing the above.

【0002】[0002]

【従来の技術】LSIテスタは、パタ−ンアドレスに従
って測定信号をLSIに与え、LSIからこの測定信号
に基づいて出力された応答信号を期待値とリアルタイム
に比較してLSIの良否を判定している。従来、この測
定信号を得る方式には、パ−ピン方式とシェア−ドリソ
−ス方式がある。シェア−ドリソ−ス方式は、各ピン毎
に設けられているフォマッタ回路に全体で共用するタイ
ミング発生器の信号を切り替えて出力するため、タイミ
ング発生器の切り替え時に測定信号に遅延誤差が生じ
る。しかるに、パ−ピン方式は、LSIのピン毎にタイ
ミング発生器とフォマッタ回路を設けているため、シェ
ア−ドリソ−ス方式に比べ正確なタイミング信号を得る
ことができる。
2. Description of the Related Art An LSI tester gives a measurement signal to an LSI according to a pattern address, and compares a response signal output from the LSI based on the measurement signal with an expected value in real time to judge the quality of the LSI. I have. Conventionally, there are two methods for obtaining the measurement signal: a pinned type and a shared source type. In the share-dos-source method, since a signal of a timing generator shared by the entirety is switched and output to a formatter circuit provided for each pin, a delay error occurs in a measurement signal when the timing generator is switched. However, in the per-pin system, since a timing generator and a formatter circuit are provided for each pin of the LSI, a more accurate timing signal can be obtained as compared with the shared-source system.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】このような従来のパ−
ピン方式のLSIテスタの波形発生装置は、タイミング
発生器をピン毎に別個に設けているにもかかわらず、タ
イミング発生器とフォマッタ回路を別々に設けているた
めに、フォマットの切り替え時に遅延誤差を生じるの
で、補正のためにディレイラインを設ける必要があっ
た。
[Problems to be solved by the present invention]
In the pin-type LSI tester waveform generator, although the timing generator is provided separately for each pin, the timing generator and the formatter circuit are provided separately. Therefore, it was necessary to provide a delay line for correction.

【0004】本考案は、このような点に鑑みてなされた
もので、タイミング発生器とフォマッタの動作を一体化
するようにしたもので、フォマットの変更に対しても精
度良く立ち上がり/立ち下がりのタイミングを設定する
ことができる波形発生装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of such a point, and is to integrate the operation of the timing generator and the formatter, so that the rising / falling of the format can be accurately performed even when the format is changed. It is an object of the present invention to provide a waveform generator capable of setting timing.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本考案は、パタ−ンデ−タとフォ−マットデ
−タに基づいて任意にデジタルパルス波形を発生する波
形発生装置であって、前記フォ−マットデ−タ毎に遅延
時間のデ−タが記憶されているタイミングセットメモリ
と、前記パタ−ンデ−タと前記フォ−マットデ−タに基
づいて起動/停止され、前記タイミングセットメモリか
らロ−ドされたデ−タによって前記フォ−マットデ−タ
によって指定される出力波形の立ち上がり/立ち下がり
のタイミングを遅延する第1、第2の遅延回路と、この
第1の遅延回路のパルス信号の出力によってセットさ
れ、前記第2の遅延回路のパルス信号の出力によってリ
セットされるフリップフロップと、を設け、前記フリッ
プフロップから目的とするデジタルパルス波形を得るこ
とを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a waveform generator for arbitrarily generating a digital pulse waveform based on pattern data and format data. A timing set memory storing delay time data for each of the format data; and a start / stop based on the pattern data and the format data; First and second delay circuits for delaying the rising / falling timing of the output waveform specified by the format data by the data loaded from the timing set memory; and the first delay And a flip-flop that is set by the output of the pulse signal of the circuit and reset by the output of the pulse signal of the second delay circuit. It is characterized by obtaining a digital pulse waveform.

【0006】[0006]

【作用】本考案の各構成要素は、次のような作用をす
る。タイミングセットメモリは、遅延時間のデ−タがフ
ォマッタデ−タ毎に記憶されている。第1、第2の遅延
回路は、フォマットデ−タとテストレ−ト信号によって
起動/停止され、タイミングセットメモリからロ−ドさ
れる遅延時間のデ−タに基づいて、パルス信号をフリッ
プフロップに出力する。フリップフロップは、第1の遅
延回路の出力によってセットされ、第2の遅延回路の出
力によってリセットされる。
The components of the present invention operate as follows. The timing set memory stores delay time data for each formatter data. The first and second delay circuits are started / stopped by the format data and the test rate signal, and output a pulse signal to the flip-flop based on the delay time data loaded from the timing set memory. I do. The flip-flop is set by the output of the first delay circuit and reset by the output of the second delay circuit.

【0007】[0007]

【実施例】以下図面を用いて、本考案の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本考案の一実施例を示す波形発生
装置の構成ブロック図である。図中、1はパタ−ンメモ
リで、パタ−ンアドレスAD1 に基づいて、パタ−ンデ
−タD1 とフォ−マットデ−タD2 をコントロ−ラ2に
出力する。コントロ−ラ2は、テストレ−ト信号S1 に
よってラッチしたパタ−ンメモリ2のデ−タによって第
1の遅延回路3と第2の遅延回路4を起動/停止する。
第1の遅延回路3は、遅延したパルス信号をRSフリッ
プフロップ5のセット端子Sに出力し、第2の遅延回路
4は、遅延したパルス信号をRSフリップフロップ5の
セット端子Sに出力する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a waveform generator according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a pattern memory which outputs pattern data D1 and format data D2 to a controller 2 based on a pattern address AD1. The controller 2 activates / deactivates the first delay circuit 3 and the second delay circuit 4 according to the data of the pattern memory 2 latched by the test rate signal S1.
The first delay circuit 3 outputs the delayed pulse signal to the set terminal S of the RS flip-flop 5, and the second delay circuit 4 outputs the delayed pulse signal to the set terminal S of the RS flip-flop 5.

【0008】第1、第2の遅延回路3、4は、クロック
発生器31、41とディレイライン32、42で構成さ
れていて、クロック発生器31、32が基準クロックC
Kを分解能とした時間で遅延時間を設定し、ディレイラ
イン32、42がクロック発生器31、32の分解能以
下を更に設定する。尚、遅延時間は、クロック発生器を
2重に設けることでサイクルを越えて設定することがで
きる。
The first and second delay circuits 3 and 4 are composed of clock generators 31 and 41 and delay lines 32 and 42, respectively.
The delay time is set by the time using K as the resolution, and the delay lines 32 and 42 further set the resolution below the resolution of the clock generators 31 and 32. The delay time can be set over a cycle by providing a double clock generator.

【0009】6はタイミングセットメモリで、NRZ
(Non Retrun to Zero)、RZ(Retrun to Zero)、R
O(Retrun to one )等の遅延時間のデ−タが記憶され
ていて、第1、第2の遅延回路3、4に入力されるフォ
−マットデ−タD2 毎にこのデ−タを切り替えて出力す
る(図4参照)。
Reference numeral 6 denotes a timing set memory, NRZ
(Non Retrun to Zero), RZ (Retrun to Zero), R
Delay time data such as O (Retrun to one) is stored, and the data is switched for each format data D2 input to the first and second delay circuits 3 and 4. Output (see FIG. 4).

【0010】図2は、図1のコントロ−ラ2を抽出して
示した構成ブロック図である。尚、コントロ−ラ2に入
力されるパタ−ンデ−タD1 は、1ビットで入力され、
フォマッタデ−タD2 は、2ビットで入力される。41
はOR回路で、一方の入力端にはパタ−ンデ−タD1 が
入力され、他方の入力端にはフォ−マットデ−タD2 の
上位ビットD2Mが入力されている。42は第1のD型フ
リップフロップで、OR回路41の出力信号S2 がD端
子に入力されていて、クロック端子に入力されるテスト
レ−ト信号S1 によって、Q出力を第1の遅延回路に出
力する。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the controller 2 extracted from FIG. The pattern data D1 input to the controller 2 is input in 1 bit.
The formatter data D2 is input in two bits. 41
Is an OR circuit. The pattern data D1 is input to one input terminal, and the upper bit D2M of the format data D2 is input to the other input terminal. Reference numeral 42 denotes a first D-type flip-flop. The output signal S2 of the OR circuit 41 is input to the D terminal, and the Q output is output to the first delay circuit in response to the test rate signal S1 input to the clock terminal. I do.

【0011】43はAND回路で、一方の入力端には反
転されたフォ−マットデ−タD2 の上位ビットD2Mが入
力され、他方の入力端にはフォ−マットデ−タD2 の下
位ビットD2Lが入力されている。44はOR回路で、一
方の入力端にはAND回路44の出力信号が入力され、
他方の入力端にはインバ−タ45で反転されたパタ−ン
デ−タD1 が入力されている。46は第2のD型フリッ
プフロップで、OR回路44の出力信号S3 がD端子に
入力されていて、クロック端子に入力されるテストレ−
ト信号S1 によって、Q出力を第2の遅延回路に出力す
る。尚、コントロ−ラは、ハ−ドウェアシ−ケンサを用
い、クロック発生器のロ−ド、カウント、ストップを制
御するようにしてもよい。
Reference numeral 43 denotes an AND circuit. One input terminal receives the upper bit D2M of the inverted format data D2, and the other input terminal receives the lower bit D2L of the format data D2. Have been. An OR circuit 44 has one input terminal to which an output signal of the AND circuit 44 is input.
The pattern data D1 inverted by the inverter 45 is input to the other input terminal. Reference numeral 46 denotes a second D-type flip-flop in which the output signal S3 of the OR circuit 44 is input to the D terminal and the test signal input to the clock terminal.
The Q output is output to the second delay circuit in response to the trigger signal S1. The controller may use a hardware sequencer to control the load, count, and stop of the clock generator.

【0012】図3は、コントロ−ラの出力によって第
1、第2の遅延回路が起動/停止される状態を示した真
理値表であり、図4は、その時の波形図である。尚、図
中の○は動作可能な状態を示し、★は動作不能の状態を
示し、―は不定の状態を示している。また、ta は速い
方の遅延時間の設定値を示し、tb は遅い方の遅延時間
の設定値を示している。
FIG. 3 is a truth table showing a state where the first and second delay circuits are started / stopped by the output of the controller, and FIG. 4 is a waveform chart at that time. In the figure, ○ indicates an operable state, ★ indicates an inoperable state, and-indicates an undefined state. Also, ta indicates the set value of the faster delay time, and tb indicates the set value of the slower delay time.

【0013】図5は、本考案の波形発生装置の動作を説
明するためのタイムチャ−トで、フォマットデ−タがN
RZ〜RO〜RZの順で与えられた場合について説明し
たものである。図中、(a)は周期Tのテストレ−ト信
号S1 、(b)はフォマットデ−タD2 、(c)はパタ
−ンデ−タD1 、(d)は第1の遅延回路からの出力信
号S4 、(e)は第2の遅延回路からの出力信号S5 、
(f)はRSフリップフロップから出力される波形S6
である。尚、t1 〜5 は、タイミングメモリから各遅延
回路3、4にロ−ドされる遅延時間のデ−タである。
FIG. 5 is a time chart for explaining the operation of the waveform generator according to the present invention, in which the format data is N.
This is a description of a case where the values are given in the order of RZ to RO to RZ. In the figure, (a) is a test rate signal S1 having a period T, (b) is format data D2, (c) is pattern data D1, and (d) is an output signal from the first delay circuit. S4, (e) is the output signal S5 from the second delay circuit,
(F) is a waveform S6 output from the RS flip-flop.
It is. Incidentally, t1 to t5 are data of delay times loaded from the timing memory to the delay circuits 3 and 4.

【0014】(1) コントロ−ラ2は、テストレ−ト信号
S1 の立ち上がりによって、入力されているNRZのフ
ォ−マットデ−タD2 と“1”のパタンデ−タD1 をデ
コ−ドする。 (2) この結果、第1の遅延回路3は、起動となる。 (3) 第1の遅延回路3は、起動と共に取り込んだパタ−
ンデ−タD1 の“1”とタイミングセットメモリ6から
ロ−ドされている遅延時間のデ−タに基づいて、遅延時
間t1後にパルス信号S4 をRSフリップフロップ5の
S端子に出力する。
(1) The controller 2 decodes the input NRZ format data D2 and the pattern data D1 of "1" at the rise of the test rate signal S1. (2) As a result, the first delay circuit 3 is activated. (3) The first delay circuit 3 uses the pattern captured at the time of startup.
Based on "1" of the data D1 and the data of the delay time loaded from the timing set memory 6, a pulse signal S4 is output to the S terminal of the RS flip-flop 5 after a delay time t1.

【0015】(4) 続いて、コントロ−ラ2にROのフォ
マットデ−タD2 と“0”のパタ−ンデ−タD1 が入力
される。 (5) コントロ−ラ2は、次に入力されるテストレ−ト信
号S1 によって、第1、第2の遅延回路3、4を起動と
する。 (6) 第2の遅延回路4は、起動と共に取り込んだパタ−
ンデ−タD1 の“0”とタイミングセットメモリ6から
ロ−ドされている遅延時間tのデ−タに基づいて、遅延
時間t2 後にパルス信号S5 をRSフリップフロップ5
のR端子に出力する。
(4) Subsequently, the format data D2 of the RO and the pattern data D1 of "0" are input to the controller 2. (5) The controller 2 activates the first and second delay circuits 3 and 4 in response to the next input test rate signal S1. (6) The second delay circuit 4 uses the pattern captured at the time of activation.
Based on "0" of the data D1 and the data of the delay time t loaded from the timing set memory 6, the pulse signal S5 is supplied to the RS flip-flop 5 after the delay time t2.
To the R terminal.

【0016】(7) 一方、第1の遅延回路3は、起動と共
に取り込んだパタ−ンデ−タの“0”とタイミングセッ
トメモリ6からロ−ドされている遅延時間のデ−タに基
づいて、遅延時間t3 後にパルス信号S4 をRSフリッ
プフロップ5のS端子に出力する。 (8) 以後、RZのフォマットデ−タD2 についても同様
な動作が繰り返される。 尚、テストレ−ト信号S1
は、基準クロック信号CKと同期していて、整数倍の関
係、例えば基準クロック信号の周期1nsec に対し20
nsec の周期の繰り返しになっている。
(7) On the other hand, the first delay circuit 3 is based on "0" of the pattern data taken together with the start-up and the delay time data loaded from the timing set memory 6. Then, after a delay time t3, the pulse signal S4 is output to the S terminal of the RS flip-flop 5. (8) Thereafter, the same operation is repeated for the RZ format data D2. The test rate signal S1
Is synchronous with the reference clock signal CK, and has a relationship of an integral multiple, for example, 20 to a reference clock signal period of 1 nsec.
The cycle is nsec.

【0017】[0017]

【考案の効果】以上詳細に説明したように本考案の波形
発生装置は、タイミング発生器とフォマッタの動作を一
体化するようにしたもので、フォマットの変更にかかわ
らず、デジタルパルス波形の立ち上がり/立ち下がりの
タイミングを精度良く設定することができる。また、基
準クロック信号によって遅延回路が制御されているた
め、遅延時間の校正が容易である。
As described in detail above, the waveform generator of the present invention integrates the operation of the timing generator and the formatter. Fall timing can be set accurately. Further, since the delay circuit is controlled by the reference clock signal, the calibration of the delay time is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案の一実施例を示す波形発生装置の構成ブ
ロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a waveform generator according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のコントロ−ラ2を抽出して示した構成図
である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a controller 2 extracted from FIG. 1;

【図3】コントロ−ラの出力によって第1、第2の遅延
回路が起動/停止される状態を示した真理値表である。
FIG. 3 is a truth table showing a state in which first and second delay circuits are started / stopped by an output of a controller.

【図4】フォマットごとに示した波形図である。FIG. 4 is a waveform diagram for each format.

【図5】本考案の波形発生装置の動作を説明するための
タイムチャ−トである。
FIG. 5 is a time chart for explaining the operation of the waveform generator of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パタ−ンメモリ 2 コントロ−ラ 3 第1の遅延回路 4 第2の遅延回路 5 RSフリップフロップ 6 タイミングセットメモリ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pattern memory 2 Controller 3 First delay circuit 4 Second delay circuit 5 RS flip-flop 6 Timing set memory

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 パタ−ンデ−タとフォ−マットデ−タに
基づいて任意にデジタルパルス波形を発生する波形発生
装置であって、前記フォ−マットデ−タ毎に遅延時間の
デ−タが記憶されているタイミングセットメモリと、前
記パタ−ンデ−タと前記フォ−マットデ−タに基づいて
起動/停止され、前記タイミングセットメモリからロ−
ドされたデ−タによって前記フォ−マットデ−タによっ
て指定される出力波形の立ち上がり/立ち下がりのタイ
ミングを遅延する第1、第2の遅延回路と、この第1の
遅延回路のパルス信号の出力によってセットされ、前記
第2の遅延回路のパルス信号の出力によってリセットさ
れるフリップフロップと、を設け、前記フリップフロッ
プから目的とするデジタルパルス波形を得ることを特徴
とした波形発生装置。
1. A waveform generator for arbitrarily generating a digital pulse waveform based on pattern data and format data, wherein data of delay time is provided for each format data. It is started / stopped based on the stored timing set memory, the pattern data and the format data, and is loaded from the timing set memory.
First and second delay circuits for delaying rising / falling timings of output waveforms specified by the format data according to the input data, and output of a pulse signal of the first delay circuit. And a flip-flop that is set by the second delay circuit and reset by the output of the pulse signal of the second delay circuit, and obtains a target digital pulse waveform from the flip-flop.
JP1864291U 1991-03-26 1991-03-26 Waveform generator Expired - Lifetime JP2546066Y2 (en)

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