JPH0585875B2 - - Google Patents

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JPH0585875B2
JPH0585875B2 JP60075957A JP7595785A JPH0585875B2 JP H0585875 B2 JPH0585875 B2 JP H0585875B2 JP 60075957 A JP60075957 A JP 60075957A JP 7595785 A JP7595785 A JP 7595785A JP H0585875 B2 JPH0585875 B2 JP H0585875B2
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JP
Japan
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clock
data
latch
delay
memory
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JP60075957A
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Japanese (ja)
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JPS61234377A (en
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Takeshi Mihara
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31903Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
    • G01R31/31908Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
    • G01R31/3191Calibration

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はアナログLSI試験装置に関し、特にア
ナログLSIの機能試験において、被測定デバイス
から出力されるデータを期待値データと比較しそ
の比較結果に基づき被測定デバイスの良否を判別
すると共に比較結果に応じて新たに次の試験用の
パターンデータを選択して出力する機能を有する
フエイルメモリ装置の改良に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an analog LSI test device, and in particular, in a functional test of an analog LSI, data output from a device under test is compared with expected value data, and the comparison result is The present invention relates to an improvement of a fail memory device having a function of determining the quality of a device under test based on the comparison result and selecting and outputting new pattern data for the next test according to the comparison result.

(従来の技術) 従来より、コンピユータを援用し、アナログ
LSIの動作異常を検査するアナログLSI試験装置
がある。第4図はこの種のアナログLSI試験装置
の一例を示す概念的構成図である。図において、
コンピユータを含む主制御装置1は複数の副制御
装置21,22,,,2oを制御する。各副制御装置
は各種のモジユール41,42,,,4mと接続され
る(副制御装置21以外の副制御装置に接続され
るモジユールについては図示を省略してある。)。
このモジユールには、被測定デバイスが搭載され
るテストヘツド5が接続される。副制御装置には
操作者が必要な指令を入力するためのオペレー
タ・ターミナル3が接続される。
(Conventional technology) Traditionally, computers have been used to
There is analog LSI testing equipment that tests for abnormalities in LSI operation. FIG. 4 is a conceptual configuration diagram showing an example of this type of analog LSI test equipment. In the figure,
A main control device 1 including a computer controls a plurality of sub-control devices 2 1 , 2 2 , , 2 o . Each sub-control device is connected to various modules 4 1 , 4 2 , . . . 4m (modules connected to sub-control devices other than the sub-control device 2 1 are not shown).
A test head 5 on which a device under test is mounted is connected to this module. An operator terminal 3 through which an operator inputs necessary commands is connected to the sub-control device.

この様な構成においては、主制御装置1にて所
望の試験プログラムを走行させ、副制御装置及び
モジユール経由で被測定デバイスへ所定のパター
ンデータを与え、その後に生じたデータを取込む
ことができるようになつており、試験結果等は表
示装置7に適宜表示できるようになつている。
In such a configuration, it is possible to run a desired test program in the main controller 1, apply predetermined pattern data to the device under test via the sub-control device and module, and then import the data generated thereafter. The test results and the like can be displayed on the display device 7 as appropriate.

副制御装置21は、次のような機能を有するフ
エイルメモリ装置を有している。すなわち、主制
御装置1で実行されるプログラムに従つて、モジ
ユールを介して被測定デバイスへ所定のパターン
データを出力し、その後モジユールを介して被測
定デバイスから入力されるデータを取込み、その
データを期待値と比較し、比較結果を前記パター
ンデータ及びそのパターンデータが格納されてい
るアドレスと共にメモリに記憶する。また同時
に、比較結果に応じて次に出力するパターンデー
タを決定する。
The sub-control device 2 1 has a fail memory device having the following functions. That is, according to the program executed by the main controller 1, predetermined pattern data is output to the device under test via the module, and then data input from the device under test is input via the module. It is compared with an expected value, and the comparison result is stored in a memory together with the pattern data and the address where the pattern data is stored. At the same time, pattern data to be output next is determined according to the comparison result.

(発明が解決しようとする問題点) この場合、被測定デバイスに対してパターンデ
ータを与えてから出力データを受取るまでには無
視できない遅れ時間がある。測定対象の応答時間
の遅れの分については実行するプログラム側でデ
ータの入出力の時間間隔を合せておくことができ
るが、試験装置側での遅れの時間(システムデイ
レイという)は装置内で調整する必要があつた。
(Problems to be Solved by the Invention) In this case, there is a non-negligible delay time between when pattern data is given to the device under test and when output data is received. The delay in the response time of the measurement target can be adjusted by adjusting the data input/output time interval on the executing program, but the delay on the test equipment side (called system delay) can be adjusted within the equipment. I needed to.

しかしながら、この様なシステムデイレイの調
整は一般に困難であり、また副制御装置の種類が
異なる都度微妙で煩雑な調整が必要であるという
欠点があつた。
However, such system delay adjustment is generally difficult, and there is a drawback that delicate and complicated adjustment is required each time the type of sub-control device changes.

本発明の目的は、この様な欠点を解消するもの
で、システムデイレイを簡単で安価な構成によつ
て簡単に調整することができるフエイルメモリ装
置を備えたアナログLSI試験装置を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an analog LSI test device equipped with a fail memory device that can easily adjust the system delay with a simple and inexpensive configuration.

この様な目的を達成するために本発明では、 装置に設けられた基本クロツクに時間遅延(可
変)をかけて、多相のクロツクを生成する手段
と、 パターンデータとそのデータ格納アドレスをラ
ツチする多段のデイレイラツチ手段と、 測定データと期待値データとの比較結果(良否
データ)並びに前記デイレイラツチ手段を経由し
て与えられるパターンデータ及びそのデータ格納
アドレスとを蓄えるメモリとを具備し、前記多相
のクロツクを調整してシステムデイレイを補正
し、前記比較結果、パターンデータ及びアドレス
を同相でラツチしメモリに取込むことができるよ
うにしたことを特徴とする。
In order to achieve such an object, the present invention includes means for generating a multiphase clock by applying a time delay (variable) to the basic clock provided in the device, and latching pattern data and its data storage address. It is equipped with a multi-stage delay latch means, and a memory for storing comparison results (pass/fail data) between measured data and expected value data, as well as pattern data given via the delay latch means and the data storage address. The present invention is characterized in that the system delay is corrected by adjusting the phase clock, and the comparison result, pattern data, and address can be latched in the same phase and taken into the memory.

(実施例) 以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。第
1図は本発明に係るアナログLSI試験装置のフエ
イルメモリ装置部分の一実施例を示す構成図であ
る。同図において、21はパターンメモリで、予
めパターンデータが設定されており、バス20を
介して図示しないCPUから指定されるアドレス
のパターンデータを出力する。22はフオーマツ
タ回路で、パターンメモリ21の出力データをモ
ジユール41に適したデータ型式に変換するもの
である。フオーマツタ回路22の出力はドライバ
23を介してモジユール41に加えられる。
(Example) The present invention will be explained in detail below using the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a fail memory device portion of an analog LSI testing apparatus according to the present invention. In the figure, a pattern memory 21 has pattern data set in advance, and outputs pattern data at an address specified by a CPU (not shown) via a bus 20. A formatter circuit 22 converts the output data of the pattern memory 21 into a data format suitable for the module 41 . The output of the formatter circuit 22 is applied to the module 4 1 via a driver 23 .

24は入出力切替用データを格納したメモリ
で、このメモリから出力されるデータをドライバ
23に与え、その出力を制御している。
A memory 24 stores input/output switching data, and provides data output from this memory to the driver 23 to control its output.

25は期待値メモリで、測定データに対する期
待値を記憶したメモリである。26は比較器で、
モジユール41から得られる測定データと期待値
メモリ25のデータを比較し、期待値内に納まれ
ば良、期待値を越える場合は不良という良否結果
を得るものである。
Reference numeral 25 denotes an expected value memory, which stores expected values for measured data. 26 is a comparator,
The measured data obtained from the module 41 is compared with the data in the expected value memory 25, and a pass/fail result is obtained: if it falls within the expected value, it is acceptable, and if it exceeds the expected value, it is defective.

27はデイレイ調整回路で、比較器26の比較
結果、パターンアドレス、パターンデータ等をメ
モリに格納する際に必要なシステムデイレイの補
正を行うものである。更に詳しくは、後述する。
Reference numeral 27 denotes a delay adjustment circuit that corrects the system delay necessary when storing the comparison results of the comparator 26, pattern addresses, pattern data, etc. in the memory. More details will be described later.

28はパターンアドレス及びパターンデータを
記憶するメモリ、29は上述した比較結果を記憶
しておくメモリである。これらのメモリはバス2
0に接続されていて、CPUがアクセスできるよ
うになつている。
28 is a memory for storing pattern addresses and pattern data, and 29 is a memory for storing the above-mentioned comparison results. These memories are on bus 2
It is connected to 0 and can be accessed by the CPU.

第2図にデイレイ調整回路27の一実施例とそ
の周辺回路の一部を示す。同図において、61は
多相クロツク生成回路で、本装置のシステム基本
クロツクCLKを受け、このクロツクを適宜遅延
して多相のクロツクを生成する。ここでは4相
(C1,C2,C3,C4)の場合を例示する。62はデ
イレイ量が調整可能なデイレイラツチ群で、例え
ば多段デイレイラツチ群で構成され、アドレスデ
ータ及びパターンデータをクロツクC1のタイミ
ングでラツチし、クロツクC2で次段のラツチに
移し、クロツクC3で最終段にラツチする。この
ようにしてアドレスデータ及びパターンデータを
クロツクC1の時点からクロツクC3の時点まで送
らせて出力することができる。この最終段のラツ
チデータは、クロツクC4のタイミングでラツチ
63に取込まれる。またラツチ66にはクロツク
C4のタイミングでモジユールからの比較結果が
取込まれる。
FIG. 2 shows an embodiment of the delay adjustment circuit 27 and part of its peripheral circuits. In the figure, 61 is a multiphase clock generation circuit which receives the system basic clock CLK of this device, delays this clock as appropriate, and generates a multiphase clock. Here, a case of four phases (C 1 , C 2 , C 3 , C 4 ) will be exemplified. Reference numeral 62 denotes a delay latch group whose delay amount can be adjusted. For example, it is composed of a multi-stage delay latch group, which latches address data and pattern data at the timing of clock C1 , transfers them to the next stage latch at clock C2 , and then latches them at clock C2. 3 latches to the final stage. In this way, the address data and pattern data can be sent and output from the time of clock C1 to the time of clock C3 . This final stage latch data is taken into latch 63 at the timing of clock C4 . Also, the latch 66 has a clock.
The comparison results from the module are imported at timing C4 .

64はクロツクC4あるいはストローブSTRB
によつて動作するカウンタである。65はクロツ
クC4を受けてメモリ書込み用のストローブ
STRBを作るストローブ生成回路である。このス
トローブ生成回路のストローブ発生の起動、停止
は、カウンタ64の出力により制御される。この
ストローブSTRBにより、メモリ28にはレジス
タ63のデータが、またメモリ29にはレジスタ
66のデータが書込まれるようになつている。
64 is clock C4 or strobe STRB
This is a counter that operates based on . 65 is a strobe for memory writing in response to clock C4
This is a strobe generation circuit that creates STRB. Starting and stopping of strobe generation by this strobe generating circuit is controlled by the output of the counter 64. This strobe STRB causes the data in the register 63 to be written into the memory 28 and the data in the register 66 to be written into the memory 29.

この様な構成における動作を第3図のタイムチ
ヤートを参照して次に説明する。なお、ここでは
本発明が特徴とするデイレーに係わる部分の動作
についてのみ述べる。多相クロツク発生器61は
第3図のイに示す基本クロツクCLKを受けて同
図ロないしホに示す4組のクロツクを生成する。
デイレイ時間DL1,DL2,DL3,DL4は装置に合
せて調整することができる。
The operation in such a configuration will be explained below with reference to the time chart of FIG. Note that only the operation related to the delay, which is a feature of the present invention, will be described here. The multiphase clock generator 61 receives the basic clock CLK shown in FIG. 3A and generates four sets of clocks shown in FIG.
The delay times DL 1 , DL 2 , DL 3 , and DL 4 can be adjusted according to the device.

デイレイラツチ群62はバス20経由で与えら
れるパターンアドレスとパターンデータ(第3図
のヘ)をクロツクC1のタイミングで初段のラツ
チにラツチする。次のクロツクC2で次段のラツ
チに移り、クロツクC3で最終段のラツチに送ら
れる。
The delay latch group 62 latches the pattern address and pattern data (FIG. 3) applied via the bus 20 to the first stage latch at the timing of the clock C1 . The next clock C2 moves to the next stage latch, and the clock C3 sends it to the final stage latch.

次のクロツクC4の立上がりのタイミングで、
デイレイラツチ群62の出力がラツチ63に、ま
た比較結果がラツチ66に取込まれる。一方、カ
ウンタ64は、クロツクC4を受けてストローブ
生成回路65にストローブ発生を起動する制御信
号を送る。ストローブ生成回路65はこの制御信
号を受けた後クロツクCLKに同期したタイミン
グで出力を“L”レベルに落す。この出力によ
り、カウンタ64の出力は、ストローブ生成回路
65のストローブ発生を停止させる制御信号に変
る。
At the next rising edge of clock C4 ,
The output of delay latch group 62 is loaded into latch 63, and the comparison result is loaded into latch 66. On the other hand, the counter 64 receives the clock C4 and sends a control signal to the strobe generation circuit 65 to start strobe generation. After receiving this control signal, the strobe generation circuit 65 lowers its output to the "L" level in synchronization with the clock CLK. This output changes the output of the counter 64 into a control signal that causes the strobe generation circuit 65 to stop strobe generation.

このようにして第3図チのようなストローブ
STRBが発生し、このSTRBによりメモリ28及
び29に各ラツチ63及び66のデータが格納さ
れる。すなわち、メモリ28には、クロツクC1
の立上がりのタイミングでラツチしたパターンア
ドレスとパターンデータ(第3図ヘ)が書込ま
れ、メモリ29にはクロツクC4の立上がりのタ
イミングでラツチした比較結果(第3図ト)が書
込まれる。
In this way, a strobe like the one shown in Figure 3
STRB is generated and the data of each latch 63 and 66 is stored in memories 28 and 29 by this STRB. That is, the memory 28 contains the clock C 1
The latched pattern address and pattern data (FIG. 3) are written at the rising timing of clock C4, and the comparison result (FIG. 3 ) latched at the rising timing of clock C4 is written into the memory 29.

このようなデイレイ手法により、第3図に示さ
れるように、パターンデータ発生後から比較結果
を取込むまでの間のシステムデイレイDLSか補正
される。
With such a delay method, as shown in FIG. 3, the system delay DLS from generation of pattern data to acquisition of comparison results is corrected.

この様な構成のフエイルメモリ装置を使用すれ
ば、ことなる装置でシステムデイレイが変つた場
合でも、このフエイルメモリ装置内の多相クロツ
ク生成回路のデイレイ量を調節するのみで、容易
にシステムデイレイを補正することができる。
If a fail memory device with such a configuration is used, even if the system delay changes in different devices, the system delay can be easily corrected by simply adjusting the delay amount of the multiphase clock generation circuit within the fail memory device. be able to.

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、一つの
基本クロツクから多相のクロツクを作り、各クロ
ツクの位相を調節することにより、システムデイ
レイを補正して、被測定データと期待値との比較
結果を、当該パターンを発生した時のパターンア
ドレス及びパターンデータと共にフエイルメモリ
に取込むことができる。本発明の構成によれば、
システムデイレイの調整が簡単である他、デイレ
イ調整手段が安価に構成できるという利点があ
る。
(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, a multi-phase clock is created from one basic clock and the phase of each clock is adjusted to correct the system delay and match the data under measurement. The result of the comparison with the expected value can be taken into the fail memory together with the pattern address and pattern data when the pattern was generated. According to the configuration of the present invention,
In addition to being able to easily adjust the system delay, there are advantages in that the delay adjustment means can be constructed at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係るアナログLSI試験装置の
フエイルメモリ装置部分の一実施例を示す構成
図、第2図はデイレイ調整回路の一実施例を説明
するための図、第3図は動作を説明するためのタ
イムチヤート、第4図は従来のアナログLSI試験
装置の一例を示す概念的構成図である。 1……主制御装置、21〜2n……副制御装置、
1〜4m……モジユール、5……テストヘツド、
6……被測定デバイス、20……バス、21……
パターンメモリ、22……フオーマツタ、23…
…ドライバ、24,28,29……メモリ、25
……期待値メモリ、26……比較器、27……デ
イレイ調整回路、61……多相クロツク発生器、
62……デイレイラツチ群、63,66……ラツ
チ、64……カウンタ、65……ストローブ生成
回路。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the fail memory device portion of the analog LSI test equipment according to the present invention, FIG. 2 is a diagram illustrating an embodiment of the delay adjustment circuit, and FIG. 3 explains the operation. FIG. 4 is a conceptual configuration diagram showing an example of a conventional analog LSI test device. 1... Main control device, 2 1 to 2n... Sub control device,
4 1 to 4m...Module, 5...Test head,
6...Device under test, 20...Bus, 21...
Pattern memory, 22...formatsuta, 23...
...Driver, 24, 28, 29...Memory, 25
... Expected value memory, 26 ... Comparator, 27 ... Delay adjustment circuit, 61 ... Multiphase clock generator,
62...Delay latch group, 63, 66...Latch, 64...Counter, 65...Strobe generation circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 コンピユータを援用し、試験結果に応じて内
部状態を切換えながら被測定デバイスを試験する
ための所定のプログラムを実行し、被測定デバイ
スの機能の良否を判定することのできるアナログ
LSI試験装置において、 被測定デバイスに与えるデータパターンが蓄え
られているパターンメモリと、 測定データに対応する期待値が予め蓄えられて
いる期待値メモリと、 被測定デバイスからの測定データを受け、前記
期待値メモリからの当該期待値とを比較し、良否
結果を出力する比較値と、 基本クロツクからそれぞれ位相の異なる多相の
クロツクを生成すると共にその各位相が調整可能
に構成された多相クロツク発生器と、 前記多相のクロツクにより入力データをシフト
する多段のラツチを有し、パターンデータ及びそ
の格納アドレスを多相クロツクに従つて時間遅延
して出力するデイレイラツチ手段と、 前記デイレイラツチ手段を経由して出力される
データパターン及びその格納アドレスを前記多相
クロツクに同期して取込むラツチと、 前記比較器からの比較結果を前記多相クロツク
に同期して取込むラツチと、 前記各ラツチの内容を記憶するメモリ を具備し、システムデイレイを前記多相クロツク
の位相を調整することにより補正できるようにし
たことを特徴とするアナログLSI試験装置。
[Claims] 1. It is possible to use a computer to execute a predetermined program for testing a device under test while switching its internal state according to the test results, and to determine whether the device under test is functioning properly. analog
The LSI test equipment includes a pattern memory in which data patterns to be applied to the device under test are stored, an expected value memory in which expected values corresponding to the measured data are stored in advance, and a A comparison value that compares the expected value from the expected value memory and outputs a pass/fail result, and a polyphase clock that generates multiphase clocks with different phases from the basic clock, and each phase of which is configured to be adjustable. a generator; a delay latch means having a multistage latch for shifting input data using the multiphase clock, and outputting pattern data and its storage address with a time delay according to the multiphase clock; and the delay latch means. a latch that captures the data pattern and its storage address output via the multiphase clock in synchronization with the multiphase clock; a latch that captures the comparison result from the comparator in synchronization with the multiphase clock; 1. An analog LSI test device comprising a memory for storing the contents of a latch, and capable of correcting a system delay by adjusting the phase of the multiphase clock.
JP60075957A 1985-04-10 1985-04-10 Analog lsi tester Granted JPS61234377A (en)

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