JPH0627195A - Lsi test device - Google Patents

Lsi test device

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Publication number
JPH0627195A
JPH0627195A JP4180987A JP18098792A JPH0627195A JP H0627195 A JPH0627195 A JP H0627195A JP 4180987 A JP4180987 A JP 4180987A JP 18098792 A JP18098792 A JP 18098792A JP H0627195 A JPH0627195 A JP H0627195A
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JP
Japan
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measured
test
output
signal
supplied
Prior art date
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Pending
Application number
JP4180987A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Ebihara
雄二 海老原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH0627195A publication Critical patent/JPH0627195A/en
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response

Abstract

PURPOSE:To collectively test numerous LSIs having many pins. CONSTITUTION:A measured board 25 provided with multiple LSIs and a standard IC module 23 whose functional operability has been confirmed are supplied with a test signal by a pulse generating part 21 through an input control part 22, based upon the predetermined test specification. The output signal from the standard IC module 23 is supplied to a measured output control part 26 through on output control part 24. Respective input signals from the pulse generating part 21 are supplied to respective LSIs an a measured board 25 in a time division manner. These output signals from LSIs are supplied to the measured output control part 26 in a time division manner. The measured output control part 26 compares/discriminates the output signal from LSIs on the measured board 25 supplied in a time division manner with that from the standard IC module 23, and the obtained result is supplied to a tester main unit 20. The tester main unit 20 displays the result on a display device 3 or an output device 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、LSIの試験装置に関
し、特に多数のLSIを試験する装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an LSI testing apparatus, and more particularly to an apparatus for testing a large number of LSIs.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、LSIの試験装置としては、例え
ば図5に示すようなものがある。この試験装置は、被測
定端子10に接続された多数のLSIをテストするもの
である。被測定端子10は、多数の配線13を介してテ
ストステーション9に接続され、このテストステーショ
ン9は、多数の配線12を介してフォーマット制御部8
に接続されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an LSI test apparatus, for example, there is one as shown in FIG. This test apparatus tests a large number of LSIs connected to the terminal 10 to be measured. The terminal 10 to be measured is connected to the test station 9 via a large number of wirings 13, and the test station 9 is connected to the format control unit 8 via a large number of wirings 12.
It is connected to the.

【0003】フォーマット制御部8には、テストパター
ン発生装置6からテスト用の入力信号が供給されると共
に、タイミング発生装置7からタイミング信号も供給さ
れ、さらに電源装置5から各被測定LSIに供給すべき
電源電圧も供給されている。フォーマット制御部8は、
これらタイミング信号、テスト用入力信号及び電源電圧
を規定のテストパターン信号に調整し、配線12、テス
トステーション9、配線13及び被測定端子10を介し
て各被測定LSIに同時に供給する。
The format controller 8 is supplied with a test input signal from the test pattern generator 6, a timing signal from the timing generator 7, and a power supply 5 to each LSI to be measured. The proper power supply voltage is also supplied. The format control unit 8
These timing signal, test input signal, and power supply voltage are adjusted to a prescribed test pattern signal, and are simultaneously supplied to each LSI to be measured via the wiring 12, the test station 9, the wiring 13, and the terminal to be measured 10.

【0004】このテストパターン信号に応じて各被測定
LSIがそれぞれ発生した出力信号は、テストステーシ
ョン9において、これら出力信号それぞれに対する期待
値データと比較され、その比較結果は、テスト用コンピ
ュータ2に取り込まれ、ここで処理されて、CRT等で
構成された表示装置3またはプリンター等で構成された
出力装置4に出力される。
The output signal generated by each LSI to be measured in response to the test pattern signal is compared with expected value data for each of these output signals in the test station 9, and the comparison result is fetched into the test computer 2. Then, it is processed here and output to the display device 3 configured by a CRT or the like or the output device 4 configured by a printer or the like.

【0005】電源装置5、テストパターン発生装置6、
タイミング発生装置7は、テスト用コンピュータ2によ
って制御され、テスト用コンピュータ2は、テストデー
タファイル11に記憶されている各種テストデータのう
ち、入力部1によって指定されたテストデータに基づい
て電源装置5、テストパターン発生装置6、タイミング
発生装置7を制御する。また、テストステーション9
が、各被測定LSIの出力信号と比較する期待値データ
も、このテストデータに基づいて発生している。なお、
テストデータファイル11に記憶されている各テストデ
ータは、他のコンピュータによって行われたシミュレー
ション等に基づいて作成されている。
Power source device 5, test pattern generator 6,
The timing generator 7 is controlled by the test computer 2, and the test computer 2 is based on the test data designated by the input unit 1 among the various test data stored in the test data file 11. , The test pattern generator 6 and the timing generator 7 are controlled. Also, test station 9
However, expected value data to be compared with the output signal of each LSI to be measured is also generated based on this test data. In addition,
Each test data stored in the test data file 11 is created based on a simulation or the like performed by another computer.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように従来の試験
装置では、テスト用入力信号の供給が各被測定LSIに
同時に行われ、かつ各被測定用LSIからの出力信号の
テストステーション9への供給が同時に行われている。
従って、同時に試験することができる被測定LSIの数
は、フォーマット制御部8とテストステーション9との
間の配線12の数と、テストステーション9と被測定用
端子10との間の配線13の数とによって、制限され
る。よって、被測定LSIの規模が増大したり、ピン数
が増加したりした場合に、このような被測定LSIでも
多数同時に試験できる試験装置を新たに開発しなければ
ならず、多くの人手と期間が必要である。しかも、量産
されるLSIを試験するため、試験能力を向上させよう
とすると、このような試験装置を何台も必要であるの
で、大きな投資となる。
As described above, in the conventional test apparatus, the test input signals are simultaneously supplied to the LSIs to be measured, and the output signals from the LSIs to be measured are supplied to the test station 9. Supply is taking place at the same time.
Therefore, the number of LSIs under test that can be tested at the same time is the number of wirings 12 between the format controller 8 and the test station 9 and the number of wirings 13 between the test station 9 and the terminal for measurement 10. Limited by Therefore, when the scale of the LSI to be measured increases or the number of pins increases, it is necessary to newly develop a test apparatus that can simultaneously test a large number of such LSIs to be measured. is necessary. Moreover, in order to test mass-produced LSIs, it is a large investment to improve the test capability because many such test devices are required.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明では、複数の被測定LSIが設けられる
ボードと、機能動作が確認されている標準モジュール
と、予め定めたテスト規格に基づいて上記標準モジュー
ルと上記ボード上の各被測定LSIにテスト用信号を供
給するテスト信号供給手段と、上記テスト用信号に対す
る上記標準モジュールと上記各被測定LSIとの出力信
号とを取り込んで比較判別する手段と、上記テスト信号
供給手段からのテスト用信号を上記被測定LSIに順次
切換供給すると共にこの切換に同期して上記被測定LS
Iからの出力信号を順次切り換えて上記比較判別手段に
供給する切換制御手段とを、具備するものである。
In order to solve the above problems, according to the present invention, a board provided with a plurality of LSIs to be measured, a standard module whose functional operation has been confirmed, and a predetermined test standard. And a test signal supply means for supplying a test signal to the standard module and each LSI to be measured on the board, and output signals of the standard module and each LSI to be measured for the test signal. The comparing / determining means and the test signal from the test signal supplying means are sequentially supplied to the LSI to be measured, and the LS to be measured is synchronized with the switching.
And a switching control means for sequentially switching the output signal from I and supplying it to the comparison / determination means.

【0008】[0008]

【作用】本発明によれば、標準モジュールにテスト用信
号が供給され、これに応じて標準モジュールが発生した
出力信号が、比較判別手段に供給される。また、切換制
御手段がテスト用信号を順次切り換えて、各被測定用L
SIに順次供給する。これに応じて各被測定用LSIが
順次出力信号を発生し、これらが順次比較判別手段に供
給される。従って、比較判別手段は、標準モジュールの
出力信号と、各被測定用LSIの出力信号とを順次比較
判別する。
According to the present invention, the test signal is supplied to the standard module, and the output signal generated by the standard module in response thereto is supplied to the comparing and determining means. In addition, the switching control means sequentially switches the test signals, so that each L to be measured is measured.
Supply to SI sequentially. In response to this, each LSI to be measured sequentially generates output signals, which are sequentially supplied to the comparison / determination means. Therefore, the comparison / determination means sequentially compares and determines the output signal of the standard module and the output signal of each LSI to be measured.

【0009】[0009]

【実施例】この実施例は、図1に示すように、テスタ本
体20を有し、これはCPU、メモリ等によって構成さ
れている。このテスタ本体20には、図5に示した試験
装置と同様に、入力部1、表示装置3、出力装置4、電
源装置5、テストデータファイル11が設けられてい
る。これらについての説明は省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS This embodiment has a tester main body 20 as shown in FIG. 1, which is composed of a CPU, a memory and the like. The tester main body 20 is provided with an input unit 1, a display device 3, an output device 4, a power supply device 5, and a test data file 11 as in the test device shown in FIG. A description of these is omitted.

【0010】テスタ本体20には、パルス発生部21も
設けられており、これは、テストデータファイル11か
ら入力部1のコマンドに応じてテスタ本体20が読みだ
したデータに基づいてパルス信号を発生する。このパル
ス信号は、入力制御部22に供給される。入力制御部2
2は、テスタ本体20からの制御に基づいてパルス発生
部21からのパルス信号の電気的特性を調整し、後述す
る各種パルス信号を標準ICモジュール23、被測定ボ
ード25に供給する。
The tester main body 20 is also provided with a pulse generator 21, which generates a pulse signal based on the data read by the tester main body 20 from the test data file 11 in response to a command from the input unit 1. To do. This pulse signal is supplied to the input control unit 22. Input control unit 2
2 adjusts the electrical characteristics of the pulse signal from the pulse generator 21 based on the control from the tester main body 20, and supplies various pulse signals described later to the standard IC module 23 and the board under test 25.

【0011】標準ICモジュール23は、正しく動作す
ることが確認されたLSIチップ、若しくはICやトラ
ンジスタ等で構成された回路または、プログラム可能な
LSI、例えばPLD、FPGA、EPROM等であ
る。これには、電源装置5から電源電圧VDDが供給さ
れ、入力制御部22からクロック信号CLKが供給さ
れ、さらに入力制御部22から各種入力信号が供給され
る。これら入力信号に応じた各出力信号は、出力制御部
24に供給される。出力制御部24は、これら出力信号
をテスタ本体20及び被測定の出力制御部26に供給す
る。
The standard IC module 23 is an LSI chip which has been confirmed to operate correctly, a circuit composed of an IC or a transistor, or a programmable LSI such as PLD, FPGA, EPROM or the like. The power supply device 5 supplies the power supply voltage VDD, the input control unit 22 supplies the clock signal CLK, and the input control unit 22 supplies various input signals. Each output signal corresponding to these input signals is supplied to the output control unit 24. The output control section 24 supplies these output signals to the tester main body 20 and the output control section 26 to be measured.

【0012】被測定ボード25は、図2に示すように、
被測定用対象物S1、S2・・・(これらは標準ICモ
ジュール23に対応するものである。)を備えるもの
で、これら被測定用対象物S1、S2・・・には、電源
電圧VDDやクロック信号CLKが電源端子59、クロ
ック端子58を介してそれぞれ供給されている。これら
被測定用対象物S1、S2・・・の入力側及び出力側に
は、それぞれ入力制御ゲートG1、G2、G7、G8、
G9、G10・・・と、出力制御ゲートG3、G4、G
5、G6、G11、G12・・・が設けられている。こ
れら各制御ゲートは、フリップ・フロップ、ANDゲー
トをそれぞれ内蔵するものである。
The board 25 to be measured, as shown in FIG.
The objects to be measured S1, S2 ... (These correspond to the standard IC module 23), and the objects to be measured S1, S2 ... The clock signal CLK is supplied via the power supply terminal 59 and the clock terminal 58, respectively. Input control gates G1, G2, G7, G8, are provided on the input side and the output side of the measured objects S1, S2, ...
G9, G10, ... and output control gates G3, G4, G
5, G6, G11, G12 ... Are provided. Each of these control gates incorporates a flip-flop and an AND gate.

【0013】これら各制御ゲートには、それぞれ入力制
御部22から制御端子51を介して後述するテスト制御
信号が供給されている。また、被測定用対象物S1の入
出力制御ゲートG1、G3には、入力制御部22から測
定サイクル信号T1が供給され、被測定用対象物S2の
入出力制御ゲートG2、G4には、入力制御部22から
測定サイクル信号T2が供給され、被測定用対象物S3
の入出力制御ゲートG5、G7には、入力制御部22か
ら測定サイクル信号T3が供給される。以下、同様に他
の被測定用対象物の入出力制御ゲートにも、対応する測
定サイクル信号が供給されている。この測定サイクル信
号は、各被測定対象物の数と同数だけ発生させられる。
A test control signal, which will be described later, is supplied to each of these control gates from the input control section 22 through the control terminal 51. The input / output control gates G1 and G3 of the measured object S1 are supplied with the measurement cycle signal T1 from the input control section 22, and the input / output control gates G2 and G4 of the measured object S2 are input. The measurement cycle signal T2 is supplied from the control unit 22, and the measured object S3 is measured.
The input / output control gates G5 and G7 are supplied with the measurement cycle signal T3 from the input controller 22. Similarly, the corresponding measurement cycle signal is also supplied to the input / output control gates of the other objects to be measured. This measurement cycle signal is generated in the same number as the number of each measured object.

【0014】また各入力制御ゲートG1、G2、G7、
G8、G9、G10・・には、入力制御部22から入力
端子56を介して各種入力信号が供給され、これら入力
信号は、各入力制御ゲートG1、G2、G7、G8、G
9、G10・・に供給されているテスト制御信号及び測
定サイクル信号に応じて各被測定用対象物S1、S2・
・・に供給される。これら入力信号に応じた各出力信号
は、各出力制御ゲートG3、G4、G5、G6、G1
1、G12から出力端子57を介して被測定の出力制御
部26に供給される。
Each input control gate G1, G2, G7,
Various input signals are supplied to the G8, G9, G10, ... From the input control section 22 via the input terminal 56, and these input signals are input to the respective input control gates G1, G2, G7, G8, G.
9, G10 ... In accordance with the test control signal and the measurement cycle signal supplied to each of the measured objects S1, S2.
・ Supplied to The output signals corresponding to these input signals are output to the output control gates G3, G4, G5, G6, G1.
1, G12 is supplied to the output control unit 26 to be measured via the output terminal 57.

【0015】被測定の出力制御部26は、比較回路を内
蔵しており、標準ICモジュール23からの出力信号
と、被測定ボード25から供給された出力信号とを比較
し、その比較結果を、テスト制御信号及び測定サイクル
信号に基づいてテスタ本体20に供給する。
The output control unit 26 to be measured has a built-in comparison circuit, compares the output signal from the standard IC module 23 with the output signal supplied from the measured board 25, and outputs the comparison result. It is supplied to the tester main body 20 based on the test control signal and the measurement cycle signal.

【0016】この試験装置では、図3に示すように、ま
ずテスト規格仕様のデータを入力部1より指定入力する
と、テストデータファイル11から指定されたデータが
テスタ本体20に導入される(ステップS40)。この
とき、例えば標準ICモジュール23、被測定ボード2
5に供給する電圧や、クロック信号の周波数、電圧レベ
ル、デュティー比、各テストサイクル信号T1、T2・
・・、各入力信号I1、I2・・・のタイムチャート、
ディレイ等を入力部1から指定すると、それに対応した
データを基に、テスタ本体20で処理され、その処理結
果がパルス発生部21に送られて、そこでクロック信号
CLK、各入力信号I1、I2・・・をテスト規格に従
って発生する(ステップS41)。
In this test apparatus, as shown in FIG. 3, first, when the data of the test standard specification is designated and input from the input section 1, the data designated from the test data file 11 is introduced into the tester main body 20 (step S40). ). At this time, for example, the standard IC module 23, the measured board 2
5, the frequency of the clock signal, the voltage level, the duty ratio, the test cycle signals T1, T2,
.... Time charts of the input signals I1, I2, ...
When a delay or the like is designated from the input section 1, the tester main body 20 processes the data corresponding to the delay, and the processing result is sent to the pulse generating section 21, where the clock signal CLK and the input signals I1, I2. .. is generated in accordance with the test standard (step S41).

【0017】このとき、テスタ本体20で指定された値
の制御信号に応じた電圧が、電源部5より発生される。
パルス発生部21が発生したクロック信号、入力信号I
1、I2・・・が入力制御部22を介して標準ICモジ
ュール23に供給される(ステップS42)。なお、後
述するように、これらの信号は、被測定ボード25にも
供給される。
At this time, a voltage corresponding to the control signal having the value designated by the tester main body 20 is generated from the power supply section 5.
The clock signal generated by the pulse generator 21 and the input signal I
1, I2, ... Are supplied to the standard IC module 23 via the input control unit 22 (step S42). As will be described later, these signals are also supplied to the board under test 25.

【0018】クロック信号CLK、各入力信号I1、I
2・・・が標準ICモジュール23に供給されたことに
より、標準ICモジュール23が動作し、これら入力信
号と、これら入力信号に応じて発生した各出力信号と
は、出力制御部24を介してテスタ本体20のメモリ標
準ファイルや、被測定の出力制御部26に送られる(ス
テップS43)。
Clock signal CLK, input signals I1, I
2 ... is supplied to the standard IC module 23, the standard IC module 23 operates, and these input signals and each output signal generated in response to these input signals are output via the output control unit 24. It is sent to the memory standard file of the tester main body 20 or the output control unit 26 of the measured object (step S43).

【0019】このような状態において、図4に示すよう
にテスト制御信号CONと各テストサイクル信号T1、
T2・・・がパルス発生部21から入力制御部22を介
してテスタ本体20、被測定ボード25に供給される
(ステップS44)。これに応じて各被測定対象物S
1、S2・・・の測定サイクルを制御する(ステップS
45)。
In such a state, as shown in FIG. 4, the test control signal CON and each test cycle signal T1,
T2 ... Is supplied to the tester main body 20 and the measured board 25 from the pulse generator 21 via the input controller 22 (step S44). In accordance with this, each measured object S
1, S2 ... Controls the measurement cycle (step S
45).

【0020】即ち、テスト制御信号CONは、各入出力
ゲートに供給され、各テストサイクル信号のうちT1
が、入出力制御ゲートG1、G3内のフリップフロップ
を介して、このゲート内のANDゲートに供給される。
これに同期して測定サイクル信号T1もANDゲートに
供給されるので、被測定対象物S1の各入出力制御ゲー
トが開かれる。この開かれた入力制御ゲートG1を介し
て被測定対象物S1に、クロック端子58、入力端子5
6からクロック信号CLK、各入力信号I1、I2・・
・が供給される。これによって、被測定対象物S1から
出力信号O1、O2・・・が発生する。これら各出力信
号O1、O2・・・が開かれている出力制御ゲートG
3、出力端子57を介して被測定の出力制御部26へ供
給される。
That is, the test control signal CON is supplied to each input / output gate, and T1 of each test cycle signal is supplied.
Is supplied to the AND gate in the I / O control gates G1 and G3 via the flip-flops in the gate.
Since the measurement cycle signal T1 is also supplied to the AND gate in synchronization with this, each input / output control gate of the measured object S1 is opened. The clock terminal 58 and the input terminal 5 are connected to the measured object S1 through the opened input control gate G1.
6 to the clock signal CLK, each input signal I1, I2 ...
・ Is supplied. As a result, output signals O1, O2 ... Are generated from the measured object S1. An output control gate G in which each of these output signals O1, O2 ... Is opened.
3, and is supplied to the output control unit 26 of the measured object via the output terminal 57.

【0021】次にテストサイクル信号T1が消失し、T
2が発生したときにも、同様に入出力制御ゲートG2、
G4が同時に開かれ、各クロック信号CLK、各入力信
号I1、I2・・・が被測定対象物S2に入力制御ゲー
トG2を介して供給される。これによって発生した出力
信号O1、O2・・・が開かれている出力制御ゲートG
4より、出力端子57を介して被測定の出力制御部26
へ供給される。以下、同様に、テストサイクル信号によ
って制御されて、各被測定対象物の入出力信号を被測定
対象の出力制御部26へ供給する(ステップS46)。
即ち、時分割で各被測定対象物S1、S2・・・の各出
力信号O1、O2・・・が被測定の出力制御部26へ供
給される。
Next, the test cycle signal T1 disappears and T
2 also occurs, the input / output control gate G2,
G4 is simultaneously opened, and each clock signal CLK, each input signal I1, I2, ... Is supplied to the measured object S2 via the input control gate G2. The output control gate G in which the output signals O1, O2, ...
4 through the output terminal 57, the output control unit 26 to be measured.
Is supplied to. Thereafter, similarly, the input / output signals of each measured object are supplied to the output control unit 26 of the measured object under the control of the test cycle signal (step S46).
That is, the output signals O1, O2, ... Of the objects S1, S2, ...

【0022】このようにして時分割で被測定の出力制御
部26へ供給された被測定対象物S1、S2・・・の各
出力信号O1、O2・・・は、標準ICモジュール23
から得た各出力信号のうち対応するものと比較判定さ
れ、その比較結果はテスタ本体20に供給される(ステ
ップS47)。テスタ本体20では、その比較結果を出
力装置4または表示装置3に表示する(ステップS4
8)。これによって各被測定対象物の良否が判明する。
なお、量産品を被測定対象物とする場合には、この判別
結果を用いて、量産品に対して選別が行われる。
In this way, the output signals O1, O2, ... Of the measured objects S1, S2, ...
It is compared and determined with the corresponding one of the output signals obtained from the above, and the comparison result is supplied to the tester main body 20 (step S47). The tester main body 20 displays the comparison result on the output device 4 or the display device 3 (step S4).
8). As a result, the quality of each measured object is determined.
Note that when a mass-produced product is used as the measurement target, the mass-produced product is sorted using the determination result.

【0023】なお、各測定サイクル信号T1、T2・・
・は非常に短いサイクルタイムとして行われ、この短い
サイクルで良否判定が行われる。
Each measurement cycle signal T1, T2 ...
Is performed as a very short cycle time, and the pass / fail judgment is performed in this short cycle.

【0024】このように時分割的に各被測定対象物S
1、S2・・・に各入力信号を供給し、かつ各出力信号
を出力しているので、被測定ボード25において必要な
配線数は、1つの被測定対象物へ入力する各入力信号の
数と、1つの被測定対象物から出力される出力信号の数
と、電源供給線の数と、クロック信号の供給線の数と、
テスト制御信号を供給する線の数と、各被測定対象物の
数と同数の各テストサイクル信号の供給線の数との合計
数だけであり、もし、測定対象物の数を増加させる場合
には、テストサイクル信号の供給線の数を増加させるだ
けで対応できる。
In this way, each measured object S is time-divided.
Since each input signal is supplied to 1, S2, ... And each output signal is output, the number of wirings required on the measured board 25 is the number of input signals input to one measured object. And the number of output signals output from one measured object, the number of power supply lines, and the number of clock signal supply lines,
It is only the total number of lines supplying test control signals and the number of test lines supplying each test cycle signal equal to the number of measured objects. This can be handled simply by increasing the number of signal supply lines.

【0025】上記の実施例では、標準ICモジュール2
3は、LSI等のチップとしたが、PLD、FPGA等
の書換え容易なチップまたはボード等を標準ICモジュ
ール23として使用することもできる。この場合、LS
Iチップの仕様変更、開発ディバックが行い易いので、
試作開発の時間が短縮される。また、その試作の結果が
良好であれば、その試作品をそのまま標準ICモジュー
ル23として使用することができる。
In the above embodiment, the standard IC module 2
Although 3 is a chip such as an LSI, a chip or a board such as a PLD or FPGA that can be easily rewritten can be used as the standard IC module 23. In this case, LS
Since it is easy to change the specifications of the I-chip and debug the development,
Prototype development time is shortened. If the result of the trial production is good, the trial product can be used as it is as the standard IC module 23.

【0026】上記の実施例では、標準ICモジュール2
3の各出力信号と、被測定対象物からの出力信号は、被
測定の出力制御部26で比較判定するように構成した
が、テスタ本体20に標準ICモジュール23の各出力
信号を記憶させておき、テスタ本体20において被測定
対象物からの出力信号と比較判定するように構成しても
よい。
In the above embodiment, the standard IC module 2
The output signal of 3 and the output signal from the measured object are configured to be compared and determined by the output control unit 26 of the measured object. However, the tester main body 20 stores each output signal of the standard IC module 23. Alternatively, the tester main body 20 may be configured to compare and determine with the output signal from the measured object.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、切換制
御手段によって、複数個の被測定対象物であるLSIに
時分割的に入力信号を供給し、各被測定対象物からの出
力信号を時分割的に出力するように構成しているので、
多数の被測定LSIの良否を短時間で試験することがで
きる。また、本発明によれば、各被測定対象物の入力側
及び出力側にそれぞれ入力ゲート手段と、出力ゲート手
段とを設け、これらゲート手段をゲート開放信号によっ
て順次開放させるように構成しているので、被測定対象
物の数を増加させる必要が生じた場合でも、ゲート開放
手段へ供給する信号の数を増加させるだけでよく、新た
に入力信号を供給するための配線や、出力信号を出力す
るための配線を増加させる必要がなく、一括して測定す
る被測定対象物の数を容易に増加させることができ、処
理能力をアップすることが容易である。また、標準モジ
ュールとして、PLD、FPGA等の書換え容易なチッ
プまたはボード等を使用する場合には、その開発試作が
容易であり、その開発が完了すると、その試作品をその
まま標準モジュールとして使用できるので、テストパタ
ーンの編集等の作業が不要となり、省力化を図ることが
できる。
As described above, according to the present invention, the switching control means supplies time-divisionally input signals to a plurality of LSIs, which are the objects to be measured, and outputs the signals from the objects to be measured. Since it is configured to output signals in a time division manner,
It is possible to test the quality of many LSIs to be measured in a short time. Further, according to the present invention, input gate means and output gate means are provided on the input side and the output side of each object to be measured, and these gate means are sequentially opened by a gate open signal. Therefore, even if it is necessary to increase the number of objects to be measured, it is only necessary to increase the number of signals to be supplied to the gate opening means, and wiring for newly supplying an input signal and outputting an output signal are required. It is not necessary to increase the number of wirings, and the number of objects to be measured collectively measured can be easily increased, and the processing capacity can be easily improved. When a chip or board, such as PLD or FPGA, which can be easily rewritten, is used as the standard module, the development and trial production is easy, and when the development is completed, the prototype can be directly used as the standard module. Therefore, the work of editing the test pattern is unnecessary, and the labor can be saved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるLSI試験装置の1実施例のブロ
ック図である。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of an LSI test apparatus according to the present invention.

【図2】同実施例において使用する被測定ボードのブロ
ック図である。
FIG. 2 is a block diagram of a measured board used in the same embodiment.

【図3】同実施例のフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart of the same embodiment.

【図4】同実施例のタイミングチャートである。FIG. 4 is a timing chart of the same embodiment.

【図5】従来のLSI試験装置のブロック図である。FIG. 5 is a block diagram of a conventional LSI test apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入力部 3 表示装置 4 出力装置 5 電源装置 20 テスタ本体 21 パルス発生部 22 入力制御部 23 標準ICモジュール 24 出力制御部 25 被測定ボード 26 被測定の出力制御部 1 Input Unit 3 Display Device 4 Output Device 5 Power Supply Unit 20 Tester Main Body 21 Pulse Generation Unit 22 Input Control Unit 23 Standard IC Module 24 Output Control Unit 25 Measured Board 26 Measured Output Control Unit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の被測定LSIが設けられるボード
と、機能動作が確認されている標準モジュールと、予め
定めたテスト規格に基づいて上記標準モジュールと上記
ボード上の各被測定LSIにテスト用信号を供給するテ
スト信号供給手段と、上記テスト用信号に対する上記標
準モジュールと上記各被測定LSIとの出力信号とを取
り込んで比較判別する手段と、上記テスト信号供給手段
からのテスト用信号を上記被測定LSIに順次切換供給
すると共にこの切換に同期して上記被測定LSIからの
出力信号を順次切り換えて上記比較判別手段に供給する
切換制御手段とを、具備するLSI試験装置。
1. A board provided with a plurality of LSIs to be measured, a standard module whose functional operation is confirmed, and a test for each standard LSI and each LSI to be measured on the board based on a predetermined test standard. A test signal supplying means for supplying a signal, a means for taking in and comparing output signals of the standard module and the LSI under test for the test signal, and a test signal from the test signal supplying means. An LSI test apparatus comprising: a switching control means for sequentially switching and supplying to the LSI to be measured and, in synchronization with this switching, sequentially switching an output signal from the LSI to be measured and supplying it to the comparing and judging means.
【請求項2】 予め定めたテスト規格に基づいてテスト
用信号を発生するテスト信号発生手段と、機能動作が確
認されており上記テスト用信号が供給される標準モジュ
ールと、複数の被測定LSIの入力側にそれぞれ設けら
れ上記テスト用信号が供給されている入力ゲート手段
と、上記被測定LSIの出力側にそれぞれ設けられ上記
被測定LSIの出力信号が供給されている出力ゲート手
段と、上記各入力ゲート手段及び上記各出力ゲート手段
のうち対応するものに順次ゲート開放信号を供給するゲ
ート開放信号発生手段と、開放された上記出力ゲート手
段を介して出力された上記被測定LSIからの出力信号
と上記標準モジュールの出力信号とを比較判別する比較
判別手段とを、具備するLSI試験装置。
2. A test signal generating means for generating a test signal based on a predetermined test standard, a standard module whose functional operation is confirmed and to which the test signal is supplied, and a plurality of LSIs to be measured. Input gate means respectively provided on the input side and supplied with the test signal; output gate means respectively provided on the output side of the LSI to be measured and supplied with the output signal of the LSI to be measured; Gate opening signal generating means for sequentially supplying a gate opening signal to the corresponding one of the input gate means and each of the output gate means, and the output signal from the LSI to be measured output through the opened output gate means. An LSI test apparatus comprising: a comparison / determination unit that compares and determines the output signal of the standard module.
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