JP4286597B2 - Resist coating device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置に係り、特に、レジスト塗布装置(以下、レジストコータという)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術としては、例えば、以下に示すようなものがあった。
【0003】
図4はかかる従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの全体構成図、図5はその第1のレジストフィルタの構成図、図6はその第2のレジストフィルタの構成図である。
【0004】
図4に示すように、レジストコータ内のレジスト配管システムは、加圧されたN2 ガスを通すフィルタ1、ガロン瓶2(レジスト瓶、シンナ瓶、空瓶等)、残量センサタンク3、ボールバルブ4、ポンプ5、ドレインタンク6、ニードルバルブ7、レジストフィルタ8、エア弁及びサックバックユニット9、ノズル10とを有している。
【0005】
このように、レジスト配管システムでは、レジストフィルタ8が設けられており、ポンプ5から排出されるレジストを濾過するようにしている。
【0006】
そのレジストフィルタ8は、第1の例としては、図5に示すように、カートリッジ11、ハウジング12、上蓋13、Oリング14、クランプ(留め具)15、イン配管16、アウト配管17、ドレイン配管18を有している。
【0007】
また、そのレジストフィルタ8は、第2の例としては、図6に示すように、イン配管16Aが上蓋13側になく、ハウジング12の下方に設置されている場合がある。
【0008】
そのレジストフィルタの交換時のレジスト配管の洗浄方法は次の通りである(図4参照)。
【0009】
使用済のフィルタ8を取外した後、空のフィルタハウジングを取付け、ガロン瓶2として、レジスト瓶の代わりにシンナ瓶を接続し、これをN2 ガスでの加圧によりレジスト配管9Aに流し込み、ノズル10から出す。吐出される液の色からレジスト色が消えて、シンナの無色透明になるまでシンナを流し続けてレジスト配管9Aを洗浄する。洗浄が終了したら、ガロン瓶2として空瓶を接続し、これをN2 ガスで加圧して、レジスト配管9A内に残存するシンナをノズル10から押し出す。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の装置では、シンナによるレジスト配管洗浄時に次の問題点があった。
【0011】
フィルタを外した後に空のハウジングを取付けているため、シンナを流し込んだ際に、一定量のシンナがハウジング内に溜まる。従って、
(1)ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われず、洗浄に多量のシンナが必要となる。
(2)ハウジング内に溜まったシンナは、洗浄後のN2 ガス加圧によっても完全に排除できず、ハウジング内に残り、ハウジング取外し時にこぼれ出る等の作業性の障害となる。
【0012】
本発明は、上記問題点を除去し、レジストフィルタ部の内容積を低減して容易にして、確実で、しかも安全なレジスト配管の洗浄が可能なレジスト塗布装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕レジスト塗布装置において、イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有する上蓋と、凹部を有し、前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続可能なキャップであって、洗浄時に取り付けられる当該キャップとを備え、レジスト供給時に前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に取り付けられた前記キャップに代えて、前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に前記キャップの凹部より深さの深い凹部を有するハウジングを取り付けるようにしたものである。
【0014】
〔2〕上記〔1〕記載のレジスト塗布装置において、前記キャップは鍔部を有し、前記上蓋はクランプにて前記キャップの鍔部で留めるようにしたものである。
【0015】
〔3〕上記〔2〕記載のレジスト塗布装置において、前記上蓋は、前記キャップの鍔部との間にOリングが介在するようにしたものである。
【0016】
〔4〕レジスト塗布装置において、イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を備えたレジスト塗布装置であって、前記アウト配管及び前記ドレイン配管を有する上蓋と、該上蓋に取り付けられ、前記イン配管が接続されるカートリッジを有するハウジングと、該ハウジングより深さの浅い、前記上蓋の前記アウト配管及び前記ドレイン配管に接続可能な凹部と、前記ハウジングの前記イン配管に接続可能な凸部を有するパイプを介して前記凹部と連通する台座部とを有するキャップとを備え、レジスト配管の洗浄時に、前記カートリッジに代えて前記キャップを前記ハウジング内に配置し、前記上蓋に接続するようにしたものである。
【0017】
〔5〕上記〔4〕記載のレジスト塗布装において、前記上蓋と前記ハウジングの間にはOリングが装着可能であるようにしたものである。
【0018】
〔6〕レジスト塗布装置において、イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有する上蓋と、該上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続されたハウジングとを有するレジストフィルタの第1の態様を有するレジスト塗布装置であって、洗浄時には前記上蓋と、前記ハウジングに代えて前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続された前記ハウジングより深さの浅い凹部を有するキャップとを有するレジストフィルタの第2の態様とするようにしたものである。
【0019】
〔7〕上記〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載のレジスト塗布装置において、前記イン配管、アウト配管、及びドレイン配管は、前記キャップの凹部の深さと同程度の内径サイズを有するようにしたものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【0021】
図1は本発明の第1実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。
【0022】
この実施例では、通常のレジストフィルタを構成するハウジング12(図5参照)の代わりに、内容積を減少させるために、レジスト配管洗浄用治具として凹部22の深さが浅いキャップ21を用いる。材質はテフロン(登録商標)等の耐薬品性のものを使用する。
【0023】
このキャップ21の上蓋13との接触部23の形状、寸法は、従来のハウジング12と全く同等とする。上蓋13とキャップ21の鍔部24はOリング14でシールされ、クランプ15で留める。このOリング14及びクランプ15の構造は従来のもの(図5参照)と同じである。
【0024】
キャップ21の凹部22の深さd(隙間)は、イン配管16から入ったシンナがアウト配管17、ドレイン配管18の両配管へ流れ出る径路であり、ある程度の幅が必要であるが、広すぎるとシンナの溜まりが増え、置換効率が悪くなるため、例えば、イン配管16、アウト配管17、ドレイン配管18等の配管の内径サイズと同等程度の5mm前後とする。
【0025】
そこで、図4に示したレジスト配管全体を洗浄する場合、レジストフィルタ8において図5に示したカートリッジ11及びハウジング12を取外し、図1に示したキャップ21の鍔部24にOリング14を装着し、キャップ21の鍔部24を上蓋13にクランプ15で留めて取付ける。
【0026】
次に、図4に示すガロン瓶2にシンナの入った瓶を接続し、このシンナ瓶内をN2 ガスで加圧する。圧送されたシンナは、各部を通過し、レジストフィルタ8を経由してノズル10から吐出される。
【0027】
レジストフィルタ8では、図1に示すイン配管16からシンナが入り、アウト配管17から流出する。ドレイン配管18からは、図4に示すニードルバルブ7を開いた場合にのみシンナが流出する。
【0028】
洗浄が終了したら、図4に示すガロン瓶2に空瓶を接続し、これをN2 ガスで加圧し、配管全体にN2 ガスを圧送する。これにより、レジスト配管内に残存するシンナをノズル10から吐出及びニードルバルブ7を通してドレインタンク6へ排出する。
【0029】
以上のように、第1実施例によれば、キャップ21によって内容積を必要かつ十分に小さくしたことによって、シンナが流された場合、過剰なシンナがキャップ21内に溜まることがない。
【0030】
従って、シンナはイン配管16からアウト配管17、またはドレイン配管18へ連続的に滞留なく流れるようになる。
【0031】
これによって、シンナの置換は促進され、洗浄に要するシンナの量及び作業時間が削減されるという効果が得られる。
【0032】
さらに、洗浄が終了し、N2 ガス圧送により配管内のシンナを排出した後にも、キャップ内にはシンナの残りはなく、キャップを取外してもシンナがこぼれ出るといった不具合が生じず、作業(安全)性の向上を図ることができる。
【0033】
次に、本発明の第2実施例について説明する。
【0034】
図2は本発明の第2実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図、図3はそのレジスト配管洗浄用治具の斜視図である。
【0035】
フィルタ構成については、図5に示すもの以外に、図6に示すようにイン配管16Aが上蓋13側になく、ハウジング12の下方に設置されている場合がある。この場合には、この実施例に示すレジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40を使用する。
【0036】
このレジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40は、ハウジング12内にセットされ、下方に配置される台座部44とパイプ43を介して上方に配置される第1実施例で示したキャップ21と同様の構造のキャップ41を有する。すなわち、そのキャップ41は深さが浅い凹部42を形成し、その深さd(隙間)を確保されている。また、パイプ43の下端は台座部44から下方に突出し、凸部45を形成している。
【0037】
そこで、レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40の台座部44から突出した凸部45を、ハウジング12のイン配管16Aに差し込み、凸部45の根元には、Oリング46を装着しシールする。
【0038】
一方、レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40の上方には、キャップ41が配置される。すなわち、そのキャップ41は深さの浅い凹部42を形成し、その深さd(隙間)を確保し、Oリング47でシールする。このキャップ41上端の高さはハウジング12の高さと同一に揃える。
【0039】
このように、台座部44とキャップ41とはパイプ43でつながっており、このパイプ43の径はイン配管16Aと同等とする。
【0040】
このように構成したので、レジスト配管の洗浄のために流されたシンナは、ハウジング12下方のイン配管16Aから流入し、レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40の下方の凸部45の口からレジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40の内に入る。そして、パイプ43内を通り上方に上がったシンナは、アウト配管17及びドレイン配管18へと流出する。
【0041】
他の基本的な動作は全て第1実施例と同様である。
【0042】
以上のように、第2実施例によれば、ハウジング12内にレジスト配管洗浄用治具(アダプタ)40を装着したことによって、第1実施例と同様に、シンナの滞留スペースをなくすことができ、第1実施例と全く同等の効果を奏することができる。
【0043】
また、イン配管16Aがハウジング12側に設置してあるために、ハウジング12自体を用いざるを得ない場合に、ハウジング12内のスペースを低減することができる。
【0044】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0045】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【0046】
〔A〕レジストフィルタのハウジングに代えて、浅い凹部を有するキャップを装着して、内容積を必要かつ十分に小さくすることによって、シンナが流された場合、過剰なシンナがキャップ内に溜まることがない。
【0047】
従って、シンナはイン配管からアウト配管またはドレイン配管へ連続的に滞留なく流れるようになる。
【0048】
これによって、シンナの置換は促進され、洗浄に要するシンナの量及び作業時間が削減される。
【0049】
さらに、洗浄が終了し、N2 ガス圧送により配管内のシンナを排出した後にも、キャップ内にはシンナの残りはなく、キャップを取外してもシンナがこぼれ出るといった不具合が生じず、作業(安全)性の向上を図ることができる。
【0050】
〔B〕ハウジング内にレジスト配管洗浄用治具(アダプタ)を装着したことによって、上記〔A〕と同様に、シンナの滞留スペースをなくすことができ、同等の効果を奏することができる。
【0051】
また、イン配管がハウジングの底側に設置してあるために、ハウジング自体を用いざるを得ない場合に、レジスト配管の洗浄時のハウジング内の内容積を低減することができ、シンナの滞留スペースをなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。
【図2】 本発明の第2実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図である。
【図3】 本発明の第2実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の斜視図である。
【図4】 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの全体構成図である。
【図5】 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの第1のレジストフィルタの構成図である。
【図6】 従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの第2のレジストフィルタの構成図である。
【符号の説明】
2 ガロン瓶
6 ドレインタンク
7 ニードルバルブ
8 レジストフィルタ
10 ノズル
11 カートリッジ
12 ハウジング
13 上蓋
14,46,47 Oリング
15 クランプ
16,16A イン配管
17 アウト配管
18 ドレイン配管
21,41 キャップ
22,42 凹部
23 接触部
24 鍔部
40 レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)
43 パイプ
44 台座部
45 凸部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly to a resist coating apparatus (hereinafter referred to as a resist coater).
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as the technology in such a field, for example, there are the following.
[0003]
4 is an overall configuration diagram of a resist piping system in such a conventional resist coater, FIG. 5 is a configuration diagram of the first resist filter, and FIG. 6 is a configuration diagram of the second resist filter.
[0004]
As shown in FIG. 4, the resist piping system in the resist coater includes a
[0005]
Thus, in the resist piping system, the
[0006]
As shown in FIG. 5, the
[0007]
As a second example, the
[0008]
The method for cleaning the resist pipe when the resist filter is replaced is as follows (see FIG. 4).
[0009]
After removing the used
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described conventional apparatus has the following problems when cleaning resist piping with thinner.
[0011]
Since the empty housing is attached after the filter is removed, a certain amount of thinner accumulates in the housing when the thinner is poured. Therefore,
(1) The thinner accumulated in the housing cannot be replaced quickly, and a large amount of thinner is required for cleaning.
(2) The thinner accumulated in the housing cannot be completely removed even by the N 2 gas pressurization after cleaning, and remains in the housing, resulting in an obstacle to workability such as spilling when the housing is removed.
[0012]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a resist coating apparatus that eliminates the above-described problems, facilitates the reduction of the internal volume of a resist filter portion, and enables reliable and safe cleaning of resist piping.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In the resist coating apparatus, the cap includes an upper cover having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe, and a cap that can be connected to each of the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid. Te, and a corresponding cap mounted at the time of cleaning, the in-pipe of the upper lid during resist supply, the out pipe, and in place of the cap attached to the drain pipe, the in-pipe of the upper lid, the out pipe And the housing which has a recessed part deeper than the recessed part of the said cap is attached to the said drain piping .
[0014]
[2] In the resist coating apparatus according to [1], the cap has a flange portion, and the upper lid is fastened by a flange portion of the cap with a clamp.
[0015]
[3] In the resist coating apparatus according to the above [2], an O-ring is interposed between the upper lid and a collar portion of the cap.
[0016]
[4] In the resist coating apparatus, the resist coating apparatus includes an in -pipe, an out-pipe, and a drain pipe , the upper cover having the out-pipe and the drain pipe, and the in-pipe connected to the top cover A housing having a cartridge to be connected, a recess having a shallower depth than the housing , connectable to the out pipe and the drain pipe of the upper lid, and a pipe having a convex part connectable to the in pipe of the housing And a cap having a pedestal portion communicating with the recess, and the cap is disposed in the housing instead of the cartridge and connected to the upper lid when the resist pipe is cleaned.
[0017]
[5] In the resist coating apparatus described in [4] above, an O-ring can be mounted between the upper lid and the housing.
[0018]
[ 6 ] In a resist coating apparatus, a first resist filter having an upper cover having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe , and a housing connected to the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid. In the resist coating apparatus having the above aspect, at the time of cleaning, the upper lid and a concave portion shallower than the housing connected to the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid instead of the housing are formed. A resist filter having a cap having a second aspect is provided.
[0019]
[ 7 ] In the resist coating apparatus according to any one of [1] to [ 6 ], the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe have an inner diameter size similar to a depth of the concave portion of the cap. It is what I did.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0021]
FIG. 1 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a first embodiment of the present invention.
[0022]
In this embodiment, in place of the housing 12 (see FIG. 5) constituting a normal resist filter, a
[0023]
The shape and size of the
[0024]
The depth d (gap) of the
[0025]
Therefore, when cleaning the entire resist piping shown in FIG. 4, the
[0026]
Next, a bottle containing thinner is connected to the gallon bottle 2 shown in FIG. 4, and the inside of the thinner bottle is pressurized with N 2 gas. The pumped thinner passes through each part and is discharged from the
[0027]
In the resist
[0028]
When the cleaning is completed, an empty bottle is connected to the gallon bottle 2 shown in FIG. 4, this is pressurized with N 2 gas, and N 2 gas is pumped through the entire pipe. Thereby, the thinner remaining in the resist pipe is discharged from the
[0029]
As described above, according to the first embodiment, when the thinner is caused to flow by the
[0030]
Accordingly, the thinner flows continuously from the in
[0031]
As a result, the replacement of thinner is promoted, and the amount of thinner required for cleaning and the working time can be reduced.
[0032]
Furthermore, even after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pressure feeding, there is no remaining residue in the cap, and there is no problem that the thinner does not spill out even if the cap is removed. ) Can improve the sex.
[0033]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
[0034]
FIG. 2 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a perspective view of the resist pipe cleaning jig.
[0035]
In addition to the filter configuration shown in FIG. 5, the in-
[0036]
This resist pipe cleaning jig (adapter) 40 is set in the
[0037]
Therefore, the
[0038]
On the other hand, a
[0039]
Thus, the
[0040]
With this configuration, the thinner flowed for cleaning the resist piping flows from the in-
[0041]
All other basic operation is the first embodiment the same way.
[0042]
As described above, according to the second embodiment, by attaching the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 in the
[0043]
Further, since the in-
[0044]
In addition, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation is possible based on the meaning of this invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.
[0045]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, the following effects can be obtained.
[0046]
[A] In place of the resist filter housing, a cap having a shallow concave portion is attached to reduce the internal volume as necessary and sufficiently, so that when the thinner is flown, excessive thinner may accumulate in the cap. Absent.
[0047]
Accordingly, the thinner flows continuously from the in-pipe to the out-pipe or drain pipe without stagnation.
[0048]
This facilitates thinner replacement and reduces the amount of thinner and work time required for cleaning.
[0049]
Furthermore, even after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pressure feeding, there is no remaining residue in the cap, and there is no problem that the thinner does not spill out even if the cap is removed. ) Can improve the sex.
[0050]
[B] Since the resist pipe cleaning jig (adapter) is mounted in the housing, the retention space of the thinner can be eliminated and the same effect can be obtained as in the case of [A].
[0051]
In addition, since the in-pipe is installed on the bottom side of the housing, when the housing itself must be used, the internal volume in the housing when the resist pipe is cleaned can be reduced, and the thinner stay space Can be eliminated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view of a resist pipe cleaning jig showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an overall configuration diagram of a resist piping system in a conventional resist coater.
FIG. 5 is a configuration diagram of a first resist filter of a resist piping system in a conventional resist coater.
FIG. 6 is a configuration diagram of a second resist filter of a resist piping system in a conventional resist coater.
[Explanation of symbols]
2 Gallon bottle 6 Drain tank 7
43
Claims (7)
凹部を有し、前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続可能なキャップであって、洗浄時に取り付けられる当該キャップとを備え、
レジスト供給時に前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に取り付けられた前記キャップに代えて、前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に前記キャップの凹部より深さの深い凹部を有するハウジングを取り付けることを特徴とするレジスト塗布装置。An upper lid having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe;
A cap having a recess and connectable to each of the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid, the cap attached at the time of cleaning ,
Instead of the cap attached to the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid at the time of supplying the resist, the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid are deeper than the concave portion of the cap. A resist coating apparatus comprising a housing having a deep recess.
前記アウト配管及び前記ドレイン配管を有する上蓋と、
該上蓋に取り付けられ、前記イン配管が接続されるカートリッジを有するハウジングと、
該ハウジングより深さの浅い、前記上蓋の前記アウト配管及び前記ドレイン配管に接続可能な凹部と、前記ハウジングの前記イン配管に接続可能な凸部を有するパイプを介して前記凹部と連通する台座部とを有するキャップとを備え、
レジスト配管の洗浄時に、前記カートリッジに代えて前記キャップを前記ハウジング内に配置し、前記上蓋に接続することを特徴とするレジスト塗布装置。 A resist coating apparatus having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe,
An upper lid having the out pipe and the drain pipe;
A housing having a cartridge attached to the upper lid and connected to the in-pipe ;
A pedestal that communicates with the recess through a pipe having a recess that is shallower than the housing and that can be connected to the out pipe and the drain pipe of the upper lid, and a projection that can be connected to the in pipe of the housing. And a cap having
A resist coating apparatus, wherein the cap is disposed in the housing instead of the cartridge and connected to the upper lid when cleaning the resist piping.
洗浄時には前記上蓋と、前記ハウジングに代えて前記上蓋の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続された前記ハウジングより深さの浅い凹部を有するキャップとを有するレジストフィルタの第2の態様とすることを特徴とするレジスト塗布装置。A resist coating apparatus having a first aspect of a resist filter having an upper cover having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe , and a housing connected to the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper cover. There,
A second resist filter having the upper lid and a cap having a concave portion shallower than the housing connected to the in-pipe, the out-pipe, and the drain pipe of the upper lid instead of the housing at the time of cleaning. An aspect of the present invention is a resist coating apparatus.
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