JP2017212359A - Filter unit and chemical solution supply device - Google Patents

Filter unit and chemical solution supply device Download PDF

Info

Publication number
JP2017212359A
JP2017212359A JP2016105205A JP2016105205A JP2017212359A JP 2017212359 A JP2017212359 A JP 2017212359A JP 2016105205 A JP2016105205 A JP 2016105205A JP 2016105205 A JP2016105205 A JP 2016105205A JP 2017212359 A JP2017212359 A JP 2017212359A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
valve
block body
flow path
filter unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016105205A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
明人 地曵
Akito Jibiki
明人 地曵
長谷川 隆
Takashi Hasegawa
長谷川  隆
悟 深津
Satoru Fukatsu
悟 深津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kitz SCT Corp
Kitz Micro Filter Co Ltd
Original Assignee
Kitz SCT Corp
Kitz Micro Filter Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kitz SCT Corp, Kitz Micro Filter Co Ltd filed Critical Kitz SCT Corp
Priority to JP2016105205A priority Critical patent/JP2017212359A/en
Publication of JP2017212359A publication Critical patent/JP2017212359A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter unit which ensures high stability of a chemical solution discharge behavior and high supply quantity adjustment accuracy of a chemical solution and further also surely prevents occurrence of liquid sag by suppressing generation of a pressure loss, dead volume and air bubbles or micro bubbles to a minimum while adopting a high clean structure having simple structure and compact design in which a valve and a filter are integrated in one body, providing the filter on a post-stage of the valve and being capable of surely catching/removing even micro particles generated by seating/unseating of the valve through the filter, and a chemical solution supply device.SOLUTION: The present invention relates to a filter unit in which a filter is built in a block body, the block body includes a vent mechanism for discharging air bubbles stagnated at a primary side of the filter and the filter and the vent mechanism are integrated in one body by a flow passage that is provided in the block body.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高純度薬品等の薬液供給に用いられるフィルタユニットと薬液供給装置に関し、例えば、半導体ウエハにレジストやシンナーを塗布するために用いられるコータデベロッパの薬液塗布ラインやウエハ洗浄装置の薬液供給ラインに用いられるフィルタユニットと薬液供給装置に関する。   The present invention relates to a filter unit and a chemical solution supply apparatus used for supplying a chemical solution such as high-purity chemicals. For example, a chemical solution application line for a coater developer used for applying a resist or thinner to a semiconductor wafer or a chemical solution supply for a wafer cleaning device. The present invention relates to a filter unit and a chemical solution supply device used in a line.

この種の薬液供給装置は、半導体製造工程、液晶基板製造工程、磁気ディスク製造工程、あるいは多層配線基板製造工程などの種々の製造工程において、フォトレジスト液、アルカリ系又は酸系の各種処理液、純水、洗浄液、あるいは有機溶剤などの各種の薬液をユースポイントに供給するために使用されており、例えば、半導体デバイスのフォトリソグラフィー工程で使用されるレジスト塗布装置や現像液供給装置がある。例えばレジスト塗布装置は、スピンチャックに保持されて回転するウエハの中心部に所定量のレジスト液を吐出するものであり、これによりウエハ表面に薄いレジスト膜が拡散するように塗布される。   This kind of chemical supply device is used in various manufacturing processes such as a semiconductor manufacturing process, a liquid crystal substrate manufacturing process, a magnetic disk manufacturing process, or a multilayer wiring board manufacturing process, and a photoresist solution, an alkaline or acid processing solution, It is used to supply various chemicals such as pure water, cleaning liquid, or organic solvent to a use point. For example, there are a resist coating apparatus and a developer supply apparatus used in a photolithography process of a semiconductor device. For example, a resist coating apparatus discharges a predetermined amount of resist solution to the central portion of a wafer that is held by a spin chuck and rotates, whereby a thin resist film is applied so as to diffuse on the wafer surface.

図7は、上記のような薬液供給装置の構成の一例を示したブロック図である。半導体製造工程で使用される薬液供給装置は、ダイヤフラム弁やベローズ弁等のストップバルブにより薬液供給が制御されることが通常であり、同図においては、薬液供給源である上流側のタンク1側から、薬液出口である下流側の吐出ノズル8側(ユースポイント)へ向けて、タンク1、バルブ2、ポンプ3、バルブ4、フィルタ5、バルブ6、バルブ7、ノズル8をこの順に直列に連設して構成されており、この構成により、タンク1に入った薬液をポンプ3によって吸引及び吐出し、フィルタ5によって異物を除去した後、バルブ6の開閉動作によりノズル8に供給されユースポイントに薬液が供給される。また、ユースポイントに供給される薬液には極めて高い清浄度が要求されるので、流路に介在するポンプ、バルブなどにも、高い清浄度のものが使用される。なおバルブ7は、サックバック機能を有しており、薬液の吐出が終了した後、サックバック動作を行いノズル8内に薬液を引き込んでユースポイントへの液ダレを防止する。   FIG. 7 is a block diagram showing an example of the configuration of the chemical solution supply apparatus as described above. In the chemical manufacturing apparatus used in the semiconductor manufacturing process, the chemical supply is usually controlled by a stop valve such as a diaphragm valve or a bellows valve. In FIG. To the downstream discharge nozzle 8 side (use point) that is the chemical solution outlet, the tank 1, the valve 2, the pump 3, the valve 4, the filter 5, the valve 6, the valve 7, and the nozzle 8 are connected in series in this order. With this configuration, the chemical liquid that has entered the tank 1 is sucked and discharged by the pump 3, the foreign matter is removed by the filter 5, and then supplied to the nozzle 8 by the opening / closing operation of the valve 6. Chemical solution is supplied. In addition, since the chemical solution supplied to the use point is required to have a very high cleanliness, a high cleanness is also used for a pump, a valve and the like interposed in the flow path. The valve 7 has a suck back function. After the discharge of the chemical liquid is completed, the valve 7 performs a suck back operation to draw the chemical liquid into the nozzle 8 and prevent liquid dripping to the use point.

上記構成と同様に構成された従来技術として、特許文献1が提案されている。同文献(図9など)には、フィルタの入口側に連通する排気流路を設け、この排気流路に所定の脱気弁を設けて、ポンプと各バルブが所定の連動をすることで、フィルタの濾過膜に付着した気泡の除去を図った薬液供給装置が示されている。   Patent document 1 is proposed as a prior art comprised similarly to the said structure. In the same document (such as FIG. 9), an exhaust passage communicating with the inlet side of the filter is provided, a predetermined deaeration valve is provided in the exhaust passage, and the pump and each valve are interlocked with each other, A chemical solution supply apparatus is shown in which bubbles adhering to a filter membrane of a filter are removed.

一方で、近年は半導体の微細化の進展に伴い、薬液供給も、極めて高精度にコントロールされる必要が生じてきていると共に、その清浄度への要求も益々高まってきている。これに伴い、上記のような薬液供給装置におけるバルブの開閉動作によって生じる極めて微細(約10nm程度)なパーティクルの発塵までもが問題となっている。高度化している近年の半導体プロセスにおいては、このような僅かなパーティクルの存在によっても製品の歩留まり、信頼性に大きな影響を与えるためである。例えば回路の配線ピッチに20nm以下の微細さが要求される場合は、少なくともこのピッチと同程度以上の大きさのパーティクルは、回路パターンの形成などに大きな悪影響を及ぼすおそれがあることから、確実に除去されなければならない。   On the other hand, in recent years, with the progress of miniaturization of semiconductors, it has become necessary to control the supply of chemicals with extremely high precision, and the demand for cleanliness has been increasing. Along with this, even fine particles (about 10 nm) generated by the opening and closing operation of the valve in the chemical supply apparatus as described above have become a problem. This is because, in recent semiconductor processes that are becoming more sophisticated, the presence of such a small number of particles greatly affects the yield and reliability of products. For example, when the circuit wiring pitch is required to be as fine as 20 nm or less, particles having a size equal to or larger than this pitch may have a great adverse effect on the formation of circuit patterns. Must be removed.

上記のような課題に関する従来技術としては、特許文献2〜4が提案されている。特許文献2では、薬液供給装置に使用する開閉弁として、弁と弁座との着座の際の発塵を抑制できるバルブを採用することで、薬液の清浄度の向上を図る手段が提案されている。同文献では、弁機構体のピストン部を、第2ばねにより付勢される第2ピストン部と、この第2ピストン部に収納され第1ばねに付勢される第1ピストン部との2重構成とし、弁の弁座への付勢力が、着座に必要な力とシール性能に必要な力に分けられていることで、弁が弁座へ衝突する際の衝撃を所定程度に緩和し、着座によって材料組織が剥離することによるパーティクルの発生の低減を図ったエア操作弁が示されている。   Patent Documents 2 to 4 have been proposed as conventional techniques related to the above problems. Patent Document 2 proposes a means for improving the cleanliness of a chemical solution by adopting a valve that can suppress dust generation when the valve and the valve seat are seated as an on-off valve used in the chemical solution supply apparatus. Yes. In this document, the piston portion of the valve mechanism is doubled between a second piston portion biased by a second spring and a first piston portion housed in the second piston portion and biased by the first spring. It is configured, and the urging force of the valve seat to the valve seat is divided into the force required for seating and the force required for sealing performance, so that the impact when the valve collides with the valve seat is mitigated to a certain extent, An air operation valve is shown in which the generation of particles due to the separation of the material structure by sitting is reduced.

特許文献3では、開閉弁として、閉状態においても完全に閉とならないバルブを採用することで、弁体と弁座との接触により発生するパーティクルの抑制を図る手段が提案されている。同文献では、フィルタの後段(処理液供給路)に第1バルブが設けられ、この第1バルブは、ピストンが下側に延びきった状態においても、弁体と弁座が当接しない構造との記載がある。また、処理液の吐出を停止する際は、第1バルブを閉状態、第2バルブを開状態とすることで第1バルブからはスローリーク程度の処理液が流通するものとなり、この流通した処理液は自重により分岐配管側へ流出して第2バルブ側へ流れ、これにより処理液タンクへ回収されることが言及されている。   Patent Document 3 proposes a means for suppressing particles generated by contact between a valve element and a valve seat by adopting a valve that is not completely closed even in a closed state as an on-off valve. In this document, a first valve is provided in a subsequent stage (processing liquid supply path) of the filter, and the first valve has a structure in which the valve body and the valve seat do not come into contact with each other even when the piston extends downward. Is described. When stopping the discharge of the processing liquid, the first valve is closed and the second valve is opened, so that a processing liquid of about a slow leak flows from the first valve. It is mentioned that the liquid flows out to the branch pipe side by its own weight, flows to the second valve side, and is thereby recovered to the treatment liquid tank.

特許文献4では、液体供給装置にアスピレータを備えたことで、液体使用部における液垂れを防ぐと共に、開閉弁やフィルタなどを削減して装置構造の簡素化と薬液の清浄度の向上を図る手段が提案されている。同文献(図8など)では、供給配管部にアスピレータが備えられており、このアスピレータは、主流路側に主配管部及び副配管部が、吸引流路側に使用側配管部が、それぞれ接続されており、本体部は各種のフッ素樹脂等から形成され、主流路に吸引流路が接続する部分に狭小管部が備えられ、狭小管部の下流側の主流路と吸引流路との接続部分に接続室が形成された構造との記載がある。   In Patent Document 4, by providing the liquid supply device with an aspirator, it is possible to prevent liquid dripping in the liquid use portion, and to reduce the number of on-off valves and filters, thereby simplifying the device structure and improving the cleanliness of the chemical solution. Has been proposed. In the same document (FIG. 8, etc.), an aspirator is provided in the supply piping section, and this aspirator is connected with the main piping section and the auxiliary piping section on the main flow path side, and the use side piping section on the suction flow path side. The main body portion is formed of various fluororesins, and a narrow pipe portion is provided at a portion where the suction flow path is connected to the main flow passage, and a connection portion between the main flow passage and the suction flow passage on the downstream side of the narrow pipe portion is provided. There is a description that the connection chamber is formed.

また同文献では、液体供給を停止する際、開閉機能を有する弁を開弁状態としておくことにより、アスピレータに到達した液体が主流路を通じて副配管部に流出して弁を通過し、循環配管部を流通して液体タンクに戻ると共に、液体はアスピレータの狭小管部を通過することから、吸引流路側が減圧されて使用側配管部の内部が負圧となり、ノズルまで満たされていた液体はアスピレータに向けて吸引されることが示されている。さらに、液体の供給量調整は、開閉機能を有する弁に流量制御弁を用いておこなう点の言及もある。   Further, in this document, when the liquid supply is stopped, by opening a valve having an opening / closing function, the liquid that has reached the aspirator flows out to the sub-pipe part through the main flow path and passes through the valve. Since the liquid passes through the narrow pipe portion of the aspirator and passes through the narrow pipe portion of the aspirator, the suction flow passage side is depressurized and the inside of the use side piping portion becomes negative pressure, and the liquid filled up to the nozzle is removed from the aspirator. It is shown to be sucked towards Furthermore, there is a mention that the liquid supply amount adjustment is performed using a flow control valve for a valve having an opening / closing function.

特許第3890229号公報Japanese Patent No. 3890229 特許第5226059号公報Japanese Patent No. 5226059 特開2015−177090号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-177090 特許第5887089号公報Japanese Patent No. 5887089

しかしながら、特許文献1は、所定の脱気弁によりフィルタ内の気泡を除去して薬液の吐出精度の向上を図ったものであり、バルブの開閉などから発生する微細なパーティクルを除去するものではない。すなわち、同文献に示されるような薬液供給装置の場合、図7に示したように、バルブ6がフィルタ5より下流側なので、バルブ6の開閉動作で発生する微細なパーティクルを、フィルタ5で捕捉して除去することは原理的に不可能である。フィルタによるパーティクルの捕捉・除去ができないことから、ユースポイントに供給される薬液の清浄度にも限界があり、よって、近年要求されるレベルの極めて高い薬液の清浄度を確実に確保することも困難となる。   However, Patent Document 1 is intended to improve the accuracy of chemical discharge by removing bubbles in a filter using a predetermined degassing valve, and does not remove fine particles generated by opening and closing of the valve. . That is, in the case of a chemical solution supply apparatus as shown in the same document, since the valve 6 is downstream of the filter 5 as shown in FIG. 7, fine particles generated by the opening / closing operation of the valve 6 are captured by the filter 5. It is impossible in principle to remove it. Since the filter cannot capture and remove particles, there is a limit to the cleanliness of the chemicals supplied to the point of use. Therefore, it is difficult to ensure the cleanliness of the extremely high chemicals required in recent years. It becomes.

また、特許文献2に示されるようなバルブの開閉に伴う発塵を抑制する開閉弁を、図7に示した薬液供給装置に使用したとしても、結局は弁座と弁との摺動・摩擦が不可避な構造であるから、バルブ開閉による微細なパーティクルの発生を防ぐには限度があり、不十分である。このため、同文献のような開閉弁の使用のみをもって、近年薬液に要求されている極めて高いレベルの清浄度は実現し難い。さらに、このようなバルブは構造が複雑で高価であるから、薬液供給装置に使用した場合はコスト性やメンテナンス性、取扱い性などが悪く採用し難い。   Further, even if an on-off valve for suppressing dust generation associated with opening and closing of the valve as shown in Patent Document 2 is used in the chemical solution supply apparatus shown in FIG. However, since this is an inevitable structure, there is a limit to preventing the generation of fine particles due to opening and closing of the valve. For this reason, it is difficult to achieve an extremely high level of cleanliness required for chemicals in recent years only by using an on-off valve as in the same document. Furthermore, since such a valve has a complicated structure and is expensive, when it is used in a chemical solution supply apparatus, it is difficult to adopt it because of its low cost, maintenance and handling.

この点、特許文献3に示された開閉弁(第1バルブ)は、閉状態においても弁体が弁座に当接しないものであるが、例えば、処理液吐出を停止する際に、開閉弁の弁体をどの程度まで閉じるか、或は開閉弁から漏れる処理液がすべて分岐配管側へ流れてノズルから液ダレすることがないことが確実か、などの点につき全く不明確であって、少なくとも処理液の停止能力の信頼性が低いと言わざるを得ない。また、開閉弁の詳細な構造や装置の動作なども不明瞭であり、しかも、通常このような特殊なバルブはコスト性やメンテナンス性などの点に難点がある。したがって、高清浄度や高吐出挙動性などが求められる薬液供給装置としては採用し難い。   In this regard, the on-off valve (first valve) shown in Patent Document 3 is such that the valve element does not contact the valve seat even in the closed state. For example, when the processing liquid discharge is stopped, the on-off valve It is completely unclear as to how close the valve body is, or whether it is certain that all of the processing liquid leaking from the on-off valve will flow to the branch piping side and will not drip from the nozzle, It must be said that at least the reliability of the treatment liquid stopping ability is low. Also, the detailed structure of the on-off valve and the operation of the device are unclear, and such a special valve usually has problems in terms of cost and maintenance. Therefore, it is difficult to adopt as a chemical supply apparatus that requires high cleanliness, high discharge behavior, and the like.

また、フィルタは、高純度の薬液中に不純物として含有されるパーティクルを物理的に確実に捕捉して分離・濾過するという重要な機能を担っているので、薬液やバルブなどの機器の清浄度を近年要求されるレベルに高めつつ安定した薬液供給を維持するため、薬液供給装置に欠かすことのできない構成要素であると言える。よって、バルブの開閉動作によりパーティクルが発生する上記問題は、そのバルブの構造を上記のように改良するなどにより解決を図るより、そのバルブの下流側のフィルタによりパーティクルが確実に捕捉される構造により解決されなければならない。フィルタによる薬液の分離・濾過構造を採ることで、バルブなどの部品・機械構造の改良やメンテナンスなどに伴う余計なコスト、或は装置の大型化などを回避しつつ簡易かつ確実に薬液の高クリーン性、或は装置のコンパクト性を確保できる。   In addition, the filter plays an important function of physically capturing, separating, and filtering particles contained as impurities in high-purity chemicals. In order to maintain a stable chemical supply while increasing to a level required in recent years, it can be said that this is an indispensable component of the chemical supply apparatus. Therefore, the problem that the particles are generated by the opening / closing operation of the valve is solved by improving the structure of the valve as described above, etc., but the structure in which the particles are reliably captured by the filter on the downstream side of the valve. Must be resolved. By adopting a chemical solution separation / filtration structure with a filter, it is easy and reliable high-cleaning of the chemical solution while avoiding the extra costs associated with improvements and maintenance of parts such as valves and mechanical structures, and the increase in size of the equipment. Or the compactness of the apparatus can be secured.

一方、図7に示した薬液供給装置において、フィルタ5の下流側からバルブを排除すべく、フィルタ5をバルブ6とバルブ7との間に設けることも可能である。この場合は、フィルタ5がバルブ6の下流側となるから、バルブ6の開閉動作で生じるパーティクルをフィルタ5で捕捉可能となる。   On the other hand, in the chemical solution supply apparatus shown in FIG. 7, the filter 5 can be provided between the valve 6 and the valve 7 in order to exclude the valve from the downstream side of the filter 5. In this case, since the filter 5 is on the downstream side of the valve 6, particles generated by the opening / closing operation of the valve 6 can be captured by the filter 5.

しかしながら、フィルタ5をバルブ6の下流側に設けた場合は、通常、次のような問題が生じる。すなわちこの構成にした場合は、フィルタ5における圧力損失が生じたり、あるいは、フィルタ5の上流側で発生した気泡がフィルタ5内に蓄積することで、薬液の吐出挙動が不安定となり、必要なレベルの高精度な薬液供給量調整ができなくなる。また、フィルタ5内の残圧などによりバルブ6を閉じた後に液ダレが生じる問題や、バルブ6とフィルタ5との接続部位が複雑化し、この接続部位に気泡が滞留し易くなる問題も生じる。さらに、フィルタ5に高い圧力を加えることができなくなるため初期エアパージに時間を要したり、フィルタ5とバルブ6との組み合わせが大型化し装置内にコンパクトに収まらなくなる問題も生じる。よって、フィルタ5を最も下流側に設けるなど、単にその配置を変更するのみでは、上記課題は解決できない。   However, when the filter 5 is provided on the downstream side of the valve 6, the following problems usually occur. That is, in this configuration, pressure loss in the filter 5 occurs, or bubbles generated on the upstream side of the filter 5 accumulate in the filter 5 so that the discharge behavior of the chemical liquid becomes unstable, and the required level. It becomes impossible to adjust the amount of chemical supply with high accuracy. In addition, there arises a problem that dripping occurs after the valve 6 is closed due to a residual pressure in the filter 5 or the connection part between the valve 6 and the filter 5 is complicated, and bubbles are likely to stay in the connection part. Furthermore, since it becomes impossible to apply a high pressure to the filter 5, it takes time for the initial air purge, and the combination of the filter 5 and the valve 6 increases in size and cannot be compactly accommodated in the apparatus. Therefore, the above problem cannot be solved by simply changing the arrangement, such as providing the filter 5 on the most downstream side.

この点、特許文献4の液体供給装置では、フィルタの後段からノズルまでの間にバルブは設けられていない。しかしながら、アスピレータが装置の構成において必須要素となっている。同文献のアスピレータは、素材も高価であって構造が複雑であるから装置の使用性やコスト性、メンテナンス性などに難点があると共に、狭小管部や接続室が特殊な形状であるから気泡やマイクロバブルの発生を抑制し難い。また、アスピレータのような特殊な構成要素を用いることなく、できる限りシンプルな構成で上記課題を解決できれば有益であると言える。   In this regard, in the liquid supply device of Patent Document 4, no valve is provided between the subsequent stage of the filter and the nozzle. However, an aspirator is an essential element in the configuration of the apparatus. The aspirator of the same document is expensive in material and complicated in structure, so there are difficulties in the usability, cost and maintenance of the device, and the narrow pipe part and connection chamber have a special shape, so bubbles and It is difficult to suppress the generation of microbubbles. Moreover, it can be said that it would be beneficial if the above-mentioned problems could be solved with a simple configuration as much as possible without using special components such as an aspirator.

さらに、薬液の供給量調整は、ポンプからアスピレータを介して使用側配管部の分岐から更に下流側の副配管部に接続された流量調節弁単独でおこなう点のみ開示され、その動作の詳細などの開示はなく、しかも、フィルタやアスピレータなどにおけるエアパージや気泡除去などに関しても開示はない。よって、少なくとも薬液の圧力応答性や吐出挙動の安定性、薬液供給量の調整精度などに関しても不明瞭であって信頼性が低いと言わざるを得ない。したがって、同文献の薬液供給装置もやはり採用し難い。   Furthermore, the adjustment of the supply amount of the chemical solution is disclosed only from the point that the flow control valve connected from the branch of the use side piping unit to the downstream side sub piping unit via the aspirator is connected to the downstream side, and the details of the operation are disclosed. There is no disclosure, and there is no disclosure regarding air purging and bubble removal in filters and aspirators. Therefore, at least the pressure response of the chemical solution, the stability of the discharge behavior, and the adjustment accuracy of the chemical solution supply amount are unclear and must be said to have low reliability. Therefore, it is difficult to adopt the chemical supply apparatus of the same document.

そこで、本発明は上記問題点を解決するために開発されたものであり、その目的とするところは、バルブとフィルタを一体的に集積化したシンプル構造かつコンパクトデザインであって、バルブの後段にフィルタを設けこのフィルタによりバルブの着座・離座から発生する微細なパーティクルをも確実に捕捉・除去可能な高クリーン構造を採用しながら、圧力損失やデッドボリューム或は気泡やマイクロバブルの発生を最小限に抑制して薬液吐出挙動の高い安定性と薬液の高い供給量調整精度を確保し、しかも液ダレの発生も確実に防止したフィルタユニットと薬液供給装置を提供することにある。   Therefore, the present invention has been developed to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is a simple structure and a compact design in which the valve and the filter are integrated integrally, and the downstream of the valve. A filter is provided to minimize the generation of pressure loss, dead volume, air bubbles, and microbubbles while adopting a high clean structure that can reliably capture and remove fine particles generated by valve seating and separation. An object of the present invention is to provide a filter unit and a chemical solution supply device that can be suppressed to the limit to ensure high stability of the chemical solution discharge behavior and high supply amount adjustment accuracy of the chemical solution, and also reliably prevent the occurrence of liquid sag.

上記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体にはフィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、ブロック体に設けられた流路によってフィルタとベント機構とが一体集積されたフィルタユニットである。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a filter is incorporated in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter. This is a filter unit in which a filter and a vent mechanism are integrated together by a provided flow path.

請求項2に係る発明は、ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体にはフィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、ブロック体に設けられた流路によってフィルタとベント機構とが一体集積されると共に、ベント機構には、ベント弁とブロック体に設けられた二次側流路に設けられた出口弁との駆動力を兼用する同一のアクチエータが設けられたフィルタユニットである。   According to the second aspect of the present invention, a filter is incorporated in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter is provided by a flow path provided in the block body. And the vent mechanism are integrated together, and the vent mechanism is provided with the same actuator that combines the driving force of the vent valve and the outlet valve provided in the secondary flow path provided in the block body. It is a filter unit.

請求項3に係る発明は、ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体にはフィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、ブロック体に設けられた流路によってフィルタとベント機構とが一体集積されると共に、フィルタの一次側領域には、サックバック機能を有するサックバック機構が設けられ、このサックバック機構がブロック体に一体集積されたフィルタユニットである。   According to a third aspect of the present invention, a filter is built in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter is provided by a flow path provided in the block body. And a vent mechanism are integrally integrated, and in the primary region of the filter, a suck back mechanism having a suck back function is provided, and this suck back mechanism is a filter unit integrated in a block body.

請求項4に係る発明は、ブロック体には、フィルタの一次側流路と二次側流路に連通した入口継手と出口継手とが備えられたフィルタユニットである。   The invention according to claim 4 is the filter unit in which the block body is provided with an inlet joint and an outlet joint communicated with the primary flow path and the secondary flow path of the filter.

請求項5に係る発明は、出口弁には、流路を開閉する機能、流路の開閉を調整する機能又はサックバック機能を備え、この出口弁は、二次側流路によってフィルタと一体集積されると共に、エアパージ動作を効率的に促す機構であるフィルタユニットである。   In the invention according to claim 5, the outlet valve has a function of opening and closing the flow path, a function of adjusting the opening and closing of the flow path, or a suck back function, and the outlet valve is integrated with the filter by the secondary side flow path. In addition, the filter unit is a mechanism that efficiently promotes the air purge operation.

請求項6に係る発明は、ブロック体には、フィルタ収納用の収納室が設けられ、この収納室内には、連通部を有するケーシングで被覆された中空糸膜又は平膜からなるフィルタが設けられたフィルタユニットである。   In the invention according to claim 6, the block body is provided with a storage chamber for storing a filter, and a filter made of a hollow fiber membrane or a flat membrane covered with a casing having a communicating portion is provided in the storage chamber. Filter unit.

請求項7に係る発明は、ブロック体は、入口ブロックと出口ブロックとが嵌め合わされて液密にシールされて構成され、入口ブロックと出口ブロックとに収納室が形成され、この収納室にフィルタを内蔵したフィルタユニットである。   In the invention according to claim 7, the block body is configured by fitting the inlet block and the outlet block and being liquid-tightly sealed, and a storage chamber is formed in the inlet block and the outlet block, and a filter is provided in the storage chamber. Built-in filter unit.

請求項8に係る発明は、フィルタの出口が鉛直方向に設けられ、ベント機構がフィルタの一次側領域内のエアが溜まる位置に設けられたフィルタユニットである。   The invention according to claim 8 is the filter unit in which the outlet of the filter is provided in the vertical direction and the vent mechanism is provided at a position where the air in the primary side region of the filter accumulates.

請求項9に係る発明は、フィルタユニットの一次側に薬液又は流体の供給を制御するための開閉弁が取り付けられ、フィルタユニットの二次側には吐出ノズルが設けられた薬液供給装置である。   According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus in which an on-off valve for controlling supply of chemical liquid or fluid is attached to the primary side of the filter unit, and a discharge nozzle is provided on the secondary side of the filter unit.

請求項1に記載の発明によると、ベント機構を設けたから、フィルタ一次側に滞留した気泡やマイクロバブルを適切に排出できる。特に、装置の使用開始時における初期エアパージや、運転中に薬液の吐出挙動が不安定化した際に適宜のエアパージが可能となり、圧力応答性を確実に維持できるから、薬液供給を常に安定化させることが可能となる。   According to the first aspect of the present invention, since the vent mechanism is provided, bubbles and microbubbles staying on the primary side of the filter can be appropriately discharged. In particular, the initial air purge at the start of use of the device and the appropriate air purge can be performed when the discharge behavior of the chemical solution becomes unstable during operation, and the pressure response can be reliably maintained, so that the chemical solution supply is always stabilized. It becomes possible.

また、ベント機構は、ブロック体に設けられた流路によってフィルタと一体集積されているから、コンパクト化されることでフィルタユニットのコスト性、メンテナンス性、使用性などを大幅に高めることができる。特に、一体集積化によりベント機構とフィルタとの間のデッドボリュームを最小化・最適化できるから、圧力応答性の維持を確実なものとすることができる。   In addition, since the vent mechanism is integrated with the filter through the flow path provided in the block body, the cost, maintenance, and usability of the filter unit can be greatly improved by downsizing the vent mechanism. Particularly, since the dead volume between the vent mechanism and the filter can be minimized and optimized by integration, the pressure responsiveness can be reliably maintained.

請求項2に記載の発明によると、ベント機構には、ベント弁とブロック体に設けられた二次側流路に設けられた出口弁との駆動力を兼用する同一のアクチエータを設けたから、フィルタユニットの一体集積化に著しく寄与できる。しかも、アクチエータの簡素化及びコンパクト化が可能となると共に、ベント機構と出口弁との連動性を高めて気泡排出の効率化を図ることもできる。   According to the second aspect of the present invention, the vent mechanism is provided with the same actuator that combines the driving force of the vent valve and the outlet valve provided in the secondary flow path provided in the block body. This can contribute significantly to the integration of the unit. In addition, the actuator can be simplified and made compact, and the linkage between the vent mechanism and the outlet valve can be enhanced to improve the efficiency of discharging the bubbles.

請求項3に記載の発明によると、サックバック機能を有するサックバック機構を設けたから、薬液の吐出が終了した後に薬液をフィルタユニット内に適宜引き込むことが可能となり、吐出ノズルからの液ダレの防止が確実なものとなる。また、このサックバック機構はフィルタの一次側領域に設けられるから、サックバック機構から発生し得るパーティクルをもフィルタで確実に捕捉可能となり、薬液の清浄度を高めることができる。   According to the invention described in claim 3, since the suck back mechanism having the suck back function is provided, the chemical liquid can be appropriately drawn into the filter unit after the discharge of the chemical liquid is completed, and the liquid dripping from the discharge nozzle is prevented. Is certain. Further, since this suck back mechanism is provided in the primary region of the filter, particles that can be generated from the suck back mechanism can be reliably captured by the filter, and the cleanliness of the chemical solution can be increased.

請求項4に記載の発明によると、ブロック体にはフィルタの一次側流路と二次側流路に連通した入口継手と出口継手とが備えられたから、これらの継手を介して、供給する流体や使用条件などに応じて、フィルタユニットを様々な既存装置に対し適宜の場所に着脱自在に設けることが可能となり、フィルタユニットの使用性を大幅に高めることができる。   According to the invention described in claim 4, since the block body is provided with the inlet joint and the outlet joint communicated with the primary flow path and the secondary flow path of the filter, the fluid to be supplied through these joints Depending on the operating conditions and the like, the filter unit can be detachably attached to various existing devices at appropriate places, and the usability of the filter unit can be greatly improved.

請求項5に記載の発明によると、出口弁には、流路を開閉する機能、流路の開閉を調整する機能、又はサックバック機能を備えたから、供給する流体や使用条件などに応じて出口弁を開閉弁、流量調整弁、サックバック弁として使用可能となる。また、出口弁はエアパージ動作を効率的に促す機構だから、エアパージの効率化により、例えば、初期エアパージを効率化して装置の立ち上げ時間を短縮化したり、吐出挙動の不安定化などによる薬液供給の不具合をすばやくかつ適切に回復させたりすることが可能となり、もって、薬液供給装置の高い圧力応答性を確実に確保可能となる。   According to the fifth aspect of the present invention, the outlet valve has a function for opening and closing the flow path, a function for adjusting the opening and closing of the flow path, or a suck back function. The valve can be used as an on-off valve, a flow control valve, or a suck back valve. In addition, since the outlet valve is a mechanism that efficiently promotes the air purge operation, the efficiency of the air purge improves the efficiency of the initial air purge, shortens the startup time of the device, and stabilizes the discharge behavior. It is possible to quickly and appropriately recover the malfunction, and thus it is possible to reliably ensure a high pressure response of the chemical solution supply apparatus.

請求項6に記載の発明によると、ブロック体にはフィルタ収納用の収納室が設けられ、この収納室内には連通部を有するケーシングで被覆された中空糸膜又は平膜から成るフィルタが設けられたから、ブロック体に適切にフィルタを収納可能となると共に、使用に応じてフィルタ種類を適切に選択できる。特に、圧力で変形しにくく高い集積度及び容積効率を有する中空糸膜が好適である。   According to the invention described in claim 6, the block body is provided with a storage chamber for storing the filter, and the storage chamber is provided with a filter made of a hollow fiber membrane or a flat membrane covered with a casing having a communicating portion. Therefore, the filter can be appropriately stored in the block body, and the filter type can be appropriately selected according to use. In particular, a hollow fiber membrane that is not easily deformed by pressure and has a high degree of integration and volumetric efficiency is suitable.

請求項7に記載の発明によると、ブロック体は、入口ブロックと出口ブロックとが嵌め合わされて液密にシールされて構成されたから、ブロック体を簡易にコンパクト化できると共に、接続部位が極めてシンプルな構造となることで気泡の滞留しやすい箇所を最小限に抑制することができる。   According to the invention described in claim 7, since the block body is configured by fitting the inlet block and the outlet block and being liquid-tightly sealed, the block body can be easily made compact and the connecting portion is extremely simple. With the structure, it is possible to minimize the locations where bubbles are likely to stay.

また、入口ブロックと出口ブロックとに収納室が形成され、この収納室にフィルタを内蔵するから、フィルタに応じてブロック体をコンパクトかつ適切に形成することができると共に、フィルタ容積の最適化が可能となり、フィルタにおける圧力損失を最小化することが可能となる。   In addition, since a storage chamber is formed in the inlet block and the outlet block, and a filter is built in this storage chamber, the block body can be formed compactly and appropriately according to the filter, and the filter volume can be optimized. Thus, the pressure loss in the filter can be minimized.

請求項8に記載の発明によると、フィルタの出口が鉛直方向に設けられ、ベント機構がフィルタの一次側領域内のエアが溜まる位置に設けられたから、フィルタの一次側に滞留するおそれのある気泡やマイクロバブルを確実に排出することができる。   According to the eighth aspect of the present invention, since the outlet of the filter is provided in the vertical direction and the vent mechanism is provided at a position where the air in the primary side region of the filter accumulates, there is a possibility that air bubbles may stay on the primary side of the filter. And microbubbles can be reliably discharged.

請求項9に記載の発明によると、フィルタユニットの一次側に薬液又は流体の供給を制御するための開閉弁が取り付けられ、フィルタユニットの二次側には吐出ノズルが設けられたものであり、このフィルタユニットには、フィルタの後段から吐出ノズル(ユースポイント)までの間に、常時開閉するバルブ(ストップバルブなど)が存在しないから、フィルタユニットを、薬液又は流体の流路において、すべての開閉弁に対して最も後段(二次側)に設けることができる。よって、流路に存在する開閉弁の弁体と弁座の接触から発生する微細なパーティクルを、すべてフィルタユニットで確実に捕捉可能となる。したがって、薬液又は流体の清浄度を飛躍的に高めた高クリーンな薬液供給装置を提供することができる。   According to the invention described in claim 9, an on-off valve for controlling supply of a chemical solution or fluid is attached to the primary side of the filter unit, and a discharge nozzle is provided on the secondary side of the filter unit, This filter unit does not have a valve (such as a stop valve) that always opens and closes from the latter stage of the filter to the discharge nozzle (use point). It can be provided at the most downstream stage (secondary side) with respect to the valve. Therefore, all fine particles generated from the contact between the valve body of the on-off valve and the valve seat existing in the flow path can be reliably captured by the filter unit. Therefore, it is possible to provide a high-clean chemical supply apparatus that dramatically increases the cleanliness of the chemical or fluid.

本発明のフィルタユニットのブロック図である。It is a block diagram of the filter unit of the present invention. 本発明のフィルタユニットの第1実施形態を示した断面説明図である。It is sectional explanatory drawing which showed 1st Embodiment of the filter unit of this invention. 本発明のフィルタユニットの第2実施形態を示した断面説明図である。It is sectional explanatory drawing which showed 2nd Embodiment of the filter unit of this invention. 本発明のフィルタユニットの別の実施形態のブロック図である。It is a block diagram of another embodiment of the filter unit of the present invention. 本発明のフィルタユニットの第3実施形態を示した断面説明図である。It is sectional explanatory drawing which showed 3rd Embodiment of the filter unit of this invention. 本発明のフィルタの半裁断面図である。It is a half cut sectional view of the filter of the present invention. 従来の薬液供給装置のブロック図の一例である。It is an example of the block diagram of the conventional chemical | medical solution supply apparatus.

以下に、本発明のフィルタユニットと薬液供給装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の薬液供給装置の第1実施形態(又は第2実施形態)のブロック図を示している。本発明の薬液供給装置においては、フィルタユニットの一次側に薬液又は流体の供給を制御するための開閉弁が取り付けられ、フィルタユニットの二次側には吐出ノズルが設けられている。   Hereinafter, embodiments of a filter unit and a chemical solution supply apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a block diagram of a first embodiment (or a second embodiment) of a chemical liquid supply apparatus of the present invention. In the chemical solution supply apparatus of the present invention, an on-off valve for controlling supply of the chemical solution or fluid is attached to the primary side of the filter unit, and a discharge nozzle is provided on the secondary side of the filter unit.

図1において、15は薬液14が貯留されたタンク、17はポンプである。ポンプ17は、流路内の薬液を吸入・吐出駆動してユースポイントへ薬液を供給するもので、例えばベローズタイプのポンプが使用され、ポンプ17の一次側と二次側に、開閉弁16、18がそれぞれ設けられている。一点鎖線で示した10は本発明のフィルタユニットを、11はフィルタを、12はベント弁を、13は出口弁を、それぞれ模式的に示している。後述のように、本発明のフィルタユニットが第2実施形態の場合は、ベント弁12のアクチエータと出口弁13のアクチエータとは同一のものが用いられる。また、19は吐出ノズルを示している。   In FIG. 1, 15 is a tank in which a chemical solution 14 is stored, and 17 is a pump. The pump 17 is configured to supply the chemical solution to the use point by sucking and discharging the chemical solution in the flow path. For example, a bellows type pump is used, and the opening and closing valves 16 are provided on the primary side and the secondary side of the pump 17. 18 are provided. 10 indicated by a one-dot chain line is a filter unit of the present invention, 11 is a filter, 12 is a vent valve, and 13 is an outlet valve. As will be described later, when the filter unit of the present invention is the second embodiment, the same actuator is used for the vent valve 12 and the outlet valve 13. Reference numeral 19 denotes a discharge nozzle.

本発明の薬液供給装置としては、例えば半導体製造プロセスにおけるコータデベロッパの薬液供給装置や、ウエハ洗浄装置の薬液供給装置などが挙げられ、また薬液としては、例えばレジスト、シンナー、現像液、洗浄液、剥離液、超純水などが挙げられるが、所定レベルの高清浄度・高精度な薬液供給が要求される薬液供給装置であれば制限はない。   Examples of the chemical solution supply device of the present invention include a coater developer chemical solution supply device in a semiconductor manufacturing process, a wafer cleaning device chemical solution supply device, and the like, and examples of the chemical solution include resist, thinner, developer, cleaning solution, and peeling. Examples thereof include liquids and ultrapure water, but there is no limitation as long as the chemical liquid supply apparatus is required to supply a chemical liquid with a predetermined level of high cleanliness and high accuracy.

図2は、本発明のフィルタユニットの第1実施形態を示した断面説明図である。同図の上方向は、鉛直上方向である。本発明のブロック体は、入口ブロックと出口ブロックとが嵌め合わされて液密にシールされて構成される。図示するように、本例では、ブロック体20は、入口ブロック21の環状凸部21aと出口ブロック22の環状凹部22aとを密着嵌合させ、内部の流体を液密にシールしている。なお図示していないが、入口ブロック21と出口ブロック22のシールは、この他、PTFE製のリング状ガスケットなどのシール材を介してシールしてもよく、さらにシール材を介さない密着嵌合のほか、例えばカシメ、溶接や溶着などでシールするようにしてもよい。   FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing the first embodiment of the filter unit of the present invention. The upward direction in the figure is the vertical upward direction. The block body of the present invention is configured by fitting an inlet block and an outlet block and sealing them in a liquid-tight manner. As shown in the figure, in this example, the block body 20 closely fits the annular convex portion 21a of the inlet block 21 and the annular concave portion 22a of the outlet block 22 to seal the fluid inside. Although not shown, the seal between the inlet block 21 and the outlet block 22 may be sealed through a sealing material such as a PTFE ring-shaped gasket, or in close contact with no sealing material. In addition, for example, sealing may be performed by caulking, welding, welding, or the like.

また、ブロック体とは、流体の流路として当該ブロック体を構成しているボディの内部に刻設された流路を有するものであり、例えば、複数のブロック同士が互いの流路を継手や配管等を介さず連通するように一体集積的に接続された場合も、一つのブロック体である。   The block body has a flow path engraved inside the body constituting the block body as a flow path of the fluid. For example, a plurality of blocks connect each other's flow paths with joints or the like. Even when connected integrally and so as to communicate without piping or the like, it is one block body.

本発明のブロック体には、フィルタ収納用の収納室が設けられ、また、フィルタの一次側流路と二次側流路に連通した入口継手と出口継手とが備えられる。本例では、入口ブロック21と出口ブロック22とに、それぞれ中空円柱形状の収納室23、24が形成されている。入口ブロック21と出口ブロック22とを嵌め合せてブロック体20を構成した際、これらの収納室23、24同士が中空円柱形状の収納室25を形成し、この収納室25に、後述のフィルタ26が内蔵される。収納室23、24は、収納されるフィルタ26の外形に適合する形状となっていれば好適であるため、本例の収納室25の形状は、フィルタ26の外径に最適な形状(円柱形状)に形成されている。ただし、本発明の収納室の形状は、本例のような円柱形状に限定されず、実施に応じて適宜選択可能である。   The block body of the present invention is provided with a storage chamber for storing a filter, and further includes an inlet joint and an outlet joint that communicate with the primary flow path and the secondary flow path of the filter. In this example, hollow cylindrical storage chambers 23 and 24 are formed in the inlet block 21 and the outlet block 22, respectively. When the block body 20 is configured by fitting the inlet block 21 and the outlet block 22, the storage chambers 23, 24 form a hollow cylindrical storage chamber 25, and a filter 26 described later is formed in the storage chamber 25. Is built-in. Since it is preferable that the storage chambers 23 and 24 have a shape that conforms to the outer shape of the filter 26 to be stored, the shape of the storage chamber 25 in this example is an optimal shape (cylindrical shape) for the outer diameter of the filter 26. ). However, the shape of the storage chamber of the present invention is not limited to the cylindrical shape as in this example, and can be appropriately selected according to the implementation.

図2において、入口ブロック21内部には、収納室23と入口28とを連通する一次側流路27が刻設されている。入口28には、図示しない耐薬品性(PFA製など)のチューブを接続する入口継手29が設けられている。入口継手29は、PFA製などのユニオンナットと、スリーブと、ETFE製などのゲージリングとを有しており、チューブをユニオンナットとスリーブとの間に所定の深さまで挿入した後、ユニオンナットを締付けることでチューブが入口継手29に液密に接続固定される。   In FIG. 2, a primary flow path 27 that communicates between the storage chamber 23 and the inlet 28 is formed in the inlet block 21. The inlet 28 is provided with an inlet joint 29 for connecting a chemical resistant (not shown) tube (made of PFA or the like). The inlet joint 29 has a union nut made of PFA or the like, a sleeve, and a gauge ring made of ETFE or the like, and after inserting the tube to a predetermined depth between the union nut and the sleeve, the union nut is By tightening, the tube is connected and fixed to the inlet joint 29 in a liquid-tight manner.

また、出口ブロック22内部にも、後述の出口弁30を介して2次側流路31が刻設され、収納室24と出口32とを連通している。出口32にも、入口継手29と同様の構造の出口継手33が設けられている。なお入口継手29、出口継手33は、樹脂製チューブを接続する継手に限らず、配管などの流路部材を適宜接続可能な継手部材であればよい。   Further, a secondary side flow path 31 is also engraved inside the outlet block 22 via an outlet valve 30 described later, and the storage chamber 24 and the outlet 32 are communicated with each other. The outlet 32 is also provided with an outlet joint 33 having a structure similar to that of the inlet joint 29. The inlet joint 29 and the outlet joint 33 are not limited to joints that connect resin tubes, but may be joint members that can appropriately connect flow path members such as pipes.

入口ブロック21(出口ブロック22)は、HDPE、PTFE、PFA、PVDFなどの高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成形されており、図示していないが、直方体状または円柱状のコンパクトな外形を呈している。   The inlet block 21 (outlet block 22) is formed from a material having high chemical resistance and low elution, such as HDPE, PTFE, PFA, PVDF, and is not shown, but has a rectangular parallelepiped or cylindrical compact outer shape. Presents.

本発明のブロック体にはフィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、ブロック体に設けられた流路によってフィルタとベント機構とが一体集積されている。また、フィルタの出口が鉛直方向に設けられ、ベント機構がフィルタの一次側領域内のエアが溜まる位置に設けられている。   The block body of the present invention is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter and the vent mechanism are integrated together by a flow path provided in the block body. In addition, the outlet of the filter is provided in the vertical direction, and the vent mechanism is provided at a position where air in the primary side region of the filter accumulates.

図2において、出口ブロック22には、フィルタ26の一次側領域34に連通するエア抜き流路35が形成されている。このエア抜き流路35は、弁室36へ連通し、弁室36には、エア抜き口35で外部へ開口した直線状のエア抜き流路37が連通している。また、エア抜き流路35の収納室24内における一次側領域34へ向けた開口位置は、収納室25の上部、すなわち、流体を収納室25内へ流入してフィルタ26を使用した際に、気泡やマイクロバブルなどが浮力で上昇して滞留し易い一次側領域34の最上部付近に向けて開口しており、このため、滞留して悪影響を及ぼしやすい気泡などを効率的に排出可能となっている。   In FIG. 2, an air vent channel 35 communicating with the primary region 34 of the filter 26 is formed in the outlet block 22. The air vent channel 35 communicates with the valve chamber 36, and a linear air vent channel 37 that opens to the outside through the air vent 35 communicates with the valve chamber 36. The opening position of the air vent channel 35 toward the primary region 34 in the storage chamber 24 is the upper portion of the storage chamber 25, that is, when the fluid is flowed into the storage chamber 25 and the filter 26 is used. Air bubbles and microbubbles are opened toward the uppermost portion of the primary region 34 where they are likely to rise and stay due to buoyancy, so that bubbles that are likely to stay and have an adverse effect can be efficiently discharged. ing.

図2において、本例におけるベント機構として、出口ブロック22には、エア抜き流路35を開閉するベント弁38が搭載(一体集積)されている。ベント弁38は、空圧アクチュエータを備えたダイヤフラムバルブであり、オペレート用のエア供給口39を有したボデー40と、その内部には、バネ41に付勢されたピストン42と、ピストン42のピストンロッド先端部に螺着などにより接続されたダイヤフラム43とを有している。またボデー40と出口ブロック22との間には、保持体44が狭着固定されている。ダイヤフラム43は、その内側が可動膜部となって弁室36内で弁座45に着座してエア抜き流路35を開閉する弁体であり、その外周部は出口ブロック22と保持体44との間に狭着固定されている。   In FIG. 2, a vent valve 38 that opens and closes the air vent channel 35 is mounted (integrated and integrated) on the outlet block 22 as a vent mechanism in this example. The vent valve 38 is a diaphragm valve having a pneumatic actuator, and includes a body 40 having an air supply port 39 for operation, a piston 42 biased by a spring 41 inside, and a piston of the piston 42. And a diaphragm 43 connected to the tip of the rod by screwing or the like. A holding body 44 is tightly fixed between the body 40 and the outlet block 22. The diaphragm 43 is a valve body that has a movable film portion inside and is seated on the valve seat 45 in the valve chamber 36 to open and close the air vent channel 35. It is fixed tightly between.

ベント弁38は、ノーマルクローズ型であり、バネ41がピストン42を付勢して先端部のダイヤフラム43が着座することで閉弁し、エア供給口39にエアが供給されることによりエア室内の空圧がピストン42を押圧してダイヤフラム43を弁座から持ち上げることで開弁する。このようなベント弁38の開閉動作は、図示しない制御装置などにより自動制御可能となっている。   The vent valve 38 is a normally closed type, and the spring 41 biases the piston 42 so that the diaphragm 43 at the front end is seated to close the valve. The air pressure is opened by pressing the piston 42 and lifting the diaphragm 43 from the valve seat. The opening / closing operation of the vent valve 38 can be automatically controlled by a control device (not shown).

ボデー40は、PFA、PTFEのほか、PVDF、PP、PVCなどの高い耐薬品性、低溶出性、及び使用流体の温度に最適となる材質から形成される。また、ベント弁38も、高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成り、開閉動作に伴う発塵が少ないストップバルブであれば特に制限されず、例えば上記の構成のほか、ベローズバルブなどでもよく、電気信号により作動するソレノイドバルブなどでもよい。   In addition to PFA and PTFE, the body 40 is made of a material that is optimal for high chemical resistance, low elution, and the temperature of the fluid used, such as PVDF, PP, and PVC. The vent valve 38 is not particularly limited as long as it is a stop valve made of a material having high chemical resistance and low elution, and generates little dust due to opening and closing operations. For example, in addition to the above configuration, a bellows valve may be used. Alternatively, a solenoid valve that is actuated by an electric signal may be used.

図2において、本例におけるベント機構として、出口ブロック22には、二次側流路31を開閉する出口弁30が搭載(一体集積)されている。本発明の出口弁は、ブロック体に設けられた流路を開閉する機能、流路の開閉を調整する機能、又はサックバック機能を備え、また、二次側流路によってフィルタと一体集積されると共に、エアパージ動作を効率的に促す機構である。   In FIG. 2, an outlet valve 30 that opens and closes the secondary side flow path 31 is mounted (integrated and integrated) on the outlet block 22 as a vent mechanism in this example. The outlet valve of the present invention has a function of opening and closing a flow path provided in the block body, a function of adjusting the opening and closing of the flow path, or a suck back function, and is integrated with the filter by the secondary side flow path. At the same time, the mechanism efficiently promotes the air purge operation.

図2に示すように、本例の2次側流路31は、フィルタ26の二次側から二次側流路31aがL字状に刻設され、弁室46へ連通している。この弁室46は、二次側流路31cを介して出口32へ連通している。   As shown in FIG. 2, in the secondary side channel 31 of this example, a secondary side channel 31 a is engraved in an L shape from the secondary side of the filter 26 and communicates with the valve chamber 46. The valve chamber 46 communicates with the outlet 32 via the secondary channel 31c.

出口弁30も、上記ベント弁38と同様に構成されている。すなわち、空圧アクチュエータを備えたダイヤフラムバルブであり、オペレート用のエア供給口47を有したボデー48と、その内部には、バネ49に付勢されたピストン50と、ピストン50のピストンロッド先端部に螺着などにより接続されたダイヤフラム51とを有している。またボデー48と出口ブロック22との間には、保持体52が狭着固定されている。ダイヤフラム51は、その内側が可動膜部となって弁室46内で弁座53に着座して二次側流路31を開閉する弁体であり、その外周部は出口ブロック22と保持体52との間に狭着固定されている。   The outlet valve 30 is configured similarly to the vent valve 38. That is, a diaphragm valve having a pneumatic actuator, a body 48 having an air supply port 47 for operation, a piston 50 biased by a spring 49, and a piston rod tip portion of the piston 50 inside the body 48 And a diaphragm 51 connected by screwing or the like. A holding body 52 is tightly fixed between the body 48 and the outlet block 22. The diaphragm 51 is a valve body that has a movable film portion inside and is seated on the valve seat 53 in the valve chamber 46 to open and close the secondary side flow path 31, and the outer peripheral portion thereof has the outlet block 22 and the holding body 52. It is fixed tightly between.

出口弁30は、ノーマルオープン型であって、基本的には、ベント弁38によるエアパージを補助するために設けられる。常開型であるから、ピストン50先端部のダイヤフラム51が弁座53から離れる方向に向けてバネ49がピストン50を付勢して持ち上げており、エア供給口47にエアが供給されることによりエア室内の空圧がピストン50を押圧してダイヤフラム51を弁座53に向けて着座させ、これにより出口弁30が閉弁する。このような出口弁30の開閉動作は、図示しない制御装置などにより自動制御可能となっている。ボデー48も、PFA、PTFEのほか、PVDF、PP、PVCなどの高い耐薬品性、低溶出性、及び使用流体の温度に最適となる材質から形成される。また出口弁30も、高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成り、開閉動作に伴う発塵が少ないストップバルブであれば特に制限されず、例えば上記の構成のほか、ベローズバルブなどでもよく、電気信号により作動するソレノイドバルブなどでもよい。   The outlet valve 30 is a normally open type, and is basically provided to assist air purge by the vent valve 38. Since it is a normally-open type, the spring 49 urges and lifts the piston 50 in a direction in which the diaphragm 51 at the tip of the piston 50 moves away from the valve seat 53, and air is supplied to the air supply port 47. The air pressure in the air chamber presses the piston 50 to seat the diaphragm 51 toward the valve seat 53, thereby closing the outlet valve 30. Such an opening / closing operation of the outlet valve 30 can be automatically controlled by a control device (not shown). In addition to PFA and PTFE, the body 48 is also made of a material that is optimal for high chemical resistance, low elution, and the temperature of the fluid used, such as PVDF, PP, and PVC. Also, the outlet valve 30 is made of a material having high chemical resistance and low elution, and is not particularly limited as long as it is a stop valve that generates little dust accompanying opening and closing operations. For example, in addition to the above configuration, a bellows valve or the like may be used. A solenoid valve that is actuated by an electric signal may be used.

本発明のブロック体の収納室には、連通部を有するケーシングで被覆された中空糸膜又は平膜から成るフィルタが設けられる。図2に示すように、本例のフィルタ26は、ブロック体20内部の収納室25に収納されており、またフィルタ26の一次側は一次側流路27と、二次側は二次側流路31と、それぞれ連通していると共に、フィルタ26の一次側領域34には、エア抜き流路35が連通している。   The block body storage chamber of the present invention is provided with a filter comprising a hollow fiber membrane or a flat membrane covered with a casing having a communicating portion. As shown in FIG. 2, the filter 26 of this example is stored in a storage chamber 25 inside the block body 20, and the primary side of the filter 26 is a primary flow path 27, and the secondary side is a secondary side flow. The air passages 35 communicate with the passages 31 and the primary region 34 of the filter 26 communicates with the air passages 35.

図2に示すように、本例のフィルタ26は、多数の連通部54aが並設されたケーシング54で被覆した中空糸膜55から成るフィルタである。ケーシング54は、両端が開口した筒状に形成されており、一端部54bは出口ブロック22の収納室24の底側面部に設けられた装着部24aに嵌合固定されている。   As shown in FIG. 2, the filter 26 of this example is a filter comprising a hollow fiber membrane 55 covered with a casing 54 in which a large number of communication portions 54a are arranged in parallel. The casing 54 is formed in a cylindrical shape with both ends open, and one end 54 b is fitted and fixed to a mounting portion 24 a provided on the bottom side surface of the storage chamber 24 of the outlet block 22.

一端部54bの端面は、収納室24の底面部と密着当接して端面シールしている。この端面シールの密着当接力は、入口ブロック21と出口ブロック22とを嵌め合せてシールする締付力を増すと、他端部54cが入口ブロック21の収納室23の底面部に押圧されることにより一端部54bが押し付けられて強化できる。このように、収納室24内におけるフィルタ26の一次側と二次側は、Oリングなどのシール材を使用しない端面シールで液密に分離されるから、シール材の摩耗や劣化による微細なパーティクルの漏洩や溶出などが生じることがない。   The end surface of the one end portion 54b is in close contact with the bottom surface portion of the storage chamber 24 to seal the end surface. The close contact force of the end face seal is such that when the tightening force for fitting and sealing the inlet block 21 and the outlet block 22 is increased, the other end 54c is pressed against the bottom surface of the storage chamber 23 of the inlet block 21. Thus, the one end 54b can be pressed and strengthened. As described above, the primary side and the secondary side of the filter 26 in the storage chamber 24 are liquid-tightly separated by the end face seal that does not use a sealing material such as an O-ring, so that fine particles due to wear or deterioration of the sealing material. No leakage or elution.

一端部54bには、中空糸膜55が固定されている。中空糸膜55は、多数の中空糸がU字状に屈曲されて束に編成された中空糸膜ユニット55aと、中空糸の両端部の開口状態を保持し、かつ前記両端部を一端部54b内側領域に注型固定した固定端であるポッティング部55bとを有する。ポッティング部55bは、ポッティング材を一端部54b内側領域に充填して硬化することで形成されており、中空糸の両端部が二次側へ開口するように中空糸膜55を一端部54bに固定している。   A hollow fiber membrane 55 is fixed to the one end 54b. The hollow fiber membrane 55 includes a hollow fiber membrane unit 55a in which a large number of hollow fibers are bent into a U shape and knitted into a bundle, the open state of both ends of the hollow fiber is maintained, and the both ends are connected to one end 54b. And a potting portion 55b which is a fixed end that is cast and fixed to the inner region. The potting portion 55b is formed by filling a potting material in the inner region of the one end portion 54b and curing, and the hollow fiber membrane 55 is fixed to the one end portion 54b so that both end portions of the hollow fiber open to the secondary side. doing.

ここで、半導体製造プロセスで使用されるフィルタとしては、耐薬品性が高いこと及び低溶出であることはもちろん、ろ過精度が高いすなわちフィルタ孔径が小さいこと、並びに、高流量すなわち圧力損失が低いことが要求される。したがって、フッ素樹脂、ポリオレフィン、ナイロン等からなるフィルタが使用される。また、薬液に対する清浄度の要求により、フィルタのろ過精度は0.2μm以下、好ましくは0.1μm以下のフィルタが使用される。近年の半導体の微細化の進展により、使用される薬液の清浄度への要求は益々高まっており、本発明のフィルタ26には10nm又は5nmなど、極めて高いろ過精度を有するフィルタの使用がより好ましい。また、このようなフィルタであれば本発明のフィルタは使用に応じて適宜選択可能であり、本発明のフィルタ26は、例えば中空糸膜型又は平膜プリーツ型(平膜カートリッジ)など、実施に応じて適宜選択可能であるが、サポート及びコア等の支持体が不要で高い集積度及び容積効率を有する中空糸膜型がより好ましい。   Here, the filter used in the semiconductor manufacturing process has high chemical resistance and low elution, as well as high filtration accuracy, that is, a small filter pore diameter, and high flow rate, that is, low pressure loss. Is required. Therefore, a filter made of fluororesin, polyolefin, nylon or the like is used. In addition, a filter having a filtration accuracy of 0.2 μm or less, preferably 0.1 μm or less is used depending on the requirement of cleanliness for the chemical solution. Due to recent advances in semiconductor miniaturization, the demand for cleanliness of chemicals used is increasing, and it is more preferable to use a filter having extremely high filtration accuracy such as 10 nm or 5 nm for the filter 26 of the present invention. . Moreover, if it is such a filter, the filter of this invention can be suitably selected according to use, for example, the filter 26 of this invention is a hollow fiber membrane type or a flat membrane pleat type (flat membrane cartridge) etc. A hollow fiber membrane type having a high degree of integration and volumetric efficiency without using a support such as a support and a core is more preferable.

図6は、本発明のフィルタのより好適な例を示した半裁断面図である。同図のフィルタ60は、上記のフィルタ26と同様に連通部57を有するケーシング56で被覆された中空糸膜フィルタであり、ケーシング56は、両端が開口した筒状に形成され、一端部54b’は、出口ブロックの収納室の底側面部に設けられた装着部に嵌合固定可能となっている。よって、前述のフィルタ26に替えて、このフィルタ60を本発明のフィルタユニットに適宜取り付けて使用可能である。また、一端部54b’には、中空糸膜55’が固定されている。中空糸膜55’は、多数の中空糸がU字状に屈曲されて束に編成された中空糸膜ユニット55a’と、中空糸の両端部の開口状態を保持し、かつ前記両端部を一端部54b’内側領域に注型固定した固定端であるポッティング部55b’とを有する。   FIG. 6 is a half sectional view showing a more preferable example of the filter of the present invention. The filter 60 in the figure is a hollow fiber membrane filter covered with a casing 56 having a communication portion 57 as in the case of the filter 26 described above. The casing 56 is formed in a cylindrical shape with both ends open, and has one end 54b ′. Can be fitted and fixed to a mounting portion provided on the bottom side surface of the storage chamber of the outlet block. Therefore, instead of the above-described filter 26, the filter 60 can be used by being appropriately attached to the filter unit of the present invention. A hollow fiber membrane 55 'is fixed to the one end 54b'. The hollow fiber membrane 55 ′ has a hollow fiber membrane unit 55 a ′ in which a number of hollow fibers are bent into a U shape and knitted into a bundle, maintains the open state of both ends of the hollow fiber, and the both ends are connected to one end. And a potting portion 55b ′ that is a fixed end that is cast and fixed in the inner region of the portion 54b ′.

図6に示すように、フィルタ60は、連通部57の側面部が、フィルタ60の外側から内側へ向けて縮径するテーパ状に形成されている点と、ケーシング56の外周面が、同図の左右両端部から所定長さ内側において、段部58を介して段部面状に形成されている点が、上記のフィルタ26と異なっている。図示していないが、フィルタ60をブロック体の収納室に内蔵した際、段部58の深さ分だけケーシング56の外径が小さくなることにより、収納室内周面との間にクリアランスが生じ、このクリアランスと、ケーシング56の内側から外側へ向けて広がる連通部57のテーパ形状により、気泡の通り道を確保することで、特に、中空糸膜ユニット55a’の糸に滞留・付着している気泡を、効果的にケーシング56の外側へ追い出すことができる。また、フィルタは連通部を有するケーシングで被覆されたものに限定されることなく、ブロック体に直接中空糸膜を収納し、端部を注型固定したものでもよい。   As shown in FIG. 6, in the filter 60, the side surface portion of the communication portion 57 is formed in a tapered shape whose diameter decreases from the outside to the inside of the filter 60, and the outer peripheral surface of the casing 56 is the same as that shown in FIG. The filter 26 is different from the filter 26 described above in that it is formed in a stepped surface shape via a stepped portion 58 inside a predetermined length from both left and right end portions. Although not shown, when the filter 60 is built in the storage chamber of the block body, the outer diameter of the casing 56 is reduced by the depth of the stepped portion 58, thereby creating a clearance between the peripheral surface of the storage chamber, The clearance and the taper shape of the communication portion 57 that spreads from the inside to the outside of the casing 56 ensure the passage of bubbles, in particular, the bubbles that have accumulated and adhered to the yarns of the hollow fiber membrane unit 55a ′. , Can be effectively driven out of the casing 56. Further, the filter is not limited to the one covered with the casing having the communication part, but may be one in which the hollow fiber membrane is directly stored in the block body and the end part is cast and fixed.

なお、本例の入口ブロック21の外側面には、図示しないボルトによりベース体61が取付けられており、このベース体61は、PPまたはPPSなどから成形され、入口ブロック21が外部の物体に載置される際の台座となるような形状に適宜形成される。   A base body 61 is attached to the outer surface of the inlet block 21 of this example by a bolt (not shown). The base body 61 is formed of PP or PPS, and the inlet block 21 is mounted on an external object. It is suitably formed in a shape that becomes a pedestal when placed.

次いで、本発明の第2実施形態を説明する。図3は、第2実施形態の断面説明図である。同図において、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view of the second embodiment. In the figure, the same parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図3において、上方向は、鉛直上方向である。本例のブロック体62も、入口ブロック63の環状凸部63aと出口ブロック64の環状凹部64aとを密着嵌合させ、内部の流体を液密にシールしている。また、入口ブロック63と出口ブロック64とに、それぞれ中空円柱形状の収納室65、66が形成されている。入口ブロック63と出口ブロック64とを嵌め合せてブロック体62を構成した際、これら収納室65、66同士が中空円柱形状の収納室67を形成し、この収納室67にフィルタ26が内蔵される。同図に示すように、本例では、フィルタ26はほぼ入口ブロック63側に内蔵され、底面部が浅く形成された出口ブロック64の収納室66は、フィルタ26の一端部54bを嵌合する装着部となっている。本例においても、収納室67の形状は、フィルタ26の外形に最適な形状に形成されている。   In FIG. 3, the upward direction is the upward vertical direction. Also in the block body 62 of this example, the annular convex portion 63a of the inlet block 63 and the annular concave portion 64a of the outlet block 64 are closely fitted to seal the fluid inside. The inlet block 63 and the outlet block 64 are formed with hollow cylindrical storage chambers 65 and 66, respectively. When the block body 62 is configured by fitting the inlet block 63 and the outlet block 64, the storage chambers 65, 66 form a hollow cylindrical storage chamber 67, and the filter 26 is built in the storage chamber 67. . As shown in the figure, in this example, the filter 26 is substantially built in the inlet block 63 side, and the storage chamber 66 of the outlet block 64 formed with a shallow bottom surface portion is fitted with one end 54 b of the filter 26. Has become a department. Also in this example, the shape of the storage chamber 67 is formed in an optimum shape for the outer shape of the filter 26.

図3において、入口ブロック63内部には、収納室65と入口68とを連通する一次側流路69が刻設されている。入口68には、図示しない耐薬品性(PFA製など)のチューブを接続する入口継手70が設けられている。入口継手70は、PFA製などのユニオンナットと、スリーブと、ETFE製などのゲージリングとを有しており、チューブをユニオンナットとスリーブとの間に所定の深さまで挿入した後、ユニオンナットを締付けることでチューブが入口継手70に液密に接続固定される。   In FIG. 3, a primary flow path 69 that communicates the storage chamber 65 and the inlet 68 is formed in the inlet block 63. The inlet 68 is provided with an inlet joint 70 for connecting a chemical resistant tube (not shown) made of PFA or the like. The inlet joint 70 has a union nut made of PFA or the like, a sleeve, and a gauge ring made of ETFE or the like, and after inserting the tube to a predetermined depth between the union nut and the sleeve, the union nut is The tube is connected and fixed to the inlet joint 70 in a liquid-tight manner by tightening.

また、出口ブロック64内部にも、後述の出口弁71を介して2次側流路72が刻設され、収納室66と出口73とを連通している。出口73にも、入口継手70と同様の構造の出口継手74が設けられている。なお入口継手70、出口継手74は、樹脂製チューブを接続する継手に限らず、配管などの流路部材を適宜接続可能な継手部材であればよい。入口ブロック63(出口ブロック64)は、HDPE、PTFE、PFA、PVDFなどの高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成形されており、図示していないが、直方体状または円柱状のコンパクトな外形を呈している。   In addition, a secondary flow path 72 is also engraved inside the outlet block 64 via an outlet valve 71 described later, and the storage chamber 66 and the outlet 73 are communicated with each other. The outlet 73 is also provided with an outlet joint 74 having a structure similar to that of the inlet joint 70. The inlet joint 70 and the outlet joint 74 are not limited to joints that connect resin tubes, but may be joint members that can appropriately connect flow path members such as pipes. The inlet block 63 (outlet block 64) is formed from a material having high chemical resistance and low elution, such as HDPE, PTFE, PFA, PVDF, and is not shown, but has a rectangular parallelepiped or cylindrical compact outer shape. Presents.

図3において、入口ブロック63には、フィルタ26の一次側領域75に連通するエア抜き流路76が形成されている。このエア抜き流路76は、チューブ78を介して、後述のベント弁77のボデー81内の流路79aへ連通している。チューブ78は、両端部に接続した継手80a、80bを介して、エア抜き流路76とボデー81内流路79aを繋ぐ流路である。また、エア抜き流路76も、フィルタ26の一次側領域75の気泡が滞留し易い位置へ向けて開口するように設けられている。   In FIG. 3, an air vent channel 76 that communicates with the primary region 75 of the filter 26 is formed in the inlet block 63. The air vent channel 76 communicates with a channel 79 a in a body 81 of a vent valve 77 described later via a tube 78. The tube 78 is a flow path that connects the air bleeding flow path 76 and the flow path 79a in the body 81 via joints 80a and 80b connected to both ends. The air vent channel 76 is also provided so as to open toward a position where bubbles in the primary region 75 of the filter 26 are likely to stay.

図3において、本例におけるベント機構として、出口ブロック64には、エア抜き流路76を開閉するベント弁77が搭載(一体集積)されている。ベント弁77は、空圧アクチエータを備えたノーマルクローズ型のダイヤフラムバルブであり、バネ83がピストン84を付勢しており、ピストン84のピストンロッド先端部に螺着などにより接続され内側が可動膜部となったダイヤフラム85を弁体として、エア供給口82からエア室に圧入された空気圧によりピストン84が持ち上げられ、ダイヤフラム85がボデー81内に刻設された流路79の弁座88から離れることで開弁し、一方、エア室からエアが抜かれるとバネ83の弾発力によりピストン84のダイヤフラム85が弁座88に押し付けられて閉弁する。このようなベント弁77の開閉動作は、図示しない制御装置により自動制御可能となっている。また、ボデー81と出口ブロック64との間には、保持体86が狭着固定されており、ダイヤフラム85の外周部は、出口ブロック64と保持体86との間に狭着保持されている。   In FIG. 3, as a vent mechanism in this example, a vent valve 77 that opens and closes an air vent channel 76 is mounted (integrated and integrated) on the outlet block 64. The vent valve 77 is a normally closed diaphragm valve having a pneumatic actuator, a spring 83 biases the piston 84, and is connected to the tip of the piston rod of the piston 84 by screwing or the like. The piston 85 is lifted by the air pressure press-fitted into the air chamber from the air supply port 82 using the diaphragm 85 as a valve body as a valve body, and the diaphragm 85 leaves the valve seat 88 of the flow path 79 formed in the body 81. On the other hand, when the air is extracted from the air chamber, the diaphragm 85 of the piston 84 is pressed against the valve seat 88 by the elastic force of the spring 83 to close the valve. Such an opening / closing operation of the vent valve 77 can be automatically controlled by a control device (not shown). In addition, a holding body 86 is tightly fixed between the body 81 and the outlet block 64, and an outer peripheral portion of the diaphragm 85 is tightly held between the outlet block 64 and the holding body 86.

ボデー81は、PFA、PTFEのほか、PVDF、PP、PVCなどの高い耐薬品性、低溶出性、及び使用流体の温度に最適となる材質から形成される。また、ベント弁77も、高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成り、開閉動作に伴う発塵が少ないストップバルブであれば特に制限されず、例えば上記の構成のほか、ベローズバルブなどでもよく、電気信号により作動するソレノイドバルブなどでもよい。   In addition to PFA and PTFE, the body 81 is made of a material that is optimal for high chemical resistance, low elution, and the temperature of the fluid used, such as PVDF, PP, and PVC. The vent valve 77 is not particularly limited as long as it is a stop valve made of a material having high chemical resistance and low elution, and generates little dust due to opening and closing operations. For example, in addition to the above configuration, a bellows valve may be used. Alternatively, a solenoid valve that is actuated by an electric signal may be used.

図3において、本例におけるベント機構として、出口ブロック64には、二次側流路72を開閉する出口弁71が一体集積するように設けられている。本例の2次側流路72は、フィルタ26の二次側から二次側流路72aがL字状に刻設され、弁室89へ連通している。この弁室89は、二次側流路72cを介して出口73へ連通している。   In FIG. 3, as a vent mechanism in the present example, an outlet valve 71 that opens and closes the secondary flow path 72 is provided in the outlet block 64 so as to be integrated. In the secondary side flow path 72 of this example, a secondary side flow path 72 a is engraved in an L shape from the secondary side of the filter 26 and communicates with the valve chamber 89. The valve chamber 89 communicates with the outlet 73 via the secondary side flow path 72c.

出口弁71も、上記ベント弁77と同様に構成されており、空圧アクチュエータを備えたダイヤフラムバルブであり、オペレート用のエア供給口82を有したシリンダ90と、その内部には、バネ83に付勢されたピストン84と、ピストン84のピストンロッド先端部に螺着などにより接続されたダイヤフラム91とを有している。ダイヤフラム91は、その内側が可動膜部となって弁室89内で弁座92に着座して二次側流路72を開閉する弁体であり、その外周部は出口ブロック64とシリンダ90との間に狭着固定されている。   The outlet valve 71 is also configured in the same manner as the vent valve 77, and is a diaphragm valve having a pneumatic actuator. The cylinder 90 has an air supply port 82 for operation, and a spring 83 is provided in the cylinder 90. It has an urged piston 84 and a diaphragm 91 connected to the tip end of the piston rod of the piston 84 by screwing or the like. The diaphragm 91 is a valve body that has a movable membrane portion inside and is seated on the valve seat 92 in the valve chamber 89 to open and close the secondary side flow path 72. It is fixed tightly between.

出口弁71は、ノーマルオープン型であって、基本的には、ベント弁77によるエアパージを補助するために設けられる。常開型であるから、ピストン84先端部のダイヤフラム91が弁座92から離れる方向に向けてバネ83がピストン84を付勢して持ち上げており、エア供給口82にエアが供給されることによりエア室内の空圧がピストン84を押圧してダイヤフラム91を弁座92に向けて着座させ、これにより出口弁71が閉弁する。このような出口弁71の開閉動作は、図示しない制御装置などにより自動制御可能となっている。シリンダ90も、PFA、PTFEのほか、PVDF、PP、PVCなどの高い耐薬品性、低溶出性、及び使用流体の温度に最適となる材質から形成される。また出口弁71も、高い耐薬品性及び低溶出性の素材から成り、開閉動作に伴う発塵が少ないストップバルブであれば特に制限されず、例えば上記の構成のほか、ベローズバルブなどでもよく、電気信号により作動するソレノイドバルブなどでもよい。   The outlet valve 71 is a normally open type and is basically provided to assist air purge by the vent valve 77. Since the diaphragm 91 at the tip of the piston 84 is normally open, the spring 83 urges and lifts the piston 84 in a direction away from the valve seat 92, and air is supplied to the air supply port 82. The air pressure in the air chamber presses the piston 84 to seat the diaphragm 91 toward the valve seat 92, thereby closing the outlet valve 71. Such an opening / closing operation of the outlet valve 71 can be automatically controlled by a control device (not shown). In addition to PFA and PTFE, the cylinder 90 is also made of a material that is optimal for high chemical resistance, low elution, and the temperature of the fluid used, such as PVDF, PP, and PVC. The outlet valve 71 is also made of a material having high chemical resistance and low elution, and is not particularly limited as long as it is a stop valve that generates little dust accompanying opening and closing operations.For example, in addition to the above configuration, a bellows valve or the like may be used. A solenoid valve that is actuated by an electric signal may be used.

図3に示すように、本例では、ベント機構にはベント弁とブロック体に設けられた二次側流路に設けられた出口弁との駆動力を兼用する同一のアクチエータが設けられている。   As shown in FIG. 3, in this example, the vent mechanism is provided with the same actuator that combines the driving force of the vent valve and the outlet valve provided in the secondary flow path provided in the block body. .

上記の構造から明らかなように、本例のベント機構であるベント弁77及び出口弁71のアクチエータのピストンは、単一のピストン84であり、このピストン84のピストンロッド両端部にそれぞれダイヤフラム85、91が接続されている。   As apparent from the above structure, the actuator pistons of the vent valve 77 and the outlet valve 71 which are the vent mechanism of this example are a single piston 84, and diaphragm 85, 91 is connected.

単一ピストンであるから、エア供給口82から保持体86とピストン84との間に設けられたエア室にエアが供給されるとエア室内の空気圧が増加し、この空気圧がバネ83の弾発力に勝ると、ピストン84は図3において左側へ向けて押し動かされ、この左側への押動に連動して、ダイヤフラム91が弁座92に押し付けられて出口弁71が閉弁すると共に、ダイヤフラム85が弁座88から離れてベント弁77が開弁する。逆に、エア供給口82からエアを排出してバネ83の弾発力がエア室内の空気圧に勝ると、ピストン84は図3において右側へ向けて押し動かされ、この右側への押動に連動して、ダイヤフラム91が弁座92から離れて出口弁71が開弁すると共に、ダイヤフラム85が弁座88に押し付けられてベント弁77が閉弁する。   Since it is a single piston, when air is supplied from the air supply port 82 to the air chamber provided between the holding body 86 and the piston 84, the air pressure in the air chamber increases, and this air pressure increases the elasticity of the spring 83. When the force is overcome, the piston 84 is pushed toward the left side in FIG. 3, and the diaphragm 91 is pushed against the valve seat 92 and the outlet valve 71 is closed in conjunction with the pushing toward the left side. 85 leaves the valve seat 88 and the vent valve 77 opens. Conversely, when the air is discharged from the air supply port 82 and the elastic force of the spring 83 exceeds the air pressure in the air chamber, the piston 84 is pushed toward the right side in FIG. Then, the diaphragm 91 is separated from the valve seat 92 and the outlet valve 71 is opened, and the diaphragm 85 is pressed against the valve seat 88 and the vent valve 77 is closed.

このため本例では、単一ピストン84を介して、出口弁71の開弁駆動力(閉弁駆動力)は、ベント弁77の閉弁駆動力(開弁駆動力)と同一となり、互いに駆動力が兼用可能となる1台の空圧アクチエータとなっている。   For this reason, in this example, the valve opening driving force (valve closing driving force) of the outlet valve 71 is the same as the valve closing driving force (valve opening driving force) of the vent valve 77 via the single piston 84 and is driven mutually. It is a single pneumatic actuator that can be used for both forces.

ここで、収納室に収納されるフィルタの容積は、フィルタの設置に伴う圧力損失とのトレードオフによって決定される。すなわち、フィルタの容積が小さいと圧力損失が大きくなり、流体を送液するのに過剰な圧力を要するばかりか、フィルタユニットの前段(上流側)に設置される入口弁(図1においては、開閉弁18など)を開閉した際の圧力応答性も悪化し、入口弁を閉じた際に流体の送液が弁閉に応じて即時に停止しなくなり、フィルタユニットから配管やチューブを介して接続される吐出ノズルに液ダレが生じる。   Here, the volume of the filter stored in the storage chamber is determined by a trade-off with the pressure loss accompanying the installation of the filter. That is, if the volume of the filter is small, the pressure loss increases, and not only does it require excessive pressure to send the fluid, but also an inlet valve (in FIG. The pressure responsiveness when the valve 18 or the like is opened / closed also deteriorates, and when the inlet valve is closed, the fluid supply does not stop immediately according to the valve closing, and is connected from the filter unit via a pipe or tube. Liquid dripping occurs in the discharge nozzle.

一方で、フィルタの容積が大きすぎると、圧力損失は小さくなるものの、フィルタを内蔵する収納室を大型化する必要があることから、フィルタユニットの前段に設置される前記入口弁の開閉に伴う圧力変化に対する膨張・収縮で、やはり圧力応答性が悪化し、入口弁を閉じた際に流体の送液が弁閉に応じて即時に停止せず、フィルタユニットから配管やチューブを介して接続される吐出ノズルに液ダレが生じる。また、圧力応答性は、フィルタユニット内に滞留した気泡によっても悪化を引き起こす。   On the other hand, if the volume of the filter is too large, the pressure loss decreases, but the storage chamber containing the filter needs to be enlarged, so the pressure associated with opening and closing the inlet valve installed in the front stage of the filter unit Due to expansion and contraction against changes, the pressure responsiveness also deteriorates, and when the inlet valve is closed, the fluid supply does not stop immediately according to the valve closing, but is connected from the filter unit via piping or tubes. Liquid dripping occurs in the discharge nozzle. Further, the pressure responsiveness is also deteriorated by air bubbles staying in the filter unit.

本発明のフィルタは、上記構成の通り、ブロック体内に形成されるフィルタの収納室に内蔵されるから、フィルタの容積も、必要な圧力応答性のレベルに応じて、簡易かつ適切に構成を選択することができる。また、ユニットにフィルタを格納する閉領域は、フィルタの容積に対してできる限り小さく形成されていれば好適であるが、図示するように、本例のフィルタ収納室25、67の内部形状は、フィルタ26の外部形状に適合し、僅かな間隙を介して被覆してほぼ同形状となるように形成している。また、ユニットに内蔵されるフィルタは収納室の容積を有効利用する観点から複数本に分割して収納してもよい。   Since the filter of the present invention is built in the filter storage chamber formed in the block body as described above, the filter volume can be selected simply and appropriately according to the required level of pressure response. can do. In addition, the closed region for storing the filter in the unit is preferably formed as small as possible with respect to the volume of the filter, but as shown in the figure, the internal shape of the filter storage chambers 25 and 67 of this example is It conforms to the external shape of the filter 26 and is formed so as to be almost the same shape by covering with a slight gap. In addition, the filter built in the unit may be divided into a plurality of pieces from the viewpoint of effectively using the volume of the storage chamber.

また、フィルタユニット内、或は薬液供給装置の流路には、流体が滞留する箇所や気泡やマイクロバブルが滞留し易い箇所や、圧損が生じて圧力応答性が失われやすい箇所も、できる限り排除されていれば好適である。特に、流路の内径が急拡大又は急縮小して不連続的に変化する管部においては、流れが剥離してエネルギー損失や対流が生じやすい。この点、図示するように、収納室25、67への薬液が流出入する一次側流路27、69、及び二次側流路31、72は、それぞれ円柱状から円錐状へと繋がり突起部などがないシンプルな内形状に形成されている。具体的には、一次側流路27a、69a及び二次側流路31a、72aがそれぞれシンプルな直線円柱形状に形成されていると共に、一次側流路27b、69b及び二次側流路31b、72bがそれぞれシンプルな円錐形状に形成されている。よって、収納室25、67への薬液の流出入に淀みや対流が生じ難い。   In addition, in the filter unit or in the flow path of the chemical solution supply device, the location where fluid stays, the location where bubbles and microbubbles tend to stay, and the location where pressure loss is likely to be lost due to pressure loss are as much as possible. If it is excluded, it is preferable. In particular, in a pipe portion where the inner diameter of the flow path changes discontinuously due to sudden expansion or contraction, the flow is separated and energy loss and convection are likely to occur. In this respect, as shown in the figure, the primary flow paths 27 and 69 and the secondary flow paths 31 and 72 through which the chemicals flow into and out of the storage chambers 25 and 67 are connected from the columnar shape to the conical shape, respectively. It is formed in a simple inner shape that does not. Specifically, the primary flow paths 27a and 69a and the secondary flow paths 31a and 72a are each formed in a simple linear cylindrical shape, and the primary flow paths 27b and 69b and the secondary flow paths 31b, 72b is formed in a simple conical shape. Therefore, it is difficult for stagnation and convection to occur in the inflow and outflow of the chemical into the storage chambers 25 and 67.

次いで、本発明の第3実施形態を説明する。図4は、第3実施形態のブロック図であり、図5は、第3実施形態の断面説明図である。同図において、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。本例は、フィルタの一次側領域に、サックバック機能を有するサックバック機構が設けられ、このサックバック機構がブロック体に一体集積された点が、前記第2実施形態と異なる。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a block diagram of the third embodiment, and FIG. 5 is a cross-sectional explanatory diagram of the third embodiment. In the figure, the same parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. This example is different from the second embodiment in that a suck back mechanism having a suck back function is provided in the primary region of the filter, and the suck back mechanism is integrated in the block body.

図5において、本例のサックバック機構は、サックバック弁93である。サックバック弁93は、空圧アクチエータを備えたダイヤフラムバルブであり、ボデー94が入口ブロック63に直接取り付けられて一体集積されている。ボデー94には、カバー95が取り付けられ、エアを供給排出するポート96を介して、カバー95とピストン97との間に設けられたエア室にエアが連通可能となっている。ピストン97のピストンロッド先端部には、弁体となるダイヤフラム99が備えられ、このダイヤフラム99は、外径側がガイド部材などを介してボデー94と入口ブロック63との間に挟持固定されており、内径側には、フィルタ26の収納室67内側の流体に露呈して流路容積を規定する受圧面99aが設けられている。   In FIG. 5, the suck back mechanism of this example is a suck back valve 93. The suck back valve 93 is a diaphragm valve provided with a pneumatic actuator, and a body 94 is directly attached to the inlet block 63 and integrated. A cover 95 is attached to the body 94, and air can communicate with an air chamber provided between the cover 95 and the piston 97 via a port 96 for supplying and discharging air. The piston rod tip of the piston 97 is provided with a diaphragm 99 that serves as a valve body, and the outer diameter side of the diaphragm 99 is sandwiched and fixed between the body 94 and the inlet block 63 via a guide member or the like. On the inner diameter side, there is provided a pressure receiving surface 99a that is exposed to the fluid inside the storage chamber 67 of the filter 26 and defines the flow path volume.

図5において、ボデー94とピストン97との間にはバネ98が備えられ、ピストン97を押し上げ付勢している。ポート96からエアが供給されると、エア室内の空圧が増加し、この空圧がバネ98の弾発力に勝るとピストン97を押し下げ、この押し下げに連動してダイヤフラム99の受圧面99aが流路内方側へ進入(下降)して流路(収納室67)の容積を減少させ、この流路容積の減少分に応じて、流路内が加圧される。一方、ポート96からエアを排出すると、バネ98の弾発力でピストン97が押し上げられ、この押し上げに連動してダイヤフラム99の受圧面99aが流路外方側へ退行(上昇)して流路(収納室67)の容積を増加させる。この流路容積の増加分に応じて、流路内が減圧され、この減圧により、流体を薬液供給装置内側(流路内側)へ引き戻すことができ、特に、吐出ノズル19からの薬液の液ダレを防ぐことができる。また、受圧面99aの退行量の調整により、サックバック量の調整も可能である。   In FIG. 5, a spring 98 is provided between the body 94 and the piston 97 to push up and urge the piston 97. When air is supplied from the port 96, the air pressure in the air chamber increases, and when this air pressure exceeds the spring force of the spring 98, the piston 97 is pushed down, and the pressure receiving surface 99a of the diaphragm 99 is linked with this depression. It enters (falls) inward of the flow path to reduce the volume of the flow path (housing chamber 67), and the inside of the flow path is pressurized according to the decrease in the flow path volume. On the other hand, when the air is discharged from the port 96, the piston 97 is pushed up by the spring force of the spring 98, and the pressure receiving surface 99a of the diaphragm 99 is retracted (raised) outward from the flow path in conjunction with this push-up. The volume of the (storage chamber 67) is increased. The inside of the flow path is depressurized in accordance with the increase in the flow path volume, and by this depressurization, the fluid can be pulled back to the inside of the chemical liquid supply device (inside the flow path). Can be prevented. Further, the amount of suck back can be adjusted by adjusting the retraction amount of the pressure receiving surface 99a.

上記のように、本発明のフィルタユニットにおいては、ベント機構(ベント弁38、77及び出口弁30、71)と、サックバック機構(サックバック弁93)は、それぞれブロック体20、62に一体集積されている。具体的には、配管や継手などの別部材を媒介することなく、各機構を構成する弁のボデーがブロック体に直接取り付けられ、互いの内部の流路を連通させている。なお、第2実施形態の場合は、ブロック体62に直接取り付けられた出口弁71にベント弁77がさらに直接取り付けられることで、全体として一体集積されている。図2においては、ベント弁38のボデー40と出口弁30のボデー48は、それぞれシール材を介して出口ブロック22に直接取り付けられている。また、図3、5においては、出口弁71は、流路と弁座部を有するボデー部位が出口ブロック64内部に設けられており、ベント弁77のボデー81は、シリンダ90に直接取り付けられて出口弁71と同一のアクチエータを兼用している。さらに、図5においては、サックバック弁93のボデー94が、入口ブロック63に直接取り付けられている。   As described above, in the filter unit of the present invention, the vent mechanism (the vent valves 38 and 77 and the outlet valves 30 and 71) and the suck back mechanism (the suck back valve 93) are integrally integrated in the block bodies 20 and 62, respectively. Has been. Specifically, the body of the valve constituting each mechanism is directly attached to the block body without intervening another member such as a pipe or a joint, and the internal flow paths are connected. In the case of the second embodiment, the vent valve 77 is further directly attached to the outlet valve 71 directly attached to the block body 62, so that the whole is integrated as a whole. In FIG. 2, the body 40 of the vent valve 38 and the body 48 of the outlet valve 30 are each directly attached to the outlet block 22 via a sealing material. 3 and 5, the outlet valve 71 has a body portion having a flow path and a valve seat portion provided inside the outlet block 64, and the body 81 of the vent valve 77 is directly attached to the cylinder 90. The same actuator as the outlet valve 71 is also used. Further, in FIG. 5, the body 94 of the suck back valve 93 is directly attached to the inlet block 63.

このような一体集積によりコンパクト化されることでフィルタユニットのコスト性、メンテナンス性、使用性などを大幅に高めることができると共に、既存の薬液供給装置に容易に取り付け可能となる。特に、一体集積化によりベント機構とフィルタとの間のデッドボリュームを最小化・最適化できるから、圧力応答性の維持を確実なものとすることができる。   Compacting by such integrated integration can greatly increase the cost, maintenance, and usability of the filter unit, and can be easily attached to an existing chemical solution supply apparatus. Particularly, since the dead volume between the vent mechanism and the filter can be minimized and optimized by integration, the pressure responsiveness can be reliably maintained.

続いて、本発明のフィルタユニットと薬液供給装置の作用を説明する。先ず、図1、2に示した本発明の第1実施形態のフィルタユニットを薬液供給装置に使用する場合を説明する。   Then, the effect | action of the filter unit and chemical | medical solution supply apparatus of this invention is demonstrated. First, the case where the filter unit of 1st Embodiment of this invention shown to FIG.1, 2 is used for a chemical | medical solution supply apparatus is demonstrated.

本例のフィルタユニットを薬液供給装置に取付ける際は、フィルタユニット内及びフィルタ26内の気泡を完全に排出する初期エアパージ操作が必要となる。この初期エアパージが不十分でフィルタユニット内に気泡が滞留した状態でフィルタユニットを立ち上げると、圧力応答性が著しく悪化する問題を生じる。   When the filter unit of this example is attached to the chemical solution supply apparatus, an initial air purge operation for completely discharging bubbles in the filter unit and the filter 26 is required. If the filter unit is started up in a state where the initial air purge is insufficient and air bubbles remain in the filter unit, there arises a problem that the pressure response is remarkably deteriorated.

この初期エアパージ操作は、先ず、フィルタユニット上流側の開閉弁18を閉じ、出口弁30を閉じ、ベント弁38を開く。次いで、開閉弁18を開いて、入口継手29を介してフィルタユニット内に薬液を流入させ、フィルタの収納室25に薬液を充填させる。この際、収納室25内の気泡がベント弁38へと追い出されるように薬液が充填される。そして、ベント弁38から気泡が排出されなくなったことを確認した後、ベント弁38を閉じる。その後、出口弁30を開くと、フィルタ26によって濾過された薬液が出口継手33を介して供給される。   In this initial air purge operation, first, the on-off valve 18 on the upstream side of the filter unit is closed, the outlet valve 30 is closed, and the vent valve 38 is opened. Next, the on-off valve 18 is opened, the chemical solution is caused to flow into the filter unit via the inlet joint 29, and the chemical chamber is filled in the filter storage chamber 25. At this time, the chemical solution is filled so that the bubbles in the storage chamber 25 are expelled to the vent valve 38. Then, after confirming that bubbles are not discharged from the vent valve 38, the vent valve 38 is closed. Thereafter, when the outlet valve 30 is opened, the chemical liquid filtered by the filter 26 is supplied via the outlet joint 33.

本例の薬液供給装置を通常運転している際は、出口弁30が開いており、ベント弁38が閉じた状態で、開閉弁18を開いて薬液を吐出ノズル19へと供給する。薬液供給を停止する際は、開閉弁18を閉じる。そして薬液供給を停止した後、一定時間保持すると、薬液が徐々に吐出ノズル19に引き込まれる。   During normal operation of the chemical solution supply apparatus of this example, the outlet valve 30 is open, the vent valve 38 is closed, and the on-off valve 18 is opened to supply the chemical solution to the discharge nozzle 19. When stopping the supply of the chemical solution, the on-off valve 18 is closed. Then, after the supply of the chemical solution is stopped, the chemical solution is gradually drawn into the discharge nozzle 19 when the chemical solution is held for a certain period of time.

また、通常は、薬液供給装置には薬液供給を停止した際の吐出ノズルからの液ダレを防止する為のサックバック機構が設けられるが、本発明のフィルタユニットでは、内蔵されるフィルタ26の中空糸膜の微妙な収縮・緩和により吐出ノズル19先端での液面挙動が変化する。すなわち、薬液吐出時は、フィルタ26に加わる圧力により中空糸膜が僅かに収縮し、一方、薬液の供給停止時は圧力が解放されることで中空糸膜が僅かに緩和され、吐出ノズル19先端で保持された薬液が僅かに引き込まれる現象が生じる。この現象を利用することで、吐出ノズル19先端からの液ダレ防止し、通常設けられるサックバック機構を省略することも可能である。   Normally, the chemical supply apparatus is provided with a suck back mechanism for preventing liquid sag from the discharge nozzle when the chemical supply is stopped. However, in the filter unit of the present invention, the hollow of the built-in filter 26 is provided. The liquid level behavior at the tip of the discharge nozzle 19 changes due to slight contraction and relaxation of the yarn film. That is, when the chemical liquid is discharged, the hollow fiber membrane slightly contracts due to the pressure applied to the filter 26. On the other hand, when the supply of the chemical liquid is stopped, the pressure is released to slightly relax the hollow fiber membrane, and the tip of the discharge nozzle 19 A phenomenon occurs in which the liquid chemical held in is pulled slightly. By utilizing this phenomenon, it is possible to prevent liquid dripping from the tip of the discharge nozzle 19 and to omit the normally provided suck back mechanism.

また、本例の薬液供給装置の通常運転中においても、上流側で発生した気泡がフィルタユニット内に混入したり、フィルタユニット上流側に設置された開閉弁18の開閉による圧力変化で薬液中に溶存しているガスが気泡として生成する場合などがある。このような場合は、運転中のエアパージが必要となる。   Further, even during normal operation of the chemical solution supply apparatus of this example, bubbles generated on the upstream side are mixed into the filter unit, or pressure changes due to opening / closing of the on-off valve 18 installed on the upstream side of the filter unit enter the chemical solution. There are cases where dissolved gas is generated as bubbles. In such a case, air purge during operation is required.

運転中のエアパージ操作は、開閉弁18を閉じ、出口弁30を閉じ、ベント弁38を開いて、薬液供給を一時停止する。次に、開閉弁18を開き、フィルタユニットの収納室25内の気泡を、ベント弁38へと追い出してエアパージする。その後、ベント弁38を閉じ、出口弁30を開き、運転を再開する。   During the air purge operation, the on-off valve 18 is closed, the outlet valve 30 is closed, the vent valve 38 is opened, and the chemical supply is temporarily stopped. Next, the on-off valve 18 is opened, and air bubbles in the storage chamber 25 of the filter unit are expelled to the vent valve 38 and air purged. Thereafter, the vent valve 38 is closed, the outlet valve 30 is opened, and the operation is resumed.

次いで、図1、3に示した本発明の第2実施形態のフィルタユニット、及び図4、5に示した本発明の第3実施形態のフィルタユニットを、それぞれ薬液供給装置に使用する場合を説明する。上記の通り第2実施形態のフィルタユニットの構成は、1台のアクチエータにて出口弁71及びベント弁77を動作するものであり、この点以外は上記第1実施形態と同様の構成である。また、上記の通り第3実施形態のフィルタユニットの構成は、入口ブロック63にサックバック弁93が設けられた点以外は、上記第2実施形態と同様の構成である。このため、第2実施形態及び第3実施形態における各操作は、以下に説明する通り、それぞれ上記第1実施形態におけるものと同様となる。   Next, the case where the filter unit of the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 3 and the filter unit of the third embodiment of the present invention shown in FIGS. To do. As described above, the configuration of the filter unit of the second embodiment is such that the outlet valve 71 and the vent valve 77 are operated by one actuator, and the configuration other than this is the same as that of the first embodiment. Further, as described above, the configuration of the filter unit of the third embodiment is the same as that of the second embodiment except that the suck-back valve 93 is provided in the inlet block 63. For this reason, each operation in the second embodiment and the third embodiment is the same as that in the first embodiment as described below.

すなわち、第2、3実施形態における初期エアパージ操作は、先ず、フィルタユニット上流側の開閉弁18を閉じ、出口弁71を閉じ、ベント弁77を開く。次いで、開閉弁18を開いて、入口継手70を介してフィルタユニット内に薬液を流入させ、フィルタの収納室67に薬液を充填させる。この際、収納室67内の気泡がベント弁77へと追い出されるように薬液が充填される。そして、ベント弁77から気泡が排出されなくなったことを確認した後、ベント弁77を閉じる。それと同時に、出口弁71が開き、フィルタ26によって濾過された薬液が出口継手74を介して供給される。   That is, in the initial air purge operation in the second and third embodiments, first, the on-off valve 18 on the upstream side of the filter unit is closed, the outlet valve 71 is closed, and the vent valve 77 is opened. Next, the on-off valve 18 is opened, the chemical solution is caused to flow into the filter unit through the inlet joint 70, and the filter storage chamber 67 is filled with the chemical solution. At this time, the chemical solution is filled so that the bubbles in the storage chamber 67 are expelled to the vent valve 77. Then, after confirming that bubbles are not discharged from the vent valve 77, the vent valve 77 is closed. At the same time, the outlet valve 71 is opened, and the chemical liquid filtered by the filter 26 is supplied through the outlet joint 74.

第2、3実施形態において薬液供給装置を通常運転している際は、出口弁71が開いており、ベント弁77が閉じた状態で、開閉弁18を開いて薬液を吐出ノズル19へと供給する。薬液供給を停止する際は、開閉弁18を閉じる。そして薬液供給を停止した後、一定時間保持すると、薬液が徐々に吐出ノズル19に引き込まれる。   In the second and third embodiments, when the chemical solution supply device is normally operated, the outlet valve 71 is open, the vent valve 77 is closed, the on-off valve 18 is opened, and the chemical solution is supplied to the discharge nozzle 19. To do. When stopping the supply of the chemical solution, the on-off valve 18 is closed. Then, after the supply of the chemical solution is stopped, the chemical solution is gradually drawn into the discharge nozzle 19 when the chemical solution is held for a certain period of time.

第2、3実施形態における運転中のエアパージ操作は、開閉弁18を閉じ、出口弁71を閉じ、ベント弁77を開いて、薬液供給を一時停止する。次に、開閉弁18を開き、フィルタユニットの収納室67内の気泡を、ベント弁77へと追い出してエアパージする。その後、ベント弁77を閉じ、出口弁71を開き、運転を再開する。   In the air purge operation during operation in the second and third embodiments, the on-off valve 18 is closed, the outlet valve 71 is closed, the vent valve 77 is opened, and the chemical supply is temporarily stopped. Next, the on-off valve 18 is opened, and air bubbles in the storage chamber 67 of the filter unit are expelled to the vent valve 77 and air purged. Thereafter, the vent valve 77 is closed, the outlet valve 71 is opened, and the operation is resumed.

また、第3実施形態において薬液供給装置を通常運転している際は、サックバック弁93の弁体を上昇してサックバック操作を行い、薬液をフィルタユニット内に引き込んで、吐出ノズル19先端からの液ダレを防止できる。本例における通常運転の際は、先ず、サックバック弁93の弁体を下降させ、薬液を吐出ノズル19のノズル面まで下降させた上で、出口弁71を開き、ベント弁77を閉じた状態で、開閉弁18を開き、薬液を吐出ノズル19側へ供給する。一方、サックバック操作の際は、先ず、開閉弁18を閉じて薬液の供給を停止する。そして、サックバック弁93の弁体を上昇させ、薬液を所定のノズル面まで引き込む。   In the third embodiment, when the chemical liquid supply device is normally operated, the valve body of the suck back valve 93 is raised to perform a suck back operation, and the chemical liquid is drawn into the filter unit, and from the tip of the discharge nozzle 19 Can be prevented from dripping. During normal operation in this example, first, the valve body of the suck back valve 93 is lowered, the chemical liquid is lowered to the nozzle surface of the discharge nozzle 19, the outlet valve 71 is opened, and the vent valve 77 is closed. Then, the on-off valve 18 is opened and the chemical solution is supplied to the discharge nozzle 19 side. On the other hand, when the suck back operation is performed, first, the on-off valve 18 is closed to stop the supply of the chemical solution. And the valve body of the suck back valve 93 is raised, and a chemical | medical solution is drawn in to a predetermined | prescribed nozzle surface.

なお、運転中のエアパージ操作は、開閉弁18の開閉回数などに応じて定期的に行うようにしてもよい。また、フィルタユニット内に気泡が混入し、薬液供給装置における薬液の吐出挙動が不安定になった場合に、その都度行うようにしてもよい。この場合、図示していないが、フィルタユニットの収納室25、67内の圧力を計測可能な圧力計を設け、この圧力計でフィルタユニット内の圧力変化をモニタリングすることで、効率的かつ正確なタイミングで、エアパージ操作を行うことも可能となる。   Note that the air purge operation during operation may be performed periodically according to the number of times the on-off valve 18 is opened and closed. Further, when a bubble is mixed in the filter unit and the discharge behavior of the chemical liquid in the chemical liquid supply apparatus becomes unstable, it may be performed each time. In this case, although not shown, a pressure gauge capable of measuring the pressure in the storage chambers 25 and 67 of the filter unit is provided, and the pressure change in the filter unit is monitored with this pressure gauge, so that it is efficient and accurate. It is also possible to perform an air purge operation at the timing.

上記のように、出口弁30、71は、本発明のフィルタユニット内に滞留する気泡の排出時に閉じられるが、この際、フィルタユニット内の圧力を高く保つことでベント弁38、77からの気泡の排出をより効率的に促す働きをしている。また、図示していないが、ベント弁38、77の排出口側(流路37、79b側)に真空ポンプを接続することで、より効率的な気泡排出が可能となる。さらに、出口弁30、71として、サックバック機能を備えた弁を使用してもよい。この場合、弁が下降してフィルタ26の二次側流路31、72を狭めることで、フィルタユニット内の圧力を高く保ち、ベント弁38、77からの気泡の排出を促進する働きをする。   As described above, the outlet valves 30 and 71 are closed when the bubbles staying in the filter unit of the present invention are discharged. At this time, the bubbles from the vent valves 38 and 77 are maintained by keeping the pressure in the filter unit high. It works to promote more efficient emissions. Further, although not shown in the drawing, it is possible to discharge bubbles more efficiently by connecting a vacuum pump to the exhaust port side (flow channel 37, 79b side) of the vent valves 38, 77. Further, as the outlet valves 30 and 71, valves having a suck back function may be used. In this case, the valve descends and narrows the secondary flow paths 31 and 72 of the filter 26, thereby maintaining a high pressure in the filter unit and promoting the discharge of bubbles from the vent valves 38 and 77.

更に、本発明は、前記実施の形態の記載に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。   Furthermore, the present invention is not limited to the description of the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention described in the claims of the present invention.

20、62 ブロック体
26、60 フィルタ
38、77 ベント機構(ベント弁)
27、69 一次側流路
31、72 二次側流路
30、71 出口弁
34、75 一次側領域
93 サックバック機構(サックバック弁)
29、70 入口継手
33、74 出口継手
25(23、24)、67(65、66) 収納室
54a、57 連通部
54、56 ケーシング
55、55’ 中空糸膜
21、63 入口ブロック
22、64 出口ブロック
32、73 出口
10、100 フィルタユニット
18 開閉弁
14 薬液
19 吐出ノズル
20, 62 Block body 26, 60 Filter 38, 77 Vent mechanism (vent valve)
27, 69 Primary side flow path 31, 72 Secondary side flow path 30, 71 Outlet valve 34, 75 Primary side area 93 Suck back mechanism (suck back valve)
29, 70 Inlet joint 33, 74 Outlet joint 25 (23, 24), 67 (65, 66) Storage chamber 54a, 57 Communication portion 54, 56 Casing 55, 55 'Hollow fiber membrane 21, 63 Inlet block 22, 64 Outlet Blocks 32, 73 Outlet 10, 100 Filter unit 18 On-off valve 14 Chemical liquid 19 Discharge nozzle

Claims (9)

ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体には前記フィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、前記ブロック体に設けられた流路によって前記フィルタと前記ベント機構とが一体集積されたことを特徴とするフィルタユニット。   A filter is incorporated in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter and the vent mechanism are provided by a flow path provided in the block body. Is a filter unit that is integrated as a single unit. ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体には前記フィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、前記ブロック体に設けられた流路によって前記フィルタと前記ベント機構とが一体集積されると共に、前記ベント機構には、ベント弁と前記ブロック体に設けられた二次側流路に設けられた出口弁との駆動力を兼用する同一のアクチエータが設けられたことを特徴とするフィルタユニット。   A filter is incorporated in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter and the vent mechanism are provided by a flow path provided in the block body. And the vent mechanism is provided with the same actuator that combines the drive force of the vent valve and the outlet valve provided in the secondary flow path provided in the block body. Features a filter unit. ブロック体にフィルタが内蔵され、かつブロック体には前記フィルタの一次側に滞留した気泡を排出するためのベント機構が設けられ、前記ブロック体に設けられた流路によって前記フィルタと前記ベント機構とが一体集積されると共に、前記フィルタの一次側領域には、サックバック機能を有するサックバック機構が設けられ、このサックバック機構が前記ブロック体に一体集積されたことを特徴とする請求項1又は2に記載のフィルタユニット。   A filter is incorporated in the block body, and the block body is provided with a vent mechanism for discharging bubbles accumulated on the primary side of the filter, and the filter and the vent mechanism are provided by a flow path provided in the block body. A suck back mechanism having a suck back function is provided in a primary side region of the filter, and the suck back mechanism is integrally integrated in the block body. 2. The filter unit according to 2. 前記ブロック体には、前記フィルタの一次側流路と二次側流路に連通した入口継手と出口継手とが備えられた請求項1乃至3の何れか1項に記載のフィルタユニット。   4. The filter unit according to claim 1, wherein the block body includes an inlet joint and an outlet joint that communicate with the primary flow path and the secondary flow path of the filter. 前記出口弁には、前記流路を開閉する機能、前記流路の開閉を調整する機能又はサックバック機能を備え、この出口弁は、前記二次側流路によって前記フィルタと一体集積されると共に、エアパージ動作を効率的に促す機構である請求項2乃至4の何れか1項に記載のフィルタユニット。   The outlet valve has a function of opening and closing the flow path, a function of adjusting the opening and closing of the flow path, or a suck back function, and the outlet valve is integrated with the filter by the secondary side flow path. The filter unit according to any one of claims 2 to 4, wherein the filter unit is a mechanism that efficiently promotes an air purge operation. 前記ブロック体には、前記フィルタ収納用の収納室が設けられ、この収納室内には、連通部を有するケーシングで被覆された中空糸膜又は平膜からなるフィルタが設けられた請求項1乃至5の何れか1項に記載のフィルタユニット。   The block body is provided with a storage chamber for storing the filter, and a filter made of a hollow fiber membrane or a flat membrane covered with a casing having a communication portion is provided in the storage chamber. The filter unit according to any one of the above. 前記ブロック体は、入口ブロックと出口ブロックとが嵌め合わされて液密にシールされて構成され、前記入口ブロックと出口ブロックとに収納室が形成され、この収納室にフィルタを内蔵した請求項6に記載のフィルタユニット。   The block body is configured such that an inlet block and an outlet block are fitted and sealed in a liquid-tight manner, a storage chamber is formed in the inlet block and the outlet block, and a filter is built in the storage chamber. The filter unit described. 前記フィルタの出口が鉛直方向に設けられ、前記ベント機構がフィルタの一次側領域内のエアが溜まる位置に設けられた請求項1乃至3の何れか1項に記載のフィルタユニット。   The filter unit according to any one of claims 1 to 3, wherein an outlet of the filter is provided in a vertical direction, and the vent mechanism is provided at a position where air in a primary region of the filter accumulates. 請求項1乃至8の何れか1項に記載のフィルタユニットの一次側に薬液又は流体の供給を制御するための開閉弁が取り付けられ、フィルタユニットの二次側には吐出ノズルが設けられた薬液供給装置。   An on-off valve for controlling supply of a chemical solution or a fluid is attached to the primary side of the filter unit according to any one of claims 1 to 8, and the chemical solution is provided with a discharge nozzle on the secondary side of the filter unit. Feeding device.
JP2016105205A 2016-05-26 2016-05-26 Filter unit and chemical solution supply device Pending JP2017212359A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016105205A JP2017212359A (en) 2016-05-26 2016-05-26 Filter unit and chemical solution supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016105205A JP2017212359A (en) 2016-05-26 2016-05-26 Filter unit and chemical solution supply device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017212359A true JP2017212359A (en) 2017-11-30

Family

ID=60474869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016105205A Pending JP2017212359A (en) 2016-05-26 2016-05-26 Filter unit and chemical solution supply device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017212359A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114284184A (en) * 2021-12-30 2022-04-05 荣耀智能(山东)电子有限公司 Semi-automatic circulation cleaning device for semiconductor components

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114284184A (en) * 2021-12-30 2022-04-05 荣耀智能(山东)电子有限公司 Semi-automatic circulation cleaning device for semiconductor components
CN114284184B (en) * 2021-12-30 2023-10-03 广西中科阿尔法科技有限公司 Semi-automatic circulation cleaning device for semiconductor components

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7887305B2 (en) Flexible tank and a chemical liquid supply apparatus using the same
JP5038378B2 (en) Chemical solution supply apparatus and chemical solution supply method
TWI281702B (en) Chemical supplying device and chemical supplying method
KR100980704B1 (en) Apparatus for suppling photo resist and method thereof
JP4578103B2 (en) System used to supply photoresist and method for supplying photoresist
US10350527B2 (en) Filter device and filtration device
JP2002273113A (en) Filter, chemical liquid supply device and chemical liquid supply method
KR101910722B1 (en) Inline dispense capacitor
US8651068B1 (en) Systems and devices for separating water and contaminants from fuel
CN106042642A (en) Liquid discharge apparatus, imprint apparatus and part manufacturing method
JP2017212359A (en) Filter unit and chemical solution supply device
JP2007331350A (en) Liquid jetting apparatus and liquid storing container
JPH07324680A (en) Method and device for supplying fluid
JP2017067287A (en) Valve unit with filter and medical liquid supply device
JP2008036489A (en) Deaeration apparatus
CN110167651B (en) Filter device
JP6410441B2 (en) Fuel filter device
JP7509323B2 (en) Liquid-submerged particle measuring system, liquid-submerged particle measuring method, and hollow fiber degassing module
US20240105469A1 (en) Liquid supply system
JP4833271B2 (en) Resist application method
JP2006329352A (en) Delivery valve and cleaning deice with delivery valve
JP4376259B2 (en) Negative pressure generator
JP4494172B2 (en) Discharge / Air vent integrated valve
KR101702820B1 (en) Pressurized hollow fiber membrane module and filtration apparatus comprising the same
KR200251118Y1 (en) Auto deaerating vent head